靜電防護基礎(chǔ)知識課件

靜電防護基礎(chǔ)知識審核：尹紀(jì)兵2008年２月２０日培訓(xùn)內(nèi)容１●

靜電防護的重要性２●靜電及其防護基本概念３●靜電危害４●靜電防護１●

靜電防護的重要性1.隨著科技進步，超大規(guī)模集成電路廣泛應(yīng)用。2.由于元器件尺寸的變小和芯片內(nèi)部的氧化膜變薄，使器件承受靜電放電的能力下降。３.元器件的儲存，貼裝，焊接，測試直到包裝等工序可能發(fā)生因靜電放電造成對器件的損害。4防靜電保護區(qū)(EPA：ElectrostaticProtectionArea)由防靜電器材建造和裝配起來，能防止靜電釋放產(chǎn)生的損害并作出明顯標(biāo)記的供經(jīng)過培訓(xùn)的人員操作ESDS產(chǎn)品的區(qū)域。

5接地(Grounding)電氣連接到能供給或接受大量電荷的物體(常指大地)。6接地點(EBP:EarthBoundingPoint)

接地連接點２●２靜電的產(chǎn)生1摩擦起電(由物體的接觸摩擦產(chǎn)生靜電)2剝離起電（相互密切結(jié)合的物體剝離）3斷裂帶電（材料因機械破裂使帶電粒子分開）4高速運動中的物體（高速運動的物體表面與空氣摩擦帶電）３●１靜電危害A：靜電吸附元器件制造過程中由于二氧化硅等材料易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體擊穿失效；B：靜電擊穿和軟擊穿靜電放電對靜電敏感器件損害的主要表現(xiàn)，一是硬擊穿，造成整個器件的失效和損壞；二是軟擊穿，造成器件的局部損傷，降低了器件的技術(shù)性能，而留下不易被人們發(fā)現(xiàn)的隱患，以致設(shè)備不能正常工作。４●１典型ESD控制工作系統(tǒng)1.防ESD地面2.防ESD臺面3.防ESD設(shè)備周轉(zhuǎn)、包裝、運輸材料4.防ESD腕帶插孔5.個人ESD防護用品(腕帶、腳環(huán)、工服、手套等)6.可靠的接地系統(tǒng)EOS防護料盤.料盒EOS防護臺面EOS防護地墊建筑地面手腕地共地點４●靜電防護４●２防靜電手腕帶1所有與靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施有直接接觸的人員在ＳＭＴ生產(chǎn)中必須佩戴腕帶；2作業(yè)員在每班開始前必須用腕帶測試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進行更換，直到檢測合格為止。佩戴防靜電手腕帶注意事項1手腕帶必須貼緊皮膚，不要戴在衣服或手套上；2皮膚干燥的員工，如果測試失敗，可在再次測試前，在戴手腕帶處抹一些專用皮膚霜，以增加皮膚的導(dǎo)電性；

3有手腕帶接地點的工位，在不影響操作的前提下，必須使用手腕帶。對轉(zhuǎn)件員及上料員因無法使用手腕帶，這些員工要使用防靜電工作手套；4員工在防靜電保護區(qū)內(nèi)工作時，提倡盡可能使用手腕帶。４●３防靜電工作鞋1.除電工外，所有進入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作鞋。電工因工作需進入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時，應(yīng)盡量在距離防靜電保護區(qū)1.5米的區(qū)域內(nèi)活動，工作完成后不得在生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留；2.除電工外，所有工作人員每日在進入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，必須用靜電鞋測試儀檢查其連續(xù)使用性，并在ESD日檢表上作記錄。４●４防靜電工作服1.除電工外，所有進入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作服。發(fā)長過衣領(lǐng)的員工在進入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，應(yīng)盤或扎起頭發(fā)，使發(fā)梢高于衣領(lǐng)，必要時，必須戴防靜電工作帽；

2.電工因工作需進入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時,應(yīng)盡量在距離防靜電保護區(qū)1.5米的區(qū)域內(nèi)活動,工作完成后不得在生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留。４●５防靜電地板1.指定的地板清潔工必須使用防靜電拖把來清除污跡，并使用防靜電清潔劑；2.防靜電地板的傳導(dǎo)是通過打蠟來維護的。ESD測試人員每周測一次生產(chǎn)作業(yè)區(qū)地板的電阻值。對于測試超標(biāo)的區(qū)域，廠務(wù)應(yīng)盡快安排人員進行打蠟，對打蠟后的效果，ESD測試人員兩天內(nèi)應(yīng)安排時間再次進行測量。3.人身安全工作臺面、坐椅等導(dǎo)靜電的ESD保護措施均應(yīng)通過限流電阻接到地線。保證減少電擊事故。即使有事故，必須使通過人體的電流低于5mA。4.部門合作當(dāng)移動固定貨架、工作臺等物品時，及時通知廠房設(shè)備部門連接接地線。４●７

ESDS（靜電釋放敏感產(chǎn)品）產(chǎn)品的運輸

存放和操作器具1.在運輸和存放ESDS產(chǎn)品時應(yīng)使用防靜電貨架、防靜電推車和防靜電周轉(zhuǎn)容器；2.防靜電貨架的表面必須覆蓋上防靜電墊，并接地；

3.運輸用的防靜手推車和轉(zhuǎn)運車的表面必須覆蓋上防靜電墊，并且輪子必須是傳導(dǎo)輪；４●

８腕帶檢測方法：1.

把檢測儀面板上選擇開關(guān)換至腕帶檢測檔；2.

按正確方法佩帶腕帶；3.

把腕帶插頭插入檢測儀面板上的腕帶插孔處；4.

按檢測