第6章傳感器原理與測量電路1

第六章

傳感器主要內(nèi)容1.

傳感器概述2.

電容式傳感器3.

電感式傳感器4.

壓電式傳感器5.

磁電式傳感器7.

光柵式傳感器8.

光纖式傳感器6.

霍爾式傳感器21.了解傳感器的分類2.掌握常用傳感器測量原理3.了解傳感器測量電路本章學(xué)習(xí)要求3正在給主人敬送飲料的機器人6.1概述傳感器技術(shù)——信息采集——“感官”通信技術(shù)———信息傳輸——“神經(jīng)”計算機技術(shù)——信息處理——“大腦”4傳感器按感官的歸類6.1概述人的感覺人的感官信號形態(tài)轉(zhuǎn)換相關(guān)器件物理現(xiàn)象視覺眼光→電流光→電阻光→電流光電池光敏電阻器光電晶體管光電動勢光導(dǎo)效應(yīng)聽覺耳位移→電壓位移→電阻位移→電壓位移→電容壓電器件應(yīng)變計霍爾元件壓變電容器壓電效應(yīng)壓阻效應(yīng)霍爾效應(yīng)壓力引起電容量變化溫覺與觸覺皮膚溫度→電壓溫度→電阻壓力→電阻壓力→電容壓力→電壓壓力→電壓熱電偶熱敏電阻器應(yīng)變計壓變電容器壓電傳感器電感式傳感器塞貝克效應(yīng)溫度引起載流子數(shù)的變化壓阻效應(yīng)壓力引起電容量的變化壓電效應(yīng)嗅覺鼻氣體→電阻氣體→電流半導(dǎo)體氣敏元件電化學(xué)氣體傳感器表面吸附現(xiàn)象電化學(xué)反應(yīng)味覺舌化學(xué)變化→電離子電極酶傳感器5傳感器是將被測量轉(zhuǎn)換成為與之有確定對應(yīng)關(guān)系的、容易測量、傳輸或處理的另一種形式的量（大多為電量）的裝置。6.1概述傳感器定義物理量電量傳感器電壓、電流、頻率、脈沖等尺寸、位移、溫度、力等66.1概述傳感器組成傳感器由敏感器件與輔助器件組成。敏感元件的作用是感受被測物理量，并對信號進行轉(zhuǎn)換輸出。輔助器件則是對敏感器件輸出的電信號進行放大、阻抗匹配，以便于后續(xù)儀表接入。7——按被測物理量分類6.1概述傳感器分類機械量：長度，厚度，位移，速度，加速度，旋轉(zhuǎn)角，轉(zhuǎn)數(shù)，質(zhì)量，重量，力，壓力，真空度，力矩，風(fēng)速，流速，流量；聲：聲壓，噪聲；磁:

磁通，磁場；光：亮度，色彩；溫度：溫度，熱量，比熱。86.1概述——按傳感原理分類傳感器分類電容式傳感器電阻式傳感器壓電式傳感器磁電式傳感器電感式傳感器光電式傳感器光纖式傳感器光柵式傳感器96.1概述——按信號變換特征傳感器分類能量轉(zhuǎn)換型：直接由被測對象輸入能量使其工作。例如熱電偶溫度計,壓電式加速度計。能量控制型：從外部供給能量并由被測量控制外部供給能量的變化。例如電阻應(yīng)變片。106.1概述基本參數(shù)指標(biāo)環(huán)境參數(shù)指標(biāo)可靠性指標(biāo)其它指標(biāo)量程指標(biāo)：量程范圍、過載能力等靈敏度指標(biāo)：靈敏度、分辨力、滿量程輸出、輸入輸出阻抗等精度有關(guān)指標(biāo)：精度、誤差、線性、滯后、重復(fù)性、靈敏度誤差、穩(wěn)定性動態(tài)性能指標(biāo)：固有頻率、阻尼比、時間常數(shù)、頻率響應(yīng)范圍、頻率特性、臨界頻率、臨界速度、穩(wěn)定時間等溫度指標(biāo)：工作溫度范圍、溫度誤差、溫度漂移、溫度系數(shù)、熱滯后等抗沖振指標(biāo)：容許各項抗沖振的頻率、振幅及加速度、沖振所引入的誤差其它環(huán)境參數(shù)：抗潮濕、抗介質(zhì)腐蝕能力、抗電磁場干擾能力等工作壽命、平均無故障時間、保險期、疲勞性能、絕緣電阻、耐壓及抗飛弧等使用有關(guān)指標(biāo)：供電方式

（直流、交流、頻率及波形等）、功率、各項分布參數(shù)值、電壓范圍與穩(wěn)定度等外形尺寸、重量、殼體材質(zhì)、結(jié)構(gòu)特點等安裝方式、饋線電纜等116.1概述

1.發(fā)展、利用新效應(yīng)；2.開發(fā)新材料；3.提高傳感器性能和檢測范圍；4.微型化與微功耗；5.集成化與多功能化；6.傳感器的智能化；7.傳感器的數(shù)字化和網(wǎng)絡(luò)化。傳感器的發(fā)展趨勢126.2電容式傳感器一、電容傳感器概述、工作原理和類型；二、電容傳感器輸出特性；三、電容式傳感器的特點；四、電容傳感器測量電路；五、電容式傳感器的應(yīng)用舉例。主要內(nèi)容學(xué)習(xí)要求1.掌握電容式傳感器工作原理；2.掌握電容式傳感器的分類、及它們各自的特點；3.了解電容式傳感器的測量電路。13電容式傳感器是將被測物理量轉(zhuǎn)換為電容量變化的裝置，實質(zhì)上是一個具有可變參數(shù)的電容器。6.2電容式傳感器介電常數(shù)變化型面積變化型極距變化型146.2電容式傳感器極距變化型OΔδCδΔC156.2電容式傳感器討論要提高傳感器靈敏度S應(yīng)減小初始極距,但極距也要受電容擊穿電壓限制。非線性隨相對位移的增加而增加，為保證線性度應(yīng)限制相對位移。初始極距與S，與線性度相矛盾，決定了極距變化型電容傳感器只適合測小位移（在0.01微米至零點幾毫米）。為提高靈敏度和改善非線性，一般采用差動結(jié)構(gòu)。16極距變化型電容傳感器Δδδ0δ0C1C2差動式極距變化型17差動式極距變化型傳感器靈敏度可提高一倍，而非線性可大大減小。極距變化型電容傳感器18

極距變化型電容式傳感器的優(yōu)點是動態(tài)響應(yīng)快，靈敏度高，可進行非接觸測量。但由于輸出非線性特性、傳感器雜散電容對靈敏度和測量精度的影響，以及與傳感器配合使用的電子線路比較復(fù)雜等缺點，因此使用范圍受到一定限制。差動式電容傳感器比單個電容靈敏度提高一倍，非線性誤差減小。特點1.主要用于小位移量測量，0.01μm到數(shù)百μm。2.分辨力可達(dá)0.1μm，靈敏度較高。極距變化型電容傳感器19

面積變化型電容傳感器的工作原理是在被測參數(shù)的作用下改變極板的有效面積。常用的有角位移型和線位移型兩種。優(yōu)點是輸出與輸入成線性關(guān)系。但與極距變化型相比，靈敏度較低。適用于較大角位移及直線位移的測量。面積變化型電容傳感器20α定板動板覆蓋面積電容量靈敏度電容量靈敏度面積變化型電容傳感器21特點輸出特性為線性，靈敏度S為常數(shù)，適合測量大位移。

2.與極距變化型相比，靈敏度較低

應(yīng)用舉例

——檢測齒輪轉(zhuǎn)速面積變化型電容傳感器22介電常數(shù)變化型電容傳感器23介電常數(shù)變化型電容傳感器非線性板材測厚24介電常數(shù)變化型電容傳感器位移測量線性25電容式傳感器的等效電路Rs為引線,電容器支架和極板的電阻。Rp

為并聯(lián)損耗電阻，它代表極板間的泄漏電阻和極板間的介質(zhì)損耗。通常在低頻時較大。電感L由電容器本身的電感和外部引線的電感所組成。低頻時很小，在很高的頻率工作時需要加以考慮。電容傳感器諧振頻率通常為幾十兆赫，通常工作點應(yīng)在其諧振頻率的1/21/3，且使用條件必須與標(biāo)定條件相同。AB傳感器等效電容：26電容式傳感器的等效電路驅(qū)動電纜技術(shù)消除寄生電容的影響27電容式傳感器的常用轉(zhuǎn)換電路電橋電路，

28二極管雙T型電路電容式傳感器的常用轉(zhuǎn)換電路29電容式傳感器的常用轉(zhuǎn)換電路運算放大器式電路C0CxUsUo-Kixi0ai=030電容式傳感器的特點主要優(yōu)點主要缺點1.溫度穩(wěn)定性好；2.結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強；3.動態(tài)響應(yīng)好；4.可以實現(xiàn)非接觸測量，具有平均效應(yīng)。輸出阻抗高，負(fù)載能力差；2.寄生電容影響大。3132電容式位移傳感器電容式傳感器應(yīng)用舉例33電容式差壓傳感器

這種傳感器結(jié)構(gòu)簡單，靈敏度高，響應(yīng)速度快(約100ms)，能測微小差壓(0~0.75Pa)。

34電容式加速度傳感器它有兩個固定極板（與殼體絕緣）,中間有一用彈簧片支撐的質(zhì)量塊，此質(zhì)量塊的兩個端面經(jīng)過磨平拋光后作為可動極板（與殼體電連接）。當(dāng)傳感器殼體隨被測對象在垂直方向上作直線加速運動時，兩電容的間隙發(fā)生變化，一個增加，一個減小，從而使C1、C2產(chǎn)生大小相等，符號相反的增量，此增量正比于被測加速度。35差動式電容測厚傳感器36電容式料位傳感器測定電極安裝在罐的頂部，這樣在罐壁和測定電極之間就形成了一個電容器。當(dāng)罐內(nèi)放入被測物料時,由于被測物料介電常數(shù)的影響，傳感器的電容量將發(fā)生變化，電容量變化的大小與被測物料在罐內(nèi)高度有關(guān)，且成比例變化。檢測出這種電容量的變化就可測定物料在罐內(nèi)的高度。電容式傳聲器（Microphone）電容傳聲器核心是平板電容器，振動膜片是一片表面經(jīng)過金屬化處理的輕質(zhì)彈性薄膜，當(dāng)膜片隨著聲波的壓力的大小產(chǎn)生振動時，膜片與后極板之間的相對距離發(fā)生變化，膜片與極板所構(gòu)成電容器的量就發(fā)生變化。極板上的電荷隨之變化，電路中的電流也相應(yīng)變化，負(fù)載電阻上也就有相應(yīng)的電壓輸出，從而完成了聲音信號與電信號的轉(zhuǎn)換。電容式傳聲器（Microphone）雙聯(lián)電容器——變面積的電容傳感器當(dāng)順時針旋轉(zhuǎn)調(diào)諧旋鈕時，變面積式可變電容器的動片就隨之轉(zhuǎn)動，改變了與定片之間的覆蓋面積A，電容量C也就越來越小，諧振頻率也隨之改變。圓柱型電容傳感器圓柱型，當(dāng)動極板有一線位移時，兩極板間覆蓋面積就發(fā)生變化，從而導(dǎo)致電容量的變化各種電容式壓力變送器外形電容式加速度傳感器加速度傳感器在汽車中的應(yīng)用裝有傳感器的假人氣囊電容測厚儀電容式荷重傳感器F絕緣材料動極板定極板極板支架彈性體當(dāng)被測液體的頁面上升時，引起棒狀電極與導(dǎo)電液體之間的電容變化。液位限位傳感器與液位變送器的區(qū)別在于：它不給出模擬量，而是給出開關(guān)量。當(dāng)液位到達(dá)設(shè)定值時，它輸出低電平。但也可以選擇輸出為高電平的型號。電容式液位計（變介質(zhì)型）振蕩電路感應(yīng)電極被測物體電容式接近開關(guān)測量頭構(gòu)成電容器的一個極板，另一個極板是物體本身，當(dāng)物體移向接近開關(guān)時，物體和接近開關(guān)的介電常數(shù)發(fā)生變化，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化.由此便可控制開關(guān)的接通和關(guān)斷;接近開關(guān)的檢測物體，并不限于金屬導(dǎo)體，也可以是絕緣的液體或粉狀物體。電容式接近開關(guān)在物位測量控制中的使用演示電容式轉(zhuǎn)速傳感器電容式鍵盤常規(guī)的鍵盤有機械按鍵和電容按鍵兩種。電容式鍵盤是基于電容式開關(guān)的鍵盤，原理是通過按鍵改變電極間的距離產(chǎn)生電容量的變化，暫時形成震蕩脈沖允許通過的條件。這種開關(guān)是無觸點非接觸式的，磨損率極小。電容式指紋傳感器指紋識別所需電容傳感器包含一個大約有數(shù)萬個金屬導(dǎo)體的陣列，其外面是一層絕緣的表面，當(dāng)用戶的手指放在上面時，金屬導(dǎo)體陣列/絕緣物/皮膚就構(gòu)成了相應(yīng)的小電容器陣列。它們的電容值隨著脊（近的）和溝（遠(yuǎn)的）與金屬導(dǎo)體之間的距離不同而變化。本講要點總結(jié)1．電容傳感器工作原理和類型2.電容傳感器輸出特性和測量電路3.電容式傳感器的應(yīng)用62電感式傳感器是基于電磁感應(yīng)原理，它是把被測量轉(zhuǎn)化為電感量的一種裝置。分類：電感式傳感器自感型可變磁阻型渦流式互感型6.3電感式傳感器636.3電感式傳感器鐵芯銜鐵線圈變磁阻式電感傳感器N——線圈匝數(shù)；Rm——磁路的總磁阻；64變磁阻式電感傳感器傳感器類型可變導(dǎo)磁面積型可變氣隙厚度型差動型65靈敏度與氣隙厚度的平方成反比。為了減小非線性誤差，提高靈敏度，通常使這種傳感器在小氣隙狀態(tài)下工作，其測量范圍在0.001mm與lmm之間。變氣隙型自感傳感器非差動式66當(dāng)銜鐵位于中間位置(位移為零)時，兩線圈自感相等，i1＝i2，△i=0，輸出電壓U＝0。當(dāng)銜鐵有位移時，一個線圈自感增加，另一個線圈自感減小，U的大小表示了銜鐵位移量，極性表示了銜鐵移動方向。若位移使i1增大，則必定使i2減小相同的值，于是靈敏度增加一倍。變氣隙型自感傳感器差動式67主要特點：具有較好的線性，測量范圍也比較大，但它的靈敏度比不上改變氣隙厚度的電感傳感器。變面積型自感傳感器68螺線管式電感傳感器是一種開磁路電感傳感器，其工作原理是基于線圈漏磁路徑中的磁阻變化。由于空氣通路長，使得磁路的磁阻比較高，因此這種傳感器的靈敏度比較低，對于小位移測量意義不大。主要用于較大位移的測量，可達(dá)數(shù)毫米到數(shù)百毫米?？蓜予F芯螺管型自感傳感器69這種傳感器實際上是個變壓器，初級線圈Wl通電后，次級線圈W2便感應(yīng)出電壓。被測量的變化使初、次級線圈間互感發(fā)生變化，感應(yīng)電壓也產(chǎn)生相應(yīng)變化。由于這種傳感器常制成差動的形式，故稱差動變壓器。差動變壓器式傳感器x次級線圈W1初級線圈W次級線圈W2鐵芯P70x次級線圈W1初級線圈W次級線圈W2鐵芯P前提：M1＝M2＝M1、鐵芯位于中間e1=e2，eo=02、鐵芯上移，e1↑e2↓,eo與e1同相3、鐵芯下移，e2↑e1↓,eo與e2同相螺線管式差動變壓器式傳感器71測量轉(zhuǎn)換電路

交流電橋交流電橋等效電路交流電橋式72測量轉(zhuǎn)換電路諧振式調(diào)幅電路諧振式調(diào)頻電路諧振式73電渦流式傳感器原理:渦流效應(yīng)74高頻(1MHz以上)激勵電流i施加于鄰近金屬板一側(cè)的線圈，由線圈產(chǎn)生的高頻電磁場作用于金屬板的表面。金屬板表面感應(yīng)的渦流產(chǎn)生的電磁場又反作用于線圈上，改變了電感的大小。當(dāng)線圈與金屬板的距離發(fā)生變化時，導(dǎo)致耦合系數(shù)k、線圈自感L、線圈阻抗ZL的相應(yīng)變化。高頻反射式渦流傳感器75多用于測定材料厚度。當(dāng)激勵低頻電壓e1加到發(fā)射線圈W1上后，在被測材料中產(chǎn)生渦流i而損耗部分能量，導(dǎo)致接收線圈W2上產(chǎn)生的感應(yīng)電動勢e2減小。其減小量與材料的厚度和材料性質(zhì)有關(guān)，對一定的材料，e2隨厚度呈指數(shù)規(guī)律減小。低頻透射式渦流傳感器76不同頻率下的e=f(h)曲線77CCD應(yīng)用舉例78連續(xù)油管的橢圓度測量CoiledTubeEddySensor

ReferenceCircle應(yīng)用舉例79火車輪檢測油管檢測應(yīng)用舉例80優(yōu)點：結(jié)構(gòu)簡單可靠，沒有觸點摩擦，靈敏度、分辨率都比較高，輸出功率也比較大，測量準(zhǔn)確度也比較高。缺點：對激磁電源的頻率和振幅的穩(wěn)定性要求比較高。6.3電感式傳感器利用電磁感應(yīng)原理將被測量（位移、壓力等）轉(zhuǎn)換為線圈自感系數(shù)L或互感系數(shù)M的變化，再由測量電路轉(zhuǎn)換成電壓或電流的變化量輸出，這種將被測非電量轉(zhuǎn)換為電感變化的裝置稱為電感式傳感器。816.5壓電式傳感器壓電效應(yīng)

某些物質(zhì)在沿一定方向上施加外力使之變形時，其內(nèi)部電荷分布將發(fā)生變化，使得表面的金屬電極產(chǎn)生電荷。在外力除去后，它們又重新回到不帶電的狀態(tài)。這種現(xiàn)象稱為正壓電效應(yīng)。

相反，如果把這些物質(zhì)置于電場中，其幾何尺寸也將發(fā)生變化，這種由于外電場作用導(dǎo)致物質(zhì)的機械變形的現(xiàn)象，稱為逆壓電效應(yīng)，或稱為電致伸縮效應(yīng)。82壓電材料天然晶體(如天然石英晶體)——性能穩(wěn)定，機械性能好，廣泛應(yīng)用于振蕩器、諧振器等元件材料。人造晶體(如鈦酸鋇、鋯鈦酸鋇等)——靈敏度較高，性能存在缺陷，已逐漸被取代。壓電陶瓷（鋯鈦酸鉛、氧化鋅等）——現(xiàn)今大多采用的材料。壓電高聚物薄膜（聚偏二氟乙烯）——壓電性強、柔性好，已得到應(yīng)用。具有這種壓電效應(yīng)的物質(zhì)稱為壓電材料或壓電元件。83通常把沿電軸x方向的力作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)稱為“縱向壓電效應(yīng)”，而把沿機械軸y方向的作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)稱為“橫向壓電效應(yīng)”。而沿光抽z方向受力時不產(chǎn)生壓電效應(yīng)。壓電效應(yīng)84不受力時：大小相等，相互夾角，因此，。石英晶體極化效應(yīng)85把沿電軸x方向的力作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)稱為“縱向壓電效應(yīng)”?？v向壓電效應(yīng)86把沿機械軸y方向的作用下產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)稱為“橫向壓電效應(yīng)”。橫向壓電效應(yīng)87作用力越大，產(chǎn)生的電偶極矩越大，極板上出現(xiàn)的電荷越多。石英晶體極化效應(yīng)88單個晶片的等效電路Ca壓電元件兩電極間的石英晶體或壓電陶瓷為絕緣體，因此就構(gòu)成一個電容器。壓電元件的開路電壓：89++++++++++FF晶片并接CaRaqea靈敏度：特點1.電荷得到放大。2.適用于測量緩變信號和以電荷為輸出量的場合。90晶片串接++++++++++FFCaRaea靈敏度：特點1.電壓得到放大。2.適用于以電壓為輸出量、測量電路有高輸入阻抗的場合。

91測量電路——電壓放大器U-A傳感器電纜電壓放大器RaRiCaCcCiUiUo92q－AUoCaCcCiCfUi傳感器電纜電荷放大器測量電路——電荷放大器開環(huán)增益足夠大時，即，可簡化為:93壓電式傳感器是一種典型的自發(fā)電式傳感器，常用來測量力、壓力、振動加速度，也用于聲學(xué)(包括超聲)、聲發(fā)射及幾何量等的測量。壓電式傳感器94壓電式加速度傳感器956.7霍爾傳感器金屬或半導(dǎo)體薄片置于磁場中，當(dāng)有電流流過時，在垂直于電流和磁場的方向上將產(chǎn)生電動勢，這種物理現(xiàn)象稱為霍爾效應(yīng)。966.7霍爾傳感器霍爾元件由霍爾片、四根引線和殼體組成。976.7霍爾傳感器測量電路986.7霍爾傳感器電流傳感器當(dāng)電流流過導(dǎo)線時，將在導(dǎo)線周圍產(chǎn)生磁場，磁場大小與流過導(dǎo)線的電流大小成正比，這一磁場可以通過軟磁材料來聚集，然后用霍爾器件進行檢測。996.7霍爾傳感器葉片和齒輪位置傳感器1006.7霍爾傳感器汽車速度測量101型式測量范圍精確度直線性特點電感式自感式變氣隙型±0.2mm±1%±3%只宜用于微小位移測量螺管型1.5~2mm測量范圍較前者寬，使用方便可靠，動態(tài)性能較差特大型300~2000mm①0.15%~1%差動變壓器±0.08~75mm①±0.5％±0.5%分辨力好，受到磁場干擾時需屏蔽渦電流式±2.5~±250mm①±1%~3%＜3%分辨力好，受被測物體材料、形狀、加工質(zhì)量影響同步機360°±0.1°~±7°±0.5%可在1200r/min轉(zhuǎn)速工作，堅固，對溫度和濕度不敏感微動同步器±10°±1%±0.05%非線性誤差與變壓比和測量范圍有關(guān)旋轉(zhuǎn)變壓器±60°±0.1%電容式變面積10-3~103mm①±0.005%±1%受介電常數(shù)因環(huán)境溫度、濕度而變化的影響變間距10-3~10mm①0.1%分辨力很好，但測量范圍很小，只能在小范圍內(nèi)近似地保存線性霍爾元件±1.5mm0.5%結(jié)構(gòu)簡單，動態(tài)特性好102光柵的基本測量原理在光源照射下，在與兩光柵線紋角θ的平分線相垂直的方向上，形成明暗相間條紋——莫爾條紋（橫向莫爾條紋），兩條亮（暗）紋間的距離稱莫爾條紋寬度

w

。6.4光柵均勻刻線標(biāo)尺光柵指示光柵夾角明暗相間條紋莫爾條紋移動dw6.4光柵莫爾條紋特性：（1）光學(xué)放大作用放大比k為若d=0.01mm，θ＝0.01rad，則w＝1mm，k＝100

6.4光柵x（2）均化誤差作用莫爾條紋→大量光柵線紋形成→誤差平均效應(yīng)→克服個別/局部誤差→提高精度

（3）莫爾條紋移動與柵距移動成比例（同步性）光柵移動一柵距d

→莫爾條紋移動一個間距w光柵移動方向相反，莫爾條紋移動方向也相反。在一個柵距d內(nèi)，光電元件所檢測的光強變化為正弦（或余弦）變化。6.4光柵6.8光柵傳感器圓光柵1076.8光柵傳感器辨向原理B1/4BY1Y2微分微分u1’u2’光敏元件莫爾條紋指示柵1086.8光柵傳感器細(xì)分技術(shù)細(xì)分技術(shù)是應(yīng)用數(shù)字傳感器時常用的一種技術(shù)，其目的是提高測量的分辨率和準(zhǔn)確度。各種數(shù)字傳感器的輸出均為脈沖，每個脈沖間隔相當(dāng)于一定的被測量，稱為脈沖當(dāng)量。脈沖當(dāng)量即為該傳感器的分辨率。所謂細(xì)分，就是在原信號的一個脈沖間隔內(nèi)，均分出n個脈沖間隔，使脈沖當(dāng)量減小至原來的1／n，將分辨率提高n倍。也即計數(shù)脈沖的頻率提高n倍，故也稱為n倍頻。常用的方法有：直接倍頻、位置細(xì)分、電橋細(xì)分、鑒幅細(xì)分和微機細(xì)分等。109細(xì)分技術(shù)位置細(xì)分基本原理是在一個信號周期內(nèi)安放兩個以上檢測元件。6.8光柵傳感器110細(xì)分技術(shù)位置細(xì)分加計數(shù)脈沖Q＋,減計數(shù)脈沖Q－和主計數(shù)脈沖Q的計算6.8光柵傳感器111細(xì)分技術(shù)鑒幅細(xì)分鑒幅細(xì)分是利用基準(zhǔn)信號在不同細(xì)分點的不同幅值來進行細(xì)分。6.8光柵傳感器1126.9光纖傳感器光纖結(jié)構(gòu)及其導(dǎo)光示意圖n1>n21136.9光纖傳感器數(shù)值孔徑1146.9光纖傳感器根據(jù)光纖在傳感器中的作用，光纖傳感器可以分為功能型光纖傳感器、非功能型、（傳光型）光纖傳感器和拾光型光纖傳感器三類。1156.9光纖傳感器功能型傳感器利用光纖本身的某種敏感特性或功能制成的傳感器，它不僅起傳輸光波的作用，還起著敏感元件的作用。光源光敏元件被測對象測得信息光導(dǎo)纖維1166.9光纖傳感器傳光型傳感器光纖僅僅起傳光媒介的作用，在光纖中斷部的端面加裝其它敏感元件構(gòu)成傳感器。光源光敏元件被測對象測得信息