GB/T 38866-2020電子工業(yè)用二氯硅烷

ICS7110020

G86..

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38866—2020

電子工業(yè)用二氯硅烷

Dichlorosilaneforelectronicindustry

2020-07-21發(fā)布2021-02-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T38866—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位湖北晶星科技股份有限公司湖北省標(biāo)準(zhǔn)化與質(zhì)量研究院洛陽中硅高科技有限

:、、

公司唐山三孚電子材料有限公司湖北光谷標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新科技有限公司廣東華特氣體股份有限公司浙江

、、、、

西亞特電子材料有限公司上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司大連大特氣體有限公司上海市計量測試

、、、

技術(shù)研究院聯(lián)雄投資上海有限公司隨州市信息與標(biāo)準(zhǔn)化所達(dá)州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢驗測試中心西

、()、、、

南化工研究設(shè)計院有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人豐雷葉家愛龔瑞楊劍劉暢萬燁張園園王春英戴帥謝秋琪袁樂

:、、、、、、、、、、、

傅鑄紅禹金龍楊利于青玉方華曹作斌曲慶陳鷹李春華黃輝譚鵬程鄧遠(yuǎn)方周鵬云李威

、、、、、、、、、、、、、、

方艾黎譚依玲

、。

Ⅰ

GB/T38866—2020

電子工業(yè)用二氯硅烷

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用二氯硅烷的技術(shù)要求檢驗規(guī)則試驗方法標(biāo)志包裝運輸儲存及安全

、、、、、、

的要求

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于歧化法制備的二氯硅烷

。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

危險貨物包裝標(biāo)志

GB190

化學(xué)試劑雜質(zhì)測定用標(biāo)準(zhǔn)溶液的制備

GB/T602

工業(yè)用化學(xué)產(chǎn)品采樣安全通則

GB/T3723

氬

GB/T4842

鋼質(zhì)無縫氣瓶

GB/T5099

氣瓶顏色標(biāo)志

GB/T7144

氣體中一氧化碳二氧化碳和碳?xì)浠衔锏臏y定氣相色譜法

GB/T8984、

電子級水

GB/T11446.1—2013

液化氣體氣瓶充裝規(guī)定

GB/T14193

化學(xué)品安全標(biāo)簽編寫規(guī)定

GB15258

氣瓶警示標(biāo)簽

GB/T16804

氣體分析氦離子化氣相色譜法

GB/T28726

不銹鋼焊接氣瓶

GB/T32566

電子工業(yè)用氣體中金屬含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

GB/T34972

氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程

TSGR0006

危險化學(xué)品安全管理條例年月日中華人民共和國國務(wù)院令第號公布年月

(2002126344,20112

日國務(wù)院第次常務(wù)會議修訂通過

16144)

特種設(shè)備安全監(jiān)察條例版中華人民共和國國務(wù)院令第號

(2009,549)

3技術(shù)要求

二氯硅烷的技術(shù)要求應(yīng)符合表的規(guī)定

1。

表1技術(shù)要求

項目名稱指標(biāo)

二氯硅烷純度體積分?jǐn)?shù)-2

(SiH2Cl2)()/10