標準解讀
《GB/T 36646-2018 制備氮化物半導體材料用氫化物氣相外延設備》是一項國家標準,該標準主要針對用于制備氮化物半導體材料的氫化物氣相外延(HVPE)設備提出了具體的技術要求。根據(jù)此標準,設備需滿足一定的設計與制造規(guī)范,以確保其在生產(chǎn)過程中能夠高效、穩(wěn)定地運行,并且保證所制備出的氮化物半導體材料具有良好的性能。
標準首先定義了適用范圍,明確了適用于采用氫化物氣相外延技術進行氮化鎵基半導體薄膜生長的專用設備。接著對術語和定義進行了詳細說明,包括但不限于“反應室”、“載氣系統(tǒng)”等關鍵組件的專業(yè)解釋,為后續(xù)內(nèi)容的理解打下基礎。
對于設備的基本參數(shù)和技術指標,該標準給出了明確的規(guī)定,比如溫度控制精度、氣體流量穩(wěn)定性等方面的要求,這些都是影響最終產(chǎn)品質(zhì)量的重要因素。此外,還特別強調(diào)了安全防護措施的重要性,如防爆設計、緊急停機功能等,以保障操作人員的人身安全及生產(chǎn)設備的安全運行。
關于測試方法部分,《GB/T 36646-2018》也做了詳盡描述,涵蓋了從安裝調(diào)試到正式投入使用前所需完成的各項檢測項目及其具體實施步驟,旨在通過科學合理的檢驗手段來驗證設備是否符合既定標準。
如需獲取更多詳盡信息,請直接參考下方經(jīng)官方授權(quán)發(fā)布的權(quán)威標準文檔。
....
查看全部
- 現(xiàn)行
- 正在執(zhí)行有效
- 2018-09-17 頒布
- 2019-01-01 實施





文檔簡介
ICS31220
L95.
中華人民共和國國家標準
GB/T36646—2018
制備氮化物半導體材料用
氫化物氣相外延設備
Equipmentforpreparationofnitridesemiconductormaterialsby
hydridevaporphaseepitaxy
2018-09-17發(fā)布2019-01-01實施
國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布
中國國家標準化管理委員會
GB/T36646—2018
目次
前言
…………………………Ⅲ
范圍
1………………………1
規(guī)范性引用文件
2…………………………1
術語和定義
3………………1
產(chǎn)品分類和標記
4…………………………2
分類
4.1…………………2
型號標記
4.2……………2
工作條件
5…………………3
電源
5.1…………………3
環(huán)境溫度
5.2……………3
相對濕度
5.3……………3
大氣壓力
5.4……………3
潔凈室等級
5.5…………………………4
冷卻水
5.6………………4
動力氣體
5.7……………4
要求
6………………………4
壓升率
6.1………………4
氣體輸運系統(tǒng)
6.2………………………4
電氣系統(tǒng)
6.3……………4
控制軟件
6.4……………4
整機性能
6.5……………5
安全防護
6.6……………5
檢測方法
7…………………6
壓升率測試
7.1…………………………6
氣體輸運系統(tǒng)檢測
7.2…………………6
電氣系統(tǒng)檢測
7.3………………………6
控制軟件檢測
7.4………………………7
整機性能檢測
7.5………………………7
安全防護檢測
7.6………………………9
檢驗規(guī)則
8…………………9
檢驗分類
8.1……………9
型式檢驗
8.2……………9
出廠檢驗
8.3……………10
Ⅰ
GB/T36646—2018
判定規(guī)則
8.4……………10
標志包裝運輸和儲存
9、、…………………10
標志
9.1…………………10
包裝
9.2…………………11
運輸
9.3…………………11
儲存
9.4…………………11
附錄規(guī)范性附錄氮化物外延材料厚度測量
A()………12
Ⅱ
GB/T36646—2018
前言
本標準按照給出的規(guī)則起草
GB/T1.1—2009。
請注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機構(gòu)不承擔識別這些專利的責任
。。
本標準由全國半導體設備和材料標準化技術委員會提出并歸口
(SAC/TC203)。
本標準起草單位東莞市中鎵半導體科技有限公司中國電子技術標準化研究院
:、。
本標準主要起草人劉鵬孫永健丁曉民馮亞彬王健輝
:、、、、。
Ⅲ
GB/T36646—2018
制備氮化物半導體材料用
氫化物氣相外延設備
1范圍
本標準規(guī)定了制備氮化物半導體材料用氫化物氣相外延設備以下簡稱設備的產(chǎn)品分
(“HVPE”)
類和標記工作條件要求檢測方法檢驗規(guī)則標志包裝運輸和儲存
、、、、、、、。
本標準適用于制備直徑氮化物半導體材料的設備
50.8mm~152.4mmHVPE。
2規(guī)范性引用文件
下列文件對于本文件的應用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文
。,
件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件
。,()。
包裝儲運圖示標志
GB/T191—2008
聲學聲壓法測定噪聲源聲功率級和聲能量級采用反射面上方包絡測量面
GB/T3768—2017
的簡易法
設備可靠性試驗恒定失效率假設下的失效率與平均無故障時間的驗證試
GB/T5080.7—1986
驗方案
機械電氣安全機械電氣設備第部分通用技術條件
GB5226.1—20081:
運輸包裝收發(fā)貨標志
GB/T6388—1986
半導體材料術語
GB/T14264—2009
潔凈廠房設計規(guī)范
GB50073—2013
工業(yè)企業(yè)噪聲控制設計規(guī)范
GB/T50087—2013
特種
溫馨提示
- 1. 本站所提供的標準文本僅供個人學習、研究之用,未經(jīng)授權(quán),嚴禁復制、發(fā)行、匯編、翻譯或網(wǎng)絡傳播等,侵權(quán)必究。
- 2. 本站所提供的標準均為PDF格式電子版文本(可閱讀打?。?,因數(shù)字商品的特殊性,一經(jīng)售出,不提供退換貨服務。
- 3. 標準文檔要求電子版與印刷版保持一致,所以下載的文檔中可能包含空白頁,非文檔質(zhì)量問題。
最新文檔
- 護理專業(yè)實訓體系構(gòu)建
- 護理宣教實施策略與方法
- 禮儀培訓核心內(nèi)容與實務指南
- 2025年九年級生物遺傳規(guī)律應用題專項測試卷:全面覆蓋中考題型
- 2025年養(yǎng)老護理員高級考試模擬試題:失能老人照護中的日常生活活動能力評估
- 財務報表分析工具試題及答案
- 德語TestDaF寫作技巧卷(附圖表描述萬能句式)高頻考點2025
- 2025年中考英語閱讀理解議論文邏輯分析技巧訓練試題
- 2025年鄉(xiāng)村醫(yī)生考試題庫:農(nóng)村中醫(yī)適宜技術中醫(yī)康復評定試題
- 2025年注冊土木工程師港口與航道工程真題解析與實戰(zhàn)演練
- 中西文化鑒賞智慧樹知到答案2024年鄭州大學
- 2024國開大學《經(jīng)濟學基礎》形考任務2答案
- 職業(yè)技術學院《新能源汽車結(jié)構(gòu)原理與維修》課程標準
- DL∕T 1901-2018 水電站大壩運行安全應急預案編制導則
- 實驗室可靠性測試計劃表
- 大型活動交通保障方案
- 醫(yī)院科研誠信自查報告
- 2024年濟南先投人才發(fā)展集團招聘筆試沖刺題(帶答案解析)
- 居間費用協(xié)議合同范本
- 云南省昆明市2023-2024學年高二下學期期末質(zhì)量檢測化學試題
- CJ343-2010 污水排入城市下水道水質(zhì)標準
評論
0/150
提交評論