GB/T 32642-2016平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測(cè)量方法

ICS31-030

L90

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T32642—2016

平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的

測(cè)量方法

Flatpaneldisplaysglasssubstratesurfaceroughnessmeasurementmethod

2016-04-25發(fā)布2016-11-01實(shí)施

中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T32642—2016

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別這些專利的責(zé)任

。。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)與全國(guó)工業(yè)玻璃和特種玻璃標(biāo)

(SAC/TC203)

準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)共同歸口

(SAC/TC447)。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位彩虹集團(tuán)公司中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院

:、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人黃寧歌王香裴會(huì)川李霜楊萬(wàn)來(lái)張春鵬

:、、、、、。

Ⅰ

GB/T32642—2016

平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的

測(cè)量方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)x測(cè)量平板顯示器基板玻璃表面粗糙度的測(cè)量方法

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于平板顯示器用基板玻璃表面粗糙度的測(cè)量

。

2術(shù)語(yǔ)和定義

下列術(shù)語(yǔ)和定義適用于本文件

。

21

.

觸針式表面粗糙度測(cè)量?jī)xstylussurfaceroughnessmeasuringinstrument

探針在被測(cè)面的一部分上沿輪廓滑行放大地記錄下表面的不平整性并指明放大曲線的振幅是表

,

面粗糙度數(shù)值范圍的儀器

。

22

.

截止長(zhǎng)波長(zhǎng)longwavelengthcut-off

λ

L

排除自然因素當(dāng)示蹤輪廓曲線通過(guò)消除波紋因素影響的高通波長(zhǎng)濾波器后振幅衰減率成為

,,

時(shí)的波長(zhǎng)

75%。

23

.

真實(shí)剖面曲線圖realprofile

目標(biāo)物體表面與垂直于該表面的一個(gè)平面的交叉線參見圖

(1)。

圖1剖面曲線

24

.

截止短波長(zhǎng)shortwavelengthcut-off

λ

S

示蹤剖面曲線通過(guò)濾除粗糙度因素影響的低通波長(zhǎng)濾波器后其波幅衰減率成為標(biāo)準(zhǔn)值時(shí)的