GB/T 25915.12-2021潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分：監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分

:

監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part12Secificationsfor

:p

monitoringofaircleanlinessbynanoscaleparticleconcentration

ISO14644-122018IDT

(:,)

2021-10-11發(fā)布2022-05-01實(shí)施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

目次

前言

…………………………Ⅰ

引言

…………………………Ⅱ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

監(jiān)測

4………………………3

檢測報(bào)告

5…………………3

附錄資料性以凝結(jié)粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行監(jiān)測的參照方法

A()……………5

附錄資料性粒子計(jì)數(shù)效率和分割粒徑

B()……………8

參考文獻(xiàn)

……………………10

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》12。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測

———2:;

第部分檢測方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃

ISO14644-12:2018《12:

度的技術(shù)要求

》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位中天道成蘇州潔凈技術(shù)有限公司中國電子工程設(shè)計(jì)院有限公司蘇州蘇信環(huán)

:()、、

境科技有限公司蘇州市計(jì)量測試院江蘇蘇凈工程建設(shè)有限公司江蘇嘉合潔凈科技有限公司中國標(biāo)

、、、、

準(zhǔn)化協(xié)會(huì)國家納米科學(xué)中心中國合格評(píng)定國家認(rèn)可中心南京天加環(huán)境科技有限公司美埃中國環(huán)

、、、、()

境科技股份有限公司中電投工程研究檢測評(píng)定中心有限公司吳江市華宇凈化設(shè)備有限公司常州祥

、、、

明智能動(dòng)力股份有限公司北京恒泰建業(yè)工程項(xiàng)目管理有限公司賀氏蘇州特殊材料有限公司

、、()。

本文件主要起草人王堯姜偉康蔡杰孫玉澄王其祥王大千姜皓遐朱蘭翟傳明蔣乃軍

:、、、、、、、、、、

邴紹同石小雷高正吳小泉葉偉強(qiáng)張敏董玉平郝胤博惠旅峰肖軼群

、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

引言

是采用系列國際標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測目的是指導(dǎo)監(jiān)測粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化合潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子污染濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子

———14:。

污染的測試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按化學(xué)污染物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適合性目的是通過對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈

———15:。

室產(chǎn)生化學(xué)污染的測試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分提高潔凈室和空氣凈化裝置能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境將污染物控制在適當(dāng)?shù)乃揭员阃瓿蓪?duì)污染敏感的活動(dòng)航空航天微電

,。、

子制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝受益于對(duì)懸浮污染物的控制

、、、、。

僅限于粒徑大于的粒子分級(jí)但在這個(gè)文件中包含小于納米粒

GB/T25915.3—2010100nm。100

子的資料性內(nèi)容且將小于的粒子稱為超微粒子而不是本文件所稱的納米粒子

,100nm,。

納米技術(shù)是最近才形成的領(lǐng)域一般涉及大約尺寸范圍的物質(zhì)為改善產(chǎn)品的性

,1nm~100nm。

能其特征尺寸越來越小成為其趨勢如微電子及與健康有關(guān)的許多工業(yè)現(xiàn)已生產(chǎn)納米尺度的產(chǎn)品

,,,。

有關(guān)粒徑特性的背景性文獻(xiàn)見參考文獻(xiàn)

[1]~[18]。

Ⅱ

GB/T2591512—2021/ISO14644-122018

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第12部分

:

監(jiān)測空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

1范圍

本文件給出了監(jiān)測粒徑限值不超過的納米尺度粒子濃度的技術(shù)要求

0.1μm(100nm)“”。

本文件給出的監(jiān)測技術(shù)要求主要用于動(dòng)態(tài)

“”。

注1本文件提及的納米尺度粒子是指所有在維上納米片維上納米纖維或維上納米粒子具有納米

:“”1()、2()3()

尺度的納米物質(zhì)

。

注2請(qǐng)注意潔凈室內(nèi)粒子的實(shí)際特性是由粒子的來源及其物理特性所決定的

:,。

注3本文件未考慮健康與安全事項(xiàng)

:。

2規(guī)范性引用文件

本文件沒有規(guī)范性引用文件

。

3術(shù)語和定義

下列術(shù)語和定義適用于本文件

。

和在以下網(wǎng)址維護(hù)用于標(biāo)準(zhǔn)化的術(shù)語數(shù)據(jù)庫

ISOIEC:

可從獲取

———IECElectropedia:/;

在線瀏覽平臺(tái)可從獲取

———ISO:/obp。

31通用

.

311

..

潔凈室cleanroom

空氣懸浮粒子濃度受控并分級(jí)的房間其設(shè)計(jì)建造到運(yùn)行均使進(jìn)入產(chǎn)生滯留于房間的粒子

,、、、

受控

。

注1規(guī)定了按空氣懸浮粒子濃度劃