標準解讀

GB/T 18994-2003是一項針對電子工業(yè)用氣體中高純氯的質量標準。該標準規(guī)定了高純氯的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸和儲存要求，旨在確保電子工業(yè)生產(chǎn)中使用的氯氣具有高度的純凈度和可靠性，以滿足精密半導體制造和其他高科技應用的嚴格需求。

技術要求

標準詳細說明了高純氯的各種質量指標，包括但不限于：

  • 純度：明確規(guī)定了氯氣中的雜質含量上限，如水分、氧、氮以及其他可能影響電子元件性能和生產(chǎn)過程的雜質元素含量需極低。
  • 外觀：要求氣體為無色、無懸浮物的澄清狀態(tài)。
  • 物理化學性質：規(guī)定了氣體的壓力、密度等理化指標范圍，確保其在特定條件下穩(wěn)定可用。
  • 包裝材料：對盛裝氣體的容器材質、清潔度有具體要求，防止二次污染。

試驗方法

標準提供了詳細的檢測方法，用于驗證氣體是否符合規(guī)定的純度和其他質量標準，包括氣相色譜法、光譜分析法等現(xiàn)代分析技術，以準確測定各種雜質成分的含量。

檢驗規(guī)則

明確了產(chǎn)品出廠前的檢驗程序，包括抽樣頻率、檢驗項目及合格判定準則，確保每批次產(chǎn)品均經(jīng)過嚴格的質量控制。

包裝、標志、運輸和儲存

  • 包裝：要求使用專用、清潔、干燥的鋼瓶或其他適宜容器進行密封包裝，防止氣體泄漏或污染。
  • 標志：規(guī)定了包裝上應清晰標注的產(chǎn)品信息，如品名、規(guī)格、批號、生產(chǎn)日期、有效期及生產(chǎn)廠家等，便于追蹤和安全管理。
  • 運輸：提供了運輸過程中應注意的安全措施，避免劇烈震動、高溫或明火，確保安全運輸。
  • 儲存：說明了儲存條件，如溫度、濕度、通風等要求，以及遠離不相容物質的存放原則。


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  • 被代替
  • 已被新標準代替，建議下載現(xiàn)行標準GB/T 18994-2014
  • 2003-03-05 頒布
  • 2003-08-01 實施
?正版授權
GB/T 18994-2003電子工業(yè)用氣體高純氯_第1頁
GB/T 18994-2003電子工業(yè)用氣體高純氯_第2頁
GB/T 18994-2003電子工業(yè)用氣體高純氯_第3頁
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文檔簡介

ICS71.100.20G86中華人民共和國國家標準GB/T18994-一2003電子工業(yè)用氣體高純氯Gasesforelectronicindustry-Highpuritychlorine2003-03-05發(fā)布2003-08-01實施中華人民共和國愛布國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局

GB/T18994一2003前本標準對應于國際半導體設備與材料組織SEMIC3.32:1995《純度為99.996%的氯標準》(英文版),本標準與SEMIC3.32:1995的一致性程度為非等效·主要技術差異如下：-質量指標中增加了對濕度的要求；-對金屬雜質的要求改為由用戶和供應商之間商定：-檢驗方法中根據(jù)我國的實際水平做了相應的改動。本標準的附錄A是資料性附錄。本標準由原化學工業(yè)部提出。本標準由全國氣體標準化技術委員會歸口。本標準起草單位：光明化工研究設計院。本標準主要起草人：孔祥芝、余中玉。

GB/T18994-2003電子工業(yè)用氣體高純氯范范國本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氣體高純氯產(chǎn)品的技術要求、試驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、運輸及廣存和安全要求。本標準適用于以工業(yè)液氯為原料,采用物理吸附等過程生產(chǎn)的高純氯產(chǎn)品。該產(chǎn)品主要用于大規(guī)模集成電路、光導纖維、高溫超導、鋁加工等高新技術領域分子式：l、相對分子質量：70.906(按1999年國際相對原子質量)101.3kPa下的澇點：-34.05C。101.3kPa下的焙點：-101.0C。101.3kPa及20℃下氣體的密度：2.980kg/m22規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標準的引用而成為本標準的條款。凡是注日期的引用文件.其隨后所有的修改單(不包括誤的內容)或修訂版均不適用于本標準,然而，鼓勵根據(jù)本標準達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標準。GB190危險貨物包裝標志GB5099鋼質無縫氣瓶(GB5099—1994.neqISO4705)GB/T5274氣體分析校準用混合氣體的制備稱量法（GB/T5274一1985.eqvISO6142)GB/T5832.1氣體中微量水分的測定電解法GB7144氣瓶顏色標志GB/T7445純氫、高純氫和超純氫GB/T8980高純氮3要求高純氯的質量指標應符合表1的要求表1質量指標指氯(CL)氣的體積分數(shù)99.996×10-氧(O.)的體積分數(shù)4X10-氮(N.)的體積分數(shù)20×10-一氧化碳(CO)的體積分數(shù)1×10-二氧化碳(CO.)的體積分數(shù)10×10-經(jīng)(C～C.）的體積分數(shù)1X10-水(H.O)的體積分

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