GB/T 14144-1993硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法

標(biāo)準(zhǔn)解讀

《GB/T 14144-1993 硅晶體中間隙氧含量徑向變化測(cè)量方法》是一項(xiàng)由中國(guó)發(fā)布的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)，旨在規(guī)定硅晶體材料中間隙氧含量沿半徑方向變化的測(cè)定方法。該標(biāo)準(zhǔn)適用于單晶硅材料，特別是用于半導(dǎo)體器件制造的高純度硅晶片，因?yàn)殚g隙氧含量直接影響到硅片的電性能和可靠性。

標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容概覽

1. 范圍：明確了本標(biāo)準(zhǔn)適用的硅晶體類型及測(cè)量目的，即測(cè)定硅晶體內(nèi)部沿徑向分布的間隙氧濃度。

2. 術(shù)語(yǔ)和定義：對(duì)“間隙氧”、“徑向變化”等關(guān)鍵術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了明確界定，以便統(tǒng)一理解和操作。

3. 原理：介紹了測(cè)量的基本原理，通常涉及利用紅外光譜、質(zhì)譜或其他分析技術(shù)來(lái)檢測(cè)硅晶體內(nèi)不同位置的間隙氧含量。間隙氧是指不占據(jù)正常晶格位置的氧原子，它們可能影響材料的電學(xué)性質(zhì)。

4. 儀器與設(shè)備：詳細(xì)列出了進(jìn)行該測(cè)量所需的儀器設(shè)備規(guī)格和性能要求，包括高精度切割工具、氧含量檢測(cè)儀器等，確保測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。

5. 樣品制備：規(guī)范了從硅晶體中取樣以進(jìn)行徑向變化測(cè)量的具體步驟，包括樣品的切割、清潔、處理等，以避免外部污染或損傷影響測(cè)試結(jié)果。

6. 測(cè)量步驟：詳細(xì)描述了測(cè)量過(guò)程，包括如何在樣品的不同徑向位置取點(diǎn)、如何進(jìn)行氧含量的精確測(cè)量以及數(shù)據(jù)記錄的要求。

7. 計(jì)算與表達(dá)：提供了計(jì)算間隙氧含量及其徑向分布的方法，以及如何正確表達(dá)和報(bào)告測(cè)量結(jié)果，確保數(shù)據(jù)的標(biāo)準(zhǔn)化和可比性。

8. 精密度與準(zhǔn)確度：闡述了測(cè)量過(guò)程中可能的誤差來(lái)源，并給出了評(píng)估測(cè)量精密度和準(zhǔn)確度的方法，幫助用戶理解結(jié)果的可靠性。

9. 試驗(yàn)報(bào)告：規(guī)定了試驗(yàn)報(bào)告應(yīng)包含的信息內(nèi)容，如樣品信息、測(cè)試條件、測(cè)量結(jié)果及必要的數(shù)據(jù)分析等，便于結(jié)果的交流和追溯。

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