GB/T 13742-1992光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量準(zhǔn)確度

UDC535.3：53.08N33中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)CB/T13742-92光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量準(zhǔn)確度Opticaltranserfunction-accuracyofmeasurement1992-11-04發(fā)布1993-08-01實(shí)施國(guó)家技術(shù)監(jiān)督局發(fā)布

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T13742-92光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量準(zhǔn)確度Opticaltranserfunction-accuracyofmeasurement主題內(nèi)容與適用范圍本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了對(duì)光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量裝置的性能和準(zhǔn)確度進(jìn)行評(píng)價(jià)的導(dǎo)則，并提出了光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量中的主要誤差來(lái)源、誤差的檢驗(yàn)方法、誤差計(jì)算、測(cè)量準(zhǔn)確度等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種光學(xué)傳遞函數(shù)測(cè)量裝置。2引用標(biāo)準(zhǔn)GB4315.1光學(xué)傳遞函數(shù)術(shù)語(yǔ)符號(hào)GB4315.2光學(xué)傳遞西數(shù)測(cè)量導(dǎo)則3測(cè)量裝置的誤差來(lái)源3.1光學(xué)臺(tái)的幾何條件光學(xué)臺(tái)用于安放“測(cè)試圖樣”、"被測(cè)樣品”以及“像分析器”,使它們處于正確的幾何關(guān)系下(即：由選擇的成像狀態(tài)來(lái)定義)。為了滿(mǎn)足正確的幾何關(guān)系·通常要靠導(dǎo)軌的直線性、導(dǎo)軌之間的垂直度、或被測(cè)樣品相對(duì)于參考面之間的平行度以及角度標(biāo)尺的準(zhǔn)確度來(lái)保證。香則,將導(dǎo)致對(duì)理想的成像狀態(tài)的偏離，引起光學(xué)傳遞兩數(shù)的測(cè)量誤差。光學(xué)臺(tái)幾何參數(shù)對(duì)測(cè)量準(zhǔn)確度的影響取決于所采用的瀏量布局,下面所列為GB4315.2所推薦的測(cè)量布局中的主要誤差源及產(chǎn)生的MTF偏差。3.1.1物和像均處于有限遠(yuǎn)測(cè)試圖樣和像分析器的導(dǎo)軌必須垂直于“參考軸”。直線度和垂直度偏差將造成對(duì)理想像面的偏離，從而導(dǎo)致MTF測(cè)量誤差由像高以及物像距的裝定所帶來(lái)的誤差也會(huì)對(duì)MTF測(cè)量產(chǎn)生影響。3.1.2物處于無(wú)限遠(yuǎn)此種狀態(tài)下只有像方（或物方)導(dǎo)軌相對(duì)于理想像面的偏離和像高或視場(chǎng)角的裝定誤差會(huì)對(duì)MIF測(cè)量產(chǎn)生影響。若使用準(zhǔn)直物鏡，還存在物方無(wú)限遠(yuǎn)的調(diào)整誤差。若未使用準(zhǔn)直物鏡，而是采用加長(zhǎng)物距來(lái)近似無(wú)限遠(yuǎn)的情況下,必須保證足夠遠(yuǎn)的物距，至少在鏡頭的50倍焦距以上(除非特殊規(guī)定)。否則，將造成較大的MTF偏差。3.1.3物和像均處于無(wú)限遠(yuǎn)此種狀態(tài)下,當(dāng)改變像方視場(chǎng)角時(shí)，像方準(zhǔn)直管必須與像分析器連動(dòng),并繞一個(gè)通過(guò)出障、且垂直于參考軸的軸線旋轉(zhuǎn)，以保證像分析器與無(wú)焦系統(tǒng)之間不產(chǎn)生橫向偏移,從而不產(chǎn)生由于工作焦點(diǎn)隨像方角度改變而帶來(lái)的MTF誤差。如果所采用的測(cè)量布局無(wú)法保證上述要求，或者由