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文檔簡(jiǎn)介
2023/2/11材料表面界面
材料科學(xué)與工程學(xué)院2013年3月2023/2/12緒論內(nèi)容簡(jiǎn)介一、材料表面物理化學(xué)二、材料表面界面特性三、材料表面新技術(shù)2023/2/13一、材料表面物理化學(xué)1、晶體結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)2、表面結(jié)構(gòu)3、表面能與表面張力4、固體表面的潤(rùn)濕5、Laplace方程、Kelvin方程與Coble方程6、表面吸附2023/2/147、
表面原子擴(kuò)散
8、
粘附與粘附功
9、
晶界結(jié)構(gòu)
10、晶界應(yīng)力-本征應(yīng)力與熱應(yīng)力
11、表面膜層的應(yīng)力
12、梯度功能材料介紹2023/2/15二、材料表面新技術(shù)
1、材料表面的功能化2、離子注入技術(shù)3、動(dòng)態(tài)混合技術(shù)4、等離子體浸沒(méi)離子注入(PIII技術(shù))5、PIII-IBED技術(shù)
2023/2/16參考教材:
1、材料表面工程導(dǎo)論,趙文軫,西安交通大學(xué)出版社,19982、表面與界面物理,惲正中,電子科技大學(xué)教材
3、
BiomaterialsScience
—
AnIntroductiontoMaterialsinMedicine,EditedbyBuddyD.RatnerandAllanS.Hoffman,AcademicPress2023/2/17晶體結(jié)構(gòu)的基本問(wèn)題1、晶體
按一定規(guī)律在空間作周期性排列的微粒(離子、原子、分子)聚合體2、晶體結(jié)構(gòu)
微粒在空間的排布規(guī)律(晶系)及微粒間的作用力(鍵合)
2023/2/183、晶體結(jié)構(gòu)中的鍵合類型
金屬鍵:依靠屬于整個(gè)晶格的非定域電子而鍵合―――金屬晶體
離子鍵:依靠正負(fù)離子間的靜電引力而結(jié)合―――離子晶體
共價(jià)鍵:依靠原子間共用電子對(duì)而結(jié)合
―――原子晶體
分子間力:依靠Vanderwaals力而結(jié)合
―――分子晶體
2023/2/19第一講晶體表面結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)
一、潔凈表面結(jié)構(gòu)二、表面迭層三、實(shí)際表面
2023/2/110一、潔凈表面結(jié)構(gòu)
1、表面的基本概念
(1)
表面Surface
通常的表面是指固氣界面或固液界面。凝聚態(tài)物質(zhì)靠近氣體或真空的一個(gè)或幾個(gè)原子層(0.5-10nm)
2023/2/111
表面原子的排列與內(nèi)部有較為明顯的差別,表面處原子周期性排列中斷,形成附加表面能。
為減小表面能,原子排列必須作相應(yīng)調(diào)整。對(duì)晶體而言,經(jīng)過(guò)4-6層后,原子排列與晶體內(nèi)基本接近(晶格常數(shù)差小于0.1A)2023/2/112(2)
清潔表面CleanedSurface
未經(jīng)其他物質(zhì)污染的表面經(jīng)過(guò)特殊處理(離子轟擊、解理、外延、熱蝕、場(chǎng)效應(yīng)蒸發(fā)等)后,保持在10-9―10-10torr超高真空下的表面2023/2/113(3)實(shí)際表面PracticalSurface
實(shí)際存在的表面,表面上發(fā)生大量的吸附與化合等
2023/2/1142、表面原子點(diǎn)陣
(1)晶體表面的Bravais點(diǎn)陣
baγ2023/2/115
根據(jù)平面點(diǎn)陣的a、b和夾角γ可以將其分為5種Bravais點(diǎn)陣
a、非直角點(diǎn)陣:a≠b,γ≠90
b、四方點(diǎn)陣:a=b,γ=90
c、六角點(diǎn)陣:a=b,γ=120
d、矩形點(diǎn)陣:a≠b,γ=90
e、面心矩形點(diǎn)陣:a≠b,γ=902023/2/116(2)
襯底晶格(substratestructurelattice)
晶體內(nèi)原子排列稱為襯底晶格,亦稱為底物結(jié)構(gòu)
2023/2/1173、表面原子的重組機(jī)理
由于表面原子排列中斷,引起系統(tǒng)自由能的增加,并由此引起表面附加原子排列的調(diào)整
――自行排列調(diào)整;外來(lái)物質(zhì)調(diào)整2023/2/118a、表面弛豫作用(Relaxation)
表面區(qū)原子或離子間的距離偏離體內(nèi)晶格常數(shù),而晶胞結(jié)構(gòu)基本不變,這種情況稱為表面弛豫作用。層間距縮短為負(fù)弛豫;層間距增長(zhǎng)為正弛豫
2023/2/119
由于表面原子移動(dòng)到新的平衡位置,改變了最表層與第二層的間距,形成帶有褶皺的周期起伏表面
弛豫作用不僅改變了層間距,而且還改變了鍵角,但表面原子的配位數(shù)和轉(zhuǎn)動(dòng)對(duì)稱性不變
2023/2/120
引起弛豫作用的根本原因是表面原子鍵合性質(zhì)的改變。斷鍵電子向未斷鍵的轉(zhuǎn)移使鍵合增強(qiáng)而帶來(lái)負(fù)弛豫;表面鍵合相對(duì)減弱使熱振蕩頻率降低、振幅增加,形成正弛豫。
對(duì)離子晶體而言,正負(fù)離子分別產(chǎn)生負(fù)弛豫和正弛豫后,在表面附加形成雙電層結(jié)構(gòu)
2023/2/1212023/2/122b、表面重構(gòu)(Reconstruction)
在平行于襯底的表面上,原子的平移對(duì)稱性與體內(nèi)有明顯不同,原子作了較大幅度的調(diào)整,這種表面結(jié)構(gòu)稱為表面重構(gòu),表面重構(gòu)包括兩種類型:
a、超晶格(superlattic)的形成:表面晶面與體內(nèi)完全不同
b、表面原胞尺寸增加:晶格常數(shù)增大
2023/2/123
發(fā)生表面重構(gòu)的原因是價(jià)鍵在表面處發(fā)生了畸變。2023/2/124例:
Si晶體內(nèi)所有Si原子sp3雜化而鍵合,原子以四面體型聯(lián)接,成為金剛石結(jié)構(gòu)。在(111)面上由于懸掛鍵的存在,發(fā)生退雜化,生成sp2雜化加p鍵,或生成p3加s1鍵
s2+p2―――sp3
鍵角109
s2+p2―――sp2+p1鍵角120
s2+p2―――p3+s1
鍵角90
2023/2/125
由于鍵角的改變,將使表面Si原子的位置發(fā)生移動(dòng),造成表面重構(gòu)――表面相轉(zhuǎn)變2023/2/1264、清潔表面的缺陷
(1)
TLK表面模型
晶體的表面實(shí)際上并非原子級(jí)的平坦,通常所說(shuō)的表面實(shí)際上為名義表面。在實(shí)際的潔凈表面上存在著大量的平臺(tái)(Terrace)、臺(tái)階(Ledge)和扭折(Kink,亦稱為斷口)。該結(jié)構(gòu)稱為T(mén)LK模型
2023/2/127
由于表面上的原子處于不停的熱振蕩中,表面原子可以掙脫其他原子的束縛運(yùn)動(dòng)到周圍環(huán)境中,也可以由環(huán)境中回歸到表面
在表面上,往往存在20-1000?,甚至于2000?的臺(tái)階
隨環(huán)境溫度的上升,表面上的扭折會(huì)相應(yīng)增加
2023/2/128TerraceLedgeKink2023/2/129
在TLK模型中,不同位置的原子配位數(shù)有較大差異,以簡(jiǎn)單立方堆積(100)面為例
:位置體內(nèi)平臺(tái)臺(tái)階扭折配位數(shù)65432023/2/130(2)表面點(diǎn)缺陷
對(duì)潔凈表面來(lái)講,其表面點(diǎn)缺陷主要是原子熱運(yùn)動(dòng)造成的表面空位或空位團(tuán)簇(Cluster)
2023/2/131(3)表面線缺陷
刃型位錯(cuò)在表面露頭形成一原子尺寸大小的孔道;螺型位錯(cuò)在表面形成一臺(tái)階
2023/2/132二、表面迭層
實(shí)際上,表面除存在上述各種與晶體體內(nèi)的異同外,由于表面原子的活性及雜質(zhì)的存在,還會(huì)在表面上形成吸附、化合、偏析等各種現(xiàn)象
2023/2/1331、迭層(Overlayer)
其它原子進(jìn)入表面而出現(xiàn)體內(nèi)不存在的表面結(jié)構(gòu)稱為迭層2023/2/1342、吸附(Adsorption)
由于表面原子存在懸鍵(Danglingband),具有接收外來(lái)質(zhì)點(diǎn)的趨勢(shì),從而造成對(duì)外來(lái)物的吸附。根據(jù)吸附性質(zhì)的不同,可以分為物理吸附和化學(xué)吸附
2023/2/135a、物理吸附:依靠Vanderwaals力進(jìn)行的吸附;吸附作用弱,吸附能一般小于40kJ/mol;吸附范圍為幾個(gè)單分子層;隨溫度升高吸附作用減弱b、化學(xué)吸附:以化學(xué)鍵進(jìn)行的吸附;吸附作用強(qiáng),吸附能大于40kJ/mol;吸附范圍為一個(gè)分子層;隨溫度升高吸附作用增強(qiáng)
2023/2/1363、化合(chemicalcombination)
外來(lái)質(zhì)點(diǎn)與表面發(fā)生化學(xué)鍵聯(lián),并生成具有確定組成的表面層
2023/2/1374、偏析(Segregation)
雜質(zhì)原子從晶體內(nèi)部分凝出來(lái)集中在表面而形成偏析層2023/2/1385、吸附后的表面結(jié)構(gòu)
由于表面吸附作用的存在,表面結(jié)構(gòu)與晶體內(nèi)部以及理想晶體表面均存在較大差異
如NiO表面結(jié)構(gòu):
NiO為NaCl型結(jié)構(gòu)(面心立方結(jié)構(gòu)),表面原始配位為正四方錐,發(fā)生表面吸附后,表面原子鍵趨向飽和,表面配位呈正八面體
2023/2/1392023/2/140三、實(shí)際表面
實(shí)際表面是指經(jīng)過(guò)一定加工處理,保持在常溫常壓下的表面??梢允菃尉А⒍嗑?、粉體或非晶體――――真實(shí)表面
2023/2/1411、表面的外形和表面粗糙度
固體表面不平整度的描述形狀誤差(波紋距d>10mm)
波紋度(d=1-10mm)
粗糙度(d<1mm)
表面粗糙度與表面光潔度
(Surfaceroughness)
宏觀不平整度,與表面臺(tái)階的概念不同
2023/2/1422、表面組織
經(jīng)過(guò)機(jī)械加工的表面,其一定區(qū)域的厚度層內(nèi),晶粒尺寸與體內(nèi)有較大差異。尤其是經(jīng)研磨拋光的表面層的晶粒非常細(xì)
2023/2/143
A、區(qū)域熔化效應(yīng)
研磨拋光時(shí),由于表面的不平整度,摩擦是的接觸往往是點(diǎn)接觸,接觸點(diǎn)在高速摩擦下可達(dá)非常高的溫度,使局部區(qū)域熔化,造成形變和再結(jié)晶,使晶粒變細(xì),甚至于以非晶態(tài)形式存在
2023/2/144
B、貝爾比(Beilby)層
經(jīng)機(jī)械研磨拋光的大部分處理表面,會(huì)產(chǎn)生一薄層與體內(nèi)性質(zhì)有明顯差別的非晶態(tài)層,稱為Beilby層50――1000?
2023/2/145
C、加工方式對(duì)表面組織的影響
加工方式影響;體積應(yīng)力及織構(gòu)應(yīng)力的產(chǎn)生與消除
2023/2/1463、表面成分
A、金屬的表面成分
金屬表面成分特征:表面氧化層的生成,對(duì)變價(jià)元素則呈逐級(jí)氧化。即形成:空氣/高價(jià)氧化物/低價(jià)氧化物/金屬表面層空氣/Fe2O3
/Fe3O4
/FeO/Fe
2023/2/147
B、合金表面成分:
合金表面成分特征:表面氧化層的生成,且往往會(huì)出現(xiàn)一種或多種氧化物的偏析。10%Cr的鉻鋼表面:空氣/高價(jià)氧化鐵/低價(jià)氧化鐵/低價(jià)氧化鐵+氧化鉻/鐵+氧化鉻/鐵+鉻
空氣
/Fe2O3
/Fe3O4
/FeO
+Cr2O3/Fe+Cr2O3/Fe+Cr
2023/2/148
C、化合物表面成分a、表面氧化作用及氧的吸附b、氧化物表面離子缺位――弱束縛粒子形成――帶電缺陷及表面電導(dǎo)c、玻璃及陶瓷表面OH基團(tuán)的鍵合及表面吸附水――水解作用
2023/2/1494、高溫下實(shí)際固體表面
高溫下的實(shí)際固體表面除上述成分與組織的差異外,由于表面質(zhì)點(diǎn)的熱運(yùn)動(dòng),同樣會(huì)在表面附近生成臺(tái)階、斷口、空位(空位團(tuán))等結(jié)構(gòu)
所有這些均會(huì)對(duì)處理表面性質(zhì)產(chǎn)生非常大的影響
2023/2/150第二講固體表面性質(zhì)
1、表面能與表面張力2、彎曲表面3、表面潤(rùn)濕4、其它表面現(xiàn)象2023/2/151一、表面能與表面張力
1、表面能
表層原子與內(nèi)部原子狀態(tài)不同,表面原子能量高于體內(nèi)原子能量。如果要把一個(gè)原子從內(nèi)部移到表面,增大表面積,就必須克服體系內(nèi)部原子之間的吸引力而對(duì)體系作功
2023/2/152
當(dāng)dT=0、dP=0、dni=0時(shí),每增加單位表面積對(duì)體系所作的可逆非膨脹功:
-W=.dA
(體系對(duì)環(huán)境作功為+,環(huán)境對(duì)體系作功為-)對(duì)包含非膨脹功的體系:
dG=-S.dT+V.dP+.dA+i.dni2023/2/153
其中,是在T、P及組份不變時(shí),每增加一個(gè)單位面積的表面時(shí)自由能的增加值,即環(huán)境對(duì)體系所作的表面功轉(zhuǎn)變?yōu)楸韺恿W颖葍?nèi)層粒子多余的自由能,稱為表面自由能,簡(jiǎn)稱為表面能
表面能單位:J/m2erg/cm22023/2/154
2、表面張力
表面上存在的一種力圖使表面積縮小的張力,稱為表面張力
表面張力作用在表面上任意一條線的兩側(cè),垂直于該線,沿著表面方向指向線兩側(cè)
表面張力單位:N/mdyn/cm
2023/2/1552023/2/1563、表面張力與表面能的關(guān)系(1)液體體系
液體狀態(tài)下表面張力與表面能大小相等
2023/2/157F=2.L=F/2L過(guò)程中外力作功
W=F.X=2.L.X=.△A因此,
=W/△A即每增加一個(gè)單位新表面所需作的功
--――表面能
ABCFGDELX2023/2/158
(2)
固體體系
對(duì)于固體體系,外力作用除了表現(xiàn)為表面積的增加外,有一部分變?yōu)楣腆w的塑性變形
因此表面自由能表面張力
固體表面張力:向表面上增加原子以建立新表面時(shí)所作的可逆功定義為固體的表面張力2023/2/159二、固體的表面能
處于晶體內(nèi)部的原子受到最鄰近與次鄰近原子的對(duì)稱力場(chǎng)的作用;而處于表面的原子則受到不對(duì)稱力場(chǎng)的作用。因此,表面附近原子的幾何圖形、電子結(jié)構(gòu)、缺陷分布等均受到較大影響
固體能量的表征:
固體自由能=體積自由能+表面自由能
2023/2/160
1、固體表面自由能
考察絕對(duì)零度真空條件下,一個(gè)原子從晶體內(nèi)部遷移晶體表面時(shí)自由能的變化情況
設(shè)T=0,P=0,則將一個(gè)原子從晶體內(nèi)部遷移到晶體表面
2023/2/161
(U)SV――第i個(gè)原子在晶體表面與在晶體內(nèi)部?jī)?nèi)能差
Uib――第i個(gè)原子在晶體內(nèi)部與最鄰近原子作用能
Uis――第i個(gè)原子在晶體表面與最鄰近原子作用能
nib――第i個(gè)原子在晶體內(nèi)部時(shí)與最鄰近原子的配位數(shù)
nis――第i個(gè)原子在晶體表面時(shí)與最鄰近原子的配位數(shù)
2023/2/162從體積內(nèi)部拆除第i個(gè)原子所需能量為:
Uib.nib/2從晶體表面拆除第i個(gè)原子所需能量為:
Uis.nis/2令Uib=Uis
其中U0為晶格能,N為阿伏加德羅常數(shù)2023/2/163
令單位面積表面上原子數(shù)目(表面原子面密度)為L(zhǎng)S
則
此即0K時(shí)的表面能――未考慮表面晶格變化和鍵合性質(zhì)變化
2023/2/1642、固體表面能的計(jì)算值與實(shí)驗(yàn)值的差異
在實(shí)際晶體表面,由于鍵合性質(zhì)有較大變化,表面結(jié)構(gòu)亦有不同,造成了表面能計(jì)算值與實(shí)驗(yàn)值的巨大差異
如:MgO晶體的表面能計(jì)算值:24.5J/m2
實(shí)驗(yàn)值:1.28J/m2
――――相差近20倍
2023/2/165
3、影響固體表面能的因素
(1)表面結(jié)構(gòu)變化
由于表面弛豫及表面重構(gòu)現(xiàn)象的產(chǎn)生,尤其是大陰離子小陽(yáng)離子晶體的弛豫,表面形成雙電層,導(dǎo)致表面有效原子密度的變化
2023/2/166
(2)表面鍵合性質(zhì)變化
由于表面弛豫及表面重構(gòu)現(xiàn)象的產(chǎn)生,表面原子鍵合性質(zhì)發(fā)生相應(yīng)變化,造成表面原子有效配位數(shù)的差異
2023/2/167
(3)表面缺陷的存在
由于表面存在大量的階梯、扭折、空位等表面缺陷,且在這些缺陷處原子的配位數(shù)交較大變化,造成表面實(shí)際配位數(shù)與理論配位數(shù)的差異
2023/2/168
(4)表面積偏離
由于表面缺陷的存在及表面的宏觀不平整度,造成表面實(shí)際有效面積與理論計(jì)算面積的差異
2023/2/169
(5)其它因素影響a、環(huán)境溫度的變化造成表面熱缺陷濃
度的改變b、表面吸附、化合等造成影響c、雜質(zhì)偏析造成的影響……
2023/2/170三、固體的表面張力
固體的表面張力收固體表面狀態(tài)影響非常大,同一晶體的不同晶面、同一晶面在不同表面缺陷濃度下、同一固體在不同粒度下、相同顆粒在不同條件下,其表面張力的測(cè)定值均有所不同
2023/2/171
通常對(duì)固體表面張力的測(cè)定是通過(guò)解理固體單晶時(shí)所消耗的斷裂功來(lái)表征
或通過(guò)測(cè)定晶體及其粉末的溶解熱差異來(lái)求取固體的表面張力
2023/2/172四、彎曲表面的附加壓力
―――Laplace方程
1、彎曲表面附加壓力的產(chǎn)生
彎曲表面上,由于各處表面張力的方向?yàn)樵擖c(diǎn)切線方向,不在同一平面上,對(duì)整個(gè)曲面而言,其法線方向的合力不為零,使彎曲表面產(chǎn)生一個(gè)附加壓力
2023/2/173
如果平表面的壓力為P0,彎曲表面產(chǎn)生的壓力差為P,則彎曲表面承受的總壓力為P=P0+P,附加壓力方向總是指向彎曲表面的曲率中心
P0P=P0P0P=P0+PP0P=P0-P2023/2/174對(duì)球形表面,P
=2/r為表面張力,r為表面曲率半徑對(duì)平表面:r=∞,P=0,P=P0;對(duì)凸表面:r﹥0,P﹥0,P=
P+P0﹥P0;對(duì)凹表面:r﹤0,P﹤0,P=
P+P0﹤P0。
2023/2/175
考察液體中氣泡的形成及擴(kuò)張過(guò)程
(1)、將毛細(xì)管插入液內(nèi),忽略重力因素,液體內(nèi)壓力為P02、彎曲表面附加壓力的計(jì)算PP0P0R2023/2/176(2)、向管內(nèi)吹氣,在管端產(chǎn)生一個(gè)氣泡,半徑為R,壓力為P(3)、若把管內(nèi)壓力增加,氣泡體積增大dV,表面積增加dA
2023/2/177
(4)、過(guò)程中,環(huán)境對(duì)體系作功為PdV,
其中包括氣泡反抗液壓膨脹所作體積功P0dV及克服表面張力所作功,即擴(kuò)大表面積所需表面能:
PdV=P0.dV+
.dA(P-P0).dV=P.dV=
.dA
2023/2/178將dA、dV代入,得:此即為彎曲表面的附加壓力!2023/2/1793、非球面的附加壓力計(jì)算
對(duì)非球面表面,以其第一曲率半徑和第二曲率半徑來(lái)表示:其中R1、R2分別為曲面的主曲率半徑。此方程稱為L(zhǎng)aplace方程2023/2/180
由此可見(jiàn),表面張力引起的附加壓力隨彎曲表面的曲率半徑而變化,當(dāng)R很小時(shí),P很大。一般P最大可達(dá)幾十kg/cm22023/2/181五、彎曲表面上的飽和蒸汽壓
―――Kelvin方程
溫度T時(shí),一凝聚相與其蒸汽平衡:凝聚相C(T,P)=飽和蒸汽S(T,P’)
此時(shí)GC=GS,T為體系溫度,P為凝聚相所收壓力,P’為飽和蒸汽壓,GC和GS分別為凝聚相和蒸汽的自由能
2023/2/182
凝聚相表面為彎曲表面時(shí),所受壓力發(fā)生變化,相應(yīng)蒸汽壓也變化,并重新平衡。過(guò)程中凝聚相和蒸汽的自由能變化應(yīng)相等
2023/2/183而dG=-SdT+VdP;當(dāng)dT=0時(shí)
dG=VdP即
2023/2/184對(duì)凝聚相而言對(duì)蒸汽而言,將其視作理想氣體
2023/2/185Let:1、VC不隨壓力變化,即VC=const2、凝聚相為平面是所受壓力為P0,蒸汽壓為P0’;凝聚相為半徑r的曲面時(shí)所受壓力為P1,蒸汽壓為P1’
2023/2/186則即而故
――――Kelvin方程
2023/2/187
其中:
為彎曲表面蒸汽壓;平表面蒸汽壓;表面張力;M凝聚相分子量;凝聚相密度;r表面曲率半徑;R氣體普適常數(shù);T絕對(duì)溫度
2023/2/188曲面為非球面時(shí):
由此可見(jiàn):凸表面r0,凹表面r0,平表面r=,
2023/2/189六、彎曲表面的過(guò)??瘴粷舛?/p>
―――Coble方程
固體中存在氣孔,以孔隙率(Porosity,亦稱為迷宮度)來(lái)表征
固體的氣孔表面也是彎曲表面,在表面張力的作用下,所產(chǎn)生的負(fù)壓使氣孔表面附近的空位濃度比平表面或體積內(nèi)部的濃度大
實(shí)際上,由于氣孔表面為凹表面,表面張力所產(chǎn)生的附加壓力有將表面附近質(zhì)點(diǎn)向孔內(nèi)拉的趨勢(shì)
2023/2/190
1、致密晶體中空位濃度
A、雜質(zhì)缺陷濃度
由雜質(zhì)引入而帶來(lái)的空位與該處雜質(zhì)的濃度有關(guān)
B、熱缺陷濃度其中,C0――熱缺陷濃度;n――單位體積內(nèi)缺陷個(gè)數(shù);n0――單位體積內(nèi)格點(diǎn)總數(shù);E0――熱缺陷形成的激活能;k――玻爾茲曼常數(shù);T――體系溫度
2023/2/1912、氣孔表面空位產(chǎn)生情況
若固體中存在氣孔,半徑為r,因而氣孔中存在以附加負(fù)壓
P
=2/r
令一個(gè)原子從表面移動(dòng)到氣孔,所形成的空位體積為V=a03(a0為晶格常數(shù)),則P作用下體系對(duì)環(huán)境作功:
2023/2/192氣孔彎曲表面形成空位所需能量為:氣孔表面空位濃度為:
2023/2/193―――――Coble方程
2023/2/194故、C=C0+C:
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