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文檔簡介
無塵室裝修施工程裝修施工是指將必然空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物消除,并將室內(nèi)之溫度、干凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流散布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所恩賜特別設計之房間。無塵室歸納無塵室中無論外在之空氣條件怎樣變化,其室內(nèi)均能俱有保持原來所設定要求之干凈度、溫濕度及壓力等性能之特點。無塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的干凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個優(yōu)異之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵室。依據(jù)國際常例,無塵凈化級別主若是依據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)目來規(guī)定。也就是說所謂無塵并不是100%沒有一點灰塵,而是控制在一個特別微量的單位上。自然這個標準中吻合灰塵標準的顆粒有對于我們常有的灰塵已經(jīng)是小的不足掛齒,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生特別大的負面影響,因此在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。如表所示,每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)目控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A級。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標1/5主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)目被嚴格控制在每立方米1000個之內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。控管項目1.能除掉空氣中飄游之微塵粒子。⒉能防備微塵粒子之產(chǎn)生。⒊溫度和濕度之控制。⒋壓力之調(diào)治。⒌有害氣體之消除。⒍構造物與隔間之氣密性。⒎靜電之防制。⒏電磁攪亂預防。⒐安全要素之考慮。⒑節(jié)能之考量。⒒照度的的調(diào)治無塵室設施風淋室風淋室系列產(chǎn)品是一種通用性較強的局部凈化設施,安裝于干凈室與非干凈室之間。當人與貨物要進入干凈區(qū)時需經(jīng)風淋室吹淋,其吹出的干凈空氣可去除人與貨物所攜帶的灰塵,能有效的阻斷或減少塵源進入干凈區(qū)。風淋室/貨淋室的前后兩道門為電子互鎖,又可起到氣閘的作用,阻攔未凈化的空氣進入干凈地域。FFUFFU可模塊化連接使用,使得FFU廣泛應用于無塵室、無塵操作臺、無塵生產(chǎn)線、組裝式無塵室和局部百級等應用處合。2/5FFU設有初、高效兩級過濾網(wǎng)。風機從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)初、高效過濾器過濾,過濾后的干凈空氣在整個出風面以0.45M/S±20%的風速勻速送出。它為不同樣尺寸大小,不同樣干凈度等級的干凈室、微環(huán)境供給高質(zhì)量的干凈空氣。在新建干凈室、干凈廠房式改造翻新中,即可提升干凈度級別,降低噪音和振動,也可大大降低造價,安裝保護方便,是干凈環(huán)境的理想部件。無塵室組成無塵室的組成是由以下各項系統(tǒng)所組成(在所組成的系統(tǒng)分子中是缺一不行的),不然將沒法組成一完好且質(zhì)量優(yōu)異的無塵室:⑴天花板系統(tǒng)包含吊桿(Ceilingrod)、綱梁(I-Beam或U-Beam)、天花板格子梁(Ceilinggrid或Ceilingframe)。⑵空調(diào)系統(tǒng)包含空氣艙、過濾器系統(tǒng)、風車等。⑶隔墻板(Partitionalwall)包含窗戶、門。⑷地板包含高架地板或防靜電地板、以及環(huán)氧自流平及滾涂地面。⑸照明用具包含日光燈、黃色燈管等。⑹無塵室之建筑主體構造一般是用鋼筋或骨水泥,但無論是何種構造,一定知足以下之條件:A.不會因溫度變化與振動而發(fā)生裂痕;B.不易產(chǎn)生微塵粒子,且很難附著粒子;C.吸濕性小;D.為了保持室內(nèi)之濕度條件,熱絕緣性要高;保護管理干凈技術在近20年發(fā)展迅速,各種規(guī)模、不同樣樣級的無塵室在電子、精美機械、航天、醫(yī)療、食品、化妝品、生物制藥等行業(yè)發(fā)揮著日3/5益重要的作用,為提升產(chǎn)質(zhì)量量、開發(fā)高新產(chǎn)品做出了重要貢獻。無塵室若是設計是正確、合理的,施工建筑是高質(zhì)量的,但在運行保護管理中不科學、不嚴格、必然使無塵室的空氣干凈度漸漸降落,造成實質(zhì)生產(chǎn)環(huán)境中的多項指標偏離規(guī)定要求,進而產(chǎn)品質(zhì)量降落,甚至不合格。無塵室人員管理,擬定專職管理人員的職責、無塵室人員的準入制度、人員培訓教育規(guī)定、進入無塵室人員的“人凈程序“管理。物流管理,物料進入、各種設施進入,以及相關設施、管線的保護管理,應做到不得將微粒、微生物帶入室內(nèi)。干凈度管理,包含干凈服采買和制作、干凈服使用管理、干凈服的沖刷規(guī)定等。打掃、滅菌管理,對于無塵室內(nèi)的各種設施和設施的打掃滅菌方法,周期和檢查作明確的規(guī)定,防備、除掉無塵室內(nèi)塵粒、微生物的產(chǎn)生、滯留及生殖。嚴格各種設施、設施的保護管理,擬定相應的操作規(guī)程,保證各種設施、設施按要求正常運行,包含凈化空調(diào)系統(tǒng)、各種水電系統(tǒng)、生產(chǎn)工藝設施和用具等,以保證產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要乞降空氣干凈度級別。監(jiān)控無塵室在使用過程中正常的運行和保護,應付室內(nèi)的運行狀況及相關設施進行如期檢查。如:在規(guī)定的時間、地點,用粒子計數(shù)器測定控制粒徑的微粒數(shù);在規(guī)準時間、地點測定沉降菌落數(shù)或浮游菌數(shù)等;溫濕度方面,在規(guī)定的時間、地點測定和查對連續(xù)測定記錄;丈量凈化空調(diào)系統(tǒng)的高效過濾器的壓差,檢查空4/5氣過濾器可否擁塞、安裝的密封墊可否圓滿或過濾器損壞引起的泄露狀況,使用風速計檢查局部排風裝置的風量;使用噪聲測定儀在規(guī)定的時間、地點測定噪聲值;檢查送風機軸承、送風機的運行狀態(tài)、灰塵和污物,以及送、回風管道內(nèi)部和送風口的腐化
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