半導(dǎo)體材料與器件特性表征實(shí)驗(yàn)-四何家明

pn結(jié)的電容-電壓（C-V）（微電子 [實(shí)驗(yàn)?zāi)康腃-VpnC-V[實(shí)驗(yàn)原理pn結(jié)最基本的特性就是單向?qū)щ娦?。Pn結(jié)內(nèi)存在內(nèi)建電場????，在內(nèi)建電場區(qū)域，載流??=????

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pnPn結(jié)勢壘區(qū)可以看成是兩平行極板組成的一個(gè)電??= ????????= 從實(shí)驗(yàn)角度看，電容的測試可以提供器件的有用信息。C-Vpn結(jié)的

=

pn結(jié)的1/??2和外加電壓????????是線性函數(shù)關(guān)系，令1/??2=0????????????，所以內(nèi)建電壓可以直接從實(shí)驗(yàn)曲線得到。另外C-V曲線的斜率為??

?2(??+????2=

???

這時(shí)式（4）中的????不是常數(shù)，而是位置的函數(shù)????(??)C-V關(guān)系式為 1/3??= 1/3

=

可見線性緩變結(jié)的1/??3[實(shí)驗(yàn)設(shè)備[實(shí)驗(yàn)步驟按[開路校準(zhǔn)]，在電容顯示屏內(nèi)出現(xiàn)一個(gè)零，并且通過燈亮，讓遠(yuǎn)離儀器。長按[校[實(shí)驗(yàn)內(nèi)容與分析C-V將二極管的正極測試槽的負(fù)極，二極管的負(fù)極（有黑線標(biāo)志）測試槽的正極。0~30V1V30C、V1.將二極管的正極測試槽的負(fù)極，二極管的負(fù)極（有黑線標(biāo)志）測試槽的正極。0~30V1V30C、V1.用萬用表測得所測三極管為NPN型三極管將基極測試槽負(fù)極發(fā)射極測試槽大，pn結(jié)被擊穿，故在0~8V以內(nèi)以0.2V為間隔取30個(gè)點(diǎn)進(jìn)量。測量得發(fā)射結(jié)C、V將基極測試槽負(fù)極，集電極測試槽正極。在0~30V內(nèi)以1V為間隔取30個(gè)點(diǎn)，C、V1.1.pnC-V電容電容電容電容0000111222333444551566677788899923456originpnC-V、1/C2-V、1/C3-VC-VCCCC1

11變?nèi)荻O管的C-V1

-20-20246022242628301/C1/C1/C2/pF1/C2/pF-1-20246810121416182022242628301V121/C2-V1/C1/C1/C31/C3/pF-10-20246810121416182022242628301V131/C3-V1/C2-V、1/C3-V均非線性關(guān)系，故應(yīng)該不是突變結(jié)二極管或者線性緩變C-VCC-20-202462224262830C2864224樣品二極管的C-V2

V1/C1/C2/pF-2/pF-2020000-20246810121416182022242628302V251/C2-VLinearFitLinearFitof 1/C3/pF-2000000-20246810121416182022242628302V261/C3-VCCCCV V7三極管發(fā)射結(jié)的C-V1/CLinear1/CLinearFitof 2/pF-0000000

8V81/C2-V

1/CLinear1/CLinearFitof 3-

8V91/C3-V1/C3-V1/C2-Vpn結(jié)應(yīng)該為線性緩變CCCC8642-2024681012141618202224262830V10三極管集電結(jié)的C-V1/C1/C1/C21/C2/pF-2-2024681012141618202224262830V1