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太原理工大學(xué)學(xué)報(bào)投稿模板太原理工大學(xué)學(xué)報(bào)投稿模板太原理工大學(xué)學(xué)報(bào)投稿模板太原理工大學(xué)學(xué)報(bào)投稿模板編制僅供參考審核批準(zhǔn)生效日期地址:電話:傳真:郵編:本模板由不同論文拼湊而成,請(qǐng)主要關(guān)注格式和規(guī)范要求,忽略內(nèi)容上的前后不對(duì)應(yīng)請(qǐng)單欄排版TiO2納米顆粒的制備、光催化性能及羥基自由基研究標(biāo)題題目應(yīng)恰當(dāng)簡(jiǎn)明地反映論文內(nèi)容,精確點(diǎn)明本文的獨(dú)創(chuàng)性內(nèi)容第一作者1,2,第二作者2(大學(xué)XX學(xué)院,山西太谷030801;2XXXX大學(xué)XXXX學(xué)院,山西太原030006)摘要:摘要內(nèi)容應(yīng)包括目的、方法、結(jié)果和結(jié)論;縮寫(xiě)詞第一次出現(xiàn)時(shí)請(qǐng)用全稱;不要出現(xiàn)公式、圖表和參考文獻(xiàn)序號(hào)。針對(duì)金屬層間介質(zhì)以及MEMS等對(duì)氧化硅薄膜的需求,采用等離子增強(qiáng)型化學(xué)氣相淀積(PECVD)技術(shù),以SiH4和N2O為反應(yīng)氣體,低溫制備了SiO2薄膜。利用橢偏儀、應(yīng)力測(cè)試系統(tǒng)對(duì)SiO2薄膜的厚度、折射率、均勻性以及應(yīng)力等性能指標(biāo)進(jìn)行了測(cè)試,探討了射頻功率、反應(yīng)腔室壓力、氣體流量比等關(guān)鍵工藝參數(shù)對(duì)SiO2薄膜性能的影響。結(jié)果表明:SiO2薄膜的折射率主要由N2O/SiH4的流量比決定,而薄膜均勻性主要受電極間距以及反應(yīng)腔室壓力的影響。通過(guò)優(yōu)化工藝參數(shù),低溫260℃下制備了折射率為~(中文環(huán)境下,用波浪線表示數(shù)字范圍),均勻性為±%,應(yīng)力在?350~?16MPa(量、單位和符號(hào)嚴(yán)格執(zhí)行國(guó)家標(biāo)準(zhǔn),不可使用非法定計(jì)量單位;數(shù)字與單位之間空一格)可控的SiO2薄膜。采用該方法制備的SiO2薄膜均勻性好,結(jié)構(gòu)致密,沉積速率快,沉積溫度低,且應(yīng)力可控,可廣泛應(yīng)用于集成電路以及MEMS器件中。關(guān)鍵詞:二氧化鈦納米顆粒;聚丙烯酰胺凝膠法;羥基自由基;光催化活性關(guān)鍵詞應(yīng)能夠反映論文的主題內(nèi)容,應(yīng)精確、包含熱點(diǎn)信息;注意避免與正文標(biāo)題重復(fù)太多,以增大論文通過(guò)不同角度被檢索到的可能性;以3~8個(gè)為宜,用分號(hào)分隔中圖分類號(hào):文獻(xiàn)標(biāo)志碼:A文章編號(hào):1672-6030(2013)00-0000-00(可列出一個(gè)或一個(gè)以上中圖分類號(hào),按《中國(guó)圖書(shū)館分類法》確定)Preparation,PhotocatalyticPropertiesandPhotogeneratedHydroxylRadicalsofTiO2Nanoparticles給出英文標(biāo)題,內(nèi)容應(yīng)與中文對(duì)應(yīng),語(yǔ)序可根據(jù)中英文邏輯習(xí)慣方面的不同進(jìn)行相應(yīng)的調(diào)整(實(shí)詞首字母大寫(xiě))WEIQin1,2,WUDan2,ZHANGXuzhen2,LIChao2(姓全部大寫(xiě))Abstract:Tomeetthedemandofinter-metaldielectric(IMD)縮寫(xiě)詞第一次出現(xiàn)時(shí)請(qǐng)用全稱(并將縮寫(xiě)寫(xiě)在全稱后面的括號(hào)中)layersandmicroelectromechanicalsystems(MEMS),silicondioxidefilmsdepositedbyplasmaenhancedchemicalvapordeposition(PECVD)atlowtemperaturewithsilane(SiH4)andnitrousoxide(N2O)asprecursorgaseswasreported.Theellipsometerandstressmeasurementsystemwereusedtotestthethickness,refractiveindex,uniformityandthestressofSiO2film,andtheeffectsofratiofrequency(RF)power,chamberpressureandN2O/SiH4flowratioonthepropertiesofSiO2filmwerestudied.TheresultsshowedthattherefractiveindexofSiO2filmwasmainlydeterminedbyN2O/SiH4flowratioandtheuniformityofthefilmwasinfluencedbythedistancebetweenelectrodesandthechamberpressure.Moreover,byoptimizingtheprocessparameters,theSiO2filmsweredepositedat260℃,withtherefractiveindexmeasuredas—(英文環(huán)境下,數(shù)字區(qū)間用長(zhǎng)劃線表示),theuniformityof±%,andthestresswasefficientlycontrolledbetween?350MPato?16MPa.ThedepositedSiO2filmshavegooduniformity,compactstructure,highdepositionrate,lowdepositiontemperatureandcontrollablestress,whichwillbewidelyusedinintegratedcircuit(IC)andMEMSdevices.Keywords:titaniumdioxidenanoparticles;polyacrylamidegelroute;hydroxylradical;photocatalyticactivity(英文關(guān)鍵詞用名詞形式,不要用縮寫(xiě);除專有名詞外,一律小寫(xiě)。)以下是雙欄排前言不編號(hào)前言中應(yīng)簡(jiǎn)明扼要地介紹直接相關(guān)的領(lǐng)域內(nèi)國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀,并針對(duì)現(xiàn)狀中存在的問(wèn)題或空白,引出本文的研究目的和主要內(nèi)容。引言最后對(duì)本文工作的介紹不要與摘要和結(jié)論在文字表達(dá)上重復(fù)。引言中最好不包含圖表和公式,不應(yīng)詳述同行熟知的基本理論。矢量水聽(tīng)器由于能夠提供聲場(chǎng)的矢量信息而成為當(dāng)前國(guó)內(nèi)外換能器領(lǐng)域研究的熱點(diǎn),Leslie等[1]將水聽(tīng)器安裝在剛性的球形殼體中來(lái)測(cè)量水質(zhì)點(diǎn)的振速,證實(shí)了水聽(tīng)器在低頻段有較好的指向性。美國(guó)伊利諾斯州立大學(xué)的Fan等[2]通過(guò)模仿魚(yú)類側(cè)線器官的工作原理,研制出了微流量傳感器。波恩大學(xué)的Izadi等[3]受魚(yú)類側(cè)線原理的啟發(fā),研究了纖毛式仿生微傳感器。國(guó)內(nèi)主要以哈爾濱工程大學(xué)、612廠、715所、聲學(xué)所等單位為主積極進(jìn)行矢量水聽(tīng)器技術(shù)研究,進(jìn)行了大量湖海試,并初步實(shí)現(xiàn)了工程應(yīng)用[4-6]。(參考文獻(xiàn)在文內(nèi)以上角標(biāo)形式、按首次出現(xiàn)的先后順序編號(hào),文后參考文獻(xiàn)的排列順序應(yīng)與在正文中出現(xiàn)的順序相同。參考文獻(xiàn)在前言標(biāo)注之后,如果在正文中參考,也必須再次標(biāo)注,編號(hào)是同一個(gè)。)但由于當(dāng)前矢量水聽(tīng)器主要是同振式的,應(yīng)用起來(lái)不太方便,且都是采用多個(gè)加速度計(jì)組合的方式實(shí)現(xiàn)空間聲信號(hào)的探測(cè),大大增加了矢量水聽(tīng)器的體積,且組合結(jié)構(gòu)基準(zhǔn)面的選擇、對(duì)稱性和浮力平衡的精度問(wèn)題也將直接影響著水聽(tīng)器的指向性能[7-8]。薛晨陽(yáng)等人[9-11]于2008年提出了一種MEMS仿生矢量水聽(tīng)器,將MEMS技術(shù)與仿生學(xué)引入到傳統(tǒng)的水聲換能器領(lǐng)域,實(shí)現(xiàn)了矢量水聽(tīng)器的小型化,且可剛性安裝,得到國(guó)內(nèi)同行專家的關(guān)注。然而,該水聽(tīng)器的接收靈敏度偏低(靈敏度為?dB),且幅頻響應(yīng)波動(dòng)較大。為此,本文改善了纖毛材料及纖毛與四梁微結(jié)構(gòu)二次集成的問(wèn)題,并設(shè)計(jì)了一種“半油半酯”的新型封裝結(jié)構(gòu),旨在通過(guò)封裝改進(jìn)提高水聽(tīng)器的靈敏度和改善其頻響曲線。1?驅(qū)動(dòng)原理(層次標(biāo)題控制在3級(jí)之內(nèi),避免使用4級(jí)標(biāo)題,一律用阿拉伯?dāng)?shù)字連續(xù)編號(hào),如:“1”,“”,“。)本文利用ANSYS軟件對(duì)水聽(tīng)器結(jié)構(gòu)進(jìn)行了有限元仿真分析,纖毛的材料分別選用鋼、塑料和光纖,材料屬性如表1所示,建立的模型如圖1所示。(正文中必須有與圖/表呼應(yīng)的文字出現(xiàn)在圖/表的前面,且敘述應(yīng)與圖、表結(jié)果相符)沿Y軸負(fù)半軸方向加載1Pa的載荷進(jìn)行靜態(tài)分析,得到不同材料纖毛的應(yīng)力曲線。表1三種纖毛材料屬性表名應(yīng)中英文對(duì)應(yīng),與正文之間空一行Propertiesofthethreedifferentmaterialsofcilia表題第一個(gè)單詞首字母大寫(xiě),其余小寫(xiě);表注、表內(nèi)文字均用中文。縱表頭為自變量,橫表頭為因變量,即表中項(xiàng)目和該項(xiàng)目對(duì)應(yīng)的數(shù)值應(yīng)上下排列。纖毛材料密度/(kg·m-3)泊松系數(shù)彈性模量/Pa光纖×103×1010塑料×103×109鋼×103×1011圖1矢量水聽(tīng)器結(jié)構(gòu)有限元模型圖名應(yīng)中英文對(duì)應(yīng),與正文之間空一行Finiteelementmodelofthehydrophonestructure(圖和表應(yīng)在提到該圖或該表的文字下方出現(xiàn),不提前也不延后。英文題名第一個(gè)單詞的首字母大寫(xiě),其余小寫(xiě)。圖中說(shuō)明文字用中文。流程圖、設(shè)備圖要合理、簡(jiǎn)潔,不列與正文無(wú)關(guān)的內(nèi)容。圖片占單欄還是雙欄要以圖中結(jié)構(gòu)和文字易辨識(shí)為準(zhǔn))在壓電晶體表面加載交流電壓會(huì)產(chǎn)生交變電磁場(chǎng),由于應(yīng)力場(chǎng)和電磁場(chǎng)的耦合作用,表面一定深度內(nèi)的質(zhì)點(diǎn)會(huì)做橢圓形的周期性運(yùn)動(dòng)形成聲表面波,聲表面波沿壓電襯底表面?zhèn)鞑?。依?jù)上述模型,由參考文獻(xiàn)[12-13]可得,聲波經(jīng)過(guò)水-聚氨酯-油三層介質(zhì)的透聲系數(shù)為(1)經(jīng)過(guò)水-聚氨酯兩層介質(zhì)的聲波透聲系數(shù)為(2)式中:Z1Z2Z3分別為海水、聚胺酯及油的特性阻抗;K2為聲波在聚胺酯中傳播的波數(shù);L為聚胺酯層的厚度。(請(qǐng)用Word自帶公式編輯器或Equation排版,不要做成圖片形式。公式依出現(xiàn)的順序編號(hào)。公式中出現(xiàn)的變量應(yīng)在公式前后逐一解釋其含義。變量及其上下標(biāo)的正斜體的確定方法:變量(如物理量符號(hào)、坐標(biāo)軸符號(hào)和表示變動(dòng)性數(shù)字的符號(hào))用斜體,英文縮寫(xiě)字母用正體;矩陣、向量、矢量和張量用黑斜體。盡量用單個(gè)字母作變量,避免使用英文組合字符作變量;一篇論文中同一字母只能表示一個(gè)變量;同一變量的字母大小寫(xiě)要統(tǒng)一。)2?實(shí)驗(yàn)(對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)備、過(guò)程和條件的介紹應(yīng)全面)?壓電襯底材料選擇的特殊性本實(shí)驗(yàn)中器件在壓電襯底材料的選擇時(shí)必須考慮到以下3個(gè)因素。1)機(jī)電耦合系數(shù)KsKs為表示壓電晶體的電能與機(jī)械能之間轉(zhuǎn)換效率的物理量,反映了換能器的效率。為了最大限度地降低制造高頻功率器件的難度,必須采用耦合系數(shù)較大的材料。2)晶體的周期性場(chǎng)條件從固體物理學(xué)的觀點(diǎn)看,聲波在晶體內(nèi)傳播的過(guò)程中,任何晶體的缺陷和損傷都會(huì)引起周期性場(chǎng)條件的破壞,從而嚴(yán)重影響波的穩(wěn)態(tài)傳播。3)微細(xì)加工的可行性考慮到所加工的器件的特性,材料必須可以用MEMS技術(shù)進(jìn)行微細(xì)加工。器件制造圖2給出了在低頻子圖像中應(yīng)用本文算法提取目標(biāo)的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。圖2(a)和(c)是大小分別為的兩幅SAR圖像,圖2(b)和(d)是應(yīng)用本文算法提取出的目標(biāo),從提取的結(jié)果看,本文方法效果是非常好的,把所有的目標(biāo)都提取出來(lái)了。(a)原始圖像1(b)圖像1目標(biāo)提取結(jié)果(c)原始圖像2(d)圖像2目標(biāo)提取結(jié)果圖2SAR圖像目標(biāo)提取ObjectextractionofSARimages每個(gè)分圖應(yīng)有單獨(dú)的題名,分別放在各分圖下方,總題名應(yīng)能夠概括所有分圖的意思。,不必有英文分圖名。照片圖要求圖像清晰,層次分明,反差適中,電子顯微鏡和電鏡照片應(yīng)標(biāo)明照片實(shí)際放大倍數(shù)或長(zhǎng)度標(biāo)尺。照片精度盡量保證在300dpi。驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)搭建驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)由信號(hào)發(fā)生器、功率放大器和28V直流電源構(gòu)成。其中,28V直流電源給功率放大器提供直流工作電源,調(diào)節(jié)信號(hào)發(fā)生器使其發(fā)生頻率符合諧振頻率(約為MHz),從而實(shí)現(xiàn)液滴的驅(qū)動(dòng)。隨著煅燒溫度的進(jìn)一步升高,更多銳鈦礦相轉(zhuǎn)變?yōu)榻鸺t石相,使其失去最佳比例,導(dǎo)致光催化性能下降,同時(shí)粒徑增大對(duì)光催化產(chǎn)生的不良影響也顯現(xiàn)出來(lái)。另一方面,由于單相銳鈦礦型TiO2的光催化性能優(yōu)于單相金紅石型TiO2。當(dāng)產(chǎn)物完全轉(zhuǎn)變?yōu)榧兿嘟鸺t石型TiO2時(shí),其光催化效率要低于純相銳鈦礦型TiO2。3?結(jié)果(和討論)結(jié)果和討論宜分章進(jìn)行。結(jié)果后面可以有對(duì)實(shí)驗(yàn)獲得圖表的分析,而討論單獨(dú)一章用來(lái)進(jìn)一步探討現(xiàn)象的產(chǎn)生根源,對(duì)結(jié)果進(jìn)行理論提升。驅(qū)動(dòng)模型對(duì)于直徑一定的半球形液滴,是定值,與液滴相對(duì)于聲表面波波源的位置無(wú)關(guān)。由于本實(shí)驗(yàn)中液滴的移動(dòng)范圍較?。?~14mm),在此范圍內(nèi)聲表面波的衰減可以忽略不計(jì),則與液滴相對(duì)于聲表面波波源的位置無(wú)關(guān),且對(duì)于直徑一定的半球形液滴為定值。在液滴移動(dòng)過(guò)程中,可以認(rèn)為襯底對(duì)液滴的阻滯力只與液滴的接觸面積有關(guān)[8],則對(duì)于直徑一定的半球形水滴而言,也為定值。忽略液滴在移動(dòng)過(guò)程中所產(chǎn)生的質(zhì)量損耗,則m也為定值。綜上所述,根據(jù)式(7),液滴的運(yùn)動(dòng)為恒加速運(yùn)動(dòng),且其初速度為0。實(shí)驗(yàn)結(jié)果壓電石英并聯(lián)電容前后的對(duì)比實(shí)驗(yàn)結(jié)果,如圖3所示.最后由壓電石英力傳感器的標(biāo)定過(guò)程得到,無(wú)并聯(lián)電容的靈敏度值為SQ=pC/N,并聯(lián)F電容的靈敏度值=pC/N,靈敏度提高了%.圖3壓電石英并聯(lián)電容前后差異Differenceofpiezoelectricquartzwith/withoutparallelcapacitor坐標(biāo)圖一律采用封閉圖,刻度線朝向圖內(nèi)側(cè),去掉無(wú)數(shù)字對(duì)應(yīng)的刻度線,不用背景網(wǎng)格線。圖中有多條曲線時(shí),圖例應(yīng)采用易區(qū)分的標(biāo)識(shí)。避免采用粗細(xì)線之別;尤其要避免用灰度差來(lái)表示區(qū)別,因?yàn)樵谟?jì)算機(jī)中彩色能夠進(jìn)行區(qū)分,而打印或印刷后是黑白灰度差,無(wú)法很好區(qū)分。圖盡量能在原文件中做,即不要將圖存成TIF、GPJ、BMP的圖片格式拷貝到文檔中。橫、縱坐標(biāo)軸必須注明量和單位。組合單位用指數(shù)形式,如應(yīng)該用J·kg-1,而不用J/kg形式對(duì)得到的實(shí)驗(yàn)圖像處理,得到位移-時(shí)間關(guān)系如圖3所示,計(jì)算得到加速度a的值為。圖中還給出了理論的位移-時(shí)間曲線以進(jìn)行比較。實(shí)際的運(yùn)動(dòng)情況如下:在0~6s的時(shí)間范圍內(nèi),液滴的運(yùn)動(dòng)是勻加速直線運(yùn)動(dòng),這與理論情況較為吻合;而在6~10s的時(shí)間內(nèi),液滴明顯是加速度變大的變加速運(yùn)動(dòng),與理論情況相差較大。4?結(jié)語(yǔ)本文中的實(shí)驗(yàn)采用了鋁材料作為叉指電極對(duì)制造了基于SAW的液滴驅(qū)動(dòng)器并實(shí)現(xiàn)了液滴的驅(qū)動(dòng),構(gòu)造了液滴的運(yùn)動(dòng)模型。得到的驅(qū)動(dòng)數(shù)據(jù)表明,在液滴損耗較小的情況下與理論情況基本吻合而在較大的情況下液滴的運(yùn)動(dòng)與理論情況差距較大。提出了通過(guò)在襯底兩次沉積疏水涂層形成導(dǎo)軌網(wǎng)絡(luò)和調(diào)制激勵(lì)信號(hào)的方式來(lái)實(shí)現(xiàn)二維數(shù)字微流體驅(qū)動(dòng)檢測(cè)技術(shù)。這種技術(shù)在生化檢測(cè)方面具有較大的應(yīng)用價(jià)值,下一步的研究將主要集中在導(dǎo)軌制造和生化檢測(cè)端口的接入方面。(結(jié)論力求鮮明、精確,可引用一些關(guān)鍵的數(shù)據(jù),但不宜太多,不要含圖、表和參考文獻(xiàn)。不要照搬引言和摘要。)參考文獻(xiàn):參考文獻(xiàn)15條左右,應(yīng)以近五年文獻(xiàn)為主;請(qǐng)?zhí)峁┟科獏⒖嘉墨I(xiàn)的網(wǎng)頁(yè)鏈接地址,鏈接地址置于每篇文獻(xiàn)的下方;如果該文獻(xiàn)在網(wǎng)上查不到,請(qǐng)?zhí)峁┪墨I(xiàn)的首頁(yè)電子版;所有參考文獻(xiàn)姓名格式:作者姓前名后,寫(xiě)前三個(gè),第四個(gè)及以后的作者用etal代替。[ADDIN1] HobbsRG,PetkovN,HolmesJD.Semiconductornanowirefabricationbybottom-upandtop-downparadigms[J].ChemMater,2012,24(1):1975-1991.作者1,作者2,作者3,etal.論文標(biāo)題[J].期刊名,年,卷(期):起始頁(yè)-結(jié)束頁(yè).期刊論文:文章標(biāo)題第一個(gè)單詞首字母大寫(xiě),其余小寫(xiě),用正體;期刊名實(shí)詞首字母大寫(xiě),用斜體;年、卷、期號(hào)要寫(xiě)全;頁(yè)碼范圍用連字符連接;中文文獻(xiàn),請(qǐng)?jiān)谧g文末加注“(inChinese)——應(yīng)查到論文本身的英文標(biāo)題,而不是自己翻譯。[2] 章安良,劉尉悅,蔣志迪,等.基于聲表面波技術(shù)的數(shù)字微流體微加熱器研究[J].微納電子技術(shù),2008,45(7):411-414.ZhangAnliang,LiuWeiyue,JiangZhidi,etal.Studyonamicro-heaterforthedigitaldropletbasedonsurfaceacousticwaves[J].MEMSDeviceandTechnology,2008,45(7):411-414(inChinese).[3]BhushanB.ScanningProbeMicroscopyinNanoscienceandTechnology[M].Benlin:Springer-Verlag,2010.書(shū)名實(shí)詞首字母大寫(xiě),用斜體;需注明出版地、出版者和出版年[4] AbramovitchDY,HoenS,WorkmanR.Semi-automatictuningofPIDgainsforatomicforcemicroscopes[C]Seattle,USA,2008:2684-2689.會(huì)議論文標(biāo)題第一個(gè)單詞首字母大寫(xiě),其余小寫(xiě);論文集名稱實(shí)詞首字母大寫(xiě),用斜體;需注明會(huì)議召開(kāi)地點(diǎn),年代和論文頁(yè)碼范圍[5] 王洪喜.微結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動(dòng)特性研究[D].西安:西安電子科技大學(xué)機(jī)電工程學(xué)院,2006.WangHongxi.StudyofMechanicalBehaviorsofElectroStaticallyActuatedMicroStructures[D].Xi’an:SchoolofMechatronicsEngineering,XidanUniversity,2006(inChinese).學(xué)位論文標(biāo)題實(shí)詞首字母大寫(xiě),用正體;需注明城市、國(guó)家、學(xué)院、學(xué)校和發(fā)表年。[6] MooreToolCompanyInc.UltraPrecisionDrumLathes[EB/OL].2009-12-02.電子文獻(xiàn)標(biāo)題實(shí)詞首字母大寫(xiě),用正體;應(yīng)注明作者、網(wǎng)絡(luò)出版地址和時(shí)間。[7] CohenJD,SadowskiJP,DervanPB.ProgrammingmultipleproteinpatternsonasingleDNAnanostructure[J].JAmChemSoc,2008,130(2):402-403.[8] LeJD,PintoY,SeemanNC,etal.DNA-templatedself-assemblyofmetallicnanocomponentarraysonasurface[J].NanoLett,2004,4

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