國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工廠潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》

國家標(biāo)準(zhǔn)《電子工廠潔凈

廠房設(shè)計規(guī)范》中強(qiáng)制性條文

GB50472-2008陳霖新中國電子工程設(shè)計院2009年07月1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)2、章節(jié)內(nèi)容簡介3、強(qiáng)制性條文等介紹4、結(jié)語1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)電子產(chǎn)品生產(chǎn)發(fā)展迅猛IC特征尺寸0.05μm,12〞～16〞，64GTFT第六代產(chǎn)品對化學(xué)污染物的嚴(yán)格要求大面積、大體量、組合式、多層潔凈廠房投資大、能量消耗大1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)集成電路對化學(xué)污染物的控制指標(biāo)電子工廠潔凈廠房的特點(diǎn)：微?？刂剖謬?yán)格、要求控制0.02μm甚至更小粒徑ISO1級或更嚴(yán)格。高純物質(zhì)，包括高純水、高純氣體高純化學(xué)品的供應(yīng)、輸送。對微振控制十分嚴(yán)格、需制定切實可行的規(guī)定對防靜電、電磁兼容等大體量、多層單向流潔凈室，二層/三層布置數(shù)萬m2。1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)項目位置狀況規(guī)格（㎜）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（㎡）建筑高度芯片廠1大陸生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）870020.0芯片廠2臺灣生產(chǎn)運(yùn)行300/200（12"/8"）1400026.8芯片廠3臺灣生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）900029.4芯片廠4臺灣生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）900026.8芯片廠5韓國生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000031.0芯片廠6韓國生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000031.0芯片廠7韓國生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000037.0芯片廠8韓國生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1000037.0芯片廠9愛爾蘭生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）889225.4芯片廠10美國生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1581022.00芯片廠11美國生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1581022.00芯片廠12美國生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）1385717.00芯片廠13愛爾蘭生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）1218317.00芯片廠14磁力生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）874020.40芯片廠15臺灣生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）790050.30芯片廠16法國生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）650021.00芯片廠17新加坡生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）800025.00表1國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)項目位置狀況規(guī)格（㎜）潔凈生產(chǎn)區(qū)面積（㎡）建筑高度芯片廠18上海生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）1200029.00芯片廠19上海生產(chǎn)運(yùn)行300（12"）940030.00芯片廠20成都生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）7408.821芯片廠21上海生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1032128.55芯片廠22蘇州生產(chǎn)運(yùn)行200（8"）1200024.4芯片廠23重慶建設(shè)中200（8"）150028芯片廠24浙江生產(chǎn)運(yùn)行150（6"）516019TFT-LCD/1北京生產(chǎn)運(yùn)行5代，110000TFT-LCD/2上海生產(chǎn)運(yùn)行5代，1100×130022000＋1400020.30TFT-LCD/3昆山試生產(chǎn)5代，1100×1300～300026.50TFT-LCD/4深圳正在建設(shè)5代，1100×1300～3300026.50TFT-LCD/5臺灣生產(chǎn)運(yùn)行6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/6上海正籌建6代，1500×1800～34000～27TFT-LCD/7北京正籌建6代，1500×1800～36000～27TFT-LCD/8日本生產(chǎn)運(yùn)行8代，2160×2460～9000030.00表1國內(nèi)外一些微電子潔凈廠房的高度和潔凈生產(chǎn)區(qū)面積1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)表22幾類電子產(chǎn)品所需氣體品種1、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)表25集成電路芯片（64M）生產(chǎn)過程部分化學(xué)品的質(zhì)量要求微粒（PC/CC）化學(xué)品種類0.1μm0.2μm金屬離子H3PO4HClH2SO4H2O2NH4OH<40<30<20<20<20<20<20<10<10<10<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9HNO349%HF5%HF1%HF<30<30<30<30<20<20<20<20<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-9<1.0X10-91、電子工廠潔凈廠房特點(diǎn)表128″大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用高純水質(zhì)量指標(biāo)（前工序）1、電子工工廠潔凈廠廠房特點(diǎn)集中新風(fēng)處處理+各種種循環(huán)新風(fēng)風(fēng)集中送風(fēng)方方式FFU隧道送風(fēng)1、電子工工廠潔凈廠廠房特點(diǎn)美國消防標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)（強(qiáng)制制性標(biāo)準(zhǔn)））NFPA318《潔凈室消消防標(biāo)準(zhǔn)》》（StandardfortheProtectionofCleanrooms,2000）第1章總總則則，，范范圍圍、、目目的的、、適適用用性性、、等等同同性性、、術(shù)術(shù)語語等等；；第2章消消防防自自動動滅滅火火系系統(tǒng)統(tǒng)、、報報警警系系統(tǒng)統(tǒng)和和檢檢測測系系統(tǒng)統(tǒng)(煙感感、、可可燃燃?xì)鈿怏w體等等);第3章通通風(fēng)風(fēng)和和排排風(fēng)風(fēng)系系統(tǒng)統(tǒng),送風(fēng)風(fēng)和和循循環(huán)環(huán)風(fēng)風(fēng),局部部排排風(fēng)風(fēng),排煙煙系系統(tǒng)統(tǒng)；；第4章土土建建、、潔潔凈凈區(qū)區(qū)與與非非潔潔凈凈區(qū)區(qū)的的分分隔隔等等；；第5章化化學(xué)學(xué)品品貯貯存存和和處處理理,對危危險險化化學(xué)學(xué)品品貯貯存存、、分分配配間間的的設(shè)設(shè)計計、、建建造造要要求求等等；；第6章危危險險氣氣體體鋼鋼瓶瓶的的存存放放、、分分配配；；第7章大大宗宗硅硅烷烷系系統(tǒng)統(tǒng)，，管管式式拖拖車車、、集集裝裝氣氣瓶瓶；；第8章生生產(chǎn)產(chǎn)與與輔輔助助設(shè)設(shè)備備、、工工藝藝液液體體加加熱熱設(shè)設(shè)備備、、電電氣氣設(shè)設(shè)備備、、真真空空泵泵等等；；第9章出出入入口口方方式式，，按按NFPA101生命命安安全全規(guī)規(guī)范范進(jìn)進(jìn)行行設(shè)設(shè)計計；；第10章參參照照出出版版物物，，所所列列NFPA或ASTM或SEMI等，，被被認(rèn)認(rèn)為為是是標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)的的一一部部分分。。1、、電電子子工工廠廠潔潔凈凈廠廠房房特特點(diǎn)點(diǎn)2、、章章節(jié)節(jié)內(nèi)內(nèi)容容安安排排1、總總則則2、術(shù)術(shù)語語3、電電子子產(chǎn)產(chǎn)品品生生產(chǎn)產(chǎn)環(huán)環(huán)境境設(shè)設(shè)計計要要求求3.1一般般規(guī)規(guī)定定3.2生產(chǎn)產(chǎn)環(huán)環(huán)境境設(shè)設(shè)計計要要求求4、總總體體設(shè)設(shè)計計4.1位置置選選擇擇和和總總平平面面布布置置4.2潔凈凈室室形形式式4.3潔凈凈室室布布置置和和綜綜合合協(xié)協(xié)調(diào)調(diào)5、工工藝藝設(shè)設(shè)計計5.1一般般規(guī)規(guī)定定5.2工藝藝布布局局5.3人員員凈凈化化5.4物料料凈凈化化5.5設(shè)備備及及工工器器具具6、、潔潔凈凈建建筑筑設(shè)設(shè)計計6.1一一般般規(guī)規(guī)定定6.2防防火火與與疏疏散散6.3室室內(nèi)裝修7、空氣凈凈化7.1一一般規(guī)定7.2氣氣流流型和送送風(fēng)量7.3凈凈化空調(diào)系統(tǒng)統(tǒng)7.4空空氣凈化設(shè)備備7.5采采暖通風(fēng)7.6排排煙7.7風(fēng)風(fēng)管、附件8、給水排水水設(shè)計8.1一一般規(guī)定8.2給給水8.3排排水8.4雨雨水8.5消消防給水和滅滅火設(shè)備9、純水9.1一一般規(guī)定9.2純純水系統(tǒng)9.3管材材、閥門和附附件10、氣體供供應(yīng)10.1一一般規(guī)定定10.2常常用氣體體系統(tǒng)10.3干干燥壓縮空空氣系統(tǒng)10.4特特種氣體體系統(tǒng)11、化學(xué)品品供應(yīng)11.1一一般規(guī)定11.2化化學(xué)品儲儲存、輸送11.3管管材、閥閥門12、電氣設(shè)設(shè)計12.1配配電12.2照照明12.3通通信及安全全保護(hù)裝置12.4自自動控制12.5接地13、防靜電電與接地設(shè)計計13.1一一般規(guī)定13.2防防靜電措施施13.3防靜電接地14、噪聲控控制14.1一一般規(guī)定14.2噪噪聲控制設(shè)設(shè)計15、微振控控制15.1一一般規(guī)定15.2容容許振動值值15.3微微振動控制制設(shè)計2、章節(jié)內(nèi)容容安排附錄A各類電子產(chǎn)品品生產(chǎn)對潔凈凈度等級的要要求附錄B電子產(chǎn)品生產(chǎn)產(chǎn)間/工序火災(zāi)危險險性分類舉例例附錄C一些精密設(shè)備備、儀器儀表表的允許振動動值附錄D潔凈室（區(qū)））性能測試和和認(rèn)證本規(guī)范用詞說說明附：條文說明明2、章節(jié)內(nèi)容容安排3、強(qiáng)制性條條文等介紹1.0.2本規(guī)范適用于于新建、擴(kuò)建建和改建的電電子工業(yè)潔凈凈廠房設(shè)計。。1.0.3電子工業(yè)潔凈凈廠房的設(shè)計計應(yīng)滿足需潔潔凈環(huán)境的電電子產(chǎn)品生產(chǎn)產(chǎn)工藝要求，，并應(yīng)根據(jù)具具體情況為今今后產(chǎn)品生產(chǎn)產(chǎn)發(fā)展或生產(chǎn)產(chǎn)工藝改進(jìn)的的需要預(yù)留條條件。1.0.5電子工業(yè)潔凈凈廠房設(shè)計除除應(yīng)執(zhí)行本規(guī)規(guī)范外，尚應(yīng)應(yīng)符合國家現(xiàn)現(xiàn)行有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)的規(guī)定。3．2．2各種電子產(chǎn)品品/有關(guān)工序的空空氣潔凈度等等級根據(jù)產(chǎn)品品生產(chǎn)工藝要要求確定；無無要求時，可可參照附錄A要求確定。3.2.3潔凈室（區(qū)））的溫度和相相對濕度應(yīng)按按表3.2.3確定。房間類別溫度（℃）相對濕度（%）冬季夏季冬季夏季生產(chǎn)工藝有要求的潔凈室按具體生產(chǎn)工藝要求確定生產(chǎn)工藝無要求的潔凈室≤22～2430～5040～70人員凈化及生活用室～18～28--3.2.5單向流和混合合流潔凈室（（區(qū)）的的噪噪聲級（空態(tài)態(tài)）不應(yīng)大于于65dB（A），非單向流流潔凈室（區(qū)區(qū)）的噪聲級級（空態(tài)）不不應(yīng)大于60dB（A）。表3.2.3潔凈室(區(qū))溫度和相對濕濕度要求3、強(qiáng)制性條條文等介紹4.2.2電子工廠潔凈凈廠房垂直單單向流潔凈室室的空間應(yīng)包包括活動地板板以下的下技技術(shù)夾層、潔潔凈生產(chǎn)層和和吊頂以上的的上技術(shù)夾層層。4.2.3潔凈室型式的的選擇應(yīng)綜合合生產(chǎn)工藝要要求、節(jié)約能能源、減少投投資和降低運(yùn)運(yùn)行費(fèi)用等因因素確定，各各種空氣潔凈凈度等級的電電子工業(yè)潔凈凈廠房宜采用用混合流潔凈凈室。對空氣氣潔凈度凈度度要求嚴(yán)格時時，宜采用微微環(huán)境等型式式。4.3.3潔凈室（區(qū)））內(nèi)應(yīng)少分隔隔，但下列情情況應(yīng)設(shè)隔墻墻：1按火災(zāi)危險性性分類，甲、、乙類的房間間與相鄰的生生產(chǎn)區(qū)段或房房間之間，或或有防火分隔隔要求時；2在電子子產(chǎn)品生產(chǎn)過過程中，經(jīng)常常不同時使用用的兩個生產(chǎn)產(chǎn)區(qū)段或房間間之間；3生產(chǎn)過過程中排放影影響產(chǎn)品質(zhì)量量的有害氣體體或化學(xué)污染染物的工序、、設(shè)備，宜分分隔設(shè)獨(dú)立房房間。3、強(qiáng)制性條條文等介紹5.4.2物料凈化用室室與潔凈室（（區(qū)）之間應(yīng)應(yīng)設(shè)置氣閘室室或傳遞窗。。5．5．6電電子工廠潔潔凈廠房內(nèi)，，設(shè)置真空泵泵時，應(yīng)符合合下列規(guī)定：：1．使用油潤潤滑的真空泵泵應(yīng)設(shè)置除油油裝置，除油油后尾氣排入入排氣系統(tǒng)。。2．對傳輸含含有可燃?xì)怏w體的真空泵，，若可燃?xì)怏w體濃度超過爆爆炸下限的20%時應(yīng)設(shè)設(shè)尾氣處理裝裝置，去除（（稀釋）可燃燃?xì)怏w組份后后才能排入排排氣系統(tǒng)。3．傳輸易燃燃、自燃化學(xué)學(xué)品或高濃度度氧氣的真空空泵，應(yīng)采用用不燃泵油，，并應(yīng)配置氮氮?dú)獯祾撸荡祾呖刂崎y與與生產(chǎn)工藝設(shè)設(shè)備操作系統(tǒng)統(tǒng)聯(lián)鎖。3、強(qiáng)制性條條文等介紹6.2.l潔凈廠房的耐耐火等級不應(yīng)應(yīng)低于二級。。6.2.3潔潔凈廠房房內(nèi)防火分區(qū)區(qū)的劃分，應(yīng)應(yīng)符合現(xiàn)行國國家標(biāo)準(zhǔn)《建建筑設(shè)計防火火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)規(guī)定。丙類生產(chǎn)的電電子工業(yè)潔凈凈廠房的潔凈凈室（區(qū)），，在關(guān)鍵生產(chǎn)產(chǎn)設(shè)備設(shè)有火火災(zāi)報警和滅滅火裝置以及及回風(fēng)氣流中中設(shè)有靈敏度度嚴(yán)于0.01%obs/m的高靈靈敏度早期火火災(zāi)報警探測測系統(tǒng)后，其其每個防火分分區(qū)的最大允允許建筑面積積可按生產(chǎn)工工藝要求確定定。6.2.4潔潔凈室的的上技術(shù)夾層層、下技術(shù)夾夾層和潔凈生生產(chǎn)層，當(dāng)按按其構(gòu)造特點(diǎn)點(diǎn)和用途作為為同一防火分分區(qū)時，上、、下技術(shù)夾層層的面積可不不計入防火分分區(qū)的建筑面面積，但應(yīng)分分別采取相應(yīng)應(yīng)的消防措施施。3、強(qiáng)制性條條文等介紹微電子潔凈廠廠房消防設(shè)施施現(xiàn)狀－－火災(zāi)報警系統(tǒng)統(tǒng)：熱感型、、煙感型、早早期煙霧探探測器等等3、強(qiáng)制性條條文等介紹微電子潔凈廠廠房消防設(shè)施施現(xiàn)狀－－火災(zāi)報警系統(tǒng)統(tǒng)：熱感型、、煙感型、早早期煙霧探探測器等等3、強(qiáng)制性條條文等介紹（高靈敏度早早期煙霧探測測裝置（VESDA，VeryEarlySmokeDetectorApparatus）或空氣氣取樣式煙霧霧探測系統(tǒng)（（AirSamplingTypeSmokeDetectionSystem）空氣采樣煙霧霧報警裝置3、強(qiáng)制性條條文等介紹3、強(qiáng)制性條條文等介紹VESDA與與一般煙霧探探測器的比較較3、強(qiáng)制性條條文等介紹6.2.6在在綜合性性廠房的一個個防火分區(qū)內(nèi)內(nèi)，潔凈生產(chǎn)產(chǎn)區(qū)域與一般般生產(chǎn)區(qū)域之之間應(yīng)設(shè)置不不燃燒體隔斷斷設(shè)施。不燃燃燒體隔斷設(shè)設(shè)施應(yīng)符合現(xiàn)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)《潔凈廠房房設(shè)計規(guī)范》》GB50073的有有關(guān)規(guī)定。6.2.7潔潔凈廠房房的安全出口口的設(shè)置，應(yīng)應(yīng)符合下列規(guī)規(guī)定：1每一生生產(chǎn)層、每個個防火分區(qū)或或每一潔凈室室的安全出口口數(shù)目，應(yīng)符符合現(xiàn)行國家家標(biāo)準(zhǔn)《潔凈凈廠房設(shè)計規(guī)規(guī)范》GB50073的有關(guān)規(guī)定定；2安全出出口應(yīng)分散布布置，并應(yīng)設(shè)設(shè)有明顯的疏疏散標(biāo)志；安安全疏散距離離應(yīng)符合現(xiàn)行行國家標(biāo)準(zhǔn)《《建筑設(shè)計防防火規(guī)范》GB50016的有關(guān)關(guān)規(guī)定。安全全疏散用門應(yīng)應(yīng)向疏散方向向開啟，并應(yīng)應(yīng)設(shè)觀察玻璃璃窗；3丙類生生產(chǎn)的電子工工業(yè)潔凈廠房房，在關(guān)鍵生生產(chǎn)設(shè)備自帶帶火災(zāi)報警和和滅火裝置以以及回風(fēng)氣流流中設(shè)有靈敏敏度嚴(yán)于0.01%obs/m的高高靈敏度早期期火災(zāi)報警探探測系統(tǒng)后，，安全疏散距距離可按工藝藝需要確定，，但不得大于于本條第2款款規(guī)定的安全全疏散距離的的1.5倍。。注：對于玻璃璃基板尺寸大大于1500mm×1850mm的的TFT-LCD廠房房，且潔凈生生產(chǎn)區(qū)人員密密度小于0.02人/m2，其疏散散距離應(yīng)按工工藝需要確定定，但不得大大于120m。3、強(qiáng)制性條條文等介紹6.2.8潔潔凈廠房房的潔凈區(qū)各各層外墻應(yīng)設(shè)設(shè)置專用消防防口，并應(yīng)符符合下列規(guī)定定：1潔凈區(qū)區(qū)各層專用消消防口的設(shè)計計，應(yīng)符合現(xiàn)現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)《潔凈廠房房設(shè)計規(guī)范》》GB50073的有有關(guān)規(guī)定；2潔凈廠廠房外墻上的的吊門、電控控自動門以及及裝有柵欄的的窗，均不應(yīng)應(yīng)作為專用消消防口。6.2.9潔潔凈廠房房內(nèi)有爆炸危危險的房間應(yīng)應(yīng)靠建筑外墻墻布置，且不不得與疏散安安全口（樓梯梯間）貼鄰。。有爆炸危險險的房間的防防爆措施、泄泄爆面積等應(yīng)應(yīng)符合現(xiàn)行國國家標(biāo)準(zhǔn)《建建筑設(shè)計防火火規(guī)范》GB50016的有關(guān)規(guī)規(guī)定。3、強(qiáng)制性條條文等介紹6.3.1潔潔凈廠房房的建筑圍護(hù)護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)內(nèi)裝修，應(yīng)選選用氣密性良良好，且在溫溫度和濕度變變化時變形小小的材料。潔潔凈室裝飾材材料及其密封封材料不得采采用釋放對電電子產(chǎn)品品質(zhì)質(zhì)有影響物質(zhì)質(zhì)的材料。裝裝修材料的燃燃燒性能應(yīng)符符合現(xiàn)行國家家標(biāo)準(zhǔn)《建筑筑內(nèi)部裝修設(shè)設(shè)計防火規(guī)范范》GB50222的的有關(guān)規(guī)定。。裝修材料的的煙密度等級級不應(yīng)大于50，材料的的煙密度等級級應(yīng)符合現(xiàn)行行國家標(biāo)準(zhǔn)《《建筑材料燃燃燒或分解的的煙密度試驗驗方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)規(guī)定。6.3.4潔潔凈廠房房技術(shù)夾層的的墻壁和頂棚棚應(yīng)滿足使用用功能要求，，且表面應(yīng)平平整、光滑。。位于地下的的技術(shù)層或技技術(shù)夾層應(yīng)采采取防水或防防潮、防霉措措施。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹7.1.6潔潔凈室室（區(qū)））與周圍圍的空間間應(yīng)保持持一定的的靜壓差差，靜壓壓差應(yīng)符符合下列列規(guī)定：：1各各潔凈室室（區(qū)））與周圍圍空間的的靜壓差差應(yīng)按生生產(chǎn)工藝藝要求確確定；2不不同等級級的潔凈凈室（區(qū)區(qū)）之間間的靜壓壓差應(yīng)大大于等于于5Pa；3潔潔凈室（（區(qū)）與與非潔凈凈室（區(qū)區(qū)）之間間的靜壓壓差應(yīng)大大于5Pa；潔凈室（（區(qū)）與與室外的的靜壓差差應(yīng)大于于10Pa。7.2.1氣氣流流流型的設(shè)設(shè)計，應(yīng)應(yīng)符合下下列要求求：1氣氣流流型型應(yīng)滿足足產(chǎn)品生生產(chǎn)工藝藝和空氣氣潔凈度度等級的的要求。?？諝鉂崫崈舳鹊鹊燃墳?～5級級時，應(yīng)應(yīng)采用單單向流或或混合流流；空氣氣潔凈度度等級為為6～9級時，，宜采用用非單向向流；2潔潔凈室工工作區(qū)的的氣流流流速應(yīng)滿滿足生產(chǎn)產(chǎn)工藝和和工作人人員健康康的要求求。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹7.2.2潔潔凈室室的送風(fēng)風(fēng)量，應(yīng)應(yīng)符合現(xiàn)現(xiàn)行國家家標(biāo)準(zhǔn)《《潔凈廠廠房設(shè)計計規(guī)范》》GB50073的的有關(guān)規(guī)規(guī)定。7.2.3潔潔凈室室（區(qū)））所需的的滿足空空氣潔凈凈度等級級的潔凈凈送風(fēng)量量和氣流流流型，，宜按表表7.2.3計計算?？諝鉂崈舳鹊燃墯饬髁餍推骄L(fēng)速（m/s）換氣次數(shù)（h-1）1～5單向流或混合流0.2～0.45—6非單向流—50～607非單向流—15～258～9非單向流—10～15表7.2.3潔潔凈凈送風(fēng)量量（靜態(tài)態(tài)）和氣氣流流型型注：1換換氣次次數(shù)適用用于層高高小于4.0m的潔凈凈室。2室內(nèi)內(nèi)人員少少、熱源源少時，，宜采用用下限值值。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹7.3.3凈凈化空空調(diào)系統(tǒng)統(tǒng)新風(fēng)的的室外吸吸入口位位置，應(yīng)應(yīng)遠(yuǎn)離本本建筑或或其它建建筑物排排放有害害物質(zhì)或或可燃物物的排氣氣口。7.3.5凈凈化空空調(diào)系統(tǒng)統(tǒng)設(shè)計應(yīng)應(yīng)合理利利用回風(fēng)風(fēng)，但下下列情況況不得回回風(fēng)：1在在生產(chǎn)過過程中向向車間內(nèi)內(nèi)散發(fā)的的有害物物質(zhì)超過過規(guī)定時時；2采采用局部部處理不不能滿足足衛(wèi)生要要求時；；3對對其它工工序有危危害或不不能避免免交叉污污染時。。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹7.5.1空空氣潔潔凈度等等級嚴(yán)于于8級的的潔凈室室（區(qū)））不應(yīng)采采用散熱熱器采暖暖。7.5.3潔潔凈室室（區(qū)））的排風(fēng)風(fēng)系統(tǒng)設(shè)設(shè)計，應(yīng)應(yīng)符合下下列要求求：1應(yīng)應(yīng)防止室室外氣流流倒灌；；2含含有易燃燃、易爆爆物質(zhì)的的局部排排風(fēng)系統(tǒng)統(tǒng)應(yīng)按其其物理化化學(xué)性質(zhì)質(zhì)采取相相應(yīng)防火火防爆措措施；3局局部排風(fēng)風(fēng)系統(tǒng)排排出的有有害氣體體，當(dāng)其其有害物物質(zhì)濃度度超過排排放標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)時，應(yīng)應(yīng)采取有有效處理理措施。。排氣管管高度和和排放速速率應(yīng)滿滿足國家家現(xiàn)行有有關(guān)排放放標(biāo)準(zhǔn)的的規(guī)定；；4對對含有水水蒸汽或或凝結(jié)物物質(zhì)的排排風(fēng)系統(tǒng)統(tǒng)，應(yīng)設(shè)設(shè)置坡度度及排放放口；5排排風(fēng)介質(zhì)質(zhì)中含有有劇毒物物質(zhì)時，，應(yīng)設(shè)置置備用排排風(fēng)機(jī)和和處理設(shè)設(shè)備，并并應(yīng)設(shè)置置應(yīng)急電電源；6排排風(fēng)介質(zhì)質(zhì)中含易易燃、易易爆等危危險物質(zhì)質(zhì)或工藝藝可靠性性要求較較高時，，應(yīng)設(shè)置置備用排排風(fēng)機(jī)，，并應(yīng)設(shè)設(shè)置應(yīng)急急電源；；7排排除有爆爆炸危險險的氣體體和粉塵塵的局部部排風(fēng)系系統(tǒng)，其其風(fēng)量應(yīng)應(yīng)按在正正常運(yùn)行行和事故故情況下下，風(fēng)管管內(nèi)爆炸炸危險的的氣體和和粉塵的的濃度不不大于爆爆炸下限限的20%計；；8排排除有爆爆炸危險險的氣體體和粉塵塵的局部部排風(fēng)系系統(tǒng)，應(yīng)應(yīng)設(shè)置消消除靜電電的接地地裝置。。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹7.5.4對對排風(fēng)風(fēng)系統(tǒng)中中含有毒毒性、爆爆炸危險險性物質(zhì)質(zhì)的排氣氣管路，，應(yīng)保持持相對于于路由區(qū)區(qū)域一定定的負(fù)壓壓值。7.5.6潔潔凈室室（區(qū)））事故排排風(fēng)系統(tǒng)統(tǒng)的設(shè)計計，應(yīng)符符合下列列規(guī)定：：1事事故排風(fēng)風(fēng)區(qū)域的的換氣次次數(shù)不應(yīng)應(yīng)小于12次/h；2應(yīng)應(yīng)設(shè)置自自動和手手動控制制開關(guān)，，手動控控制開關(guān)關(guān)應(yīng)分別別設(shè)置在在潔凈室室（區(qū)））和潔凈凈室（區(qū)區(qū)）外便便于操作作的地點(diǎn)點(diǎn)；3應(yīng)應(yīng)設(shè)置應(yīng)應(yīng)急電源源。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹7.6.1潔潔凈廠廠房中的的疏散走走廊，應(yīng)應(yīng)設(shè)置機(jī)機(jī)械排煙煙設(shè)施。。7.6.2潔潔凈廠廠房排煙煙設(shè)施的的設(shè)置應(yīng)應(yīng)符合現(xiàn)現(xiàn)行國家家標(biāo)準(zhǔn)《《建筑設(shè)設(shè)計防火火規(guī)范》》GB50016的的有關(guān)規(guī)規(guī)定，當(dāng)當(dāng)同一防防火分區(qū)區(qū)的丙類類潔凈室室（區(qū)））人員密密度小于于0.02人/m2，，且安全全疏散距距離小于于80m時，潔潔凈室（（區(qū)）可可不設(shè)機(jī)機(jī)械排煙煙設(shè)施。。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹7.7.2凈凈化空空調(diào)系統(tǒng)統(tǒng)的風(fēng)管管的防火火閥的設(shè)設(shè)置，應(yīng)應(yīng)符合現(xiàn)現(xiàn)行國家家標(biāo)準(zhǔn)《《潔凈廠廠房設(shè)計計規(guī)范》》GB50073的的有關(guān)規(guī)規(guī)定。含有可燃燃、有毒毒氣體或或化學(xué)品品的排風(fēng)風(fēng)管道，，不得設(shè)設(shè)置熔片片式防火火閥。7.7.3凈凈化空空調(diào)系統(tǒng)統(tǒng)的風(fēng)管管、配件件、過濾濾器以及及密封材材料等，，應(yīng)根據(jù)據(jù)輸送空空氣的潔潔凈度要要求確定定，并不不得采用用釋放對對電子產(chǎn)產(chǎn)品有影影響物質(zhì)質(zhì)的材料料。7.7.7風(fēng)風(fēng)管附附件及輔輔助材料料的防火火性能，，應(yīng)符合合下列規(guī)規(guī)定：1凈凈化空調(diào)調(diào)系統(tǒng)、、排風(fēng)系系統(tǒng)的風(fēng)風(fēng)管應(yīng)采采用不燃燃材料制制作，但但接觸腐腐蝕性介介質(zhì)的風(fēng)風(fēng)管和柔柔性接頭頭可采用用難燃防防腐材料料制作；；2排排煙系統(tǒng)統(tǒng)的風(fēng)管管應(yīng)采用用不燃材材料制作作；3附附件、保保溫材料料和消聲聲材料等等均應(yīng)采采用不燃燃材料或或難燃材材料。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹8.1.1潔潔凈廠廠房的給給水排水水干管應(yīng)應(yīng)敷設(shè)在在技術(shù)夾夾層或技技術(shù)夾道道內(nèi)，并并宜敷設(shè)設(shè)在通行行的技術(shù)術(shù)夾層內(nèi)內(nèi)。條件件合適時時，也可可埋地敷敷設(shè)。潔潔凈室（（區(qū)）內(nèi)內(nèi)管道宜宜暗裝，，與本房房間無關(guān)關(guān)的管道道不應(yīng)穿穿過。8.3.1生生產(chǎn)、、生活排排水系統(tǒng)統(tǒng)應(yīng)分別別設(shè)置。。生產(chǎn)排排水系統(tǒng)統(tǒng)應(yīng)根據(jù)據(jù)電子產(chǎn)產(chǎn)品生產(chǎn)產(chǎn)設(shè)備排排出的廢廢水性質(zhì)質(zhì)、污染染物濃度度和水量量等特點(diǎn)點(diǎn)確定。。有害廢廢水應(yīng)經(jīng)經(jīng)廢水處處理達(dá)到到國家或或地方排排放標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)后排放放。8.3.2潔潔凈室室（區(qū)））內(nèi)與電電子產(chǎn)品品生產(chǎn)設(shè)設(shè)備相連連接的重重力排水水管道，，應(yīng)在排排出口以以下部位位設(shè)置水水封裝置置。排水水系統(tǒng)應(yīng)應(yīng)有完善善的通氣氣系統(tǒng)。。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹8.5.1潔潔凈廠廠房必須須設(shè)置消消防給水水系統(tǒng)。。消防給給水系統(tǒng)統(tǒng)的設(shè)置置應(yīng)符合合現(xiàn)行國國家標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)《建筑筑設(shè)計防防火規(guī)范范》GB50016的有關(guān)關(guān)規(guī)定。。8.5.2潔潔凈廠廠房消火火栓的設(shè)設(shè)置應(yīng)符符合下列列規(guī)定：：1潔潔凈室（（區(qū)）的的生產(chǎn)層層及上下下技術(shù)夾夾層（不不含不通通行的技技術(shù)夾層層），應(yīng)應(yīng)設(shè)置室室內(nèi)消火火栓；2室室內(nèi)消火火栓的用用水量不不應(yīng)小于于10L/s，，同時使使用水槍槍數(shù)不應(yīng)應(yīng)少于2支，水水槍充實實水柱不不應(yīng)小于于10m，每只只水槍的的出水量量不應(yīng)小小于5L/s；；3潔潔凈廠房房室外消消火栓的的用水量量不應(yīng)小小于15L/s。8.5.3潔潔凈室室（區(qū)））設(shè)置的的固定滅滅火設(shè)施施，應(yīng)符符合下列列規(guī)定：：1設(shè)設(shè)置的自自動噴水水滅火系系統(tǒng)，應(yīng)應(yīng)符合現(xiàn)現(xiàn)行國家家標(biāo)準(zhǔn)《《自動噴噴水滅火火系統(tǒng)設(shè)設(shè)計規(guī)范范》GB50084的有關(guān)關(guān)規(guī)定。。噴水強(qiáng)強(qiáng)度不應(yīng)應(yīng)小于8L/min??m2，作用面面積不應(yīng)應(yīng)小于160m2；2設(shè)設(shè)置的氣氣體滅火火系統(tǒng)，，應(yīng)符合合現(xiàn)行國國家標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)《氣體體滅火系系統(tǒng)設(shè)計計規(guī)范》》GB50193和和《二氧氧化碳滅滅火系統(tǒng)統(tǒng)設(shè)計規(guī)規(guī)范》GB50193的的有關(guān)規(guī)規(guī)定；3存存放可燃燃?xì)怏w鋼鋼瓶的特特氣柜中中應(yīng)設(shè)置置自動滅滅火設(shè)施施。3、強(qiáng)制制性條文文等介紹紹9.2.3純純水系系統(tǒng)應(yīng)采采用循環(huán)環(huán)供水方方式，宜宜采用單單管式循循環(huán)供水水系統(tǒng)或或設(shè)有獨(dú)獨(dú)立回水水管的雙雙管式循循環(huán)供水水系統(tǒng)，，并應(yīng)符符合下列列規(guī)定：：1循循環(huán)回流流水量應(yīng)應(yīng)大于設(shè)設(shè)計供水水量的30%；；2干干管流速速應(yīng)大于等于于1.5m/s；3不不循環(huán)支支管的長長度不應(yīng)應(yīng)大于管管徑的6倍；4干干管應(yīng)設(shè)設(shè)置清洗洗口；5管管道系統(tǒng)統(tǒng)必須密密封，不不得有滲滲氣現(xiàn)象象；6應(yīng)配配備在線水水質(zhì)檢測儀儀表；對純水水質(zhì)質(zhì)要求嚴(yán)格格的電子產(chǎn)產(chǎn)品生產(chǎn)工工藝，應(yīng)采采用雙管式式循環(huán)供水水系統(tǒng)。9.3.1純水水系統(tǒng)管道道材質(zhì)的選選用，應(yīng)符符合下列要要求：1應(yīng)滿滿足純水水水質(zhì)指標(biāo)的的要求；2材料料的化學(xué)穩(wěn)穩(wěn)定性應(yīng)好好；3管道道內(nèi)壁光潔潔度應(yīng)好；；4不得得有滲氣現(xiàn)現(xiàn)象。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹10.1.5潔潔凈室（區(qū)區(qū)）內(nèi)的可可燃?xì)怏w管管道和有毒毒氣體管道道應(yīng)明敷，，穿過潔凈凈室（區(qū)））的墻壁或或樓板處的的管段應(yīng)設(shè)設(shè)置套管，，套管內(nèi)的的管道不得得有焊縫，，套管與管管道之間應(yīng)應(yīng)采取密封封措施。10.1.6可可燃?xì)怏w管管道和有毒毒氣體管道道不得穿過過不使用此此類氣體的的房間；當(dāng)當(dāng)必須穿過過時應(yīng)設(shè)套套管或雙層層管。10.1.7高高純氣體管管道設(shè)計應(yīng)應(yīng)符合下列列規(guī)定：1管徑徑應(yīng)按氣體體容許流量量、壓力或或生產(chǎn)工藝藝設(shè)備確定定，管外徑徑不宜小于于6mm，，壁厚不宜宜小于1mm;2不得得出現(xiàn)不易易吹除的““盲管”等等死空間；；3管道道系統(tǒng)應(yīng)設(shè)設(shè)置吹掃口口和取樣口口。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹10.1.8潔潔凈廠房的的可燃?xì)怏w體管道系統(tǒng)統(tǒng)應(yīng)設(shè)置下下列安全設(shè)設(shè)施：1可燃燃?xì)怏w管道道設(shè)置閥門門時應(yīng)設(shè)置置閥門箱，，閥門箱應(yīng)應(yīng)設(shè)置氣體體泄漏報警警和事故排排風(fēng)裝置，，報警裝置置應(yīng)與相應(yīng)應(yīng)的事故排排風(fēng)機(jī)聯(lián)鎖鎖；2接至至用氣設(shè)備備的支管和和放散管，，宜設(shè)置阻阻火設(shè)施；；3引至至室外的放放散管，應(yīng)應(yīng)設(shè)置防雷雷保護(hù)設(shè)施施；應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除除靜電的接接地設(shè)施。。10.2.5氣氣體純化間間（站）或或氣體入口口室內(nèi)，設(shè)設(shè)有氫氣等等可燃?xì)怏w體純化裝置置或管道時時，氣體純純化間（站站）或氣體體入口室的的火災(zāi)危險險性應(yīng)按甲甲類確定，，并應(yīng)符合合下列規(guī)定定：1應(yīng)靠靠外墻設(shè)置置，并應(yīng)設(shè)設(shè)置防爆泄泄壓設(shè)施；；2氫氣氣等可燃?xì)鈿怏w引入管管道上應(yīng)設(shè)設(shè)置自動切切斷閥；3應(yīng)具具有良好的的自然通風(fēng)風(fēng)，并應(yīng)設(shè)設(shè)置事故排排風(fēng)裝置；；4應(yīng)設(shè)設(shè)置氣體泄泄漏報警裝裝置，并應(yīng)應(yīng)與事故排排風(fēng)裝置聯(lián)聯(lián)鎖；5應(yīng)應(yīng)設(shè)置導(dǎo)除除靜電的接接地設(shè)施。。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹10.2.6潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)的氧氣管管道等，應(yīng)應(yīng)采取下列列安全技術(shù)術(shù)措施：1管道道及閥門附附件應(yīng)經(jīng)嚴(yán)嚴(yán)格的脫脂脂處理；2應(yīng)設(shè)設(shè)置導(dǎo)除靜靜電的接地地設(shè)施；氧氣引入管管道上應(yīng)設(shè)設(shè)置自動切切斷閥。10.2.8氣氣體管道和和閥門應(yīng)根根據(jù)產(chǎn)品生生產(chǎn)工藝要要求選擇，，宜符合下下列規(guī)定：：1氣體體純度大于于或等于99.999999%時，應(yīng)應(yīng)采用內(nèi)壁壁電拋光的的低碳不銹銹鋼管，閥閥門應(yīng)采用用隔膜閥；；2氣體體純度大于于或等于99.999%、露露點(diǎn)低于-76℃時時，宜采用用內(nèi)壁電拋拋光的低碳碳不銹鋼管管或內(nèi)壁電電拋光的不不銹鋼管，，閥門宜采采用隔膜閥閥或波紋管管閥；3氣體體純度大于于或等于99.99%、露點(diǎn)點(diǎn)低于-60℃時，，宜采用內(nèi)內(nèi)壁拋光的的不銹鋼管管，除可燃燃?xì)怏w管道道宜采用波波紋管閥外外，其余氣氣體管道宜宜采用球閥閥；4氣體體管道閥門門、附件的的材質(zhì)宜與與相連接的的管道材質(zhì)質(zhì)一致。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹10.4.2潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)的特種氣氣體的儲存存分配間應(yīng)應(yīng)采用耐火火極限不低低于2.0h不燃燒燒體的隔墻墻與潔凈室室（區(qū)）分分隔，隔墻墻上的門窗窗應(yīng)為甲級級防火門窗窗。10.4.3潔潔凈室（區(qū)區(qū)）內(nèi)可燃燃或有毒的的特種氣體體分配系統(tǒng)統(tǒng)的設(shè)置，，應(yīng)符合下下列規(guī)定：：1特種種氣體鋼瓶瓶（含硅烷烷或硅烷混混合物）應(yīng)應(yīng)設(shè)置在具具有連續(xù)機(jī)機(jī)械排風(fēng)的的特氣柜中中；2排風(fēng)風(fēng)機(jī)、泄漏漏報警、自自動切斷閥閥均應(yīng)設(shè)置置應(yīng)急電源源；3一個個特氣分配配系統(tǒng)供多多臺生產(chǎn)設(shè)設(shè)備使用時時，應(yīng)設(shè)置置多路閥門門箱；4可燃燃性、氧化化性特種氣氣體管道的的設(shè)置應(yīng)符符合本規(guī)范范第10.1和10.2節(jié)的有關(guān)規(guī)規(guī)定。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹10.4.4特特種氣體分分配系統(tǒng)應(yīng)應(yīng)設(shè)置吹掃掃盤，并應(yīng)應(yīng)符合下列列規(guī)定：1應(yīng)設(shè)設(shè)置應(yīng)急切切斷裝置；；2應(yīng)設(shè)設(shè)置過流量量控制裝置置；3應(yīng)設(shè)設(shè)置手動隔隔離閥；4吹掃掃氣源不宜宜采用常用用氣體系統(tǒng)統(tǒng)；5不相相容特種氣氣體的吹掃掃盤不得共共用吹掃氣氣瓶。10.4.5硅硅烷或硅烷烷混合物的的氣瓶應(yīng)存存放在潔凈凈廠房建筑筑外的儲存存區(qū)內(nèi)。儲儲存區(qū)的設(shè)設(shè)置應(yīng)符合合下列規(guī)定定：1儲存存區(qū)應(yīng)至少少三面敞開開，氣瓶應(yīng)應(yīng)固定在鋼鋼制框架上上；2氣瓶瓶或氣瓶組組與周圍的的構(gòu)筑物或或圍欄的間間距應(yīng)大于于3.0m；3儲存存區(qū)頂棚的的高度應(yīng)大大于3.5m。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹11.2.1潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)各種化學(xué)學(xué)品儲存間間（區(qū)）的的設(shè)置，應(yīng)應(yīng)符合下列列規(guī)定：1化學(xué)學(xué)品儲存間間（區(qū)）的的儲量不應(yīng)應(yīng)超過該化化學(xué)品24h的消耗耗量；2化學(xué)學(xué)品應(yīng)按物物化特性分分類儲存，，當(dāng)物化性性質(zhì)不容許許同庫儲存存時，應(yīng)采采用實體墻墻分隔；3危險險化學(xué)品應(yīng)應(yīng)儲存在單單獨(dú)的儲存存間或儲存存分配間內(nèi)內(nèi)，與相鄰鄰房間應(yīng)采采用耐火極極限大于1.50h的隔墻分分隔；4危險險化學(xué)品儲儲存、分配配間宜靠外外墻布置；；5各類類化學(xué)品儲儲存、分配配間應(yīng)設(shè)置置機(jī)械排風(fēng)風(fēng)。機(jī)械排排風(fēng)應(yīng)采用用應(yīng)急電源源；6易爆爆化學(xué)品儲儲存、分配配間，應(yīng)采采用不發(fā)生生火花的防防靜電地面面；7輸送送易燃、易易爆化學(xué)品品的管道，，應(yīng)設(shè)置導(dǎo)導(dǎo)除靜電的的接地設(shè)施施；8接至至用戶的輸輸送易燃、、易爆化學(xué)學(xué)品的總管管上，應(yīng)設(shè)設(shè)置自動和和手動切斷斷閥。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹11.2.2潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)采用容器器傳送危險險化學(xué)品時時，應(yīng)符合合下列規(guī)定定：1嚴(yán)禁禁在出入口口、疏散走走廊儲存和和分配危險險化學(xué)品。。潔凈廠房房內(nèi)運(yùn)送易易燃化學(xué)品品的走廊應(yīng)應(yīng)設(shè)置自動動滅火系統(tǒng)統(tǒng)；2運(yùn)送送危險化學(xué)學(xué)品的推車車運(yùn)載量不不得超過250L；；單個容器器的容量不不應(yīng)超過20L；3物理理化學(xué)特性性不相容的的危險化學(xué)學(xué)品不得采采用同一推推車運(yùn)送。。11.2.3當(dāng)當(dāng)采用壓力力罐輸送危危險化學(xué)品品時，應(yīng)符符合下列規(guī)規(guī)定：1輸送送系統(tǒng)設(shè)備備、管道應(yīng)應(yīng)采用與所所輸送的化化學(xué)品相容容的材質(zhì)；；2壓力力罐應(yīng)設(shè)置置減壓通風(fēng)風(fēng)口，減壓壓通風(fēng)口的的排氣管應(yīng)應(yīng)接至安全全區(qū)域；3輸送送系統(tǒng)應(yīng)只只容許采用用氮?dú)庠鰤簤海?在分分配和使用用處應(yīng)設(shè)置置手動切斷斷閥；5應(yīng)設(shè)設(shè)置液位監(jiān)監(jiān)控和自動動關(guān)閉裝置置，并應(yīng)設(shè)設(shè)置溢流應(yīng)應(yīng)對設(shè)施。。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹11.2.5液液態(tài)危險化化學(xué)品的儲儲存、分配配間，應(yīng)設(shè)設(shè)置溢出保保護(hù)設(shè)施，，并應(yīng)符合合下列規(guī)定定：1儲存存罐或罐組組應(yīng)設(shè)置保保護(hù)堤，保保護(hù)堤堤內(nèi)內(nèi)容積應(yīng)大大于最大儲儲罐的容積積或20min消防防用水量；；保護(hù)堤的的高度不應(yīng)應(yīng)低于500mm；；2化學(xué)學(xué)品相互接接觸引起化化學(xué)反應(yīng)的的可燃液體體儲罐或罐罐組之間，，應(yīng)設(shè)置隔隔堤，隔堤堤不得滲漏漏；管道穿穿過隔堤時時應(yīng)采用不不燃材料密密封。隔堤堤高度不應(yīng)應(yīng)低于400mm；；3應(yīng)設(shè)設(shè)置液體泄泄露報警；；4應(yīng)設(shè)設(shè)置緊急淋淋浴和洗眼眼器。11.3.1化化學(xué)品供應(yīng)應(yīng)系統(tǒng)管道道材質(zhì)的選選用，應(yīng)按按所輸送的的化學(xué)品的的物理化學(xué)學(xué)性質(zhì)確定定，并應(yīng)選選擇化學(xué)穩(wěn)穩(wěn)定性能良良好和相容容性好的材材料。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹12.1.6潔潔凈室（區(qū)區(qū)）內(nèi)的配配電設(shè)備，，應(yīng)選擇不不易積塵、、便于擦拭拭的小型、、暗裝設(shè)備備，不宜設(shè)設(shè)置落地安安裝的配電電設(shè)備。配配電設(shè)備宜宜設(shè)置在下下技術(shù)夾層層，并應(yīng)在在頂部設(shè)擋擋水設(shè)施。。12.1.7潔潔凈廠房的的電氣管線線宜敷設(shè)在在技術(shù)夾層層或技術(shù)夾夾道內(nèi)，宜宜采用低煙煙、無鹵型型電纜，穿穿線導(dǎo)管應(yīng)應(yīng)采用不燃燃材料。潔潔凈生產(chǎn)區(qū)區(qū)的電氣管管線宜暗敷敷，電氣管管線管口及及安裝于墻墻上的各種種電器設(shè)備備與墻體接接縫處應(yīng)采采取密封措措施。12.1.8潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)，可燃?xì)鈿怏w或液體體的儲存、、分配間的的電氣設(shè)計計，應(yīng)根據(jù)據(jù)可燃?xì)怏w體或液體的的特性確定定，并應(yīng)符符合現(xiàn)行國國家標(biāo)準(zhǔn)《《爆炸和火火災(zāi)危險環(huán)環(huán)境電力裝裝置設(shè)計規(guī)規(guī)范》GB50058的有有關(guān)規(guī)定。。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹12.2.3潔潔凈廠房備備用照明的的設(shè)置應(yīng)符符合下列規(guī)規(guī)定：1潔凈凈室（區(qū)））內(nèi)應(yīng)設(shè)備備用照明；；2備用用照明宜作作為正常照照明的一部部份，且不不應(yīng)低于該該場所一般般照明照度度值的20%；3備用照明的的電源宜由由變電所專專線供電。。12.2.4潔凈廠房內(nèi)內(nèi)應(yīng)設(shè)置供供人員疏散散用應(yīng)急照照明，其照照度不應(yīng)低低于5.0lx。在安全出出入口、疏疏散通道或或疏散通道道轉(zhuǎn)角處應(yīng)應(yīng)設(shè)置疏散散標(biāo)志。在在專用消防防口應(yīng)設(shè)置置紅色應(yīng)急急照明指示示燈。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹12.3.2潔潔凈廠房應(yīng)應(yīng)設(shè)置火災(zāi)災(zāi)自動報警警系統(tǒng)，其其防護(hù)等級級應(yīng)符合現(xiàn)現(xiàn)行國家標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)《火災(zāi)災(zāi)自動報警警系統(tǒng)設(shè)計計規(guī)范》GB50116的的有關(guān)規(guī)定定。當(dāng)防火火分區(qū)面積積超過現(xiàn)行行國家標(biāo)準(zhǔn)準(zhǔn)《建筑設(shè)設(shè)計防火規(guī)規(guī)范》GB50016規(guī)定定的最大建建筑面積允允許值時，，保護(hù)等級級應(yīng)提高為為一級。12.3.4潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)火災(zāi)探測測器的設(shè)置置應(yīng)符合下下列規(guī)定：：1潔凈凈生產(chǎn)區(qū)、、技術(shù)夾層層、機(jī)房、、站房等均均應(yīng)設(shè)置火火災(zāi)探測器器，其中潔潔凈生產(chǎn)區(qū)區(qū)、技術(shù)夾夾層應(yīng)設(shè)置置智能型探探測器；2當(dāng)潔潔凈廠房防防火分區(qū)面面積超過現(xiàn)現(xiàn)行國家標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)《建筑筑設(shè)計防火火規(guī)范》GB50016的的規(guī)定時或或頂部安裝裝點(diǎn)式探測測器不能滿滿足現(xiàn)行規(guī)規(guī)范設(shè)計要要求時，在在潔凈室（（區(qū)）內(nèi)凈凈化空調(diào)系系統(tǒng)混入新新風(fēng)前的回回風(fēng)氣流中中應(yīng)設(shè)置靈靈敏度嚴(yán)于于0.01%obs/m的的早期煙霧霧報警探測測器；3硅烷烷儲存、分分配間（區(qū)區(qū)），應(yīng)設(shè)設(shè)置紅外線線—紫外線線火焰探測測器；4潔凈凈生產(chǎn)區(qū)、、走道和技技術(shù)夾層（（不包括不不通行的技技術(shù)夾層））應(yīng)設(shè)置手手動報警按按鈕和聲光光報警裝置置。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹12.3.6潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)下列場所所應(yīng)設(shè)置氣氣體泄漏報報警裝置：：1易燃燃、易爆、、有毒氣體體的儲存分分配間（區(qū)區(qū)）；2易燃燃、易爆、、有毒氣體體的氣瓶柜柜和分配閥閥門箱內(nèi)；；3工藝藝設(shè)備的氣氣體分配箱箱和排風(fēng)管管內(nèi)。12.3.7潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)氣體報警警裝置的聯(lián)聯(lián)動控制，，應(yīng)符合下下列規(guī)定：：1應(yīng)自自動啟動相相應(yīng)的事故故排風(fēng)裝置置；2應(yīng)自自動關(guān)閉相相關(guān)部位的的進(jìn)氣閥；；3應(yīng)自自動關(guān)閉相相關(guān)部位的的電動防火火門、防火火卷簾門；；4報警警信號應(yīng)發(fā)發(fā)送至消防防控制室和和氣體控制制室。應(yīng)自自動啟動泄泄漏現(xiàn)場的的聲光警報報裝置和應(yīng)應(yīng)急廣播。。12.3.8潔潔凈廠房內(nèi)內(nèi)易燃、易易爆、有毒毒氣體泄漏漏報警值應(yīng)應(yīng)為其爆炸炸下限值或或允許濃度度值的20%。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹12.4.4凈化化空調(diào)系統(tǒng)統(tǒng)采用電加加熱器時，，電加熱器器與風(fēng)機(jī)應(yīng)應(yīng)聯(lián)鎖控制制,并應(yīng)設(shè)設(shè)置無風(fēng)、、超溫斷電電保護(hù)；當(dāng)當(dāng)采用電加加濕器時，，應(yīng)設(shè)置無無水、無風(fēng)風(fēng)斷電保護(hù)護(hù)。12.5.2當(dāng)當(dāng)電子設(shè)備備的功能接接地要求分分開設(shè)置時時，應(yīng)設(shè)有有防止雷電電反擊設(shè)施施。分開設(shè)設(shè)置的接地地系統(tǒng)接地地極應(yīng)與共共用接地系系統(tǒng)接地極極保持20m以上的的間距。3、強(qiáng)制性性條文等介介紹13.1.2防防靜電電環(huán)境境設(shè)計計應(yīng)按按電子子產(chǎn)品品或生生產(chǎn)工工序（（設(shè)備備）進(jìn)進(jìn)行分分級。。防靜靜電環(huán)環(huán)境內(nèi)內(nèi)靜電電電位位絕對對值應(yīng)應(yīng)小于于電子子產(chǎn)品品的靜靜電電電位安安全值值。防防靜電電環(huán)境境設(shè)計計應(yīng)分分為三三級，，防靜靜電環(huán)環(huán)境設(shè)設(shè)計分分級適適用場場所應(yīng)應(yīng)符合合表13.1.2的要求求。防靜電級別靜電電位絕對值V適用場所一級≤1001、半導(dǎo)體器件、集成電路、平板顯示器制造和測試的場所2、電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中操作1級靜電敏感器件制造和測試的場所二級≤2001、靜電敏感精密電子儀器的測試和維修場所2、靜電敏感電子器件制造和測試的場所三級≤1000除一級、二級場所以外的電子器件和整機(jī)的組裝、調(diào)試場所表13.1.2防防靜靜電環(huán)環(huán)境設(shè)設(shè)計分分級適適用場場所3、強(qiáng)強(qiáng)制性性條文文等介介紹13.2.1潔潔凈廠廠房防防靜電電環(huán)境境中，，防靜靜電地地面的的面層層結(jié)構(gòu)構(gòu)和材材料應(yīng)應(yīng)符合合下列列要求求：1防防靜靜電地地面的的面層層的選選擇,應(yīng)滿滿足電電子產(chǎn)產(chǎn)品生生產(chǎn)工工藝的的要求求;2防防靜靜電地地面的的表層層應(yīng)采采用靜靜電耗耗散性性材料料，靜靜電耗耗散性性材料料表面面電阻阻率應(yīng)應(yīng)為2.5×104~1×109Ω；；3防防靜靜電地地面應(yīng)應(yīng)設(shè)置置導(dǎo)靜靜電泄泄放設(shè)設(shè)施和和接地地連接接，其其地面面對地地泄放放電阻阻值應(yīng)應(yīng)為1×105～1×108Ω。。13.2.3潔潔凈廠廠房防防靜電電環(huán)境境的門門窗設(shè)設(shè)計，，應(yīng)符符合下下列要要求：：1應(yīng)應(yīng)選選用靜靜電耗耗散材材料制制作門門窗或或采用用耗散散材料料貼面面；2金金屬屬門窗窗表面面應(yīng)涂涂刷靜靜電耗耗散性性涂層層，并并應(yīng)接接地；；室內(nèi)隔隔斷和和觀察察窗安安裝大大面積積玻璃璃時，，玻璃璃表面面應(yīng)粘粘貼靜靜電耗耗散性性透明明薄膜膜或噴噴涂靜靜電耗耗散性性涂層層。13.3.4對對電子子產(chǎn)品品生產(chǎn)產(chǎn)工程程中產(chǎn)產(chǎn)生靜靜電危危害的的設(shè)備備、流流動液液體、、氣體體或粉粉體管管道應(yīng)應(yīng)采取取防靜靜電接接地措措施，，其中中有爆爆炸和和火災(zāi)災(zāi)危險險的設(shè)設(shè)備、、管道道應(yīng)符符合現(xiàn)現(xiàn)行國國家標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)《《爆炸炸和火火災(zāi)危危險環(huán)環(huán)境電電力裝裝置設(shè)設(shè)計規(guī)規(guī)范》》GB50058的有有關(guān)規(guī)規(guī)定。。3、強(qiáng)強(qiáng)制性性條文文等介介紹14.2.3凈凈化空空調(diào)系系統(tǒng)、、公用用動力力設(shè)備備和輸輸送管管道等等潔凈凈廠房房的主主要噪噪聲源源，應(yīng)應(yīng)采取取隔聲聲、消消聲、、隔振振等噪噪聲控控制措措施。?？照{(diào)調(diào)機(jī)房房、動動力站站房宜宜采取取下列列措施施：1圍圍護(hù)結(jié)結(jié)構(gòu)宜宜采取取吸聲聲和隔隔聲處處理；；2對輻輻射噪噪聲值值超過過規(guī)定定的設(shè)設(shè)備，，應(yīng)設(shè)設(shè)置隔隔聲屏屏、隔隔聲罩罩或懸懸掛吸吸聲體體等；；3機(jī)機(jī)房、、站房房內(nèi)的的控制制室的的圍護(hù)護(hù)結(jié)構(gòu)構(gòu)，宜宜采用用隔聲聲性能能良好好的材材料。。14.2.4潔潔凈室室（區(qū)區(qū)）內(nèi)內(nèi)的各各類排排風(fēng)系系統(tǒng)（（不包包括事事故排排風(fēng)系系統(tǒng)））應(yīng)設(shè)設(shè)置消消聲器器等降降噪設(shè)設(shè)施。。3、強(qiáng)強(qiáng)制性性條文文等介介紹15.1.2設(shè)計有有微振振控制制要求求的潔潔凈廠廠房時時，應(yīng)應(yīng)符合合下列列規(guī)定定：1總總平平面布布置時時，應(yīng)應(yīng)核實實相鄰鄰廠房房、建建筑物物或構(gòu)構(gòu)筑物物對精精密設(shè)設(shè)備、、儀器器的振振動影影響；；2設(shè)設(shè)有有精密密設(shè)備備、儀儀器的的潔凈凈廠房房，其其建筑筑基礎(chǔ)礎(chǔ)構(gòu)造造、結(jié)結(jié)構(gòu)選選型、、隔振振縫的的設(shè)置置、潔潔凈室室裝修修等應(yīng)應(yīng)按微微振控控制要要求設(shè)設(shè)計；；3對對設(shè)設(shè)有精精密設(shè)設(shè)備、、儀器器的潔潔凈室室（區(qū)區(qū)）有有振動動影響響的動動力設(shè)設(shè)備及及其管管道，，應(yīng)采采取主主動隔隔振措措施；；4潔潔凈凈室（（區(qū)））內(nèi)精精密設(shè)設(shè)備、、儀器器，經(jīng)經(jīng)測試試確認(rèn)認(rèn)受到到周圍圍振動動影響響時，，應(yīng)采采取被被動隔隔振措措施。。15.2.1微微振動動控制制設(shè)計計應(yīng)根根據(jù)精精密儀儀器、、設(shè)備備的特特性，，采取取綜合合隔振振措施施。3、強(qiáng)強(qiáng)制性性條文文等介介紹15.2.3精密儀儀器、、設(shè)備備的容容許振振動值值，應(yīng)應(yīng)由制制造商商提供供。無無法確確定時時，可可按附附錄C或根據(jù)據(jù)其工工作特特性確確定。。15.3.2有微振振動控制要求求的潔凈室（（區(qū)），其建建筑結(jié)構(gòu)的微微振動控制