結(jié)構(gòu)介紹課件

結(jié)構(gòu)介紹結(jié)構(gòu)介紹1（優(yōu)選）結(jié)構(gòu)介紹（優(yōu)選）結(jié)構(gòu)介紹結(jié)構(gòu)介紹課件供電系統(tǒng)供電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件其它部件的作用PumpFrame提供反映所需的真空度Cryopumpcompressor提供HE給Cryopump,保證冷泵正常工作Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及Heater其它部件的作用PumpFrame提供反映所需的真空度MAINFRAME上腔體構(gòu)成MAINFRAME上腔體構(gòu)成傳輸過(guò)程傳輸過(guò)程系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。ORIENT/DEGAS軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。Waferliftswillgoto“l(fā)ift”butnotto“release”HPRobotHomingRoutineOperationW/OInverterSlitvalvewill“open”butnot“close”IndexerBrake軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。IndexerBrakeIndexerBrakeORIENT/DEGAS軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。真空系統(tǒng)系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件RobotRobot結(jié)構(gòu)介紹課件6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。Cryopumpcompressor提供HE給Cryopump,保證冷泵正常工作8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。Cassatteswillrotate“out”butnot“in”PumpFrame提供反映所需的真空度PVDchamberIndexerBrake8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。Cassatteswillrotate“out”butnot“in”Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及Heater5

信息儲(chǔ)存在RAM中，直到完成3600的旋轉(zhuǎn)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。在靶才上通負(fù)的直流電壓，Shield充當(dāng)接地，電位差使AR原子電離成AR離子，被接負(fù)電壓的靶才吸引而撞擊靶才，生成金屬原子沉積在Wafer表面，從而達(dá)到Sputtering的目的。Slitvalvewill“open”butnot“close”IndexerBrake軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。IndexerBrakeIndexerBrakeHPRobotHomingRoutine6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。HPRobot結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及Heater軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。MAINFRAME上腔體構(gòu)成6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。IndexerBrakeCassatteswillrotate“out”butnot“in”O(jiān)perationW/OInverter系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。Cassatteswillrotate“out”butnot“in”6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。PumpFrame提供反映所需的真空度軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OperationW/OInverterSystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。Loadlock系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件DifferentialPumpingPortDifferentialPumpingPortIndexerBrakePresentthecassettestagefromfallingincaseofpowerfailureIndexerBrakePresentthecasseORIENT/DEGASORIENT/DEGASORIENT工作原理1.

OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。2.

SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。3.

軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。ORIENT工作原理1.

OrienterBoard發(fā)出4

步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)圓片旋轉(zhuǎn)，達(dá)到正常的轉(zhuǎn)速后，則CPU開始讀取CCD中的信息（步進(jìn)電機(jī)每轉(zhuǎn)動(dòng)四步讀取一次）。5

信息儲(chǔ)存在RAM中，直到完成3600的旋轉(zhuǎn)。6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的平邊。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。9.系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。4

步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)圓片旋轉(zhuǎn)，達(dá)到正常的轉(zhuǎn)速后，則RFSYSTEMRFSYSTEM結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件PVDchamberPVDchamber結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件工作原理工作原理7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的平邊。ORIENT/DEGASOperationW/OInverterWaferliftswillgoto“l(fā)ift”butnotto“release”Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及HeaterOrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。IndexerBrakeSlitvalvewill“open”butnot“close”PumpFrame提供反映所需的真空度PVDchamber軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。MAINFRAME上腔體構(gòu)成8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的平邊。系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。Cryopumpcompressor提供HE給Cryopump,保證冷泵正常工作在靶才上通負(fù)的直流電壓，Shield充當(dāng)接地，電位差使AR原子電離成AR離子，被接負(fù)電壓的靶才吸引而撞擊靶才，生成金屬原子沉積在Wafer表面，從而達(dá)到Sputtering的目的。7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的GasLinesGasLines結(jié)構(gòu)介紹課件PneumaticPneumatic結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件OperationW/OInverter8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。OperationW/OInverterMAINFRAME上腔體構(gòu)成IndexerBrakeORIENT/DEGAS6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。PVDchamberPVDchamberOrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。IndexerBrake5

信息儲(chǔ)存在RAM中，直到完成3600的旋轉(zhuǎn)。MAINFRAME上腔體構(gòu)成OperationW/OInverterIndexerBrakeOperationW/OInverterOperationW/OInverterIndexerBrakeOperationW/OInverter系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的平邊。PVDchamber6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。PumpFrame提供反映所需的真空度軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。ORIENT/DEGASORIENT/DEGASIndexerBrake6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。PumpFrame提供反映所需的真空度4

步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)圓片旋轉(zhuǎn)，達(dá)到正常的轉(zhuǎn)速后，則CPU開始讀取CCD中的信息（步進(jìn)電機(jī)每轉(zhuǎn)動(dòng)四步讀取一次）。Waferliftswillgoto“l(fā)ift”butnotto“release”6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。OperationW/OInverterSlitvalvewill“open”butnot“close”Waferliftswillgoto“l(fā)ift”butnotto“release”LLCdoorswill“open”butnot“close”Cassatteswillrotate“out”butnot“in”Shutterwillmoveto“storage”butnotrotate“in”O(jiān)perationW/OInverterIndexer結(jié)構(gòu)介紹結(jié)構(gòu)介紹55（優(yōu)選）結(jié)構(gòu)介紹（優(yōu)選）結(jié)構(gòu)介紹結(jié)構(gòu)介紹課件供電系統(tǒng)供電系統(tǒng)結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件其它部件的作用PumpFrame提供反映所需的真空度Cryopumpcompressor提供HE給Cryopump,保證冷泵正常工作Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及Heater其它部件的作用PumpFrame提供反映所需的真空度MAINFRAME上腔體構(gòu)成MAINFRAME上腔體構(gòu)成傳輸過(guò)程傳輸過(guò)程系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。ORIENT/DEGAS軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。Waferliftswillgoto“l(fā)ift”butnotto“release”HPRobotHomingRoutineOperationW/OInverterSlitvalvewill“open”butnot“close”IndexerBrake軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。IndexerBrakeIndexerBrakeORIENT/DEGAS軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。真空系統(tǒng)系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件RobotRobot結(jié)構(gòu)介紹課件6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。Cryopumpcompressor提供HE給Cryopump,保證冷泵正常工作8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。Cassatteswillrotate“out”butnot“in”PumpFrame提供反映所需的真空度PVDchamberIndexerBrake8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。Cassatteswillrotate“out”butnot“in”Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及Heater5

信息儲(chǔ)存在RAM中，直到完成3600的旋轉(zhuǎn)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。在靶才上通負(fù)的直流電壓，Shield充當(dāng)接地，電位差使AR原子電離成AR離子，被接負(fù)電壓的靶才吸引而撞擊靶才，生成金屬原子沉積在Wafer表面，從而達(dá)到Sputtering的目的。Slitvalvewill“open”butnot“close”IndexerBrake軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。IndexerBrakeIndexerBrakeHPRobotHomingRoutine6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。HPRobot結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及Heater軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。MAINFRAME上腔體構(gòu)成6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。IndexerBrakeCassatteswillrotate“out”butnot“in”O(jiān)perationW/OInverter系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。Cassatteswillrotate“out”butnot“in”6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。PumpFrame提供反映所需的真空度軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。OperationW/OInverterSystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。Loadlock系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件DifferentialPumpingPortDifferentialPumpingPortIndexerBrakePresentthecassettestagefromfallingincaseofpowerfailureIndexerBrakePresentthecasseORIENT/DEGASORIENT/DEGASORIENT工作原理1.

OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。2.

SystemController將有關(guān)圓片的尺寸型號(hào)等信息傳遞給OrienterBoard。3.

軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。ORIENT工作原理1.

OrienterBoard發(fā)出4

步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)圓片旋轉(zhuǎn)，達(dá)到正常的轉(zhuǎn)速后，則CPU開始讀取CCD中的信息（步進(jìn)電機(jī)每轉(zhuǎn)動(dòng)四步讀取一次）。5

信息儲(chǔ)存在RAM中，直到完成3600的旋轉(zhuǎn)。6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的平邊。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。9.系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。4

步進(jìn)電機(jī)帶動(dòng)圓片旋轉(zhuǎn)，達(dá)到正常的轉(zhuǎn)速后，則RFSYSTEMRFSYSTEM結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件PVDchamberPVDchamber結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件工作原理工作原理7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的平邊。ORIENT/DEGASOperationW/OInverterWaferliftswillgoto“l(fā)ift”butnotto“release”Heatexchange提供DIWATER，冷卻PVD腔體以及HeaterOrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。OrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。IndexerBrakeSlitvalvewill“open”butnot“close”PumpFrame提供反映所需的真空度PVDchamber軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。MAINFRAME上腔體構(gòu)成8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)。7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的平邊。系統(tǒng)控制器獲得圓片的中心和WaferChuck的中心后，指導(dǎo)ROBOT取片。Cryopumpcompressor提供HE給Cryopump,保證冷泵正常工作在靶才上通負(fù)的直流電壓，Shield充當(dāng)接地，電位差使AR原子電離成AR離子，被接負(fù)電壓的靶才吸引而撞擊靶才，生成金屬原子沉積在Wafer表面，從而達(dá)到Sputtering的目的。7

校正圓片在chuck上的數(shù)據(jù)，最終確定原片的GasLinesGasLines結(jié)構(gòu)介紹課件PneumaticPneumatic結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件結(jié)構(gòu)介紹課件OperationW/OInverter8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。8

把圓片旋轉(zhuǎn)到預(yù)定的角度上。OperationW/OInverterMAINFRAME上腔體構(gòu)成IndexerBrakeORIENT/DEGAS6

軟件分析數(shù)據(jù)，確定圓片的中心。PVDchamberPVDchamberOrienterBoard發(fā)出信號(hào)通知系統(tǒng)開始找平邊過(guò)程。軟件校準(zhǔn)CCDBoard，使得由激光管發(fā)出的光