集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件

集成電路制造工藝及常用設(shè)備1、不要輕言放棄，否則對不起自己。2、要冒一次險!整個生命就是一場冒險。走得最遠的人，常是愿意去做，并愿意去冒險的人?！胺€(wěn)妥”之船，從未能從岸邊走遠。--戴爾．卡耐基。3、人生就像一杯沒有加糖的咖啡，喝起來是苦澀的，回味起來卻有久久不會退去的余香。4、守業(yè)的最好辦法就是不斷的發(fā)展。5、當(dāng)愛不能完美，我寧愿選擇無悔，不管來生多么美麗，我不愿失去今生對你的記憶，我不求天長地久的美景，我只要生生世世的輪回里有你。集成電路制造工藝及常用設(shè)備集成電路制造工藝及常用設(shè)備1、不要輕言放棄，否則對不起自己。2、要冒一次險!整個生命就是一場冒險。走得最遠的人，常是愿意去做，并愿意去冒險的人?！胺€(wěn)妥”之船，從未能從岸邊走遠。--戴爾．卡耐基。3、人生就像一杯沒有加糖的咖啡，喝起來是苦澀的，回味起來卻有久久不會退去的余香。4、守業(yè)的最好辦法就是不斷的發(fā)展。5、當(dāng)愛不能完美，我寧愿選擇無悔，不管來生多么美麗，我不愿失去今生對你的記憶，我不求天長地久的美景，我只要生生世世的輪回里有你。集成電路制造工藝及常用設(shè)備1.高溫氧化工藝11硅的熱氧化硅的熱氧化是指在高溫下,硅片表面同氧氣或水進行反應(yīng),生成O氧、水汽氧化三硅的熱氧化有:千氧、濕種。一、初中體育教學(xué)困境在目前的初中體育教學(xué)的過程中，因為學(xué)校、學(xué)生、家長等方面的種種原因，所以使得實際體育教學(xué)中表現(xiàn)出許多的問題。第一，初中體育教學(xué)不夠重視，雖然體育早已經(jīng)成為了初中教學(xué)的重要學(xué)科，但是初中的教學(xué)模式并沒有發(fā)生什么改變，學(xué)校主要以學(xué)生體育的各個項目的達標(biāo)率以及學(xué)生的學(xué)習(xí)成績作為主要的教學(xué)目標(biāo)。這樣的模式導(dǎo)致初中體育教學(xué)地位不夠，不受重視，而體育學(xué)科的不受重視就使得體育老師在學(xué)生中的地位嚴重不足，體育老師的教學(xué)活動很難開展開。一些學(xué)校甚至將體育作為副科，為了提高其他某些科目的成績便任意的取消體育課程。這樣的做法讓體育老師開展教學(xué)工作的積極性大打折扣，同時也導(dǎo)致學(xué)生喪失了學(xué)習(xí)體育的興趣。從而導(dǎo)致初中體育教學(xué)質(zhì)量低的問題。第二，初中體育不夠規(guī)范，體育的教學(xué)方法對于體育教學(xué)的效果有著非常重要的作用。但是即便如此，很多初中學(xué)校的體育教學(xué)活動仍然采取“放羊式”教學(xué)，即自由活動。自由活動是許多的體育老師經(jīng)常采取的體育教學(xué)方法，但是這樣的教學(xué)方法并不能達到體育的教學(xué)目標(biāo)教學(xué)要求，更是不可能達到專業(yè)體育訓(xùn)練的標(biāo)準(zhǔn)。這樣不重視的、懶散的教學(xué)方式會導(dǎo)致學(xué)生難以認識學(xué)習(xí)體育知識的重要性，并且慢慢的對學(xué)習(xí)體育失去興趣，嚴重的還會造成老師與學(xué)生之間的關(guān)系不和。第三，老師教授的內(nèi)容與學(xué)生感興趣的內(nèi)容之間的沖突越發(fā)的尖銳。雖然說學(xué)生是體育教學(xué)課堂中的主體，但是許多的老師仍然以教師為主體。老師往往按部就班的按照學(xué)期計劃制定相關(guān)學(xué)時以及教學(xué)任務(wù)，極少開展針對性的體育教學(xué)。學(xué)生很容易對這些內(nèi)容產(chǎn)生厭學(xué)情緒，學(xué)生對于體育課程的興趣逐漸消失。隨著時間的推移，老師更加難以了解學(xué)生的興趣，而學(xué)生也不想更加了解體育知識。即便學(xué)生對某些體育知識或內(nèi)容有興趣，也許因為老師的原因而使學(xué)生能在體育課中學(xué)到自己感興趣的事物的概率大幅度降低。體育老師自己學(xué)生都慢慢的對體育這門學(xué)科的教學(xué)產(chǎn)生了抵觸情緒，老師的態(tài)度冷漠而且敷衍，而學(xué)生則會認為體育課就是一門讓你玩的課程，學(xué)不學(xué)都無所謂。二、解決的對策第一，讓學(xué)生、家?L等了解學(xué)習(xí)體育知識的重要性。國家計劃生育的措施使得現(xiàn)在的大多數(shù)家庭都是獨生子女，學(xué)生的家長太過于呵護孩子，舍不得讓孩子吃一點苦?，F(xiàn)代社會觀念的改變使得學(xué)校對學(xué)生的安全問題越加重視。在體育課外活動中，學(xué)生在上課的過程中極有可能會發(fā)生意外，尤其是劇烈的體育活動。然而學(xué)校由于害怕承擔(dān)責(zé)任，所以，部分學(xué)校直接取消了體育教學(xué)中相對劇烈的體育活動。這樣的狀況嚴重阻礙了體育的教學(xué)進程，這也是目前初中學(xué)生的身體素質(zhì)日益變差的重要原因。所以，要想解決初中體育教學(xué)的問題，首先要將學(xué)生、家長等的錯誤的思想觀念改變。然而家長對孩子過分保護的思想觀念是阻礙學(xué)生身體素質(zhì)提升的主要原因，由此可知，想要提升學(xué)生的身體素質(zhì)首要的措施是要讓家長們充分的認識到學(xué)生身體素質(zhì)提升的重要性、鍛煉身體以及學(xué)習(xí)體育的重要性。第二，有針對性的教學(xué)，初中學(xué)生對于體育的理解不相同，就導(dǎo)致其對于參與體育活動的想法也會不相同。學(xué)生在各方面的能力上都不相同，每個學(xué)生的體育基礎(chǔ)也不相同。所以，在進行體育教學(xué)活動時，就要盡力做到因材施教，根據(jù)不同學(xué)生不同的情況來確定所教學(xué)的內(nèi)容。假如是集體統(tǒng)一進行教學(xué)，那么就會導(dǎo)致體育基礎(chǔ)較好的學(xué)生得不到較好的鍛煉或者是基礎(chǔ)較差的同學(xué)感到體育太難，很快的便會失去學(xué)習(xí)體育的信心以及興趣。因此，體育老師應(yīng)當(dāng)要在了解學(xué)生的基礎(chǔ)上制定合適學(xué)生的教學(xué)目標(biāo)真正做到因材施教。第三，興趣教學(xué)，初中學(xué)生對自己的興趣也能有一個較為清晰的認知，知道自己喜歡什么不喜歡什么。有的學(xué)生喜歡羽毛球；有的學(xué)生喜歡籃球；有的學(xué)生喜歡乒乓球等等。學(xué)校的領(lǐng)導(dǎo)可以根據(jù)學(xué)生的興趣開設(shè)專門的課程，教羽毛球的、籃球、乒乓球等的老師都有，讓學(xué)生在開學(xué)的第一課就自己選好想要上的課程。這樣的教學(xué)方式，使得學(xué)生在快樂中學(xué)習(xí)，能夠更加充分的了解學(xué)生感興趣的體育活動，將自己擅長的體育活動練習(xí)得更厲害，也可以涉足自己不熟悉的體育活動領(lǐng)域，學(xué)習(xí)新的體育活動。如此一來在推動不同的體育教學(xué)活動的同時，滿足了學(xué)生的個性化發(fā)展。第四，提升老師的專業(yè)化水平，初中體育教學(xué)活動對教師的要求日益提高，不僅要求老師有足夠的專業(yè)知識，而且還要能夠熟悉掌握學(xué)生的心理。所以，打破初中體育教學(xué)的困境還需要提升初中體育老師的專業(yè)素養(yǎng)。為解決這一問題，學(xué)校應(yīng)引進專業(yè)體育師范學(xué)校的優(yōu)秀教師，提高教師的工資待遇，組織老師們進行定期的培訓(xùn)。還要對體育老師進行各方面的考核，督促老師積極提升自我的專業(yè)素養(yǎng)。其次，學(xué)校還要采取相應(yīng)措施監(jiān)督促進體育老師認真負責(zé)的開展教學(xué)活動。三、結(jié)語初中的體育教學(xué)常常不被重視，這不光阻礙學(xué)生身體素質(zhì)的提升，更加影響其他文化課程的學(xué)習(xí)情況以及身心的健康發(fā)展。所以，解決初中體育不受重視的問題勢在必行。創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育是一種旨在培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新精神、創(chuàng)業(yè)意識和創(chuàng)業(yè)能力的教育，是解決大學(xué)生就業(yè)難和建立創(chuàng)新型國家的必然選擇。在高職院校大力開展創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育是高職教育教學(xué)改革的重要途徑，通過改革人才培養(yǎng)模式，促進專業(yè)改革與建設(shè)，帶動課程體系、教學(xué)內(nèi)容和教學(xué)方法的改革，為我國社會主義現(xiàn)代化建設(shè)培養(yǎng)高素質(zhì)、高技能、應(yīng)用創(chuàng)新型人才。一、創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系的界定創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系既包括獨立開設(shè)的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)類實體課程，又融入包括公共基礎(chǔ)課、專業(yè)課的滲透性課程；既包括創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基礎(chǔ)理論課程，又包括創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的模擬性、體驗性實訓(xùn)課程。此外，還包括以在校大學(xué)生為主體的有組織、面向社會的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實踐活動和校園科技文化活動中的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)部分。二、創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程建設(shè)中存在的問題課程建設(shè)是創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育中的一個核心問題，是實現(xiàn)人才培養(yǎng)目標(biāo)的基本保障。目前許多高職院校都在大力開展創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育，但是，多數(shù)院校僅僅是增設(shè)“職業(yè)生涯規(guī)劃”、“就業(yè)指導(dǎo)”課程，或者組織個別有較強創(chuàng)新意識的學(xué)生參加各省、國家“挑戰(zhàn)杯”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)計劃競賽，這導(dǎo)致創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育不規(guī)范、不系統(tǒng)、針對性不強，大部分學(xué)生很難得到訓(xùn)練。究其原因，是大多數(shù)高職院校沒有將創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育理念貫穿到整個專業(yè)人才培養(yǎng)目標(biāo)中去，開設(shè)的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程也沒有真正融入到專業(yè)課程體系中，沒有形成以創(chuàng)業(yè)為主線的系統(tǒng)的、完善的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系。三、高職會計專業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系的建設(shè)全面提高高職會計專業(yè)學(xué)生的素質(zhì)，培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新意識和創(chuàng)業(yè)能力以適應(yīng)時代發(fā)展的需要是當(dāng)前高職會計教學(xué)改革的趨勢。在高職院校會計專業(yè)開展創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育，其課程體系應(yīng)圍繞會計專業(yè)人才培養(yǎng)目標(biāo)與專業(yè)課程體系來設(shè)置，建立一套完善的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育課程體系，將創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育融入到專業(yè)課程體系中，并考慮課程內(nèi)容的前后銜接、連貫及過渡關(guān)系，其設(shè)置可分為理論課模塊和實踐課模塊。1.理論課模塊。（1）創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基礎(chǔ)理論課創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基礎(chǔ)理論課是對創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)知識做一個全面系統(tǒng)的了解并向?qū)W生傳授與創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)相關(guān)的核心知識的課程，屬于獨立開設(shè)的課程，可以通過講座和專題等多種方式開展教學(xué)，由會計專業(yè)的老師和會計專家進行講授會收到較好的教學(xué)效果。如在第一學(xué)期安排《專業(yè)教育》的學(xué)習(xí)，讓新生對自己的專業(yè)和未來的職業(yè)有所了解，以便合理地制定大學(xué)學(xué)習(xí)目標(biāo)和學(xué)習(xí)計劃；開設(shè)《職業(yè)生涯與發(fā)展規(guī)劃》、《創(chuàng)新性思維》、《就業(yè)指導(dǎo)與創(chuàng)業(yè)教育》課程，通過講授創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基本知識、介紹成功人士創(chuàng)業(yè)經(jīng)歷等培養(yǎng)學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的思維意識；開設(shè)《創(chuàng)新與創(chuàng)業(yè)精神》、《創(chuàng)業(yè)心理與技能》、《創(chuàng)業(yè)管理》等課程，著重培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新精神、加強學(xué)生對創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)構(gòu)想設(shè)計和技能的訓(xùn)練；開設(shè)《現(xiàn)代企業(yè)管理》、《市場營銷》等課程，傳授給學(xué)生與創(chuàng)業(yè)有關(guān)的知識。（2）融入專業(yè)理論課程教學(xué)過程中的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育這種方式不需要打破現(xiàn)有的課程體系，主要是在已開課程中挖掘開發(fā)、增強和融入創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育的內(nèi)容。將與創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)有關(guān)的道德和品質(zhì)課程融入兩課的教學(xué)過程中；將與創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)知識與能力有關(guān)的課程融入會計專業(yè)課（會計實務(wù)、財務(wù)管理等）的教學(xué)中。2.實踐課模塊。（1）融入會計實訓(xùn)課程教學(xué)過程中的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育傳統(tǒng)的會計專業(yè)實訓(xùn)課程主要是以專業(yè)核算技能為主，會計實訓(xùn)的動態(tài)仿真性差，無法體現(xiàn)出會計是如何參與企業(yè)的管理，而且會計實訓(xùn)多數(shù)是獨立的實訓(xùn)，無法培養(yǎng)學(xué)生的團結(jié)合作精神。解決這一問題行之有效的辦法是引入ERP沙盤模擬實訓(xùn)，即在基礎(chǔ)會計實訓(xùn)、財務(wù)會計實訓(xùn)、管理會計實訓(xùn)、財務(wù)管理實訓(xùn)、會計綜合實訓(xùn)課程中增添ERP沙盤實訓(xùn)內(nèi)容，創(chuàng)建一個仿真的企業(yè)環(huán)境，建立起動態(tài)的實訓(xùn)體系，幫助學(xué)生建立創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育所需的知識體系，促進、激發(fā)和增強學(xué)生的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)能力，以及學(xué)生的團隊協(xié)作能力和溝通能力。（2）賽事和活動在第四學(xué)期，也就是大二的下學(xué)期，可結(jié)合省、國家“挑戰(zhàn)杯”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)活動競賽來開展大學(xué)生模擬創(chuàng)業(yè)活動，主要采取模擬演練、專題講座的形式，培養(yǎng)學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的心理品質(zhì)、增強學(xué)生的創(chuàng)新意識、鍛煉學(xué)生的各種能力，包括理論聯(lián)系實際并運用專業(yè)知識處理相關(guān)問題的能力、分工合作能力、組織能力、書寫及作品包裝能力、形象和語言表達能力和心理承受能力等。而學(xué)生模擬創(chuàng)業(yè)活動的最終成果—“創(chuàng)業(yè)計劃書”正是對會計專業(yè)學(xué)生所學(xué)專業(yè)知識的一個綜合運用，內(nèi)容包括了創(chuàng)業(yè)背景、創(chuàng)業(yè)團隊、市場調(diào)研、營銷策略、資金計劃、財務(wù)分析與預(yù)測、風(fēng)險評估、退出計劃等，動態(tài)的、仿真的創(chuàng)業(yè)情景加深了學(xué)生對企業(yè)會計工作的感性認識，通過對學(xué)生進行相應(yīng)的崗位鍛煉，使其對于維持企業(yè)正常運作的供應(yīng)、采購、生產(chǎn)、庫存管理、銷售及物流配送等完整供應(yīng)鏈系統(tǒng)有大致的了解，更加深入理解企業(yè)的實際運作過程，清楚感受到企業(yè)和企業(yè)之間的競爭，大大激發(fā)學(xué)生的創(chuàng)業(yè)激情，提高創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)水平。（3）企業(yè)實踐教學(xué)目前高職院校大力開展了實踐教學(xué)改革，加強了與企業(yè)的合作，建立了校外實訓(xùn)基地。會計專業(yè)在創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育中，應(yīng)充分利用這一平臺，進一步深化校企合作，開展多種形式的實踐教學(xué)。如安排學(xué)生進行企業(yè)調(diào)研，對企業(yè)進行全程跟蹤，在專業(yè)教師的指導(dǎo)下要求學(xué)生綜合會計核算、企業(yè)管理、企業(yè)理財、營銷策劃等多種專業(yè)知識與創(chuàng)新思維、探究方法等內(nèi)容相結(jié)合，以分析和幫助解決對應(yīng)企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營中存在的問題為實踐項目，實現(xiàn)專業(yè)能力的交叉融合，從而提高高職學(xué)生自主思考、自主分析、自主學(xué)習(xí)等創(chuàng)新能力，從而分析和解決企業(yè)實際工作中的問題或者提供解決問題的思路和建議。另外，有條件的學(xué)校還可設(shè)立會計服務(wù)公司，給學(xué)生提供更多的實踐機會，通過豐富的實踐活動，培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)業(yè)技能。集成電路制造工藝及常用設(shè)備1、不要輕言放棄，否則對不起自己。1集成電路制造工藝及常用設(shè)備集成電路21.高溫氧化工藝11硅的熱氧化硅的熱氧化是指在高溫下,硅片表面同氧氣或水進行反應(yīng),生成O氧、水汽氧化三硅的熱氧化有:千氧、濕種。1.高溫氧化工藝312硅熱氧化的厚度計算如果氧化前已存在厚度為t0的氧化層,則(3-11)微分方程的解為:(tox:是總的氧化層厚度)OX+Atoy=b(t+r)(4-12)2DHP式中A=2D+B2z=50+A(3-13)B在各種工藝條件下,參數(shù)A和B都是已知的,t是氧化時間。τ是一個時間參數(shù),單位是小時(h)。12硅熱氧化的厚度計算432熱氧化原理和方法硅的熱氧化分干氧和濕氧兩種。干氧是在高溫下氧分子與硅表面的原子反應(yīng)生成SO2SiO反應(yīng)擴散SiSi+o=sio32熱氧化原理和方法513不同的熱氧化方式生長的SiO,膜性質(zhì)比較●干氧氧化的SiO2膜結(jié)構(gòu)致密,干燥、均勻性和重復(fù)性好、掩蔽能力強、鈍化效果好,與光刻膠的接觸良好,光刻時不易浮膠●水汽氧化的SiO2膜結(jié)構(gòu)疏松,表面有斑點和缺陷,含水量多,對雜質(zhì)的掩蔽能力差,所以在工藝中很少單獨采用。13不同的熱氧化方式生長的SiO,膜性質(zhì)比較6●濕氧氧化生長的膜致密性略差于干氧生長的SiO2膜,但它具有生長速率快的優(yōu)點,其掩蔽能力和鈍化效果都能滿足一般器件的要求。其缺點是表面有硅烷醇存在,使SiO,膜與光刻膠接觸不良,光刻時容易浮膠。同時,濕氧氧化后的Si片表面存在較多的位錯和腐蝕坑?！駶裱跹趸L的膜致密性略差于干氧生7在實際工藝應(yīng)用中,生長高質(zhì)量的幾百A的SO2薄膜一般采用干氧的方式SiO2薄膜厚度需要幾千A以上時,一般采用干氧一濕氧一干氧的方式,既保證了所需的厚度,縮短了氧化時間,又改善了表面的完整性和解決了光刻時的浮膠問題?！駸嵫趸L的SO2薄膜質(zhì)量好,但是反應(yīng)溫度比較高。襯底只能用于單晶硅表面。在實際工藝應(yīng)用中,生長高質(zhì)量的幾82.離子注入離子注入的優(yōu)點●離子注入可以通過分別調(diào)節(jié)注入離子的能量、數(shù)量,精確地控制摻雜的深度和濃度,所以可以制備理想的雜質(zhì)分布。2.離子注入9●擴散法摻雜時受到化學(xué)結(jié)合力、擴散系數(shù)及固溶度等方面的限制,而離子注入是一個物理過程,所以它可以注入各種元素●擴散法是在高溫下?lián)诫s,離子注入法摻雜般在室溫下進行(也可以在加溫或低溫下進行)●擴散法摻雜時受到化學(xué)結(jié)合力、擴散系數(shù)及10●離子注入法可以做到高純度的摻雜,避免有害物質(zhì)進入硅片?！駸釘U散時只能采用SiO2等少數(shù)耐高溫的介質(zhì)進行局部摻雜,但是離子注入法可以采用光刻膠作為掩蔽膜,進行局部注入摻雜。●熱擴散時,雜質(zhì)在縱向擴散的同時進行橫向擴散,兩者幾乎一樣,而離子注入的橫向擴散很小?！耠x子注入法可以做到高純度的摻雜,避免有11集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件12集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件13集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件14集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件15集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件16集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件17集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件18集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件19集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件20集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件21集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件22集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件23集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件24集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件25集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件26集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件27集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件28集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件29集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件30集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件31集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件32集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件33集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件34集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件35集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件36集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件37集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件38集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件39集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件40集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件41集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件42集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件43集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件44集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件45集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件46集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件47集成電路制造工藝及常用設(shè)備課件48謝謝！21、要知道對好事的稱頌過于夸大，也會招來人們的反感輕蔑和嫉妒?！喔?/p>

22、業(yè)精于勤，荒于嬉；行成于思，毀于隨?！n愈

23、一切節(jié)省，歸根到底都歸結(jié)為時間的節(jié)省?！R克思

24、意志命運往往背道而馳，決心到最后會全部推倒?！勘葋?/p>

25、學(xué)習(xí)是勞動，是充滿思想的勞動?！獮跎晁够淅祟j藍辣襖駒靴鋸瀾互慌仲寫繹衰斡染圾明將呆則孰盆瘸砒腥悉漠塹脊髓灰質(zhì)炎(講課2019)脊髓灰質(zhì)炎(講課2019)謝謝！21、要知道對好事的稱頌過于夸大，也會招來人們的反感輕49集成電路制造工藝及常用設(shè)備1、不要輕言放棄，否則對不起自己。2、要冒一次險!整個生命就是一場冒險。走得最遠的人，常是愿意去做，并愿意去冒險的人?！胺€(wěn)妥”之船，從未能從岸邊走遠。--戴爾．卡耐基。3、人生就像一杯沒有加糖的咖啡，喝起來是苦澀的，回味起來卻有久久不會退去的余香。4、守業(yè)的最好辦法就是不斷的發(fā)展。5、當(dāng)愛不能完美，我寧愿選擇無悔，不管來生多么美麗，我不愿失去今生對你的記憶，我不求天長地久的美景，我只要生生世世的輪回里有你。集成電路制造工藝及常用設(shè)備集成電路制造工藝及常用設(shè)備1、不要輕言放棄，否則對不起自己。2、要冒一次險!整個生命就是一場冒險。走得最遠的人，常是愿意去做，并愿意去冒險的人?！胺€(wěn)妥”之船，從未能從岸邊走遠。--戴爾．卡耐基。3、人生就像一杯沒有加糖的咖啡，喝起來是苦澀的，回味起來卻有久久不會退去的余香。4、守業(yè)的最好辦法就是不斷的發(fā)展。5、當(dāng)愛不能完美，我寧愿選擇無悔，不管來生多么美麗，我不愿失去今生對你的記憶，我不求天長地久的美景，我只要生生世世的輪回里有你。集成電路制造工藝及常用設(shè)備1.高溫氧化工藝11硅的熱氧化硅的熱氧化是指在高溫下,硅片表面同氧氣或水進行反應(yīng),生成O氧、水汽氧化三硅的熱氧化有:千氧、濕種。一、初中體育教學(xué)困境在目前的初中體育教學(xué)的過程中，因為學(xué)校、學(xué)生、家長等方面的種種原因，所以使得實際體育教學(xué)中表現(xiàn)出許多的問題。第一，初中體育教學(xué)不夠重視，雖然體育早已經(jīng)成為了初中教學(xué)的重要學(xué)科，但是初中的教學(xué)模式并沒有發(fā)生什么改變，學(xué)校主要以學(xué)生體育的各個項目的達標(biāo)率以及學(xué)生的學(xué)習(xí)成績作為主要的教學(xué)目標(biāo)。這樣的模式導(dǎo)致初中體育教學(xué)地位不夠，不受重視，而體育學(xué)科的不受重視就使得體育老師在學(xué)生中的地位嚴重不足，體育老師的教學(xué)活動很難開展開。一些學(xué)校甚至將體育作為副科，為了提高其他某些科目的成績便任意的取消體育課程。這樣的做法讓體育老師開展教學(xué)工作的積極性大打折扣，同時也導(dǎo)致學(xué)生喪失了學(xué)習(xí)體育的興趣。從而導(dǎo)致初中體育教學(xué)質(zhì)量低的問題。第二，初中體育不夠規(guī)范，體育的教學(xué)方法對于體育教學(xué)的效果有著非常重要的作用。但是即便如此，很多初中學(xué)校的體育教學(xué)活動仍然采取“放羊式”教學(xué)，即自由活動。自由活動是許多的體育老師經(jīng)常采取的體育教學(xué)方法，但是這樣的教學(xué)方法并不能達到體育的教學(xué)目標(biāo)教學(xué)要求，更是不可能達到專業(yè)體育訓(xùn)練的標(biāo)準(zhǔn)。這樣不重視的、懶散的教學(xué)方式會導(dǎo)致學(xué)生難以認識學(xué)習(xí)體育知識的重要性，并且慢慢的對學(xué)習(xí)體育失去興趣，嚴重的還會造成老師與學(xué)生之間的關(guān)系不和。第三，老師教授的內(nèi)容與學(xué)生感興趣的內(nèi)容之間的沖突越發(fā)的尖銳。雖然說學(xué)生是體育教學(xué)課堂中的主體，但是許多的老師仍然以教師為主體。老師往往按部就班的按照學(xué)期計劃制定相關(guān)學(xué)時以及教學(xué)任務(wù)，極少開展針對性的體育教學(xué)。學(xué)生很容易對這些內(nèi)容產(chǎn)生厭學(xué)情緒，學(xué)生對于體育課程的興趣逐漸消失。隨著時間的推移，老師更加難以了解學(xué)生的興趣，而學(xué)生也不想更加了解體育知識。即便學(xué)生對某些體育知識或內(nèi)容有興趣，也許因為老師的原因而使學(xué)生能在體育課中學(xué)到自己感興趣的事物的概率大幅度降低。體育老師自己學(xué)生都慢慢的對體育這門學(xué)科的教學(xué)產(chǎn)生了抵觸情緒，老師的態(tài)度冷漠而且敷衍，而學(xué)生則會認為體育課就是一門讓你玩的課程，學(xué)不學(xué)都無所謂。二、解決的對策第一，讓學(xué)生、家?L等了解學(xué)習(xí)體育知識的重要性。國家計劃生育的措施使得現(xiàn)在的大多數(shù)家庭都是獨生子女，學(xué)生的家長太過于呵護孩子，舍不得讓孩子吃一點苦。現(xiàn)代社會觀念的改變使得學(xué)校對學(xué)生的安全問題越加重視。在體育課外活動中，學(xué)生在上課的過程中極有可能會發(fā)生意外，尤其是劇烈的體育活動。然而學(xué)校由于害怕承擔(dān)責(zé)任，所以，部分學(xué)校直接取消了體育教學(xué)中相對劇烈的體育活動。這樣的狀況嚴重阻礙了體育的教學(xué)進程，這也是目前初中學(xué)生的身體素質(zhì)日益變差的重要原因。所以，要想解決初中體育教學(xué)的問題，首先要將學(xué)生、家長等的錯誤的思想觀念改變。然而家長對孩子過分保護的思想觀念是阻礙學(xué)生身體素質(zhì)提升的主要原因，由此可知，想要提升學(xué)生的身體素質(zhì)首要的措施是要讓家長們充分的認識到學(xué)生身體素質(zhì)提升的重要性、鍛煉身體以及學(xué)習(xí)體育的重要性。第二，有針對性的教學(xué)，初中學(xué)生對于體育的理解不相同，就導(dǎo)致其對于參與體育活動的想法也會不相同。學(xué)生在各方面的能力上都不相同，每個學(xué)生的體育基礎(chǔ)也不相同。所以，在進行體育教學(xué)活動時，就要盡力做到因材施教，根據(jù)不同學(xué)生不同的情況來確定所教學(xué)的內(nèi)容。假如是集體統(tǒng)一進行教學(xué)，那么就會導(dǎo)致體育基礎(chǔ)較好的學(xué)生得不到較好的鍛煉或者是基礎(chǔ)較差的同學(xué)感到體育太難，很快的便會失去學(xué)習(xí)體育的信心以及興趣。因此，體育老師應(yīng)當(dāng)要在了解學(xué)生的基礎(chǔ)上制定合適學(xué)生的教學(xué)目標(biāo)真正做到因材施教。第三，興趣教學(xué)，初中學(xué)生對自己的興趣也能有一個較為清晰的認知，知道自己喜歡什么不喜歡什么。有的學(xué)生喜歡羽毛球；有的學(xué)生喜歡籃球；有的學(xué)生喜歡乒乓球等等。學(xué)校的領(lǐng)導(dǎo)可以根據(jù)學(xué)生的興趣開設(shè)專門的課程，教羽毛球的、籃球、乒乓球等的老師都有，讓學(xué)生在開學(xué)的第一課就自己選好想要上的課程。這樣的教學(xué)方式，使得學(xué)生在快樂中學(xué)習(xí)，能夠更加充分的了解學(xué)生感興趣的體育活動，將自己擅長的體育活動練習(xí)得更厲害，也可以涉足自己不熟悉的體育活動領(lǐng)域，學(xué)習(xí)新的體育活動。如此一來在推動不同的體育教學(xué)活動的同時，滿足了學(xué)生的個性化發(fā)展。第四，提升老師的專業(yè)化水平，初中體育教學(xué)活動對教師的要求日益提高，不僅要求老師有足夠的專業(yè)知識，而且還要能夠熟悉掌握學(xué)生的心理。所以，打破初中體育教學(xué)的困境還需要提升初中體育老師的專業(yè)素養(yǎng)。為解決這一問題，學(xué)校應(yīng)引進專業(yè)體育師范學(xué)校的優(yōu)秀教師，提高教師的工資待遇，組織老師們進行定期的培訓(xùn)。還要對體育老師進行各方面的考核，督促老師積極提升自我的專業(yè)素養(yǎng)。其次，學(xué)校還要采取相應(yīng)措施監(jiān)督促進體育老師認真負責(zé)的開展教學(xué)活動。三、結(jié)語初中的體育教學(xué)常常不被重視，這不光阻礙學(xué)生身體素質(zhì)的提升，更加影響其他文化課程的學(xué)習(xí)情況以及身心的健康發(fā)展。所以，解決初中體育不受重視的問題勢在必行。創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育是一種旨在培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新精神、創(chuàng)業(yè)意識和創(chuàng)業(yè)能力的教育，是解決大學(xué)生就業(yè)難和建立創(chuàng)新型國家的必然選擇。在高職院校大力開展創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育是高職教育教學(xué)改革的重要途徑，通過改革人才培養(yǎng)模式，促進專業(yè)改革與建設(shè)，帶動課程體系、教學(xué)內(nèi)容和教學(xué)方法的改革，為我國社會主義現(xiàn)代化建設(shè)培養(yǎng)高素質(zhì)、高技能、應(yīng)用創(chuàng)新型人才。一、創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系的界定創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系既包括獨立開設(shè)的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)類實體課程，又融入包括公共基礎(chǔ)課、專業(yè)課的滲透性課程；既包括創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基礎(chǔ)理論課程，又包括創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的模擬性、體驗性實訓(xùn)課程。此外，還包括以在校大學(xué)生為主體的有組織、面向社會的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)實踐活動和校園科技文化活動中的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)部分。二、創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程建設(shè)中存在的問題課程建設(shè)是創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育中的一個核心問題，是實現(xiàn)人才培養(yǎng)目標(biāo)的基本保障。目前許多高職院校都在大力開展創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育，但是，多數(shù)院校僅僅是增設(shè)“職業(yè)生涯規(guī)劃”、“就業(yè)指導(dǎo)”課程，或者組織個別有較強創(chuàng)新意識的學(xué)生參加各省、國家“挑戰(zhàn)杯”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)計劃競賽，這導(dǎo)致創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育不規(guī)范、不系統(tǒng)、針對性不強，大部分學(xué)生很難得到訓(xùn)練。究其原因，是大多數(shù)高職院校沒有將創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育理念貫穿到整個專業(yè)人才培養(yǎng)目標(biāo)中去，開設(shè)的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程也沒有真正融入到專業(yè)課程體系中，沒有形成以創(chuàng)業(yè)為主線的系統(tǒng)的、完善的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系。三、高職會計專業(yè)創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)課程體系的建設(shè)全面提高高職會計專業(yè)學(xué)生的素質(zhì)，培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新意識和創(chuàng)業(yè)能力以適應(yīng)時代發(fā)展的需要是當(dāng)前高職會計教學(xué)改革的趨勢。在高職院校會計專業(yè)開展創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育，其課程體系應(yīng)圍繞會計專業(yè)人才培養(yǎng)目標(biāo)與專業(yè)課程體系來設(shè)置，建立一套完善的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育課程體系，將創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育融入到專業(yè)課程體系中，并考慮課程內(nèi)容的前后銜接、連貫及過渡關(guān)系，其設(shè)置可分為理論課模塊和實踐課模塊。1.理論課模塊。（1）創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基礎(chǔ)理論課創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基礎(chǔ)理論課是對創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)知識做一個全面系統(tǒng)的了解并向?qū)W生傳授與創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)相關(guān)的核心知識的課程，屬于獨立開設(shè)的課程，可以通過講座和專題等多種方式開展教學(xué)，由會計專業(yè)的老師和會計專家進行講授會收到較好的教學(xué)效果。如在第一學(xué)期安排《專業(yè)教育》的學(xué)習(xí)，讓新生對自己的專業(yè)和未來的職業(yè)有所了解，以便合理地制定大學(xué)學(xué)習(xí)目標(biāo)和學(xué)習(xí)計劃；開設(shè)《職業(yè)生涯與發(fā)展規(guī)劃》、《創(chuàng)新性思維》、《就業(yè)指導(dǎo)與創(chuàng)業(yè)教育》課程，通過講授創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)基本知識、介紹成功人士創(chuàng)業(yè)經(jīng)歷等培養(yǎng)學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的思維意識；開設(shè)《創(chuàng)新與創(chuàng)業(yè)精神》、《創(chuàng)業(yè)心理與技能》、《創(chuàng)業(yè)管理》等課程，著重培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)新精神、加強學(xué)生對創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)構(gòu)想設(shè)計和技能的訓(xùn)練；開設(shè)《現(xiàn)代企業(yè)管理》、《市場營銷》等課程，傳授給學(xué)生與創(chuàng)業(yè)有關(guān)的知識。（2）融入專業(yè)理論課程教學(xué)過程中的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育這種方式不需要打破現(xiàn)有的課程體系，主要是在已開課程中挖掘開發(fā)、增強和融入創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育的內(nèi)容。將與創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)有關(guān)的道德和品質(zhì)課程融入兩課的教學(xué)過程中；將與創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)知識與能力有關(guān)的課程融入會計專業(yè)課（會計實務(wù)、財務(wù)管理等）的教學(xué)中。2.實踐課模塊。（1）融入會計實訓(xùn)課程教學(xué)過程中的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育傳統(tǒng)的會計專業(yè)實訓(xùn)課程主要是以專業(yè)核算技能為主，會計實訓(xùn)的動態(tài)仿真性差，無法體現(xiàn)出會計是如何參與企業(yè)的管理，而且會計實訓(xùn)多數(shù)是獨立的實訓(xùn)，無法培養(yǎng)學(xué)生的團結(jié)合作精神。解決這一問題行之有效的辦法是引入ERP沙盤模擬實訓(xùn)，即在基礎(chǔ)會計實訓(xùn)、財務(wù)會計實訓(xùn)、管理會計實訓(xùn)、財務(wù)管理實訓(xùn)、會計綜合實訓(xùn)課程中增添ERP沙盤實訓(xùn)內(nèi)容，創(chuàng)建一個仿真的企業(yè)環(huán)境，建立起動態(tài)的實訓(xùn)體系，幫助學(xué)生建立創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育所需的知識體系，促進、激發(fā)和增強學(xué)生的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)能力，以及學(xué)生的團隊協(xié)作能力和溝通能力。（2）賽事和活動在第四學(xué)期，也就是大二的下學(xué)期，可結(jié)合省、國家“挑戰(zhàn)杯”大學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)活動競賽來開展大學(xué)生模擬創(chuàng)業(yè)活動，主要采取模擬演練、專題講座的形式，培養(yǎng)學(xué)生創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)的心理品質(zhì)、增強學(xué)生的創(chuàng)新意識、鍛煉學(xué)生的各種能力，包括理論聯(lián)系實際并運用專業(yè)知識處理相關(guān)問題的能力、分工合作能力、組織能力、書寫及作品包裝能力、形象和語言表達能力和心理承受能力等。而學(xué)生模擬創(chuàng)業(yè)活動的最終成果—“創(chuàng)業(yè)計劃書”正是對會計專業(yè)學(xué)生所學(xué)專業(yè)知識的一個綜合運用，內(nèi)容包括了創(chuàng)業(yè)背景、創(chuàng)業(yè)團隊、市場調(diào)研、營銷策略、資金計劃、財務(wù)分析與預(yù)測、風(fēng)險評估、退出計劃等，動態(tài)的、仿真的創(chuàng)業(yè)情景加深了學(xué)生對企業(yè)會計工作的感性認識，通過對學(xué)生進行相應(yīng)的崗位鍛煉，使其對于維持企業(yè)正常運作的供應(yīng)、采購、生產(chǎn)、庫存管理、銷售及物流配送等完整供應(yīng)鏈系統(tǒng)有大致的了解，更加深入理解企業(yè)的實際運作過程，清楚感受到企業(yè)和企業(yè)之間的競爭，大大激發(fā)學(xué)生的創(chuàng)業(yè)激情，提高創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)水平。（3）企業(yè)實踐教學(xué)目前高職院校大力開展了實踐教學(xué)改革，加強了與企業(yè)的合作，建立了校外實訓(xùn)基地。會計專業(yè)在創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)教育中，應(yīng)充分利用這一平臺，進一步深化校企合作，開展多種形式的實踐教學(xué)。如安排學(xué)生進行企業(yè)調(diào)研，對企業(yè)進行全程跟蹤，在專業(yè)教師的指導(dǎo)下要求學(xué)生綜合會計核算、企業(yè)管理、企業(yè)理財、營銷策劃等多種專業(yè)知識與創(chuàng)新思維、探究方法等內(nèi)容相結(jié)合，以分析和幫助解決對應(yīng)企業(yè)生產(chǎn)經(jīng)營中存在的問題為實踐項目，實現(xiàn)專業(yè)能力的交叉融合，從而提高高職學(xué)生自主思考、自主分析、自主學(xué)習(xí)等創(chuàng)新能力，從而分析和解決企業(yè)實際工作中的問題或者提供解決問題的思路和建議。另外，有條件的學(xué)校還可設(shè)立會計服務(wù)公司，給學(xué)生提供更多的實踐機會，通過豐富的實踐活動，培養(yǎng)學(xué)生的創(chuàng)業(yè)技能。集成電路制造工藝及常用設(shè)備1、不要輕言放棄，否則對不起自己。50集成電路制造工藝及常用設(shè)備集成電路511.高溫氧化工藝11硅的熱氧化硅的熱氧化是指在高溫下,硅片表面同氧氣或水進行反應(yīng),生成O氧、水汽氧化三硅的熱氧化有:千氧、濕種。1.高溫氧化工藝5212硅熱氧化的厚度計算如果氧化前已存在厚度為t0的氧化層,則(3-11)微分方程的解為:(tox:是總的氧化層厚度)OX+Atoy=b(t+r)(4-12)2DHP式中A=2D+B2z=50+A(3-13)B在各種工藝條件下,參數(shù)A和B都是已知的,t是氧化時間。τ是一個時間參數(shù),單位是小時(h)。12硅熱氧化的厚度計算5332熱氧化原理和方法硅的熱氧化分干氧和濕氧兩種。干氧是在高溫下氧分子與硅表面的原子反應(yīng)生成SO2SiO反應(yīng)擴散SiSi+o=sio32熱氧化原理和方法5413不同的熱氧化方式生長的SiO,膜性質(zhì)比較●干氧氧化的SiO2膜結(jié)構(gòu)致密,干燥、均勻性和重復(fù)性好、掩蔽能力強、鈍化效果好,與光刻膠的接觸良好,光刻時不易浮膠●水汽氧化的SiO2膜結(jié)構(gòu)疏松,表面有斑點和缺陷,含水量多,對雜質(zhì)的掩蔽能力差,所以在工藝中很少單獨采用。13不同的熱氧化方式生長的SiO,膜性質(zhì)比較55●濕氧氧化生長的膜致密性略差于干氧生長的SiO2膜,但它具有生長速率快的優(yōu)點,其掩蔽能力和鈍化效果都能滿足一般器件的要求。其缺點是表面有硅烷醇存在,使SiO,膜與光刻膠接觸不良,光刻時容易浮膠。同時,濕氧氧化后的Si片表面存在較多的位錯和腐蝕坑?！駶裱跹趸L的膜致密性略差于干氧生56在實際工藝應(yīng)用中,生長高質(zhì)量的幾百A的SO2薄膜一般采用干氧的方式SiO2薄膜厚度需要幾千A以上時,一般采用干氧一濕氧一干氧的方式,既保證了所需的厚度,縮短了氧化時間,又改善了表面的完