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文檔簡介
(污染影響類)(承諾制項目公示本)項目名稱:德州儀器半導體制造(成都)有限公司12英寸凸點加工擴能(擴能至2365片/天)項目建設(shè)單位(蓋章):德州儀器半導體制造(成都)有限公司一、建設(shè)項目基本情況 1二、建設(shè)項目工程分析 31三、區(qū)域環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀、環(huán)境保護目標及評價標準 87響和保護措施 109五、環(huán)境保護措施監(jiān)督檢查清單 146六、結(jié)論 1481德州儀器半導體制造(成都)有限公司12英寸凸點加工擴能(擴能至2365片/天)項目/(C3973)算機、通信和其制造業(yè)□新建(遷建)項目審批(核準/備案)部門(選填)項目審批(核)文號(選填)09-07-97915】JXWB-0232號總投資(萬元)(萬元)5環(huán)保投資占比(%)用地(用海)面積(m2)占地取水口下游500米范圍本項目用水來自市政管網(wǎng),不涉及取否根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南》(污染影響類)(試行),具取水口下游500米范圍本項目用水來自市政管網(wǎng),不涉及取否情況毒有害污a化物、氯氣且范圍內(nèi)有過程中產(chǎn)生的廢氣不包含染物。否排建設(shè)項目(槽罐車外送污水污水集期廢水經(jīng)污水處理站處理準》 (GB39731-2020)表1中“半導體器 (DB51/2311-2016)中“工業(yè)園區(qū)集否險易爆危超過臨界Q.45614>1,原輔料最大儲過《建設(shè)項目環(huán)境風險評價技HJ/T169-2018)中附錄B規(guī)物質(zhì)臨界量。是2餌場、越道的新增染類建設(shè)物的建設(shè)項目否無況《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》件名稱及文號:環(huán)審[2021]31號本項目位于成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西區(qū)。成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)于1988年開始籌函高字〔2001〕24號文,確定將成都現(xiàn)代工業(yè)港調(diào)整為國家級成都高新技術(shù)開發(fā)區(qū)的一部分,稱為高新西區(qū),規(guī)劃面積為7平方公里,成都高新區(qū)由此形成一南一西兩個園區(qū),即成都高新西區(qū)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展定位為:打造世界級電子信息產(chǎn)業(yè)主體功能區(qū)和產(chǎn)學研協(xié)同發(fā)展方向為:(1)集成電路產(chǎn)業(yè):聚焦IC設(shè)計領(lǐng)域,重點支持5G通信芯片、人工智能芯片、軍品圈增加先進工藝引進力度。材料方面重點發(fā)展和引進硅材料、加工材料企業(yè)入駐,重點聚焦心技術(shù)與生產(chǎn)環(huán)節(jié),吸引高端人才聚集。(2)新型顯示產(chǎn)業(yè):聚焦OLED領(lǐng)域。重點聚焦下游應用領(lǐng)域。堅持以市場應用需求為導向,增強面板企業(yè)與消費電子整機、汽車、智能硬件等下游終端產(chǎn)業(yè)的協(xié)同發(fā)展和深度合(3)智能終端產(chǎn)業(yè):聚焦智能手機領(lǐng)域。依托京東方6代AMOLED柔性產(chǎn)線,大力發(fā)率及8K+5G產(chǎn)品高清產(chǎn)業(yè)鏈。重點聚焦VR/AR為代表的新型終端產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。依托本地良好(4)網(wǎng)絡通信產(chǎn)業(yè):聚焦5G技術(shù)和產(chǎn)品研發(fā)領(lǐng)域。以5G技術(shù)為引領(lǐng),加快布局天線、射頻模塊、小微基站等產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)的研發(fā)制造,重點發(fā)展高性能分布式存儲技術(shù),包括3分布式存儲系統(tǒng)技術(shù)。重點聚焦光通信產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。增強產(chǎn)業(yè)鏈上游光預制棒等關(guān)鍵原材料的本地生產(chǎn)能力,占領(lǐng)價值鏈高端;進一步發(fā)展物聯(lián)網(wǎng)無線傳感網(wǎng)絡技術(shù)、敏感元器件與傳感器制造技術(shù),大力推動物聯(lián)網(wǎng)行業(yè)應用,積極引進物聯(lián)網(wǎng)領(lǐng)域的軟件開發(fā)商及系統(tǒng)集成商,聯(lián)網(wǎng)技術(shù)及產(chǎn)品在民生、農(nóng)業(yè)、制造、家居、醫(yī)療等領(lǐng)域的應用。高新西區(qū)生態(tài)環(huán)境準入負面清單的符合性對比見下表:空間布局禁止開發(fā)建設(shè)活動的要求:-禁止新引入的產(chǎn)業(yè):鋼鐵、水泥、平板玻璃、石化、化工 (與電子信息產(chǎn)業(yè)配套的且不含化學合成的項目除外)、火電、黑色及有色金屬冶煉、印染、化學合成藥、屠宰、專業(yè)電鍍、制漿(含廢紙制漿)造紙、橡膠制造、制革、石墨碳素 -新、改、擴建涉重金屬重點行業(yè)建設(shè)項目必須遵循重點重金屬污染物排放“減量置換”或“等量替換”的原則,應在高新體的重金屬污染物排放總量來源。造:禁止引入單純原料藥、中間體生產(chǎn)(以原料藥或中間體為最終產(chǎn)品)、抗生素類發(fā)酵、維生素類發(fā)酵及合成制藥、激素類等制藥類項目(滿足自用和其他非銷售用途的原料藥、中間體和生物制品發(fā)酵項目除外)。新建項目以生物醫(yī)藥類項目為主,主要涉及(1)化學藥品、制劑制造;(2)中藥材及中成藥加工;(3)新藥研發(fā)、檢測;(4)動物藥品制造業(yè);(5)生物制品制造業(yè)。路制造項目,且排放的污染物中含氟化物,為嚴于園區(qū)禁止新引屬于新建涉重金制程工序為工序污染物排放管控現(xiàn)有源提標升級改造:-污水收集處理率達100%;排放標準根據(jù)流域及其水質(zhì)現(xiàn)狀等指標COD、BOD5、氨氮、總磷指標執(zhí)行對應水體功能水質(zhì)保護的要求,達標區(qū)域執(zhí)行《岷江、沱江流域水污染物排放標準》工業(yè)園區(qū)污水處理廠標-工業(yè)固體廢棄物利用處置率達100%,危險廢物處置率達-新、改擴建項目污染排放指標滿足《四川省省級生態(tài)工業(yè)園電子信息:限制使用含鉛電鍍工藝,該類項目清潔生產(chǎn)水平須達到同行業(yè)先進水平,COD排放強度≤006kg/萬元,氨氮排廢等收集處置率排放強度為氨氮排放強度為項目周邊500m范圍不緊鄰人群聚險水平低(環(huán)境風險潛勢為II),4≤0.005kg/萬元,現(xiàn)有此類企業(yè)整改達標或關(guān)閉退出。工藝以及發(fā)酵工序,推廣低VOCs含量、低反應活性的原輔材料和產(chǎn)品,該類項目清潔生產(chǎn)水平須達到同行業(yè)先進水平,企業(yè)整改達標或關(guān)閉退出。目清潔生產(chǎn)水平為I級,符合規(guī)劃環(huán)評要求,生產(chǎn)過程產(chǎn)生的污染物經(jīng)對應的處理設(shè)施處理達到對應標準后排放,對周邊環(huán)境環(huán)境環(huán)境風險-涉及有毒有害、易燃易爆物質(zhì)新建、改擴建項目,嚴控準入:構(gòu)建三級環(huán)境風險防控體系,強化?;沸孤碧幹么胧?,確保風險可控。針對化工園區(qū)進一-化工、電鍍等行業(yè)企業(yè)拆除生產(chǎn)設(shè)施設(shè)備、構(gòu)筑物和污染治規(guī)定實施安全處理處置,防范拆除活動污染土壤。本項目涉及有毒物質(zhì),項目通過案等,嚴格控制生產(chǎn)過程中的環(huán)電鍍等行業(yè),符另根據(jù)《成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書》中要求:“強化園區(qū)氟化物控制。對高新西區(qū)的電子企業(yè),應嚴格按“分類收集、分質(zhì)處理、源頭控制”的原則進行源頭控制,涉氟化物排放的重點企業(yè)應強化廠內(nèi)處理。嚴格控制新引入涉氟化物排放的項目,確需引入的,要深入擬建項目廠區(qū)總排口氟化物排放濃度的限值要求的環(huán)民共和國生態(tài)環(huán)境部關(guān)于<成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書>的審查意見》(環(huán)審〔2021〕31號)中“(二)……嚴控涉及重金屬等特征污染物排放的產(chǎn)業(yè)發(fā)西區(qū)排放氟化物建設(shè)項目的引入……”?;滞瓿闪藗浒?,備案號:川投資備【2203-510109-07-02-297915】JXWB-0232號(附件2),屬確需引入項目,因此需深入本項目廠區(qū)總排口氟化物排放濃度的限值要求的環(huán)境合理理,能夠穩(wěn)定達到《電子工業(yè)水污染物排放標準》(GB39731-2020)中間接排放標準,且項目嚴格執(zhí)行例行監(jiān)測制度,本項目單位產(chǎn)品基準排水量為0.241m3/片,滿足《排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1030-2019)中表4要求(12英寸芯片,掩膜層數(shù)35層以上基準排水量≤20m3/片),因此本項目引入后能夠確保合作污水處理廠氟化物的達標排放。本項目不涉及鉛(Pb)、汞(Hg)、鎘(Cd)、鉻(Cr)、類金屬砷(As)元素等第一類重金屬污染物排放,在營運期會排放少量的銅(Cu)、鎳(Ni),但本項目屬于園區(qū)鼓勵發(fā)展的產(chǎn)業(yè),且經(jīng)過本項目設(shè)置的污水站處理后排放量很小,因此對水環(huán)境影響很小。5綜上,本項目位于規(guī)劃區(qū)西區(qū),主要進行集成電路生產(chǎn),屬于集成電路制造(C3973),6序一級指號標二級指標單位級I級基準值II級基準值III級1工藝民用產(chǎn)品采用無氰鍍鋅使用金屬回收工藝民用產(chǎn)品采用無氰鍍鋅回收工藝電子元件采用無鉛鍍層1.鍍鎳、鋅溶液連續(xù)過濾1.鍍鎳溶液連續(xù)過濾項目鍍鎳連續(xù)過濾,不涉2制及時補加和調(diào)整溶液溶液中的雜質(zhì)溶液中的雜質(zhì)3化生產(chǎn)線4II等節(jié)施5L/m21≤8≤24≤56%/7%0.8/n80%8%0.8/n80%I9%/率%/%0.8/n/%/電鍍用水重復利用%0I7率II標%使用四項以上(含四項)減少鍍液帶出措施險廢物轉(zhuǎn)移聯(lián)單送施1定量檢產(chǎn)品質(zhì)檢測記錄備和產(chǎn)品檢測記錄質(zhì)定記錄;產(chǎn)標聲等污染物排放符合國家和地方排放標準;主要污地方污染物排放總量控制指標均國家和地方相關(guān)產(chǎn)業(yè)政策符合度核情況,環(huán)境業(yè)文件地方要產(chǎn)審核理體系和完備的管和地方要求,開展全管理條例》相關(guān)要求按照行設(shè)混入運行中控系設(shè)施運有良定期檢測廢建行加口氣裝測處氣檢測樹式,且有廢統(tǒng)及加藥裝立污染設(shè)施運行8預案并開展環(huán)境應急演練號的指標為限定性指標綜上,本項目清潔生產(chǎn)指標基本能夠達到二級,處于較高清潔生產(chǎn)水平,符合規(guī)劃環(huán)評中提出的“清潔生產(chǎn)水平應達到國內(nèi)先進水平,即二符合循環(huán)經(jīng)濟要求?!?合性根據(jù)《國民經(jīng)濟行業(yè)代碼》(GB/T4754-2017)可知,本項目屬于“集成電路制造 路設(shè)計,線寬0.8微米以下集成電路制造,及球柵陣列封裝(BGA)、插針網(wǎng)格陣列封裝 (PGA)、芯片規(guī)模封裝(CSP)、多芯片封裝(MCM)、柵格陣列封裝(LGA)、系統(tǒng)級封裝 (SIP)、倒裝封裝(FC)、晶圓級封裝(WLP)、傳感器封裝(MEMS)等先進封裝與測本項目為外商投資項目,主要從事模擬、數(shù)模集成電路的制造等。屬于《鼓勵外商投資產(chǎn)業(yè)目錄(2020年版)》“全國鼓勵外商投資產(chǎn)業(yè)目錄”中第二十二類“計算機、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)”第321條“集成電路設(shè)計,線寬28納米及以下大規(guī)模數(shù)字集成電路制造,0.11微米及以下模擬、數(shù)模集成電路制造,MEMS和化合物半導體集成電路制造及【2203-510109-07-02-297915】JXWB-0232號(附件2)。、其他符合性分析1、與大氣污染防治行動計劃、水污染防治行動計劃、土壤污染防治行動計劃的符合性根據(jù)《大氣污染防治行動計劃》(國發(fā)〔2013〕37號)和《四川省大氣污染防治行動計有機物削減和控制無經(jīng)濟可行性的工藝和產(chǎn)品;地級及以上城市建成區(qū)基本淘汰每小時10蒸噸及以下的燃煤鍋爐,禁止新建每小時20蒸噸以下的燃煤鍋爐。本項目對產(chǎn)生的揮發(fā)性有機物進行收集處理,并設(shè)置了“RCTO燃燒裝置”對其進行處理,處理措施有效,項目不根據(jù)《水污染防治行動計劃》(國發(fā)〔2015〕17號)和《水污染防治行動計劃四川省工開展節(jié)水診斷、水平衡測試、用水效率評估,加大節(jié)水改造力度。本項目選用國內(nèi)外先進儀器及設(shè)備,均符合國家規(guī)定,不屬于淘汰類設(shè)備,項目設(shè)置了有機廢水處理系統(tǒng)、無機廢水處理系統(tǒng),對項目產(chǎn)生的廢水進行處理后達標排放,項目建設(shè)符合水污染防治行動計劃的要根據(jù)《土壤污染防治行動計劃》(國發(fā)〔2016〕31號)和《土壤污染防治行動計劃四川影響的評價內(nèi)容,并提出防范土壤污染的具體措施。本次環(huán)評引用項目所在區(qū)域的土壤環(huán)境質(zhì)量現(xiàn)狀監(jiān)測報告,報告數(shù)據(jù)表明,各項指標均能滿足《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風險管控標準》(GB36600-2018)第二類用地篩選值要求;項目涉及土壤的途徑可能有廢氣的大氣沉降,廢氣通過本項目設(shè)置的對應處理設(shè)施處理后達標排放,并對可能污染土壤的區(qū)域進。2、與《四川省人民政府辦公廳關(guān)于進一步規(guī)范電鍍行業(yè)發(fā)展的意見》的符合性分析本項目與《四川省人民政府辦公廳關(guān)于進一步規(guī)范電鍍行業(yè)發(fā)展的意見》(川辦發(fā)[2018]83號)相關(guān)要求對比如下表所示:表18]83號文相關(guān)要求情況性1序電鍍項目入電鍍集中區(qū)或保手續(xù)和環(huán)?;呻娐返纳a(chǎn),生產(chǎn)過程中進行了園區(qū)規(guī)劃環(huán)評,并取得中華人態(tài)環(huán)境部下發(fā)的《關(guān)于<成都業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035影響報告書>的審查意見》(環(huán)審1]31號),園區(qū)雨、污水管道等環(huán)?;晟?,且本項目位于園區(qū)污水處理2凈化裝置和廢廢氣、廢水排家相關(guān)標準要求廢水經(jīng)對應治理措施處理達標后排入園區(qū)步處理后排放。項目運營過程中有機廢氣RCTO處理后,其排放濃度及排放速率達到《四川省固定污染源大發(fā)性有機物排放標準》(DB51/2377-2017)表3標準,做到達標排放。硫酸霧、鹽酸霧等采用“堿液洗滌”的方式進染物排放標準》(GB21900-2008)表5標3物要通過規(guī)范質(zhì)的機構(gòu)進行處置產(chǎn)生的所有固體廢物經(jīng)對應的容器(罐裝、袋裝、盒裝等)收集暫中一般廢物暫存后經(jīng)市政統(tǒng)一清運家及廢品收購站回收,危險廢棄物交有資質(zhì)單位統(tǒng)一處置。固體廢棄明確,做到妥善處置,不會造成二設(shè),與《四川省人民政府辦公廳關(guān)于進一步規(guī)范電鍍行業(yè)發(fā)展的意見》(川辦發(fā)【2018】83號)相關(guān)要求相符。3、與《四川省“十三五”重金屬污染防治實施方案》符合性分析以鉛(Pb)、汞(Hg)、鎘(Cd)、鉻(Cr)、類金屬砷(As)等元素為重點防控的重金屬污染物,兼顧鎳(Ni)、銅(Cu)、鋅(Zn)等其他重金屬污染物。點行業(yè)重有色金屬礦采選業(yè)(鉛鋅礦采選、銅礦采選、銻礦采選、金礦采選)、重有色金屬冶煉業(yè)(鉛鋅冶煉、銅冶煉等)、金屬表面處理及熱處理加工業(yè)(電鍍)、鉛蓄電池制造業(yè)、皮革制造業(yè)、化學原料及化學制品制造業(yè)(聚氯乙烯、鉻鹽等基礎(chǔ)化學原料、硫化物礦制酸國家控制重點區(qū)域:德陽市什邡市、綿陽市安州區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、宜賓市翠屏區(qū)、涼枝花市東區(qū)、德陽市旌陽區(qū)、德陽市綿竹市、德陽市廣漢市、德陽市羅江縣、宜賓市江安市青川縣、涼山州甘洛縣、涼山州冕寧縣等。主要任務業(yè)準入條件,禁止新建落后產(chǎn)能或產(chǎn)能嚴重過剩行業(yè)的建設(shè)項目。強化涉重金屬污染行業(yè)建業(yè)園區(qū),實現(xiàn)園區(qū)集聚發(fā)展,原則上不得在工業(yè)園區(qū)外新(改、擴)建增加重金屬污染物排為鎳和銅,本項目不屬于國家及四川省重金屬污染防治重點區(qū)域和重點行業(yè),本項目所在區(qū)4、與《四川省重點行業(yè)重金屬污染物排放指標管理辦法(試行)》符合性分析根據(jù)《四川省重點行業(yè)重金屬污染物排放指標管理辦法(實行)》,第三條:重點行業(yè)包括重有色金屬礦(含伴生礦)采選業(yè)(銅、鉛鋅、鎳鈷、錫、銻和汞礦采選等)、重有色金屬冶煉業(yè)(銅、鉛鋅、鎳鈷、錫、銻、汞冶煉和前述金屬再生冶煉等)、鉛蓄電池制造業(yè)、皮革及其制品業(yè)(皮革鞣制加工等)、化學原料及化學制品制造業(yè)(電石法聚氯乙烯制造、制造、以工業(yè)固廢為原料的鋅無機化合物工業(yè)等)、電鍍行業(yè)。第四條:新、改(擴)建重點行業(yè)建設(shè)項目應遵循重金屬污染物排放“減量置換”或“等量替換”的原則。建設(shè)單位提交環(huán)境影響評價文件時,應明確新增重金屬污染物排放指本項目屬于集成電路制造行業(yè),涉及工序電鍍,但不屬于“辦法”中規(guī)定的電鍍行業(yè),5、與《關(guān)于進一步加強重金屬污染防控的意見》(環(huán)固體〔2022〕17號)符合性分析根據(jù)《關(guān)于進一步加強重金屬污染防控的意見》(環(huán)固體〔2022〕17號)中“二、防控重點重金屬污染物:重點防控的重金屬污染物是鉛、汞、鎘、鉻、砷、鉈和銻,并對物排放量實施總量控制。重點行業(yè):包括重有色金屬礦采選業(yè)(銅、鉛鋅、鎳鈷、錫、銻和汞礦采選),重有色金屬冶煉業(yè)(銅、鉛鋅、鎳鈷、錫、銻和汞冶煉),鉛蓄電池制造業(yè),電鍍行業(yè),化學原料及化學制品制造業(yè)(電石法(聚)氯乙烯制造、鉻鹽制造、以工業(yè)固體廢物為原料的鋅無機區(qū)域。為鎳和銅,不屬于國家及四川省重金屬污染防治重點區(qū)域和重點行業(yè),因此符合該意見要6、與有機廢氣相關(guān)政策符合性分析本項目主要進行12英寸閃存芯片生產(chǎn),屬集成電路生產(chǎn)項目。運行過程中會產(chǎn)生有機表。析名稱本項目針對工序產(chǎn)生的有機廢氣全部進行收集后(收集RCTO焚燒的方進行處理。準入門檻,嚴格控制新增污染物排放量。格限制石化、化工、包裝印刷、工VOCs排放建設(shè)項目。新建涉VOCs排。(2018-2020年)》物排放量。重點地區(qū)要嚴格限制石裝印刷、工業(yè)涂裝等高VOCs排放VOCs排放的工業(yè)企業(yè)要入園s實到企業(yè)排污許可證中,納入環(huán)境執(zhí)法擴建涉VOCs排放項目,應從源頭加強控制,使用低(無)VOCs含量的原輔材處理。對有機原輔材料調(diào)配和使用等,(一)深化工業(yè)源污染防治:控制揮發(fā)性有機物 (VOCs)排放。嚴格控制VOCs排放總量,新建VOCs項目應實施等量或倍量替代。強化VOCs源頭削減,以工業(yè)涂裝、家具制造、包裝印刷等行業(yè)為重點,大力推進低(無)VOCs含量原輔材料替代。嚴格控制生產(chǎn)和使用高VOCs含量溶劑型涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等建設(shè)項目。強化VOCs綜合治理,以石化、化工、工業(yè)涂裝、包裝印刷、電子、紡織印染、制鞋、家具制造、,提升廢氣收集率、治污設(shè)施同步運行率和去除率,科學合理選擇治理標升級改造。強化無組織排放管控,加大含VOCs物料儲存、轉(zhuǎn)移和輸送、設(shè)備與管線組件泄漏、敞開液面逸散等管控力度,開展泄漏檢測與修復工作。強化企業(yè)VOCs排放達標監(jiān)管,實施季節(jié)性調(diào)控。完善揮,建立低揮發(fā)性有機物本項目不屬于新建項目,無需執(zhí)行等量或倍量替代,也不屬于工業(yè)涂造、包裝印刷等重點行業(yè);本項目有機廢氣收集效率為合“規(guī)劃”中、生物醫(yī)藥等先進制造業(yè),提升高技術(shù)制建材、石化等重點高耗能產(chǎn)業(yè)占比。推動本項目行業(yè)類別為電子信息“方案”中大力發(fā)展的行業(yè)建項目嚴格落實污染物排放區(qū)域削減要據(jù)環(huán)境質(zhì)量改善需求及“三線一單”要格限制高耗能、高排放和資源型行業(yè)準本項目不屬于高耗能、高排擴建需編寫建設(shè)項目環(huán)境影響報告點行業(yè)企業(yè)原則上應滿足《重污染天氣重點行業(yè)應急減排措施制定技術(shù)指南(2020年績效分級A級或引領(lǐng)性企業(yè)對原輔材排放水平、污染治理技術(shù)、監(jiān)測監(jiān)控本項目環(huán)境影響報告編寫形式為報告表,案”中要求的應編制報告書(環(huán)大氣具園區(qū)、溫江醫(yī)藥園區(qū)、雙流蛟龍工業(yè)港企業(yè)本項目不位于“方案”中提到的園區(qū)中0、推動重點企業(yè)廢氣治理提升:以鑄造、涂料業(yè)涂裝、人造板、汽車零部件、包裝印重點行業(yè)應急減排措施制定技術(shù)指南(2020年修效分級中B級及以上企業(yè)要求開展提標本項目不屬于“方案”中提到的重點行業(yè)、邯鄲、邢、滄州、廊坊、衡水市以及雄安新區(qū),、濟寧、德州、聊城、濱州、菏澤市,州、開封、安陽、鶴壁、新鄉(xiāng)、焦作、濮陽市(含河北省定州、辛集市,河南省濟源、常州、蘇州、南通、連云港、淮安、、溫州、湖州、嘉興、紹興、金華、衢、臺州、麗水市,安徽省合肥、淮北、蕪湖、宣城、銅陵、池州、安慶、黃山市,河南省洛陽、三門峽市,陜西省西安(含西咸新區(qū))、銅川、寶雞、咸陽、渭南(含韓城省淮北、亳安、日照、臨沂市,河南省平頂山、許河、南陽、商丘、信陽、周口、駐馬店刷、油品儲運銷等行業(yè)。二、企業(yè)在無組織排放排查整治過程中,在保證安全的前提下,加強含罐,封閉式儲庫、料倉等。裝卸、轉(zhuǎn)移和輸送環(huán)節(jié)應采用密閉管道或密閉容器、罐車等。生產(chǎn)和使用環(huán)節(jié)應采用密閉設(shè)備,或在密閉空間中操作狀態(tài)時容器應密閉。處置環(huán)節(jié)應將盛裝過VOCs物料的包裝容器、含VOCs廢料(渣、液)、廢吸本項目所在地不屬于該文件提到的重點區(qū)域。本項目對工藝上產(chǎn)生的VOCs收集率為RCTO焚燒的方式進行處理。VOCs物料的容器或包裝袋應存放本項目有機物(GB37822—的專用場地;盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在s密閉良好,其中揮發(fā)性有機液體儲罐圍護結(jié)構(gòu)將污染物質(zhì)、作業(yè)場所等于阻隔所形成的封閉區(qū)域或封閉式建筑區(qū)域或封閉式建筑物除人員、車輛、風口外,門窗及其他開口(孔)部位應隨時保持(GB37822—的專用場地;盛裝VOCs物料的容器或包裝袋在s密閉良好,其中揮發(fā)性有機液體儲罐圍護結(jié)構(gòu)將污染物質(zhì)、作業(yè)場所等于阻隔所形成的封閉區(qū)域或封閉式建筑區(qū)域或封閉式建筑物除人員、車輛、風口外,門窗及其他開口(孔)部位應隨時保持“三大戰(zhàn)役”10二、重點任務:(一)加強工業(yè)源污染治理,建立工業(yè)企業(yè)分類綜合評價制度,明確重點支持類企業(yè)、技術(shù)提升類企業(yè)、重點整改類企業(yè)和關(guān)停類企業(yè),促進企業(yè)運用新技術(shù)、新工藝、新的管理辦法,從源頭上減少VOCs排放;針對重點園區(qū)污染治理,制定完善獎勵政策和措施,有效減少園區(qū)VOCs排放對環(huán)境的污染。第六條企事業(yè)單位和其他生產(chǎn)經(jīng)營者對本單位的防止、減,對造成的損害依法承擔責任。第二十九條本市禁止新建、擴建使用燃煤設(shè)施的業(yè)項目,應規(guī)定進入產(chǎn)業(yè)功能區(qū)或者其他指定區(qū)域。第三十條企事業(yè)單位和其他生產(chǎn)經(jīng)營者向大氣排放污染物的,應當符合本市執(zhí)行的大氣污染物排放標準,遵守重點大氣污染物排放總量控制要求。大氣污染物重點排放企業(yè)應當按照要求安裝本項目酸性廢氣及有機廢氣分別經(jīng)收集、處理后排放,均能達到相應的排放標準,本項目不使用燃煤設(shè)施,且位于高新區(qū)綜內(nèi),屬于產(chǎn)業(yè)功能區(qū)內(nèi),本項目有機廢氣安裝了在線監(jiān)都市2022年大氣污染防治工作方案》、《2020年揮發(fā)性有機物治理攻堅方案》、《成都市2021揮發(fā)性有機物綜合整治攻堅行動方案》、《成都市大氣污染防治條例》等相關(guān)政策要7、與成都市人民政府《關(guān)于落實生態(tài)保護紅線、環(huán)境質(zhì)量底線、資源利用上線制定生態(tài)環(huán)境準人清單實施生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的通知》(成府發(fā)〔2021〕8號)符合性分析根據(jù)成都市人民政府《關(guān)于落實生態(tài)保護紅線、環(huán)境質(zhì)量底線、資源利用上線制定生態(tài)環(huán)境準人清單實施生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的通知》(成府發(fā)〔2021〕8號(以下簡稱“通知”)中分區(qū)要求,本項目所在的高新西區(qū)為工業(yè)重點管控單元(詳見附圖12)及“西控”區(qū)域,本項目不在長江干流及主要支流本項目不在長江干流及主要支流岸線1km范圍內(nèi),且不屬于化不生產(chǎn)高VOCs含量的有機溶劑求重點管控單元要求:重點管控單元中,針對環(huán)境質(zhì)量是否達標以及經(jīng)濟社會發(fā)展水平等(1)嚴格執(zhí)行《中華人民共和國水污染防治法》《四川省飲用水水源保護管理條例》格保障人居糧食安全。(3)提升生態(tài)功能,優(yōu)化城鄉(xiāng)空間布局。按照國家生態(tài)保護紅線的管控要求嚴格管控為;城鎮(zhèn)建設(shè)區(qū)及制造業(yè)產(chǎn)業(yè)園區(qū)不能突破城鎮(zhèn)開發(fā)邊界。(4)強化文化資源的保護和利用、提升城鎮(zhèn)品質(zhì),推動農(nóng)商文旅體融合發(fā)展。(5)新、改、擴建電子信息企業(yè)應滿足成都市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控中電子資源環(huán)境績效準入門檻。普適性管控要求(1)嚴禁在長江干流及主要支流岸線1公上述項目可進行節(jié)能環(huán)求。(2)禁止在長江干支流1公里范圍內(nèi)新 (3)禁止生產(chǎn)高VOCs含量有機溶劑型涂求2(1)控制水泥、平板玻璃、日用玻璃、涂 (2)繼續(xù)化解過剩產(chǎn)能,嚴禁鋼鐵、水必要新建的必須實施等量或減量置要3(1)現(xiàn)有屬于禁止引入產(chǎn)業(yè)門類的企業(yè),提升安全、生態(tài)環(huán)境保護水平為目 企業(yè)向園區(qū)集中,鼓工業(yè)項目、化工項目分別搬入工業(yè)化工產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。都門類造4(1)污水收集處理率達100%:排放標準。沱江流域現(xiàn)有及擴建工業(yè)園區(qū)污水執(zhí)行《四川省岷江、沱江流域水污 (2)開展火電、鋼鐵、建材、玻璃、磚燃煤鍋爐及揮發(fā)性有機物重點行業(yè)超水泥行業(yè)深度治理。推動平板玻璃企消煙氣旁路設(shè)施,引導建設(shè)備用廢氣 (3)推廣低(無)VOCs含量原輔材料。)VOCs含量的 (4)現(xiàn)有鍋爐按期執(zhí)行《成都市鍋爐大氣DB020) (5)進一步提高木質(zhì)家具制造、包裝印本項目生產(chǎn)廢水及生活污水均得污水廠排放標準執(zhí)行沱江流域水污染 2016);本項目不業(yè),本項目有機廢氣經(jīng)收集(收集率100%)后由一套RCTO焚燒裝置進行處理后達標排放;本項目不涉及鍋爐的5(1)電子信息行業(yè)、汽車制造行業(yè)分別需指標、汽 (2)工業(yè)固體廢棄物利用處置率達子源環(huán)廢均的處求(3)力爭2022年底完成區(qū)域燃煤鍋爐淘生物質(zhì)鍋爐低氮燃燒改造或改電 (4)推進低VOCs含量源頭替代。聚焦移料、膠粘劑和油墨產(chǎn)品的生原輔材料和產(chǎn)品的替代。置率達爐及的6(1)涉及有毒有害、易燃易爆物質(zhì)新建、 (2)嚴格涉重金屬(鉛、汞、鎘、鉻、砷)企業(yè)和園區(qū)環(huán)境準入管理,新(改、擴)建涉重金屬重點行業(yè)建設(shè)項目實施“等量替代”或“減量替代”。上金屬“等“減7(1)園區(qū)風險防控體系要求:構(gòu)建三級環(huán)險防控體系,強化?;沸孤碧?(2)針對化工園區(qū)建立有毒有害氣體環(huán)境成求8(1)化工、電鍍等行業(yè)企業(yè)拆除生產(chǎn)設(shè)施 (2)已污染地塊,應當依法開展土壤污染 (3)重有色金屬冶煉行業(yè)、金屬表面處理加工行業(yè)、皮革及其制品制造學原料及化學制品制造業(yè)、鉛酸蓄造行業(yè)等應滿足重點重金屬排放行治理相關(guān)要求,重金屬重點行業(yè)清總體上達到國內(nèi)先進水平,重金屬專行拆除全處;項目針域分別同的防大止項目可能表面處求9(1)到2022年,萬元國內(nèi)生產(chǎn)總值用水 (2)鼓勵引導新建、改建、擴建工業(yè)園區(qū)關(guān)要求統(tǒng)籌建設(shè)工業(yè)廢水集中處理、水、一水多用,實現(xiàn)水循環(huán)梯級優(yōu)和廢水集中處理回用,創(chuàng)建節(jié)水型 (3)鼓勵火力發(fā)電、紡織、造紙、化工、發(fā)酵等高耗水企業(yè)對廢水進行深度造紙、印染等高耗水行業(yè)項目具備生水條件但未有效利用的,要嚴格火等高耗項目對水全部站處理放入市網(wǎng)。(1)在禁燃區(qū)內(nèi),禁止銷售、燃用高污染的各類設(shè)備應當拆除或者改用管道、頁巖氣、液化石油氣、電或者其源。(2)工業(yè)企業(yè)單位GDP能耗對標國內(nèi)先標滿足省級生態(tài)工業(yè)園區(qū)或更高要求(3)電力、鋼鐵、紡織、造紙、石油石化工、食品發(fā)酵等高耗水行業(yè)達到先標準。高、建設(shè)綜上,本項目為集成電路生產(chǎn)類項目,位于不達標區(qū)域內(nèi),應執(zhí)行污染物削減量及比例用基本農(nóng)田,項目位于成都市高新西區(qū)科新路8-8門檻要求。符合“通知”要求。6、與成都市生態(tài)環(huán)境局關(guān)于印發(fā)《成都市生態(tài)環(huán)境準入清單(2022年版)》的通知(成環(huán)發(fā)〔2022〕8號)相關(guān)要求的符合性分析根據(jù)《成都市生態(tài)環(huán)境準入清單(2022年版)》,及查詢川省政務服務網(wǎng)四川生態(tài)環(huán)境。環(huán)境管控單元編碼管控單元(州)縣ZH005(高新區(qū))成控YS210031YS310040YS540005區(qū)(政策文件)YS550001區(qū)環(huán)境管控單元編名稱應管控要求情況(1環(huán)境管控單元編名稱應管控要求情況(1)本項目不屬于新建石油化工、煤化工、涉磷、造紙、印染、制革、混凝土(砂漿)、瀝青攪拌站、大型物流基地、物流集散中心或者商品批發(fā)市場、新建、擴建鋼鐵、石化、化工、焦化、建材、有色等高污染項目;(2)本項目不涉及;(3)本 (4)本項目不生產(chǎn)高VOCs含量涂料等;(5)本項目不使用燃煤; (6)本項目不位(1)禁止在長江干流及主要支流岸線1公里范圍內(nèi)新建石油化工、煤 (2)禁止在長江干支流1公里范圍內(nèi)新建、擴建化工園區(qū)和化工項(3)禁止在合規(guī)園區(qū)外新建、擴建鋼鐵、石化、化工、焦化、建 (4)禁止生產(chǎn)高VOCs含量有機溶劑型涂料、油墨和膠黏劑的新、擴(5)禁止新建、擴建使用燃煤設(shè)施的工業(yè)項目;(6)禁止在本市規(guī)劃已確定的通風廊道區(qū)域內(nèi)新建、改建、擴建排物的工業(yè)項目;(7)繞城高速公路(G4202)以內(nèi)禁止新建、擴建混凝土(砂漿)、瀝青攪拌站;(8)繞城高速公路(G4202)以內(nèi)區(qū)域,禁止新建大型物流基地、中心或者商品批發(fā)市場。(高新區(qū))成都ZH51011720005(1)嚴控列入產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)指導目錄限制類行業(yè)的項目;(2)控制水泥、平板玻璃、日用玻璃、涂料、鑄造、磚瓦等行業(yè)產(chǎn)(3)嚴控列入國家產(chǎn)能過剩的項目,繼續(xù)化解過剩產(chǎn)能,嚴禁鋼泥、電解鋁、平板玻璃等行業(yè)新增產(chǎn)能,對確有必要新建的必限制及不屬、涂磚瓦等求入產(chǎn)業(yè)門類的企業(yè),原則上限制發(fā)展,污染物(2)加快布局分散的企業(yè)向園區(qū)集中,鼓勵現(xiàn)有工業(yè)項目、化工項(3)工業(yè)生產(chǎn)中可能產(chǎn)生惡臭氣體但未按要求設(shè)置合理防護距離的高高新西區(qū)禁止引入及惡臭氣體產(chǎn)生,原廠區(qū)已以化學品庫為中心設(shè)置半徑(1)污水收集處理率達100%;排放標準根據(jù)流域及其水質(zhì)現(xiàn)狀等提準。岷江、沱江流域現(xiàn)有及擴建工業(yè)園區(qū)污水處理廠執(zhí)行《四川省岷江、沱江流域水污染物排放標準》(DB512311-2016);(2)加快推進鋼鐵、平板玻璃、水泥等重點行業(yè)超低排放改造;加揮發(fā)性有機物重點行業(yè)深度治理;(3)推廣低(無)VOCs含量原輔材料。新建、改建、擴建涉VOCs目,推廣使用低(無)VOCs含量的原輔料;進一步提高木Cs(4)全面推進在用鍋爐提標改造,按期執(zhí)行《成都市鍋爐大氣污染物排放標準》(DB512672-2020)要求。集率作放標重點行目使用的Cs,且本(1)電子信息行業(yè)、汽車制造行業(yè)應分別參考執(zhí)行成都市電子信息環(huán)境績效指標、汽車制造行業(yè)資源環(huán)境績效指標; (2)工業(yè)固體廢棄物利用處置率達100%,危險廢物處置率達100%; (3)推進老舊燃氣鍋爐和成型生物質(zhì)鍋爐低氮燃燒改造或改電工(4)推進低(無)VOCs含量源頭替代。聚焦工業(yè)和服務業(yè)、溶劑使劑、低VOCs含量型的涂料、膠粘劑和油墨產(chǎn)品的生VOCs含量、低反應活性等環(huán)境友好型原輔材料和產(chǎn)品的市資源不涉及鍋爐使用,本項目原輔料已盡s(5)參照《關(guān)于加強重點行業(yè)建設(shè)項目區(qū)域削減措施監(jiān)督管理的通知》(環(huán)辦環(huán)評〔2020〕36號)執(zhí)行;(6)嚴格執(zhí)行廢氣、廢水、噪聲、固體廢物等國家、行業(yè)和地方污行等排放標準求(1)涉及有毒有害、易燃易爆物質(zhì)新建、改擴建項目,嚴控準入要(2)嚴格涉重金屬(鉛、汞、鎘、鉻、砷)企業(yè)和園區(qū)環(huán)境準入管理,新(改、擴)建涉重金屬重點行業(yè)建設(shè)項目實施“等量替代”或代”。(3)園區(qū)風險防控體系要求:構(gòu)建三級環(huán)境風險防控體系,強化危 (4)針對化工園區(qū)建立有毒有害氣體環(huán)境風險預警體系,建立區(qū)(5)化工、電鍍等行業(yè)企業(yè)拆除生產(chǎn)設(shè)施設(shè)備、構(gòu)筑物和污染治理(7)重有色金屬冶煉行業(yè)、金屬表面處理及熱處理加工行業(yè)、皮革品制造業(yè)、化學原料及化學制品制造業(yè)、鉛酸蓄電池制造行業(yè)總體上達到國內(nèi)先進水平,重金屬重點排污企業(yè)達標排放率達全廠急預行執(zhí)行等量照相應要(1)到2022年,萬元國內(nèi)生產(chǎn)總值用水量、萬元工業(yè)增加值用水量分別降低30%和28%。(2)鼓勵引導新建、改建、擴建工業(yè)園區(qū)按照有關(guān)要求統(tǒng)籌建設(shè)工集中處理和回用設(shè)施,適時推進企業(yè)間串聯(lián)用水、分質(zhì)用水、區(qū)。(3)鼓勵火力發(fā)電、紡織、造紙、化工、食品和發(fā)酵等高耗水企業(yè)度處理回用,降低單位產(chǎn)品耗水量?;痣?、有色、造火力和建設(shè)有污YS5101172210031/符合符合符合符合求//(1)除威立雅三瓦窯熱電(成都)有限公司外,禁止貯存、使用燃染燃料;(2)禁止新建、改建(已有鍋爐配套治理設(shè)施升級改造除外)、擴建燃煤、生物質(zhì)鍋爐(含成型生物質(zhì)鍋爐);業(yè)增加值能耗對標國內(nèi)先進水平及以上;工業(yè)(4)電力、鋼鐵、紡織、造紙、石油石化、化工、食品發(fā)酵等高耗額標準。電紡織、石化、發(fā)酵等,不涉高污染。區(qū)內(nèi),禁止銷售、燃用高污染燃料,禁止新建、改建、擴建任污染燃料的項目和設(shè)備,已建成使用高污染燃料的各類設(shè)備或者改用管道天然氣、頁巖氣、液化石油氣、電或者其他清用設(shè)活動的要求要求活動的退出要求約束要求優(yōu)先控染控制措施要求措施要求工業(yè)企業(yè)污水處理設(shè)施升級改造,全面實現(xiàn)工業(yè)廢水達標排集系統(tǒng)建設(shè)與提標升級改造,推進工業(yè)園區(qū)“零直排區(qū)”建設(shè)。加強23個省級以上工業(yè)園區(qū)集中污水處理設(shè)施運行監(jiān)管,對66個市級產(chǎn)業(yè)功能區(qū)污水收集、處理設(shè)施存在問題開展整治。污染控制措施要求處YS5101172310040污染控制措施要求源和其它特殊水體保護要求//符合符合控險評估,開展沿江石化、化工、醫(yī)藥、紡織、印染、化纖、和石油類倉儲、涉重金屬和危險廢物等重點企業(yè)環(huán)境風險評工業(yè)、企業(yè)集中分布區(qū)環(huán)境風險管控,加快建設(shè)規(guī)范的工業(yè)沿江/設(shè)活動的要求要求活動的退出要求約束要求優(yōu)先控標準《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》(GB3095-2012):二級排放的工業(yè)項目實行2倍削減量替代。其他能源大氣污染控制要求要求平板玻璃、磚瓦等傳統(tǒng)行業(yè)的產(chǎn)能新增;三是通過打造特色產(chǎn)入、環(huán)保標準、環(huán)境監(jiān)管,執(zhí)行大氣污染物特別排放限值。五綠色績效考核、重污染天氣“一廠一策”等實行重點行業(yè)差異建,不涉,營運及酸性相應處后達標料禁燃區(qū)(政策YS5101172540005YS5101172550001精準管控,促進行業(yè)整體提效升級。大氣污染控制要求控制要求污染防治管理辦法和各類揚塵污染控制標準,明確治理目措施、責任主體和考核模式,落實揚塵治理和監(jiān)管責任。積極推行綠色施工,強化建筑、市政交通、拆遷(除)、綠化“四大工明施工標準化建設(shè)技術(shù)標準》要求。提高道路清掃機械化和業(yè)水平,增加清掃頻次,落實道路分級清掃保潔要求,建成經(jīng)營活動大氣污染控制要求專項治理要求物排放管控要求/////符合符合///控//////控//控//效率要求得超過能源利用上線控制性指標效率要求能源性指標控//控//效率要求效率要求/置入清單(2022年版)》及相關(guān)要求??菩侣?-8號,8-10號廠區(qū)現(xiàn)目出具的不動產(chǎn)權(quán)證書(川(2018)成都市不動產(chǎn)權(quán)第0394130號)(附件4),明確其用紅線符合性分析“生態(tài)保護紅線”是“生態(tài)空間范圍內(nèi)具有特殊重要生態(tài)功能必須實行強制性嚴格保護的區(qū)域。相關(guān)規(guī)劃環(huán)評應將生態(tài)空間管控作為重要內(nèi)容,規(guī)劃區(qū)域涉及生態(tài)保護紅線的,在規(guī)劃環(huán)評結(jié)論和審查意見中應落實生態(tài)保護紅線的管理要求,提出相應對策措施。除受自然條件限制、確實無法避讓的鐵路、公路、航道、防洪、管道、干渠、通訊、輸變電等重要基礎(chǔ)設(shè)施項目外,在生態(tài)保護紅線范圍內(nèi),嚴控各類開發(fā)建設(shè)活動,依法不予審批新建工業(yè)項目和礦產(chǎn)開發(fā)項目的環(huán)評文件”。根據(jù)《關(guān)于印發(fā)四川省生態(tài)保護紅線方案的通知》(川府發(fā)[2018]24號),四川省生態(tài)保護紅線方案對全省各市區(qū)的生態(tài)保護紅線進行了劃定。本項目位范圍內(nèi)。源利用上限符合性分析,區(qū)分不同行業(yè),從能源資源開發(fā)等量或減量替代、開采方式和規(guī)??刂啤⒗眯屎捅Wo措施等方面提出建議,為規(guī)劃編制和審批決策提供重要依據(jù)。本項目為集成電路制造,項目占地性質(zhì)為工業(yè)用地,用地已取得成都市國土資源局為本項目出具的不動產(chǎn)權(quán)證書(川 (2018)成都市不動產(chǎn)權(quán)第0394130號)(附件4),因此本項目符合成都市高新區(qū)資源利用境質(zhì)量底線分析“環(huán)境質(zhì)量底線”是國家和地方設(shè)置的大氣、水和土壤環(huán)境質(zhì)量目標,也是改善環(huán)境質(zhì)量的基準線。有關(guān)規(guī)劃環(huán)評應落實區(qū)域環(huán)境質(zhì)量目標管理要求,提出區(qū)域或行業(yè)污染物排放總量管控建議以及優(yōu)化區(qū)域或行業(yè)發(fā)展布局、結(jié)構(gòu)和規(guī)模的對策措施。項目環(huán)評應對照區(qū)域環(huán)境質(zhì)量目標,深入分析預測項目建設(shè)對環(huán)境質(zhì)量的影響,強化污染防治措施和污染物排放控制要求。項目選址區(qū)域為環(huán)境空氣功能區(qū)二類區(qū),執(zhí)行二級標準。根據(jù)成都市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布的《2020成都生態(tài)環(huán)境質(zhì)量公報》,項目選址區(qū)域環(huán)境空氣質(zhì)量不滿足《環(huán)境空氣質(zhì)量GB標準要求,為不達標區(qū),其余污染物:氟化物滿足《環(huán)境空氣質(zhì)OC影響評價技術(shù)導則大氣環(huán)境》(HJ2.2-2018)附錄D中的要求。本項目對工藝上產(chǎn)生的VOCs收集率為100%,并采用RCTO焚燒的方式進行處理,對所在區(qū)域環(huán)境空氣影響很小。本項目所在區(qū)域為3類聲環(huán)境功能區(qū),本項目建成后通過距離衰減、降噪措施后噪聲排放量小,能滿足《工業(yè)企業(yè)廠界噪聲排放標準》3類標準要求。清水河為本項目污水最終受納水體,適用地表水環(huán)境質(zhì)量為III類的水域。根據(jù)成都市生態(tài)環(huán)境局發(fā)布的2020年環(huán)境質(zhì)量公報可知,清水河監(jiān)測斷面水質(zhì)較好。本項目生產(chǎn)過程中廢水處理達《電子工業(yè)水污染物GB”標準,BOD5處理達《污水綜合排放標準》(GB8978-1996)三級標準后排入市政管網(wǎng)。因此項目建成后對清水河環(huán)境質(zhì)量影響較生態(tài)環(huán)境準入負面清單符合性分析“生態(tài)環(huán)境準入負面清單”是基于生態(tài)保護紅線、環(huán)境質(zhì)量底線和資源利用上線,以清單方式列出的禁止、限制等差別化環(huán)境準入條件和要求。要在規(guī)劃環(huán)評清單式管理試點的基礎(chǔ)上,從布局選址、資源利用效率、資源配置方式等方面入手,制定環(huán)境準入負面清單,充分發(fā)揮負面清單對產(chǎn)業(yè)發(fā)展和項目準入的指導和約束作用。根據(jù)《四川省國家重點生態(tài)功能區(qū)產(chǎn)業(yè)準入負面清單(第一批)(試行)》,其中共有56個縣(市)納入國家重點生態(tài)功能區(qū),《負面清單》實施范圍涵蓋甘孜州、阿壩州全域以及涼山州、綿陽市、廣元市、樂山市、達州市、雅安市、巴中市部分縣(市);第二批實施范圍為沐川縣、峨邊彝族自治縣、馬邊彝族自治縣、石棉縣、寧南縣、普格縣、布拖縣、金陽縣、昭覺縣、喜德縣、越西縣、甘洛縣、川省人民政府關(guān)于落實生態(tài)保護紅線、環(huán)境質(zhì)量底線、資源利用上線制定生態(tài)環(huán)境準入清單實施生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控的通知》(以下簡稱1)針對突出生態(tài)環(huán)境問題,大力優(yōu)化調(diào)整產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu),實施最嚴格的環(huán)境準入要求;2)加快地區(qū)生產(chǎn)總值(GDP)貢獻小、污染物排放強度大的產(chǎn)業(yè)(如建材、家具等產(chǎn)升級,結(jié)構(gòu)優(yōu)化;3)對重點發(fā)展的電子信息、裝備制造、先進材料、食品飲料、生物醫(yī)藥等產(chǎn)業(yè)提出最嚴行《四川省岷江、沱江流域水污染物排放標準》;5)優(yōu)化涉危險廢物涉危險化學品產(chǎn)業(yè)布局,嚴控環(huán)境風險,保障人居安全。有廠區(qū)內(nèi),均不在《四川省國家重點生態(tài)功能區(qū)產(chǎn)業(yè)準入負面清單(第一批)(試行)》和第二批當中,項目營運期主要進行集成電路制造,符合國家當前產(chǎn)業(yè)政策,符合成都市高新區(qū)規(guī)劃,項目不處于四川省生態(tài)紅線范圍內(nèi),有一定環(huán)境容量。廢氣及廢水均執(zhí)行最嚴格的環(huán)境準入要求,符合“通知”要9、承諾制符合性分析本項目選址于成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西區(qū),所在區(qū)域已取得中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部出具的《關(guān)于<成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)分區(qū)規(guī)劃(2017-2035年)環(huán)境影響報告書>的審查意見》(環(huán)審[2021]31號)。本項目符合《成都市建設(shè)項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制改革試點方案的通知》(成環(huán)發(fā)[2018]449號)和《成都市建設(shè)項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制正面清單(2021年版)》的通知(成環(huán)發(fā)[2021]36號)要求,項目滿足審批承諾制條件。情況1《成都市建設(shè)項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制改革試知》(成環(huán)發(fā)8]449實施范圍:市域行政區(qū)內(nèi)已完成規(guī)劃環(huán)評或跟蹤環(huán)評的自貿(mào)區(qū)、產(chǎn)業(yè)目環(huán)境影響評價分類管理名錄》規(guī)定應當編制環(huán)境影響報告表的所有項目,產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)按照《建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄》規(guī)定應當編制環(huán)境影響報告表的部分項實施條件:建設(shè)單位完成工商注冊﹔項目地塊位于自貿(mào)區(qū)、產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi)﹔自貿(mào)區(qū)和產(chǎn)業(yè)園區(qū)已完成規(guī)劃環(huán)評或跟蹤環(huán)評﹔項目的環(huán)境影響評價審批權(quán)限屬于市級及縣級環(huán)保行政主管部門。不包括關(guān)系國家安本項目所在成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西區(qū)已完成規(guī)劃環(huán)評,應編制報告表,建設(shè)單位已完成工商注冊,位于產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi),審批級別屬于成都高新區(qū)生態(tài)環(huán)境和城市管理局,不關(guān)涉及重大公共利2《成都市建設(shè)項目環(huán)境影響評價文件審批承諾制正面清單(2021年版)》(成環(huán)發(fā)根據(jù)產(chǎn)業(yè)功能區(qū)內(nèi)應編制環(huán)境報告表的承諾制項目正面清單:三十六、計算機、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)39中的80電子器件制造397,文件類別為報告表,屬于承諾面清單本項目為凸點加工擴能項目,屬報告表,位于成都高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)西區(qū)現(xiàn)有建設(shè)內(nèi)容由來隨著電子信息產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,作為電子信息產(chǎn)業(yè)的核心技術(shù)——半導體集成電路的設(shè)計和制造的發(fā)展已成為必然趨勢。其深遠影響,不但已滲透到國民經(jīng)濟的各個領(lǐng)域,而且已被公認為是評估一個國家綜合國力的重要指標。受益于扶持政策,隨著我國經(jīng)濟的持續(xù)發(fā)展,電子信息產(chǎn)業(yè)已經(jīng)發(fā)展成為國民經(jīng)濟和社會發(fā)展的第一大支柱產(chǎn)業(yè),在整個國民經(jīng)濟中為了加快信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展進程,我國各級政府都把集成電路產(chǎn)業(yè)作為重點支持和扶持的行業(yè),制定和頒布了許多特殊優(yōu)惠政策,為集成電路及相關(guān)企業(yè)創(chuàng)造良好的發(fā)展環(huán)境。作為全球發(fā)展速度最快、潛在市場最大的國家,鼓勵發(fā)展的產(chǎn)業(yè)政策及大量高素質(zhì)的技術(shù)人才,使德州儀器有限公司(TexasInstruments,簡稱TI)是全球領(lǐng)先的半導體公司,可提供創(chuàng)新的數(shù)字信號處理(DSP)及模擬器件技術(shù)。除半導體業(yè)務外,還提供包括傳感與控制、教育展。在北京、上海、深圳及香港設(shè)立了辦事處及技術(shù)支持隊伍,提供許多獨特的產(chǎn)品及服核準德州儀器香港有限公司并購及增資成都成芯半導體有限公司項目的批復》)原則同意德州儀器香港有限公司(TI子公司)收購成芯公司。2010年10月,并購順利完成,并在成都高新區(qū)西部園區(qū)成立了“德州儀器半導體制造(成都)有限公司”(以下簡稱“德州儀器成都公2013年,德州儀器成都公司收購了中芯國際集成電路制造(成都)有限公司土地所有權(quán)、廠房及其設(shè)施,形成了德州儀器成都公司封裝測試廠,并實施了德州儀器半導體制造(成都)有限公司集成電路封裝測試生產(chǎn)項目。目前,德州儀器集成電路制造廠現(xiàn)有工程滿產(chǎn)產(chǎn)能為8英寸芯片60萬片/年(含前工149億只集成電路,其中常規(guī)封裝QFN(涉及引線鍵合,英文全稱為QuadFlatNo-leadsHotRod凸點,英文全稱為FlipChiponLeadframeQFN(HotRodM)Package,即框架上倒裝芯age為適應市場需求,德州儀器半導體制造(成都)有限公司擬投資57914萬元人民幣實施進行內(nèi)部裝修改造,并增加凸點加工生產(chǎn)設(shè)備48臺/套,實現(xiàn)新增凸點加工產(chǎn)能30.1125萬片/年(825片/天),其中5.4385萬片/年(149片/天)為HotRod凸點,24.674萬片/年(676片/天)為常規(guī)凸點。擴能后,凸點加工總產(chǎn)能將達到86.3225萬片/年(2365片晶圓/天),其中72.6715萬片/年(1991片/天)為普通凸點,13.651萬/年(374片/天)為HotRod凸點。為對建設(shè)項目施工期和營運期可能造成的環(huán)境影響進行分析、預測和評估,根據(jù)《中華路制造(C3973),應屬于該名錄“三十六、計算機、通信和其他電子設(shè)備制造業(yè)”中的“80、電子器件制造397”中的“顯示器件制造;集成電路制造;使用有機溶劑的;有酸洗的(以上均不含僅分割、焊接、組裝的)”。應編制環(huán)境影響報告表。為此,德州儀器半導體制造(成都)有限公司特委托四川眾望安全環(huán)保技術(shù)咨詢有限公司(以下簡稱“評價單位”)承擔該項目的環(huán)境影響評價工作。接受委托后,評價單位立即組織技術(shù)人員進行了現(xiàn)場調(diào)查導則”以及《建設(shè)項目環(huán)境影響報告表編制技術(shù)指南》(污染影響類)(試行)等技術(shù)規(guī)范要求,編制完成了《德州儀器半導體制造(成都)有限公司12英寸凸點加工擴能(擴能至項目名稱:德州儀器半導體制造(成都)有限公司12英寸凸點加工擴能(擴能至2365目州儀器半導體制造(成都)有限公司根據(jù)《中華人民共和國放射性污染防治法》,本項目所涉及的輻射部分應委托有資質(zhì)的(1)班制(2)定員本項目不新增勞動定員,全廠員工人數(shù)維持約2890人。本項目對凸點加工進行擴能建設(shè),項目建成后,凸點加工總產(chǎn)能將達到86.3225萬片/年(2365片晶圓/天)。序號稱1234/56本項目凸點加工涉及晶圓凸點電鍍工藝,擴能前后電鍍鍍種及規(guī)模如下表所示,普通凸CopperonAnything)等電鍍面積大的晶圓片數(shù)量變小,電鍍面積與電鍍晶圓片數(shù)量不呈線性電鍍面積(m2/a)鍍層厚度(μm/片)HotRod1540片/天2365片/天件(SMD)晶圓8//6///(PS4b)(PS4b)三、建設(shè)項目組成及主要環(huán)境問題稱容及規(guī)模造成的環(huán)境面積44163.17m2,鋼筋混凝土框架主廠房(FabB)主廠房(FabB)施層?,F(xiàn)建設(shè)有12英寸晶圓凸點加工生產(chǎn)線,產(chǎn)能為56.21萬片/年。本項目新增凸點加工設(shè)備,新增30.1125萬片/年(825片/天)凸點加工產(chǎn)能,擴能后全廠凸點加工產(chǎn)能達到86.3325萬片/年(2365片/天)。(CUB(CUB510983m2。局部3層,內(nèi)部布置有蓄水池、水泵房、廢水處理系統(tǒng)、純水系統(tǒng)、配電室、冷水機組、空調(diào)機房和動(1)一套DI去離子水處理系統(tǒng),設(shè)計施工噪中央動處理能力為75m3/h,供給AT1生產(chǎn)廠房聲、建筑垃圾 ( (CUB5(2)一套純水制備系統(tǒng),采用“紫外殺輔d)菌+拋光混床+濾芯過濾”工藝,制備能公用110KV工程變電站4層框架結(jié)構(gòu),占地面積932.3m2,建筑(PS4a面積2625.30m2。)柴油發(fā)電機,用于臨時停電時應急發(fā) 油泵房1層,建筑面積18m2,用于為鍋爐房和(OPH柴油發(fā)電機房供油系統(tǒng)的控制,螺桿油依托(1)FabB凸點加工生產(chǎn)車間新風能力(2)FabB內(nèi)電鍍錫生產(chǎn)線設(shè)置2套新風m3h統(tǒng)4臺1200RT低溫(5/11℃)水冷離心式水冷離心式冷凍機組,1臺1400RT中溫封裝廠鍋爐房CUB5b,設(shè)2臺燃氣冷水供水系統(tǒng)/螺桿式多級真空泵2套,設(shè)計真空量統(tǒng)5套12837KW冷卻塔,供回水溫度初純水系統(tǒng)全廠共用,采用RO藝,CUB5c中純水系統(tǒng)的純水制備能力0m3/d。超純水系統(tǒng)由各廠房單獨制備,其中林德氣體供氣,離心式水冷空壓機3臺 (2用1備),單臺3600Nm3/h,Mpa。水冷水環(huán)式真空泵4臺(3用1備),單包括壓縮空氣、氮氣、氧氣、氫氣、氬氣、氦氣等大宗氣體,部分由專業(yè)氣體/包括惰性含氟氣體CF4,CHF3,SF6有機廢氣排風系統(tǒng)、酸性廢氣排風系統(tǒng)統(tǒng)。統(tǒng)統(tǒng)統(tǒng)FabB包括顯影液、異丙醇、光阻剝離劑、雙氧水、硫酸、磷酸等化學品供應統(tǒng)設(shè)計裝設(shè)容量100MVA,設(shè)2路10KV/1600KW×4。統(tǒng)/活心(OS5)1/7層:占地面積6823.7m2,建筑面積40136.7m2,目前一層至三層布置為行政的針測工序,四樓正在建設(shè)針測工序。(GH2)(GH3)庫(CW5)1層,建筑面積2076m2。儲存常用化學/(GY)(OW)1層,建筑面積360m2,用于存放鍋爐房、應急發(fā)電機用的輕質(zhì)柴油,現(xiàn)有工個過氧化氫儲罐、1個脫模劑儲罐、廢異丙醇回收罐1個,廢有機溶劑回收罐1個。儲罐為固定立式,最大容積為43立正在建設(shè)第2個雙氧水儲罐,本項目擬本項目酸性廢氣主要來源于刻蝕、電鍍及電鍍實驗室等工序。主要成分是硫酸、鹽酸等。項目新增的等離子刻蝕會產(chǎn)生含氟廢氣,接入現(xiàn)有的酸性廢氣處理系統(tǒng)。另,電鍍錫工藝產(chǎn)生的電鍍廢氣也接入現(xiàn)有的酸性廢氣處理系統(tǒng),采用堿液噴淋處理,廢氣經(jīng)40m高排放。本項目揮發(fā)性有機廢氣主要來源晶圓光刻膠涂布、光阻去除、干燥等工序,主要污染物物,廢氣經(jīng)設(shè)備機臺管道接入FabB現(xiàn)有的一套沸石轉(zhuǎn)輪濃縮焚燒系統(tǒng)處理(風量45000m3/h),另設(shè)置兩套備用活45000m3/h),尾氣經(jīng)4根40m灰化工藝排氣、設(shè)備熱排氣等,經(jīng)2根一般排氣系統(tǒng)40mRCTO氣與有機廢氣同用一根排氣筒(40m)排放。CUB5c內(nèi)建有含氟處理系統(tǒng),采用“物化+投加除氟劑”處理FabB一樓建有2套廢水處理系統(tǒng)用于處理電鍍后產(chǎn)品清洗廢水和電鍍實驗室廢水,采用離250m3/d,電鍍重金屬廢水分銅、鎳廢水和錫、銀廢水兩大類收集處理,鎳銅廢水處理能力150m3/d,錫銀廢水處理能力00m3/d。聲設(shè)備,安裝減震墊、建筑隔聲(RH)616m2為危廢暫存間,負責全廠危險廢物物一般固廢暫存間:位于廠區(qū)西北角,1層,建筑面積500m2,負責全廠一般固廢房建筑面積30m2,生活垃圾由各環(huán)衛(wèi)部門處理圾(1)在大宗化學品罐區(qū)設(shè)置了廢有機溶物物(2)在FabB一層設(shè)電鍍廢液收集系險(2)重點部位如化學品倉庫CW險進入地表(3)廢氣處理系統(tǒng)均設(shè)置有備用系統(tǒng),理能不間斷穩(wěn)定運行。(FabB、AT1)、化學品庫、鍋爐房、Bd地下水錫廢水處理站、電鍍廢液暫存區(qū)等為重生活污水處理站為一5m2。/目前德州儀器成都公司總計有4個生產(chǎn)廠房,分別為FabA(負責8英寸晶圓加工前工序,生產(chǎn)線已建成),F(xiàn)abB(負責12英寸晶圓凸點加工),AT1(負責全廠封裝工序),AT2 環(huán)保設(shè)施?,F(xiàn)有工程全廠均在行政中心辦公樓內(nèi)辦公,本項目不改變現(xiàn)有工程辦公情況。本建筑物之間的依托關(guān)系如下:表0涉及,不予公示1替代的更為低毒、環(huán)保原輔材料。本項目主要?;防砘再|(zhì)介紹詳見環(huán)境風險專項評價內(nèi)臺、公用工程及輔助設(shè)施(1)給水系統(tǒng)與消防給水系統(tǒng)。現(xiàn)有工程給水水源為城市自來水,建設(shè)場地四周均鋪設(shè)有市政給水管網(wǎng),自來水通過城市等供水。(2)一級純水、超純水終端系統(tǒng)在動力廠房。超純水原水供水來自生產(chǎn)消防兩用萬噸水池。超純水制備工藝是:原水→砂濾→炭濾→熱交換→預過濾→一級反滲透→脫氣→二級反滲透→離子交換→UV(紫外除總有機碳)→拋光混床→終端過濾→配送回路①原水首先由管網(wǎng)至純水站,經(jīng)多介質(zhì)過濾、活性炭過濾、二級反滲透,制成初純水(電過濾器(電阻率>17.5MΩ·cm)后供應到生產(chǎn)線。(3)回用水系統(tǒng)所示。(4)常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)用于冷凍站冷水機組及空壓機組冷卻水。系統(tǒng)組成:冷卻水循環(huán)泵、組合式冷卻塔、加藥統(tǒng)。(5)工藝設(shè)備循環(huán)冷卻水系統(tǒng)供工藝設(shè)備冷卻用水,為閉路循環(huán)系統(tǒng),為保證進水溫度,在循環(huán)管路上加設(shè)水溫控制裝置。系統(tǒng)組成:工藝設(shè)備冷卻水循環(huán)泵、板式換熱器、開式膨脹水箱補水裝置、水溫控制裝門、管道系統(tǒng)。3(6)冷凍水系統(tǒng)現(xiàn)有工程冷凍站為空調(diào)系統(tǒng)等用戶供給低溫冷凍水。系統(tǒng)組成:低溫離心式冷水機組、中溫離心式冷水機組、冷凍水一次泵、冷凍水二次泵、閉式膨脹罐、加藥裝置、管道及閥門附統(tǒng)。組、中溫離心式冷水機組、冷凍水一次泵、冷凍水二次泵、閉式膨脹罐、加藥裝置、管道及閥非潔凈室風機盤管(FCU)和工藝設(shè)備冷卻水(PCW)所需冷負荷。選擇低溫(5/11℃)水冷系統(tǒng)的冷媒用水,循環(huán)使用,不排放,只需補充損耗的水。制造廠廠區(qū)排水體制實行雨污分流制:(1)雨水經(jīng)廠區(qū)雨水管網(wǎng)匯集后排入園區(qū)市政雨水管網(wǎng);(2)生產(chǎn)廢水經(jīng)廠區(qū)內(nèi)生產(chǎn)廢水處理站處理,生活污水經(jīng)預處理池、隔油池預處理后進污水供應Fab廠房和CUB動力站使用。專線為雙電源供電、兩路電源供電方式擬采用“同時供用的熱備用方式”。(1)鍋爐成都高新區(qū)西部園區(qū)無集中供熱系統(tǒng),德州儀器成都工廠供熱全部由位于封裝測試廠的鍋然氣供應最豐富的地區(qū)之一,具有較豐富的天然氣資源提供項目使用。封裝測試廠目前設(shè)有5臺燃氣熱水鍋爐,兩臺為6100KW,兩臺為8400KW,一臺為KW。4(2)天然氣(3)柴油系統(tǒng)油發(fā)電機房及柴油消防水泵。柴油儲罐位于室外動力區(qū),由油泵供應至應急柴油發(fā)電機日用油現(xiàn)有工程熱水供給空調(diào)凈化系統(tǒng)、純水系統(tǒng)加熱。系統(tǒng)由燃氣熱水鍋爐、高溫熱水0/70℃)循環(huán)水泵、熱回收系統(tǒng)熱交換器、閉式膨脹罐、管道及閥門附件、保溫材料等組成。集成電路制造廠不設(shè)鍋爐房,燃氣熱水鍋爐全部位于封裝測試廠。封裝測試廠目前設(shè)有5共同提供工廠熱水。5六、本項目依托現(xiàn)有廠區(qū)公輔設(shè)施可行性分析置有工程所需能力(包括所有在建、程擬及置余能力CUB5c:5160m3/dFabA:2373m3/d(根據(jù)水平衡做了變更)FabB:404m3/dATm3/dmdmd能CUBd2880m3/d(目FabB:2400m3/dFabB:178m3/d能統(tǒng)FabB:2×65000m3/h82m3/h系統(tǒng)m3/h作82m3/h能統(tǒng)FabB:35000m3/h×2FabB:36331m3/h(含電鍍錫)9m3/h9m3/h能CUBc000m3/dabAFabB4874.3m3/dBc能CUBc0m3/dFABa:269m3/dFABb3m3/d437m3/d437m3/d能BUMP電鍍處理能BUMP電鍍處理m/d能罐///能6庫率約為///能庫用率約為50%///能///能品罐///能品罐///能注:廢液等固體廢物收集暫存設(shè)施能力與廢物轉(zhuǎn)運周期頻次相關(guān),廢物轉(zhuǎn)運周期頻次可根據(jù)生產(chǎn)情況進行調(diào)節(jié),當收集暫存設(shè)施達到設(shè)定裝載量時即應及時轉(zhuǎn)運所裝載廢物。7七、總圖布置合理性分析(1)平面布置合理性分析面的要求,采用將功能相近、生產(chǎn)聯(lián)系緊密的建筑就近分區(qū)布局形式。根據(jù)各類用地性質(zhì)分區(qū)的生產(chǎn)區(qū)是整個項目的核心,位于廠區(qū)中部。生產(chǎn)區(qū)主要由4棟生產(chǎn)廠房FabA、FabB和助動力工程氣站區(qū)、硅烷站、化學品庫、動力站房、110KV變電站以及廢物庫沿生產(chǎn)廠房西側(cè)及南側(cè)布置,靠近主要生產(chǎn)單元,可縮短物流運輸距離,減小能源動力的運輸損東廠界和西廠界。辦公大樓的東北面設(shè)員工小車停車場和訪客停車場,東、西兩側(cè)設(shè)大巴停車位。廠房的四周設(shè)計6-8m的環(huán)形道路,形成一個暢通的環(huán)形路網(wǎng),既滿足物流要求,同時滿料流程短;通道間距能滿足運輸和管線布置的條件,并符合防火、抗震、安全、衛(wèi)生、環(huán)保、噪聲等規(guī)范;合理使用場地,并考慮將來發(fā)展生產(chǎn)留有余地,廠區(qū)綠化率高,可凈化廠區(qū)空本項目在現(xiàn)有FabB廠房內(nèi)進行擴能,廢氣可依托FabB酸性廢氣處理系統(tǒng)統(tǒng)與有機廢氣處理。(2)環(huán)保設(shè)施布局合理性分析氣排氣筒、有機廢氣排氣筒等,其中酸性廢氣排氣筒、有機廢氣排氣筒、均布置在FabB廠房現(xiàn)有廠區(qū)內(nèi)集成電路制造區(qū)和封裝測試區(qū)排水系統(tǒng)獨立,集成電路廠區(qū)內(nèi)污水處理站位于廠區(qū)西南側(cè)靠近成灌高速處,污水于西南側(cè)臨成灌高速廠區(qū)圍墻處接入市政污水管網(wǎng),封裝測8試廠區(qū)污水處理站位于廠區(qū)東南側(cè)靠近保稅區(qū)內(nèi)部道路處,污水接管處位于廠區(qū)東側(cè)靠近1#項目廠區(qū)辦公、生活區(qū)位于廠區(qū)東北側(cè),均不在廢氣排放點下風向,主要產(chǎn)噪設(shè)備均布置在廠綜上所述,廠區(qū)總圖布置做到工藝流程合理,物流順暢,功能分區(qū)明確,人物分流、道路網(wǎng)絡和寬度滿足工廠內(nèi)外運輸及消防要求,且廠界周邊均為對環(huán)境無特殊要求的企業(yè),總圖布。工藝流程和產(chǎn)排污環(huán)節(jié)一、施工期工藝流程及產(chǎn)污位置本項目主要在現(xiàn)有FabB廠房內(nèi)新增凸點加工設(shè)備。施工期主要為設(shè)備的安裝和調(diào)試過項目在施工期以施工噪聲、設(shè)備廢包裝、設(shè)備調(diào)試廢氣、廢水以及廢棄物料(主要為包裝材料等)為主要污染物。本項目施工期間產(chǎn)生的污染物可依托現(xiàn)有工程已建污染物治理設(shè)施處二、營運期工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)(一)生產(chǎn)工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)集成電路是通過一定的工藝技術(shù),將一些元器件(如晶體管、電阻、電容等)制作在一塊晶片上,并在相互之間接線,做成電路,能實現(xiàn)一定功能的電子器件。集成電路的生產(chǎn)是一個工、芯片封裝、芯片測試等工序。本項目新增12英寸晶圓凸點加工生產(chǎn)能力30.1125萬片/年 (825片/天)的生產(chǎn)能力,生產(chǎn)過程主要涉及芯片后加工工序(即圖2-2中紅色虛線框內(nèi)所示部分)。造流程如下圖所示。程圖本項目對進口于TI國外芯片廠的12英寸晶圓首先在集成電路制造廠FabB廠房進行凸點加工,并在OS5進行針測,然后在封裝測試廠AT廠房進行晶圓級芯片尺寸封裝及測試。本項目主9在凸點完成后,晶圓上就形成了一個個的小格,即晶粒。針測(Probe)是對每個晶粒檢測其電氣特性,并將不合格的晶粒標上記號。如果是不良品,在接下來的封裝和測試流程中將晶圓凸點是在封裝之前完成的制造工藝,屬于先進的封裝技術(shù)。該工藝通過在晶圓級器件凸點加工制程即從晶圓加工完成基體電路后,利用涂膠、黃光、電鍍及蝕刻制程等制作技術(shù)通過在芯片表面制作銅錫凸點,提供了芯片之間、芯片和基板之間的“點連接”,由于避免面,引腳密度可以做得很高,便于滿足芯片性能提升的需求,并具有較佳抗電遷移和導熱能力本項目凸點包括普通凸點和HotRod凸點兩種,其主要區(qū)別在于凸點制作所采用的焊錫淀HotRod錫銀工藝,工藝流程如圖2-6所eronAnything)、BOP(BumponPad)、BOAC(BondOverActiveCircuit)、BOACPI(BondOverActiveCircuitwithPolyimide)、Pb-freeHotRod,上述各類凸點結(jié)構(gòu)如下圖所示,主要區(qū)別為層次結(jié)構(gòu)和凸點類型不同。工藝流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)注:普通凸點產(chǎn)品中的BOAC不含灰化、回流焊與助焊劑去除工藝HotRod流程及產(chǎn)污環(huán)節(jié)2、等離子切割(PlasmaDicing)工藝本項目在新增凸點加工產(chǎn)能825片/天的同時,擬在FabB生產(chǎn)廠房內(nèi)增加等離子切割(劃片)工藝。本項目建成前,晶圓凸點加工生產(chǎn)線產(chǎn)能為1540片/天,晶圓劃片工序使用傳統(tǒng)的機械劃片與激光切片。本項目建成后擬將晶圓凸點加工生產(chǎn)線產(chǎn)能提升至2365片/天,同時封機械劃片、激光切片與等離子切割三種方式同時進行。項目不改變現(xiàn)有芯片生產(chǎn)前工序、凸點加工和晶圓級封裝生產(chǎn)線的工藝流程和產(chǎn)品方FNQFN藝詳細描述:3、污染物產(chǎn)生情況小結(jié)置序物征集成電路VOCs生產(chǎn)廠房(FabB)VOCsVOCsVOCsVOCsSO2NOx氣FABb電鍍PMP電鍍酸清櫥清洗廢水蝕刻(硫酸)廢水蝕刻(磷酸)水pH等bB塔泵/水渣鎳劑環(huán)戊酮等擦拭、電鍍池燈料等廢靶材物理氣相沉積金屬間歇產(chǎn)生廢陽極電鍍金屬間歇產(chǎn)生 廢芯片檢測、分類硅片、金屬間歇產(chǎn)生(二)物料、水平衡平衡5、揮發(fā)性有機物平衡與項目有關(guān)原有污染情況及主要環(huán)境問題(一)、現(xiàn)有工程環(huán)保手續(xù)履行情況介紹廠,情況如下:現(xiàn)有廠區(qū)來歷1、集成電路制造廠(原成芯半導體)省發(fā)展和改革委員會以“川發(fā)改外〔2010〕882號”文(《關(guān)于核準德州儀器香港有限公司并購及增資成都成芯半導體有限公司項目的批復》)原則同意德州儀2、封裝測試廠(原中芯國際成都)2013年,德州儀器成都公司收購中芯國際集成電路制造(成都)有限公司“土地使用權(quán)、廠房及相關(guān)廠房設(shè)施”后,在中芯國際成都(UTAC)廠區(qū)內(nèi)實施了集成電路封裝測試生產(chǎn)項二、德州儀器現(xiàn)有項目及環(huán)保手續(xù)情況收購成芯半導體前,集成電路制造廠項目包括8英寸芯片廠項目、8英寸芯片廠二期項目能。前項目具體介紹如下:電路芯片代工生產(chǎn)線。成都成芯公司集成電路制造廠總建筑面積99473m2,建筑占地面積31351m2,建設(shè)有生產(chǎn)廠房、動力廠房、建筑服務系統(tǒng)、工藝服務系統(tǒng)、環(huán)保與安全消防設(shè)英寸芯片生產(chǎn)廠項目環(huán)境影響報告書》,同年12月,原國家環(huán)保總局以“環(huán)審〔2005〕1011通過竣工環(huán)境保護驗收?;A(chǔ)上,造有限公司8英寸芯片生產(chǎn)廠二期項目環(huán)境影響報告書》,同年取得原國家環(huán)保總局批復同意該3、MEMS(微機械電子系統(tǒng))項目成都成芯半導體制造有限公司MEMS(微機械電子系統(tǒng))項目計劃從已投產(chǎn)的2萬片/月2008年12月,信息產(chǎn)業(yè)電子第十一設(shè)計研究院有限公司完成《成都成芯半導體制造有限區(qū)環(huán)境保護局批復(成高環(huán)函〔2009〕25號)同意該項目建設(shè)。購成芯半導體后未實施該項目。4、德州儀器集成電路技術(shù)改造項目德州儀器集成電路技術(shù)改造項目在原成芯半導體8英寸芯片項目基礎(chǔ)上,增加部分工藝,提升產(chǎn)品性能,投片量由2萬片/月提升到2.1萬片/月。產(chǎn)品規(guī)格仍為8英寸,制程0.35-器半導體制造(成都)有限公司集成電路技術(shù)改造項目環(huán)境影響報告書》,同年取得高新區(qū)城目于2013年4月16日成高環(huán)字〔2013〕184收。技術(shù)改造2臺機臺,在集成電路技術(shù)改造項目每月2.1萬片的產(chǎn)能中,調(diào)整2000片用于器半導體制造(成都)有限公司集成電路技術(shù)改造項目(增加LBC3/4產(chǎn)品)環(huán)境影響報告書》,同年取得高新區(qū)城市管理和環(huán)境保護局批復(成高環(huán)字〔2012〕154號)同意該項目建器半導體制造(成都)有限公司集成電路技術(shù)改造項目項目中增加V-diode產(chǎn)品環(huán)境影響報告書》,同年2月取得高新區(qū)城市管理和環(huán)境保護局批復(成高環(huán)字〔2012〕154號)同意該項目7、德州儀器半導體制造(成都)有限公司餐廳工程該項目取消德州儀器原有位于辦公樓四樓的員工餐廳,移到一樓的辦公區(qū)重新裝修為員工餐廳。由原來配餐改為自行做餐方式,餐廳裝修后就餐人員包括集成電路廠現(xiàn)有工作人員580咖啡區(qū)、小賣部及衛(wèi)生間。器半導體制造(成都)有限公司新增餐廳工程項目環(huán)境影響報告表》,同年4月取得高新區(qū)城市管理和環(huán)境保護局批復(成高環(huán)字〔2013〕171號)同意該項目建設(shè)。該項目于2014年4月保護驗收。8、集成電路封裝測試生
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