刻蝕工序作業(yè)指導(dǎo)書簡述

23/23HYPERLINK"/"HYPERLINK"/"刻蝕工序作業(yè)指導(dǎo)書目的規(guī)范晶硅電池片生產(chǎn)中刻蝕工序的各項操作。范圍適用于本公司晶硅125單晶電池片生產(chǎn)中刻蝕工序的操作指導(dǎo)。定義無規(guī)范性引用文件無職責(zé)工藝工程師編制刻蝕工序作業(yè)指導(dǎo)書，并培訓(xùn)和指導(dǎo)操作職員進(jìn)行操作。生產(chǎn)部操作職員按照作業(yè)指導(dǎo)書的要求進(jìn)行操作。內(nèi)容刻蝕崗位上料前作業(yè)指導(dǎo)書，見2/17頁?？涛g崗位上料作業(yè)指導(dǎo)書，見4/17頁?？涛g崗位下料作業(yè)指導(dǎo)書，見6/17頁。刻蝕崗位下料后作業(yè)指導(dǎo)書，見8/17頁?？涛g崗位方塊電阻測試作業(yè)指導(dǎo)書，見9/17頁。減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書，見11/17頁?？掏ㄐЧ麥y試作業(yè)指導(dǎo)書，見12/17頁。防護(hù)品使用及交接作業(yè)指導(dǎo)書，見13/17頁。集中供液換液作業(yè)指導(dǎo)書，見15/17頁。記錄7.1電池生產(chǎn)記錄表SH-QM3-Eng003-F01支持性文件8.1《各工序返工片和碎片處理作業(yè)指導(dǎo)書》SH-QM3-Eng008附錄無刻蝕崗位上料前作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：戴好帽子和口罩，雙手戴汗布手套，乳膠手套。下料左手加戴一次性手套（乳膠手套2小時更換一次，一次性手套300片換一次）備注：接觸刻蝕后硅片雙手均戴一次性手套。相關(guān)夾具：無操作提示：禁止傳遞窗兩側(cè)同時開啟。1.操作預(yù)備2.打開傳遞窗相關(guān)夾具：承載盒操作提示：雙手握承載盒由傳遞窗最多一盒相關(guān)夾具：承載盒操作提示：承載盒連同流程單按順序輕放于上料工作臺上擺放整齊，切勿震碎硅片。3.傳遞窗取片4.放片于上料工作臺相關(guān)夾具：承載盒操作提示：關(guān)閉傳遞窗。然后檢查硅片是否有新的配料單，假如有新的配料單，檢查配料單上硅片阻值大小，如是低阻硅片（0.5~1.5Ω/sqr）請先通知工藝技術(shù)員確認(rèn)。相關(guān)夾具：承載盒操作提示：雙手輕握住硅片,取出后豎放于層壓皮上，檢查是否有缺角或損壞硅片。檢查擴(kuò)散面外觀，是否有不良片.挑出不良片（層壓皮每班使用前用酒精棉布擦拭）。5.關(guān)閉傳遞窗6.檢查硅片相關(guān)夾具：卸片盒操作提示：不良片放于指定位置相關(guān)夾具：卸片盒操作提示：每五張單子抽測一次，每次取一單的不連續(xù)的5片，測試刻前重量及方阻。7.不良片放于指定位置8.取測試片相關(guān)夾具：電子天平操作提示：參照《減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書》見11/17頁相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：參照《刻蝕崗位方阻測試作業(yè)指導(dǎo)書》見9/17頁9.刻前硅片重量測試10.刻前方阻測試相關(guān)夾具：操作提示：記錄刻前重量及方阻并提交與MES系統(tǒng)中。相關(guān)夾具：操作提示：投片前確認(rèn)設(shè)備狀態(tài)，設(shè)備處于自動模式運行，且設(shè)備運行燈顯示綠色，確認(rèn)工藝文件正確，并使上料計數(shù)歸零。11.數(shù)據(jù)記錄12.設(shè)備狀態(tài)確及計數(shù)歸零刻蝕崗位上料作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：承載盒操作提示：取一單的大約1/3，預(yù)備上料相關(guān)夾具：承載盒操作提示：左手捏住片子一側(cè)的中間部位，拇指輕推將片子捻開，捻片動作要輕，柔。1.取片2．上料捻片相關(guān)夾具：承載盒操作提示：擴(kuò)散間出來的片子為一正一反放置，因此一定確認(rèn)擴(kuò)散面。顏色深為擴(kuò)散面，擴(kuò)散面朝上放置。相關(guān)夾具：無操作提示：擴(kuò)散面朝上，硅片上輕放于傳動軌道上，且要放正，放穩(wěn),同時從第一根滾輪開始放非擴(kuò)散面擴(kuò)散面3.區(qū)分正反面4.上料相關(guān)夾具：無操作提示：上料過程中觀看是否有不良片，放于工作臺指定卸片盒內(nèi)。如缺角，裂紋做報廢處理；針孔退庫，色斑，吸筆印，水紋印，盒邊印，手指印做返工處理。相關(guān)夾具：操作提示：上料時從1-5道的順序依次放置，硅片斜線前進(jìn)5上料檢查硅片6.按1-5道順序投放硅片相關(guān)夾具：無操作提示：兩片之間的間距大于5-7cm備注：至少間隔一個滾輪。相關(guān)夾具：無操作提示：抽測減薄量與方阻的硅片投放時要與前后投放的硅片區(qū)不開，5片并列放齊。（測試片同意用手推齊）7.放片間距8.抽測硅片的投放相關(guān)夾具：操作提示：一張流程單投完后確認(rèn)數(shù)目。相關(guān)夾具：操作提示：一張流程單投完后確認(rèn)數(shù)目。準(zhǔn)確，完整填寫上料數(shù)據(jù)于電池生產(chǎn)記錄表SH-QM3-Eng003-F01。9.上料卡數(shù)10.表單填寫上料不良片類型缺角（報廢）對角裂紋（報廢）中間裂紋（報廢）針孔（退庫）白點手指印吸筆印盒子印水紋片備注：除有標(biāo)報廢與退庫的，其余為上料返工片。色斑色斑刻蝕崗位下料作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：承載盒吸筆操作提示：下料承載盒放置開口端朝下，閉口端朝上。限放5盒。相關(guān)夾具：汗布手套乳膠手套一次性手套操作提示：下料人員要先依次戴好汗布手套和乳膠手套。最后再在雙手最外層戴上一次性手套。1.空承載盒放于下料臺2戴好一次性手套相關(guān)夾具：承載盒操作提示：右手輕輕拿起下料處硅片，靠近承載盒最底部的左右兩邊慢慢平行插入。相關(guān)夾具：承載盒吸筆操作提示：從插第二片硅片開始沿著第一片的平行推進(jìn)插入，將硅片的3/4插到承載盒內(nèi)并留1/4長度在不處。一盒插滿后用手背將盒中硅片全部輕推進(jìn)承載盒底部。3.插入第一片4.下料插片相關(guān)夾具：承載盒操作提示：滿一盒把承載盒豎成45°角，讓硅片輕輕滑下。相關(guān)夾具：承載盒小推車操作提示：硅片整齊，輕放于小推車。小推車車底墊泡沫板，泡沫板鋪墊整齊。5.插滿后抬起承載盒6.放于小推車相關(guān)夾具：電子天平操作提示：參照《減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書》見11/17頁。備注：刻蝕后加戴一次性手套測試。相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：參照《刻蝕崗位方阻測試作業(yè)指導(dǎo)書》見9/17頁。備注：刻蝕后加戴一次性手套測試。7.測試片刻后稱重8.測試片刻后方阻測試相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：每張單子測試5片（1-5道）。測試參照《刻通效果測試作業(yè)指導(dǎo)書》見12/17頁。備注：刻蝕后加戴一次性手套測試。相關(guān)夾具：承載盒操作提示：下料完一單后，核實流出數(shù)目。9.確認(rèn)是否刻通10.下料核實數(shù)目備注1：生產(chǎn)過程中，生產(chǎn)人員查看片子走動情況不得打開窗戶。備注2：每次間隔一段時刻重新投料時，上料人員通知下料人員或測試人員，下料人員或測試人員從上料端巡查到下料端，觀看片子走動情況，是否有卡片等異常出現(xiàn)，尤其關(guān)注風(fēng)刀、水刀部位。備注3：如下料發(fā)覺某道未有片子走出，請立即與上料人員核實情況，如是卡片，停止上料，迅速巡查并確定位置，并通知工藝和設(shè)備人員。注:查看生產(chǎn)中片子走動下料返工類型沒刻通（圖片為硅片背面）正面滾輪印過刻（刻蝕印大于1.5mm）注：另外下料測試不合格硅片（減薄量不合格，冷熱探針測試<30mV，方阻提升異常）均要返工，詳細(xì)見6.5-6.7測試環(huán)節(jié)。刻蝕崗位下料后作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：填寫生產(chǎn)數(shù)據(jù)與生產(chǎn)記錄表，包括流出數(shù)目，碎片等。參看表格電池生產(chǎn)記錄表：SH-QM3-Eng003-F01相關(guān)夾具：承載盒小推車操作提示：下料硅片滿一單，由小推車推到PECVD，硅片和小推車一起留在PECVD間1.表單填寫2.推至PECVD相關(guān)夾具：承載盒小推車操作提示：把載有空盒的小推車推回刻蝕間相關(guān)夾具：電腦操作提示：MES系統(tǒng)提交流程單3.空盒返回4.系統(tǒng)提交流程單相關(guān)夾具：承載盒吸筆操作提示：每生產(chǎn)完一張流程單硅片留一段間隔后接著投下一張流程單硅片。相關(guān)夾具：無操作提示：當(dāng)班生產(chǎn)結(jié)束后，整理小推車碎片，并將本班碎片及返工片包好，按《各工序返工片和碎片處理作業(yè)指導(dǎo)書》要求處理（碎片送至統(tǒng)計差異處登記，返工片送回返工工序登記返工）。5.持續(xù)生產(chǎn)6.碎片、返工片處理刻蝕崗位方塊電阻測試作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：打開電源開關(guān)，初次測量時，要先預(yù)熱15min。相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：使“R□”“I”各個指示燈亮。電流檔位是0.1MA。1.操作預(yù)備2.檢查指示燈相關(guān)夾具：無操作提示：把電流檔位從0.1MA調(diào)至10MA。相關(guān)夾具：承載盒、吸筆操作提示：測試刻蝕前方阻如圖，任意取5片（注意顏色深為擴(kuò)散面）。3.調(diào)節(jié)電流檔位4.預(yù)備硅片相關(guān)夾具：無操作提示：擴(kuò)散面向上,把硅片放到測試臺上,片子輕輕靠住定位塊,確保了測試點正好是硅片的中心點。相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：用手按下“下降”按鈕使針頭平壓在硅片上。6.放置硅片7.按“下降”按鈕相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示用手輕輕旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)按鈕，用手旋轉(zhuǎn)粗調(diào)旋鈕“Rough”或者細(xì)調(diào)旋鈕“Fine”。相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示用手輕輕旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)按鈕使電流值4.530MA（單晶電流校對值）8.校準(zhǔn)電流9.電流顯示相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：把“I”的指示燈切換至R□/P相關(guān)夾具：四探針測試儀操作提示：待R□數(shù)值穩(wěn)定時讀取數(shù)值。方阻提升2-8正常，異常通知工藝。備注：通?？糖胺阶璨桓哂?0，刻蝕不高于55，異常聯(lián)系工藝。10.切換指示燈11.顯示數(shù)值相關(guān)夾具：吸筆操作提示：按下“上升”按鈕，取出測試好的硅片。相關(guān)夾具：無操作提示：將R□的測試數(shù)值記錄在電池生產(chǎn)數(shù)據(jù)記錄表上，見“電池生產(chǎn)記錄表”SH-QM3-Eng003-F01，并MES系統(tǒng)提交數(shù)據(jù)。14.按“上升”按鈕15.記錄數(shù)值減薄量測試作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：電子天平操作提示：稱量前調(diào)試天平顯示為0相關(guān)夾具：電子天平操作提示：推開右側(cè)窗口1.電子天枰調(diào)試2.推開窗口相關(guān)夾具：電子天平操作提示：硅片輕輕平放，然后并關(guān)閉右側(cè)窗口，讀取數(shù)據(jù)?？涛g后稱重加戴一次性手套。相關(guān)夾具：電子天平操作提示：依次稱量硅片。3.輕放于天枰上4.按順序稱量相關(guān)夾具：無操作提示：按順序記錄硅片重量與生產(chǎn)記錄表，參看文件SH-QM3-Eng003-F01，并提交于MES系統(tǒng)。減薄量范圍0.035g-0.075g（125S）正常，異常通知工藝。相關(guān)夾具：無操作提示：歸還給上下料人員。5.按順序記錄數(shù)據(jù)6.硅片歸還刻通效果測試作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：按POWER鍵打開電源相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：調(diào)節(jié)量程為200MV1打開電源2.調(diào)節(jié)量程相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：左手拿硅片，使硅片一側(cè)接觸冷熱兩個探針，右手拿有黑線的筆并接觸熱探針。四條邊都要測。相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：顯示數(shù)值大于等于30MV，為刻通，小于30MV通知工藝人員3.硅片放置4..數(shù)據(jù)顯示相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：按POWER鍵關(guān)閉電源。相關(guān)夾具：冷熱探針測試儀操作提示：硅片交換給下料人員。5.關(guān)閉電源6硅片交還防護(hù)品使用及交接作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：乳膠手套、PH試紙操作提示：戴好乳膠手套檢查防酸手套上外部及內(nèi)部有無水跡。（如有：用PH測試紙檢測，確認(rèn)后使用）如有異常通知領(lǐng)班及時更換。相關(guān)夾具：氣槍、防酸手套操作提示：將手套中吹入空氣，握緊手套口，檢查是否有漏氣想象。如有異常通知領(lǐng)班及時更換。1．防酸手套2．防酸手套有無破損相關(guān)夾具：PH試紙操作提示：檢查過濾罐使用期限，防毒面具外部及內(nèi)部是否有水跡，（如有：用PH測試紙檢測，確認(rèn)后使用）。如有異常通知領(lǐng)班及時更換。相關(guān)夾具：防毒面具操作提示：戴好防毒面具，向外吹氣，檢查透氣性是否良好。面具鏡片上是否有水珠及霧狀。呼吸時是否有異味。如有異常通知領(lǐng)班及時更換。3．防毒面具檢查4．檢查防毒面具密封性相關(guān)夾具：PH試紙操作提示：檢查外部及內(nèi)部是否有水跡，（如有：用PH測試紙檢測，確認(rèn)后使用）檢查是否有破損現(xiàn)象。帽子系帶是否完好。上衣紐扣是否完好。如有異常通知領(lǐng)班及時更換。相關(guān)夾具：PH試紙操作提示：檢查外部及內(nèi)部是否有水跡，（如有：用PH測試紙檢測，確認(rèn)）檢查是否有破損現(xiàn)象。帶是否完好。如有異常通知領(lǐng)班及時更換。5．防護(hù)服6．防護(hù)褲相關(guān)夾具：無操作提示：防酸手套內(nèi)至少戴二層以上層乳膠手套。相關(guān)夾具：無操作提示：穿戴好防護(hù)用品后，兩個換液人員相互檢查佩戴防護(hù)用品是否合格。7．正確穿戴8．確認(rèn)檢查相關(guān)夾具：無操作提示：戴著防酸手套用流水將手套沖洗2分鐘。相關(guān)夾具：無操作提示：再將防酸手套脫下用水沖洗。再將手套用氣槍吹干。放在指定的線不區(qū)域。9．防酸手套一10．防酸手套二相關(guān)夾具：無操作提示：將防毒面具摘下。相關(guān)夾具：無操作提示：用潔凈的抹布將防毒面具擦拭潔凈，再將過濾罐的蓋子蓋好。放在指定的線不區(qū)域。將使用過的擦拭布丟入酸性廢棄物垃圾桶內(nèi)11．防毒面具12．防毒面具相關(guān)夾具：無操作提示：將防護(hù)服脫下。相關(guān)夾具：無操作提示：防護(hù)褲脫用潔凈的抹布擦拭潔凈，放在指定的線不區(qū)域內(nèi)。將使用過的擦拭布丟入酸性廢棄物垃圾桶內(nèi)。13．防護(hù)服14．防護(hù)褲相關(guān)夾具：無操作提示：按照線不標(biāo)整齊擺放好防護(hù)用品。相關(guān)夾具：無操作提示：交接班按線不分開交接。15．?dāng)[放16.交接班集中供液換液作業(yè)指導(dǎo)書相關(guān)夾具：無操作提示：防護(hù)用具包括：防護(hù)服、防毒面具、防酸手套、防護(hù)鞋。未佩戴防護(hù)用具的人員不能夠進(jìn)行任何換液操作流程。換液必須雙人操作，工序長或領(lǐng)班、主管監(jiān)督確認(rèn)每一步操作流程。相關(guān)夾具：無操作提示：換液人員檢查確認(rèn)集中操作屏畫面所需換的化學(xué)品。1．佩戴好防護(hù)用具2．集中供液機(jī)操作屏相關(guān)夾具：無操作提示：用于打開化學(xué)桶的回液口的蓋子。在穿戴防護(hù)用品前必須檢查防護(hù)用品并在防護(hù)用品使用檢查記錄表上簽名后，進(jìn)行換液操作。相關(guān)夾具：無操作提示：使用清洗間集中供液換液專用的升格叉車。3．工具、防護(hù)用品檢查4．預(yù)備升格叉車相關(guān)夾具：無操作提示：液壓車操作員及換液操作員佩戴好防護(hù)用品后，將化學(xué)品桶的抽液口與回流口正確放置,使其在回流管與抽液管正下方.相關(guān)夾具：無操作提示：液壓車操作員檢查化學(xué)桶上的標(biāo)簽，是否為所需要更換的化學(xué)品。5．預(yù)備化學(xué)品6．核對化學(xué)品相關(guān)夾具：無操作提示：換液操作員在操作顯示屏上點擊“起用”，將“起用”狀態(tài)切換為“停止”狀態(tài).相關(guān)夾具：無操作提示：檢查操作顯示屏上是否為停止?fàn)顟B(tài)，顯示為停止?fàn)顟B(tài)時才能夠進(jìn)行換液操作。7．集中供液機(jī)操作8．集中供液機(jī)操作相關(guān)夾具：無操作提示：換液操作員關(guān)閉回流管及抽液管球閥以及需要更換化學(xué)桶的抽液閥。相關(guān)夾具：無操作提示：將回流及抽液管接口慢慢擰松0.5～3圈（先擰松0.5圈，如殘液不回流，再擰松半圈，依次類推直至殘液回流），讓管內(nèi)殘液回流至化學(xué)桶內(nèi)。切勿完全擰開，否則會造成污染和損害。9．關(guān)閉回流及抽液閥10．稍稍擰松接口至殘夜回流相關(guān)夾具：無操作提示：將回流管取下，擰下抽液管與桶的連接閥。注意回流及抽液管接頭密封膠圈。將空桶桶蓋裝好并擰緊。相關(guān)夾具：無操作提示：雙人操作取下空桶,(換液操作員扶住化學(xué)桶，液壓車操作員拉升格叉車將換下的空化學(xué)桶按標(biāo)簽放置在專用區(qū)域)并將桶上“滿桶”標(biāo)簽撕下。11．松下回流及抽液管12．取下空桶相關(guān)夾具：吸液棉操作提示：用吸液棉將空桶上的殘留化學(xué)品清理潔凈。將使用過的吸液棉丟入酸性廢棄垃圾桶內(nèi)。相關(guān)夾具：纏繞膜操作提示：使用纏繞膜將空桶包好后放于指定位子。13．清理殘液14．包裝空桶相關(guān)夾具：無操作提示：雙人操作，化學(xué)品名稱雙人確認(rèn)，將新的化學(xué)桶鏟上叉車,送至換液處。換液操作員再進(jìn)行化學(xué)品標(biāo)簽確認(rèn)