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文檔簡介

1、實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)(DOE)入門全球品管中心職級晉升系列之活動(dòng)案例說明:直升機(jī)飛行實(shí)驗(yàn)FACTOR(-1)Level(1)LevelA2cm4cmB8cm10cmC2cm3cm虛線:對折實(shí)線:剪裁B:機(jī)翼長度A:機(jī)翼寬度C:機(jī)身寬度參考設(shè)定值:8cm參考設(shè)定值:2cm裁剪方式:什么是DOE二. DOE的原理和作用三. DOE的種類和步驟四. DOE案例目錄DOE是一種結(jié)構(gòu)化和系統(tǒng)化的方法,能有效、快速地揭示多個(gè)過程變量(Xs)與輸出或質(zhì)量特性(Y)的因果關(guān)系,以確定影響過程響應(yīng)的最重要的因子(Xs),從而獲得最佳響應(yīng)(Y)。機(jī)身寬度機(jī)翼長度機(jī)翼寬度過程質(zhì)量特性 (飛行時(shí)間T)因子(X)響應(yīng) (Y)噪聲/

2、不可控因子一.什么是DOE響應(yīng) (Y)=過程F(因子X)DOE的原理工程實(shí)踐統(tǒng)計(jì)原理二. DOE的原理和作用顯著因子?實(shí)驗(yàn)次數(shù)?相互影響?.Buffer PVX EtchBuffer PVX Etch后形成輕微表面小黑點(diǎn)1st ITO刻蝕液浸泡小黑點(diǎn)變大PVX Etch后小黑點(diǎn)逐漸變大SD層GI層Buffer PVX EtchPower(W)Press(mT)SF6(sccm)O2(sccm)He2(sccm)Time(s)改善前65001503000100050改善后3000753000100045PVX Etch改善前300015030045040086改善后250015050030060

3、086Step1:Buffer PVX Etch的Power由6500W3000W,改善不明顯Step2:PVX Etch的Power由3000W2500W,改善明顯但工藝調(diào)整有限Step3:DOE實(shí)驗(yàn)案例12“二. DOE的原理和作用 DOE的作用例:CELL 刻蝕 點(diǎn)類不良Issue! 篩選因子Power(W)Press SF6(sccm)O2(sccm)He2(sccm)Time(s)Other 建立模型根據(jù)主相關(guān)因子進(jìn)行后建立模型進(jìn)行分析確認(rèn)趨勢方向模型分析參數(shù)優(yōu)化Power(W)250Press 1500 SF6(sccm)500O2(sccm)300He2(sccm)600Time

4、(s)85建模篩選優(yōu)化輸出最佳結(jié)果二. DOE的原理和作用篩選實(shí)驗(yàn):田口設(shè)計(jì)PlackettBurman設(shè)計(jì)6以上部分因子實(shí)驗(yàn)410全因子實(shí)驗(yàn)25DOE 種類因子數(shù)量篩選重要因子篩選重要因子因子與Y的關(guān)系目的區(qū)分主效應(yīng)主效應(yīng)和部分交互作用所有主效應(yīng)和交互作用,建立數(shù)學(xué)模型(線性效果)作用低現(xiàn)在工序了解程度高響應(yīng)曲面實(shí)驗(yàn)23設(shè)定因子的最佳條件響應(yīng)變量的預(yù)測模型(曲線效果)要求三.DOE的種類和步驟策劃響應(yīng)變量“Y”策劃因子“x”選擇合適的DOE方法實(shí)施實(shí)驗(yàn)&收集數(shù)據(jù)分析結(jié)果&改善實(shí)施策劃實(shí)驗(yàn)過程“F”明確問題和目標(biāo)WwhatCchooseDdoAanalysis-.陳述實(shí)際問題-.期望的改善方向

5、?-.望大/小/目?-.計(jì)量/計(jì)數(shù)型?-.計(jì)量/計(jì)數(shù)型?-.水平如何?-.過程能力?-.因子數(shù)量如何?-.實(shí)驗(yàn)經(jīng)費(fèi)如何?-.數(shù)據(jù)有無異常?-.模型是否符合?-.繼續(xù)實(shí)驗(yàn) or實(shí)施改善?實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)階段分析改善階段PplanY=F(x)三.DOE種類和步驟四.DOE案例案例說明:直升機(jī)飛行實(shí)驗(yàn)響應(yīng)設(shè)定:Y:飛行時(shí)間(秒)目標(biāo)飛行時(shí)間最大化因子及水平定義:FACTOR(-1)Level(1)LevelMaterialCardPaperWingShortLongBodyshortLong1. 3因素2水平全因子實(shí)驗(yàn)2. 重復(fù)一次,共16次實(shí)驗(yàn)創(chuàng)建設(shè)計(jì)Step.1 啟動(dòng)軟件Step.2 創(chuàng)建設(shè)計(jì)四.DOE

6、案例Step.2 設(shè)計(jì)方案構(gòu)建全因子實(shí)驗(yàn)矩陣Step.1 因子數(shù)Step.3 具體參數(shù)四.DOE案例Step.2 數(shù)據(jù)類型水平全因子水平選擇Step1.因子選擇四.DOE案例數(shù)據(jù)填寫標(biāo)準(zhǔn)序運(yùn)行序中心點(diǎn)區(qū)組MaterialWingBodyTimer1Timer2平均值4111PaperLng WngSht Bdy2.632.532.5813211CardSht WngLng Bdy1.561.621.593311CardLng WngSht Bdy1.871.721.7956411PaperSht WngLng Bdy2.252.162.2058511PaperLng WngLng Bdy2.7

7、82.622.710611PaperSht WngSht Bdy2.282.372.3251711CardSht WngSht Bdy1.631.721.67511811CardLng WngSht Bdy1.971.811.897911CardLng WngLng Bdy1.941.941.94121011PaperLng WngSht Bdy2.962.752.855141111PaperSht WngLng Bdy2.031.911.97151211CardLng WngLng Bdy1.721.631.67551311CardSht WngLng Bdy1.441.531.485914

8、11CardSht WngSht Bdy1.51.681.59161511PaperLng WngLng Bdy2.532.662.59521611PaperSht WngSht Bdy2.132.222.175Step1輸入響應(yīng)Step2 計(jì)算均值四.DOE案例思考:采集的數(shù)據(jù)如何判定異常?數(shù)據(jù)分析Step1.統(tǒng)計(jì)時(shí)間序列時(shí)間序列圖Step2.時(shí)間序列圖簡單Step3.時(shí)間序列圖序列四.DOE案例時(shí)間序列圖分析判定正常:隨時(shí)間變化,平均值無明顯規(guī)律、無明顯異常點(diǎn)四.DOE案例因子圖分析Step1:統(tǒng)計(jì) DOE 因子因子圖Step2:統(tǒng)計(jì) DOE 因子因子圖主效應(yīng)圖 統(tǒng)計(jì) DOE 因子因子圖交

9、互作用圖四.DOE案例主效應(yīng)、交互效應(yīng)分析主效應(yīng)圖:分析因子分別取高低水平時(shí),響應(yīng)的變化量;比較截距大小交互作用:如果因子A的效應(yīng)依賴于因子B所處的水平,即稱為有AB有交互作用,觀察是否相交四.DOE案例分析因子設(shè)計(jì)Step1.統(tǒng)計(jì)DOE因子分析因子設(shè)計(jì)Step2.選擇響應(yīng)Step3.選擇分析圖形四.DOE案例分析因子設(shè)計(jì)Step1.顯著因子柏拉圖判定:紅線以右Step2.P指判定:P0.05,為顯著因子,上例判定Material/Wing為顯著因子四.DOE案例殘差分析Step1.正態(tài)概率圖判定:殘差數(shù)據(jù)應(yīng)均勻分布,符合正態(tài)分布Step2.殘差與擬合值判定:應(yīng)在中心線附近波動(dòng),無明顯變化規(guī)律Step3.殘差與觀測值判定:應(yīng)隨機(jī)波

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