電子廠靜電防護(hù)管理程序

1、編號:WI-ED-001版本:B靜電防范管理程序第1頁共10頁1.0目的1.1建立一個優(yōu)異的ESD控制工作環(huán)境，減少或除掉ESD對電性產(chǎn)品的破壞。1.2提高產(chǎn)品在客戶端的信率性，保護(hù)公司在客戶端的信譽(yù)，保證產(chǎn)品的質(zhì)量。1.3保護(hù)公司員工的身體健康。2.0范圍適用于XXX事業(yè)部，保護(hù)ESD敏感性電子元件及產(chǎn)品之全過程，詳盡包括資料或產(chǎn)品之來料檢查、制造、測試、組裝、包裝、檢查、運(yùn)輸及儲藏等。3.0權(quán)責(zé)3.1工程部：負(fù)責(zé)公司ESD控制之技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)的建立，并針對重要ESD事件進(jìn)行追蹤，同時提出改進(jìn)措施,負(fù)責(zé)員工的ESD培訓(xùn)。3.2質(zhì)量部：負(fù)責(zé)對ESD控制之執(zhí)行質(zhì)量進(jìn)行督導(dǎo)及稽核。3.3計劃部：負(fù)責(zé)在倉

2、儲時期及發(fā)料過程對ESD敏感性元器件進(jìn)行要點防范以及防靜電輔材（中規(guī)定)的來料檢查與管控。3.4生產(chǎn)部：負(fù)責(zé)ESD控制標(biāo)準(zhǔn)的執(zhí)行及平常點檢與測量。3.5企管部：負(fù)責(zé)安排ESD人員培訓(xùn)和認(rèn)證核查，及相關(guān)資料歸檔。4.0參照文件4.1ANSI/ESDS20.20-20074.2IEC613404.3ANSI/EIA-6255.0定義及相關(guān)術(shù)語5.1ESD（ElectrostaticDischarge）：靜電放電由于電子不均勻分布使電荷在不同樣電位物體間相互轉(zhuǎn)移的現(xiàn)象。5.2EOS（ElectricalOverStress）:電壓過應(yīng)力即當(dāng)外加電壓高出零件所能承受的電壓范圍時，造成零件的崩潰。5.3

3、導(dǎo)電資料：資料表面電阻率低于1.0 x1051.0 x105/SQ或體電阻系數(shù)低于/CM的資料。5.4絕緣資料：材質(zhì)表面阻值最少是1.0 x1012/SQ或電阻系數(shù)最少是1.0 x1012/CM的資料。5.5靜電耗散資料：一個資料其表面電阻率大于1.0 x106/SQ，小于1.0 x109/SQ.（如防靜電手套、防靜電工作臺等）。5.6抗靜電資料：指表面電阻率大于1.0 x10911/SQ,小于1.0 x10/SQ的材質(zhì)。5.7CPG（CommonGroundPoint）共同接地點5.8EPA（ESDProtectedArea）靜電防范地域5.9ESD接地：靜電充電物（人）經(jīng)由匯流排、金屬支板

4、或系統(tǒng)傳導(dǎo)至地面。5.10設(shè)施接地：從電子設(shè)施到硬接地電極之低阻抗路徑。編號:WI-ED-001版本:B靜電防范管理程序第2頁共10頁6.0流程圖靜電防范管理程序流程圖7.0內(nèi)容7.1長城電腦電源事業(yè)部ESD組織結(jié)構(gòu)主要職責(zé)解決本公司重要的ESD事件，對ESD履行進(jìn)行技術(shù)性指導(dǎo)。每個月對本公司ESD控制環(huán)境進(jìn)行核查評估。按國際標(biāo)準(zhǔn)和客戶要求，保證ESD防范設(shè)施的導(dǎo)入。如期對本公司員工進(jìn)行ESD教育訓(xùn)練和核查，加強(qiáng)員工的ESD意識。組織結(jié)構(gòu)7.1.2.1ESD管控地域分布7.1.2.2ESDteam組織圖7.2ESD教育培訓(xùn)所有從事辦理或接觸靜電敏感器件的工作人員，都必定接收ESD培訓(xùn)，并經(jīng)檢定

5、考試合格者方可從事該項工作。認(rèn)證共分為A,B,C三級A級-公司培訓(xùn)授課老師，稽核員及各工作區(qū)主管級以上干部皆屬之。B級-工作區(qū)之工程師，技術(shù)員，領(lǐng)班，線組長，QC人員需具備之。編號:WI-ED-001版本:B靜電防范管理程序第3頁共10頁C級-一般作業(yè)人員及新進(jìn)人員。培訓(xùn)計劃的安排及每次個人培訓(xùn)檔案的收集，匯總將由企管部做一致兼?zhèn)?。重新培?xùn)認(rèn)證：凡經(jīng)認(rèn)定為認(rèn)證資格已無效者（違反ESD規(guī)定二次以上者）及所有人員每年都必定接收一次重新培訓(xùn)及認(rèn)證（公司內(nèi)部授課老師每年不需要重新受訓(xùn)一次）7.3ESD、設(shè)施接地之要求靜電ESD接地采用2mm*4cm的扁鐵埋入地表面以下0.8m深度，接地極與接地線必定用

6、高溫熔接保證電性連接優(yōu)異，且用2250mm的電線接出引至廠房各控制地域，再用6mm的電線連接至各線體；設(shè)施接地線由三相五線制的保護(hù)地線引出，連接至各地域線體作為設(shè)施接地使用，起到雙重接地保護(hù)作用。為保證人員的安全性，車間設(shè)施地線必定為獨立，不能與ESD地線共用。工程部ME組技術(shù)員2須每半年對廠區(qū)設(shè)施地進(jìn)行全規(guī)模檢測，用一根6m電纜線一端牢固接在廠房配電箱主設(shè)施地，一端接在萬用表一端，萬用表另一端接在各線體設(shè)施地尾端進(jìn)行檢測，此時用萬用表“”檔位進(jìn)行測量，測量阻2值應(yīng)4；ESD接地需ME技術(shù)員每半年檢查一次，用一根6m電纜線一端牢固接在靜電接地主線，一端接在萬用表一端，萬用表的另一端接在各線體E

7、SD接地尾端檢測點進(jìn)行檢測，此時用萬用表“”檔位進(jìn)行測量，測量阻值應(yīng)10。檢測結(jié)果記錄于接地線點檢記錄表中。生產(chǎn)線的ESD、設(shè)施接地尾端接地電阻均需小于10，此設(shè)施接地與ESD接地狀況的檢測由使用部門各負(fù)責(zé)人每個月自行測量一次，并分別記錄于ESD接地檢測記錄和設(shè)施接地檢測記錄中。7.3.4為防范ESD/EOS的發(fā)生，所有設(shè)施（AI/RI/SMD，加工成型機(jī)、測試設(shè)施、錫爐、烙鐵電動起子等）請一律使用美式或歐式三芯電源插頭，保證設(shè)施工具優(yōu)異接地，同時，為了保證設(shè)施的接地可靠性與防范EOS的發(fā)生，所有的帶電儀器設(shè)施與電動治工具都需連接設(shè)施接地線。所有測試治具（ICT、INT與保護(hù)站）需采用抗靜電資

8、料如電木制成，外加工治具一律用防靜電或抗靜電資料制成，且機(jī)臺需做好接地辦理。7.3.6ESD接地主線尾端需貼ESD共同接地測試點標(biāo)簽見表記圖C。7.4ESD防范地域及ESD防范工作站要求7.4.1ESD防范地域的要求：凡是有對半導(dǎo)體資料進(jìn)行存放、加工、組裝、包裝與檢驗的地域均為ESD防范地域，包括：IQC、IC倉、AI、HI、T/H段、組裝段與維修站等。7.4.1.2ESD防范地域內(nèi)如有鋪設(shè)導(dǎo)電地板，其接地阻抗需保持在2.5x104/SQ至1.0 x106/SQ之間；且需每個月對其進(jìn)行干凈及檢測，并落實填寫記錄于導(dǎo)電地板檢測記錄表上。所有人員（包括間接人員、嘉賓）進(jìn)入鋪設(shè)導(dǎo)電地板之ESD防范區(qū)

9、時，必定穿靜電鞋，且經(jīng)檢測合格后，方可進(jìn)入。所有人員（包括間接人員、嘉賓）進(jìn)入ESD防范區(qū)時應(yīng)依靜電環(huán)點檢說明書自覺點檢，并落實填寫點檢記錄表。為防范檢測儀器不良引起人員誤測，故各部門負(fù)責(zé)人應(yīng)每日對儀器進(jìn)行檢查，使其處于設(shè)施優(yōu)異狀態(tài)。（如接法可否優(yōu)異，電量可否足夠）編號:WI-ED-001版本:B靜電防范管理程序第4頁共10頁所有人員進(jìn)入生產(chǎn)線之ESD管制地域時頭發(fā)過肩的人員必定將其放入靜電帽內(nèi)，頭發(fā)過腰的人員可將頭發(fā)盤起或放入靜電衣內(nèi)，否則嚴(yán)禁進(jìn)入生產(chǎn)區(qū)。所有需穿靜電衣的人員（包括間接人員、廠商及參觀者）在穿靜電衣時其袖子嚴(yán)禁挽起，靜電衣之扣子或拉鏈必定系好，且所穿的便裝之衣領(lǐng)/衣帽嚴(yán)禁外露

10、。靜電衣沖刷時需使用小于30的中性水配合中性洗潔劑輕揉后晾干即可；其標(biāo)準(zhǔn)阻抗值為1069之間；需每個月抽檢一次并記錄于靜電衣檢測記錄上。107.4.2ESD防范工作站要求：7.4.2.1ESD防范工作站指ESD防范地域內(nèi)所有擁有防靜電功能之工作站。7.4.2.2ESD安全工作站之靜電環(huán)、靜電桌墊接地方式必定并聯(lián)，絕不能夠串通于ESD主線上。且必定接到ESD接地線上，不能夾在設(shè)施接地線或各種被誤認(rèn)為已接地設(shè)施上。靜電桌墊需經(jīng)串通1M電阻的接地扣接至ESD地，而非設(shè)施地；且接地采用之鱷魚夾與香蕉插頭不能夠混雜使用。防靜電桌墊需每個月進(jìn)行點檢一次，貼點檢標(biāo)簽如表記圖D，并將檢測結(jié)果記錄于防靜電桌墊點

11、檢記錄中；標(biāo)簽應(yīng)橫向貼在工作臺湊近靜電接地扣處。公司所有新購之防靜電輔材（防/抗靜電袋、靜電手段帶、靜電手套、靜電衣/鞋/帽、導(dǎo)電桌墊、靜電車、靜電盒/箱/框、PCB掛籃、靜電泡棉、靜電毛刷、導(dǎo)電鑷子、防靜電溶劑瓶等）進(jìn)廠或鋪設(shè)時，必定經(jīng)由庫房ESD人員對來料進(jìn)行抽檢（抽檢比率：樣品數(shù)N100時，抽檢20%；100N500時，抽檢10%；N500時,抽檢5%）,待檢驗合格后，方可導(dǎo)入使用，檢測報告記錄于防靜電資料來料檢測記錄表中，且所有防靜電資料在使用前由各使用部門負(fù)責(zé)全檢。靜電安全工作站30cm以內(nèi)的所有物體、資料表面及人體所帶靜電量（即放電模式）應(yīng)小于100V。對于生產(chǎn)線上擁有靜電發(fā)生源之

12、工位（如：撕貼膠紙、HI處物料之絕緣包裝盒）等，應(yīng)增設(shè)離子風(fēng)扇有效中和靜電。針對已組裝好外殼的成品所進(jìn)行的操作，原則上操作人員不需要佩戴靜電環(huán)；但針對個別使用高靜電物料的工位（如包裝塑料袋等），需要用離子風(fēng)機(jī)對吹，以除掉靜電。離子風(fēng)機(jī)每班巡檢一次，結(jié)果記錄于離子風(fēng)扇巡檢記錄表中；領(lǐng)班應(yīng)每周對離子風(fēng)機(jī)平衡電壓進(jìn)行檢測，平衡電壓應(yīng)小于100V，檢測結(jié)果記錄于離子風(fēng)機(jī)平衡電壓測試記錄表中，同時，為保證離子風(fēng)扇使用之可靠性應(yīng)每兩個月進(jìn)行一次校準(zhǔn)，校準(zhǔn)結(jié)果記錄于離子風(fēng)扇校準(zhǔn)記錄表中。工作站使用之測試治具、電動工具需每班在上班前對其進(jìn)行設(shè)施接地電阻及EOS對地電壓檢測，結(jié)果分別記錄于EOS檢測記錄表及機(jī)器

13、設(shè)施/電動治工具接地檢測記錄表中。7.5工作現(xiàn)場ESD之要求靜電環(huán)佩戴須知作業(yè)員在作業(yè)時必定依MOI要求佩戴靜電環(huán)、靜電手套或靜電手指套，且靜電環(huán)腕帶之金屬片必定與手段皮膚親密接觸，不能松脫或套于衣袖上。編號:WI-ED-001版本:B靜電防范管理程序第5頁共10頁為保證1M電阻之有效性，嚴(yán)禁用力拉扯靜電環(huán)的導(dǎo)線。所有人員（含間接人員、流動員）接觸ESD敏感性零組件時均須佩戴靜電環(huán)，且靜電環(huán)須處于接地優(yōu)異狀態(tài)。所有人員每日上班前應(yīng)主動檢測靜電環(huán)/鞋接地狀況，每日點檢兩次，加班需另進(jìn)行點檢一次，點檢達(dá)成后如實記錄點檢結(jié)果于靜電環(huán)點檢記錄和靜電鞋點檢記錄上，且由各地域線長或地域ESD負(fù)責(zé)人簽字確認(rèn)

14、；如點檢失敗，應(yīng)實時找線長更換新的靜電環(huán)，并重新點檢合格方可上線作業(yè)。使用靜電環(huán)自動測試儀的工位，采用自主點檢和線長檢查的方式，自主點檢方法為：不戴靜電環(huán)，打開電源開關(guān)，此時測試儀上紅燈亮，蜂鳴器叫；佩戴靜電環(huán)后，只有綠燈亮。以上測試結(jié)果吻合，表示靜電環(huán)自動測試儀處于優(yōu)異的實時監(jiān)控狀態(tài)，人員可靠接地。每日三次（上午、下午、夜晚）需要點檢，員工在自主點檢的同時，線進(jìn)步行確認(rèn)，并填寫靜電環(huán)點檢記錄。未使用靜電環(huán)自動測試儀的工位，由線長使用靜電環(huán)測試儀器逐工位進(jìn)行點檢，點檢方法為：先將靜電環(huán)測試儀器的接地線接地，讓員工用手觸摸靜電環(huán)測試儀器的金屬面蓋，如綠色燈連續(xù)亮，表示人員可靠接地；其他燈亮表示接

15、地不良。線長對點檢結(jié)果作記錄并填寫靜電環(huán)點檢記錄。對于操作靜電敏感性零組件之工位除以上點檢外還應(yīng)：所有ESD敏感零組件，應(yīng)使用防靜電盒/框或防靜電容器盛裝。取放ESD敏感零件時，請使用防靜電手套/鑷子進(jìn)行操作；對PCB干凈時必定使用防靜電刷方可；裝PCB沖刷溶劑所使用的容器必定為防靜電容器；以上使用之治工具需每個月對其ESD功能進(jìn)行檢測并記錄于ESD治工具點檢記錄。防靜電盒/防靜電桌墊等各種ESD資料上必定有ESD點檢標(biāo)簽存在。工作臺上嚴(yán)禁張貼膠帶或防范一般塑料盒、塑料袋等絕緣資料；生產(chǎn)線使用的絕緣荒棄物應(yīng)實時打掃辦理。7.6ESD敏感性資料之來料檢驗、包裝、儲蓄、運(yùn)輸搬運(yùn)過程中ESD控制要求

16、所有ESD敏感資料或產(chǎn)品在靜電防范地域外應(yīng)圓滿封裝于靜電障蔽IC管或靜電障蔽袋內(nèi)，不可打開包裝；不能夠使用易產(chǎn)生靜電和放電的物質(zhì)進(jìn)行包裝和儲蓄。7.6.2ESD敏感器件來料檢驗之ESD控制要求：檢驗靜電敏感器件的人員必定佩戴靜電環(huán)，并由組長用靜電環(huán)測試儀器測試，每日三次（上午、下午、夜晚加班），并填寫靜電環(huán)點檢記錄。檢驗治工具和設(shè)施(電烙鐵、電批等)必定接地，并用萬用表測試其接地電阻及EOS電壓，每日三次（上午、下午、夜晚加班），接地電阻要小于10，EOS電壓要小于0.3V,并填寫EOS檢測記錄表與機(jī)器設(shè)施/電動治工具接地檢測記錄表。檢驗靜電敏感器件如有接觸IC、晶體管及PCB板時要戴防靜電手

17、套，防范手汗中的有機(jī)物氧化元器件、PCB板等。7.6.3ESD敏感性資料之包裝過程中ESD控制要求：ESD敏感元件的包裝資料應(yīng)為抗靜電或靜電消逝材質(zhì)，包裝好的ESD敏感資料其靜電盒（袋）編號:WI-ED-001版本:B靜電防范管理程序第6頁共10頁應(yīng)處于密封狀態(tài)，同時包裝上應(yīng)有靜電敏感性表記。拆裝過后的散裝ESD敏感資料需放于密閉的靜電料袋（IC管）內(nèi)，不能夠放于一般塑料容器或保麗龍容器中。ESD敏感資料在進(jìn)行包裝時，應(yīng)排列整齊，不能夠積聚擺放，不同樣意有產(chǎn)生靜電的資料（泡沫、尼龍、帶狀物等）在包裝袋中。本廠常有的防靜電包裝容器及其要求：抗靜電（抗加強(qiáng)液辦理）IC管、IC料盤、料盒、零件袋及靜

18、電箱（平常為黑色、銀灰色）靜電障蔽袋的表面電阻率在1061011/Square之間。靜電消逝搬運(yùn)箱表面電阻率需在106109/Square之間。導(dǎo)電料盒/隔板表面阻抗需在106109/Square之間則有效。導(dǎo)電容器需有靜電防范標(biāo)簽做有效管控，且需每三個月進(jìn)行全檢一次，并填寫導(dǎo)電容器檢測記錄。7.6.5ESD敏感性資料儲蓄過程中的ESD控制要求：存放靜電敏感性資料的庫房，需用溫濕度計進(jìn)行監(jiān)控，檢查溫度應(yīng)在5-28度，濕度應(yīng)在40%-75%，每兩小時記錄一次(8:20-22:20）,并填寫庫房溫濕度記錄表。公司ESD產(chǎn)品進(jìn)行存放，應(yīng)使用石墨型褐色導(dǎo)電盒/箱/隔板；其有廠商供應(yīng)之質(zhì)量證明，具有永久

19、性防靜電之功能。存放ESD敏感資料所使用之固定或搬動的物料架須具備優(yōu)異接地（如：使用接地鏈或?qū)щ娸啠εc晶體管、IC等擁有ESD敏感之電子零件均需作好ESD防范動作（如擺放時的物料架鋪設(shè)防靜電桌墊）。7.6.6ESD敏感性資料運(yùn)輸搬運(yùn)過程中ESD控制要求：靜電敏感性資料的運(yùn)輸，必定使用用防靜電包裝袋或防靜電料盒盛裝，防靜電料盒必定每季度點檢一次,使用表面阻抗測試儀，表面阻抗為106109，點檢結(jié)果記錄在標(biāo)簽上并粘貼在對應(yīng)的料盒上，并填寫導(dǎo)電容器檢測記錄。所有ESD敏感資料或產(chǎn)品必定用防靜電（導(dǎo)電）車來運(yùn)送。導(dǎo)電車接地阻抗正常在106109/SQ之間，需每個月檢測一次貼上點檢標(biāo)簽并記錄于到電車檢

20、測記錄表或須有廠商供應(yīng)材質(zhì)的有效性證明，以作時間管制。推車上之產(chǎn)品盡可能不要重疊放置，如需重疊放置時，層與層之間須使用靜電隔板分開。推車進(jìn)入非ESD地域進(jìn)行產(chǎn)品零件的運(yùn)輸時，需使用靜電防范罩（袋）做障蔽。在使用一般紙箱包裝、儲蓄、運(yùn)輸搬運(yùn)ESD敏感性資料時，箱內(nèi)需設(shè)置防靜電防范（如鋪設(shè)抗靜電袋、靜電泡棉及靜電隔板）。所有人員在發(fā)料、點料、配料、包裝及取放ESD敏感性資料時均須佩戴靜電環(huán)并保證優(yōu)異接地；在使用維修料時ESD敏感性資料應(yīng)放于抗靜電料盒內(nèi)。編號:WI-ED-001版本:B靜電防范管理程序第7頁共10頁7.7表記靜電警示標(biāo)簽說明：圖A為靜電敏感表記（ESDSusceptibilityS

21、ymbol）,主要用于ESD敏感元件之外包裝及ESD敏感區(qū)。圖B為靜電防范表記（ESDProtectiveSymbol），用于靜電安全地域或ESD安全工作站。圖C為ESD共同接地測試點（ESDCommonGroundPointSymbol），用于ESD接地線尾端。圖D為ESD點檢標(biāo)簽，使用作為各種ESD資料檢測表記；標(biāo)簽日期的填寫格式需均為：XX年XX月XX日，標(biāo)簽一致為淺藍(lán)色底紙制作，并貼于ESD資料之惹眼處。圖E為靜電敏感區(qū)表記（ESDSusceptibleAreaSymbol）,主要用于全廠各ESD敏感地域。7.7.2ESD注意表記應(yīng)明確表記于ESD防范區(qū)及工作站見告所有進(jìn)入人員；一般視

22、力下表記應(yīng)在1米內(nèi)可讀見。在ESD敏感性零組件作業(yè)工位上，其防靜電零件盒和防靜電盒/板、晶體元件之料盒及MOI上都應(yīng)由靜電敏感性表記。7.8各種元器件的靜電敏感度（以人體模型HBM為例）7.9稽核每個月內(nèi)部稽核稽核小組分別由AI、生產(chǎn)部、工程維修、售后、IC庫房、質(zhì)量部&IQC與DQA各派一員組成，且ESD稽核人員須經(jīng)培訓(xùn)核查并有ESD稽核經(jīng)驗?；藭r依據(jù)稽核計劃進(jìn)行，稽核項目依ESD內(nèi)部稽核查檢表為參照依據(jù)。對稽核不吻合項目由ESDTeam發(fā)出稽核不吻合項目報告，請各責(zé)任部門實時提出整改措施，最后由部門ESD負(fù)責(zé)人報告，存檔保存。對ESD稽核過程中發(fā)現(xiàn)因人為因素違反ESD規(guī)定者，將按員工獎懲管理方法對其責(zé)任人進(jìn)行處罰。靜電防范管理程序7.10ESD規(guī)劃項目種類檢測周期檢測責(zé)任人1靜電環(huán)每日所有人員2靜電鞋每日所有人員3離子風(fēng)機(jī)巡檢每日領(lǐng)班/全能員離子風(fēng)扇平衡4每周領(lǐng)班/全能員電壓5離子風(fēng)機(jī)校準(zhǔn)每兩月工程部ME6EOS測量每日領(lǐng)班/全能員7機(jī)器設(shè)施/電動領(lǐng)班/全能員治工具接地每日8ESD治工具每個月領(lǐng)班/全能員9靜電衣帽每個月領(lǐng)班/全能員10防靜電桌墊每個月領(lǐng)班/全能員11導(dǎo)電地板每