車間防靜電規(guī)定

1、生產(chǎn)車間防靜電規(guī)定目錄目的為避免靜電敏感元器件在生產(chǎn)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、檢測(cè)等過程中受到靜電釋放的影響，從而產(chǎn)生短路、電 阻漂移、開路、工作性能退化等不良現(xiàn)象。特建立電子產(chǎn)品制造靜電防護(hù)技術(shù)要求，以保證產(chǎn)品 品質(zhì)，增加可靠性，減低不良率，節(jié)省產(chǎn)品工時(shí)成本，降低維修費(fèi)用?；陔娮赢a(chǎn)品制造靜電防護(hù)技術(shù)要求文件的頒布，提高員工對(duì)ESD的認(rèn)識(shí)，加強(qiáng)員工自覺防止ESD 現(xiàn)象之觀念，促進(jìn)生產(chǎn)管理水平之提高。適用范圍本文適用于所有車間中生產(chǎn)制程及電子元器件的采購(gòu)、運(yùn)輸、儲(chǔ)存、檢測(cè)過程中的靜電防護(hù)。名詞術(shù)語(yǔ)靜電：一種處于相對(duì)穩(wěn)定狀態(tài)的電荷。它所引起的磁場(chǎng)效應(yīng)可以忽略不計(jì)（靜電可由物質(zhì)的接觸與分 離、靜電感應(yīng)、介質(zhì)極

2、化和帶電微粒的附著等物理過程而產(chǎn)生）。ESD： ElectronicStaticDischarge，原意是指靜電釋放，即通過帶靜電區(qū)域直接接觸或感應(yīng)而引起的 靜電電荷在不同電勢(shì)物體上的轉(zhuǎn)移。后常指靜電防護(hù)，即避免靜電釋放的發(fā)生。靜電感應(yīng)：當(dāng)帶電物體靠近某一介質(zhì)時(shí)，在該介質(zhì)表面因感應(yīng)而帶電荷，并形成感應(yīng)電場(chǎng)。ESDS： ElectronicStaticDischargeSensitive，靜電放電敏感（的），通常用來指靜電敏感元器件。防靜電工作區(qū)：由各種防靜電設(shè)施、器件及明確的區(qū)域界限形成的工作場(chǎng)地。靜電敏感度：ElectrostaticSensitivity，元器件所能承受的靜電放電電壓值。表

3、面電阻/點(diǎn)對(duì)點(diǎn)電阻：在與材料的同一側(cè)面相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對(duì)于流過的 電流的比值。該測(cè)量結(jié)果以歐姆為單位來表示。體積電阻/對(duì)地電阻/系統(tǒng)電阻：在與材料的相對(duì)兩面相接觸的兩個(gè)規(guī)定形狀的電極之間，直流電壓對(duì) 于流過的電流的比值。該測(cè)量結(jié)果以歐姆為單位來表示。摩擦起電：當(dāng)使兩種材料接觸或相互摩擦后分離時(shí)，產(chǎn)生靜電荷。摩擦電壓：物體被摩擦后，表面所帶靜電荷的電壓。ESD損傷：由靜電放電引起的電子元器件性能退化或功能失效。消電時(shí)間（DecayTime）： 一個(gè)靜電壓從其初始值降低到一個(gè)給定值（通常是初始值的10%）所需要的 時(shí)間。注：國(guó)際慣例對(duì)于小于1E6歐姆的電阻使用10V電壓測(cè)量

4、，大于或等于1E6歐姆的電阻使用100V電壓 測(cè)量。防靜電工作區(qū)系統(tǒng)防靜電工作區(qū)的劃分：根據(jù)GJB1649規(guī)定的靜電放電電壓敏感的靜電放電敏感元器件組件和設(shè)備的分級(jí).靜電放電敏感產(chǎn) 品按敏感度電壓被分級(jí)為：4.1.2.靜電敏感度級(jí)別靜電敏感電壓（人體模型一HBM）I級(jí)01999VII級(jí)20003999VIII級(jí)400015999V根據(jù)該項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，所要求的ESD控制大綱一般只包含對(duì)I和II級(jí)敏感產(chǎn)品的防護(hù)?，F(xiàn)按照元器件靜電敏 感度和生產(chǎn)線實(shí)際情況如下：高速器件（如藍(lán)牙耳機(jī)等含高頻器件的組件）、較大規(guī)模集成電路（如CMOS攝像模塊）的靜電敏 感度相對(duì)較高，凡是含這些器件的半成品生產(chǎn)線均定為I級(jí)

5、；普通器件如TI的計(jì)算器等，沒有用到上述類型器件的產(chǎn)品，則生產(chǎn)這些產(chǎn)品的生產(chǎn)線不需要嚴(yán)格 的防靜電措施。僅僅是器件的存儲(chǔ)和運(yùn)輸，也不需要嚴(yán)格的防靜電措施，理由是器件在這個(gè)時(shí)候沒 有被操作。把這些生產(chǎn)線或車間定為II級(jí)；按照上述理由，現(xiàn)規(guī)定敏感級(jí)別為：級(jí)別區(qū)域I級(jí)暫無II級(jí)普通電子產(chǎn)品的半成品包裝區(qū)域、貨倉(cāng)電子料區(qū)域，生產(chǎn)倉(cāng)，收料倉(cāng)等公司內(nèi)部由黃、黑雙色斑馬線圍起的區(qū)域或門口掛有靜電標(biāo)示牌的車間為防靜電工作區(qū)。元器件敏感度分級(jí)由QC1ESD工程師按后附錄1ESDS元器件分類酌情分級(jí)，并確定。4.2.防靜電工作區(qū)基本環(huán)境要求防靜電工作區(qū)應(yīng)保持潔凈，避免有灰塵堆積或漂浮的狀態(tài)發(fā)生車間內(nèi)溫濕度的控制結(jié)

6、合車間的實(shí)際情況定為：區(qū)域溫度。C濕度裝配車間152550%60%維修車間152560%70%在不對(duì)產(chǎn)品造成有害影響的前提下，允許使用增濕設(shè)備噴灑制劑或水，以增加環(huán)境濕度。防靜電工作區(qū)應(yīng)清楚標(biāo)明區(qū)域界限以及警示標(biāo)志，見附錄14。要求使用防靜電地板或在普通地面上鋪設(shè)防靜電地墊，并保證有效接地。禁止直接使用木制地板或鋪 設(shè)毛、麻、化纖地毯及普通地板革。天花板及墻壁建議使用防靜電材料制品，一般情況下允許使用石膏制品或石灰涂料，禁止使用普通塑 料制品。防靜電工作區(qū)接地系統(tǒng)應(yīng)有獨(dú)立可靠的接地裝置，接地電阻一般應(yīng)小于10歐姆，為保證人員安全，在與人員直接接觸的地方應(yīng)加裝1兆歐姆限流電阻。接地線的要求如下:

7、接地線截面積接地電阻要求接地總線不小于100mm2的銅制導(dǎo)線小于10歐姆ESD線不得直接接在電源零線上。ESD線不接地支干線不小于6mm2的銅制導(dǎo)線小于10歐姆得與防雷地線共用。使用三相五線制供電，設(shè)備和工作臺(tái)不小于的多股或單股的銅制絕緣小于10歐姆或兆歐其大地線可以作為ESD地線，但需保證電源的接地線套導(dǎo)線兆歐地線與零線不能搭接。新增的ESD地線應(yīng)用綠色絕緣套標(biāo)識(shí)，原來使用的黃綠色絕緣套標(biāo)識(shí)可以繼續(xù)使用。臺(tái)墊等物品的接地配件 按照來料的顏色使用。廠房接地總線的接地電阻小于10歐姆，由行政部負(fù)責(zé)定期檢查，周期為一個(gè)月一次。并填寫廠房接地電阻測(cè)試記錄表。車間內(nèi)部的設(shè)備和工作臺(tái)的接地線的接地狀況由

8、PE負(fù)責(zé)定期檢查，周期為3個(gè)月一次。并填寫工 作臺(tái)地線接地電阻測(cè)試記錄表。測(cè)試臺(tái)的防靜電設(shè)備，工器具的接地由TE負(fù)責(zé)定期檢查，周期為3個(gè)月一次。并填寫工作臺(tái)地線接地電阻測(cè)試記錄表。4.4.防靜電區(qū)域設(shè)備及輔料要求I級(jí)區(qū)域II級(jí)區(qū)域防靜電安全工作臺(tái)防靜電安全工作臺(tái)防靜電容器、運(yùn)輸工具（料盒、料箱、運(yùn)輸車）防靜電容器、運(yùn)輸工具（料盒、料箱、運(yùn)輸車）防靜電腕帶防靜電腕帶防靜電工衣（帽）防靜電工衣（帽）防靜電工鞋防靜電工鞋防靜電測(cè)試防靜電烙鐵（如需使用烙鐵）防靜電烙鐵（如需使用烙鐵）防靜電工作區(qū)的ESD技術(shù)要求防靜電地板用防靜電PVC地板專用清潔劑或中性清潔用品定期進(jìn)行清潔，嚴(yán)禁使用強(qiáng)酸、強(qiáng)堿或能溶解

9、PVC材料的化學(xué)溶劑進(jìn)行清洗，如果屬于更嚴(yán)重的污漬，可以使用異丙烯基乙醇清潔。嚴(yán)禁帶有尖刺、粗糙的重物在地板表面擦劃、拖拉。不能將硫化物、丙酮、酒精等物品撒落在ESD地板上，如發(fā)生以上情況，應(yīng)立即清潔。使用防靜電地板蠟水進(jìn)行定期涂敷、養(yǎng)護(hù)，一般6個(gè)月一次。地板蠟的電阻小于1E9歐姆。地板安裝時(shí)應(yīng)滿足的ESD技術(shù)指標(biāo)包括：表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9歐姆范圍以內(nèi)。生產(chǎn)部應(yīng)及時(shí)向行政部要求對(duì)防靜電地板進(jìn)行打蠟維護(hù)，行政部做好地板打蠟后應(yīng)及時(shí)通知QC1部 ESD工程師。對(duì)于K4潔凈室的地板，經(jīng)IE評(píng)估且經(jīng)過ESD工程師的認(rèn)可，可以不做地板打蠟。QC1部ESDX程師應(yīng)在行政部對(duì)防靜電地板打蠟

10、后做一次防靜電地板表面電阻、系統(tǒng)電阻測(cè)試，測(cè) 試方法見附錄2,并填寫防靜電地板電阻測(cè)試記錄表。防靜電安全工作臺(tái)（含測(cè)試臺(tái)）各區(qū)域的防靜電安全工作臺(tái)由負(fù)責(zé)該區(qū)域的PE或TE確定范圍。例如：回流焊后的檢查臺(tái)、QC1檢查臺(tái)、修理臺(tái)和測(cè)試臺(tái)等。.防靜電安全工作臺(tái)基本要求和禁止項(xiàng)目要求禁止工作臺(tái)表面鋪設(shè)防靜電臺(tái)墊，同時(shí)臺(tái)墊必須接地。特殊情況 可以沒有臺(tái)墊，但需經(jīng)ESDX程師認(rèn)可。工作臺(tái)上放置普通塑料盒（片）、橡皮、玻璃、普通泡沫等 容易產(chǎn)生靜電的雜物。配備腕帶接頭、ESD地線、防靜電工具（可選）和防靜電測(cè) 試架距離ESDS兀器件30厘米以內(nèi)有摩擦電壓高于200V的物件在防靜電區(qū)內(nèi)使用不符合防靜電要求的物

11、料且必須時(shí)，必須得到QC1ESDH程師的評(píng)估和認(rèn)可。防靜電臺(tái)臺(tái)面應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均在1E41E9歐姆范圍以內(nèi)。防靜電臺(tái)椅子應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)。表面電阻值和系統(tǒng)電阻值均小于1E9歐姆范圍。防靜電膠簾的表面電阻應(yīng)在1E41E11歐姆內(nèi)。PE或TE應(yīng)每6個(gè)月做一次相應(yīng)的工作區(qū)域內(nèi)的防靜電臺(tái)墊和防靜電工椅電阻測(cè)試，防靜電臺(tái)墊測(cè) 試方法見附錄3,填寫防靜電臺(tái)墊電阻測(cè)試記錄表。防靜電工椅測(cè)試方法見附錄8,填寫防 靜電工椅測(cè)試記錄表，如果有不合格的，須及時(shí)更換。防靜電輔料/工具防靜電溶劑瓶：系統(tǒng)電阻在1E41E11歐姆范圍。防靜電烙鐵/焊接工具：從熱的端頭到地的電阻應(yīng)小于10歐

12、姆。防靜電文件袋（夾）：表面電阻在1E41E11歐姆范圍。PE應(yīng)每6個(gè)月做一次防靜電輔料電阻測(cè)試，測(cè)試方法見附錄7,填寫防靜電輔料電阻測(cè)試記錄表。防靜電包裝及容器防靜電容器包括ESDS原料包裝袋（盒/盤）、裝板的料盒、等一切包裝、儲(chǔ)存ESDS的容器。允許使用局部抗靜電涂料對(duì)容器表面進(jìn)行處理，但使用效果必須由相關(guān)PE定期檢查。防靜電容器應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻（包括內(nèi)外表面）在1E41E11歐姆范圍，系統(tǒng)電阻在1E41E10歐姆范圍。如果產(chǎn)品或產(chǎn)品的金屬部分不直接與防靜電容器接觸，則允許防靜電容器的電 阻小于1E4歐姆。PE應(yīng)每6個(gè)月做一次防靜電容器（包括吸塑、托盤、料箱等）表面電阻和體積

13、電 阻測(cè)試，測(cè)試方法見附錄4。填寫防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測(cè)試記錄表，測(cè)試結(jié)果由PE保存半年， 并在符合標(biāo)準(zhǔn)的容器上做標(biāo)記。QC2應(yīng)按SEF對(duì)來料的包裝袋和容器進(jìn)行測(cè)試，并填寫防靜電包 裝袋容器電阻測(cè)試記錄表。防靜電運(yùn)輸工具及存放架等防靜電運(yùn)輸工具包括一ESD運(yùn)輸車、ESD小推車等為保護(hù)ESDS不受到外部強(qiáng)靜電場(chǎng)的影響，運(yùn)送ESDS的防靜電運(yùn)輸工具應(yīng)由高導(dǎo)電性材料（建議使 用不銹鋼）制作，車子經(jīng)常固定時(shí)要求硬接地。其對(duì)地電阻應(yīng)小于10歐姆。當(dāng)運(yùn)輸車由不銹鋼組成時(shí)，且經(jīng)常移動(dòng)時(shí)，其對(duì)地電阻應(yīng)小于1E9歐姆。存放架的表面電阻和對(duì)地電阻應(yīng)小于1E9歐姆。防靜電運(yùn)輸工具應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻和對(duì)地電

14、阻小于1E9歐姆。PE應(yīng)每6個(gè)月做一次防 靜電運(yùn)輸車、ESD小推車之臺(tái)面對(duì)輪腳系統(tǒng)電阻測(cè)試，測(cè)試方法見附錄5。填寫防靜電運(yùn)輸工具/ 存放架電阻測(cè)試記錄表，測(cè)試結(jié)果由PE保存半年，并在符合標(biāo)準(zhǔn)的運(yùn)輸工具上做標(biāo)記。4.5.6.除靜電離子風(fēng)機(jī)/離子棒當(dāng)防靜電區(qū)域內(nèi)不可避免的需要使用會(huì)產(chǎn)生高靜電的材料時(shí)，且該材料要求被放置在離ESDS30厘 米內(nèi)時(shí)，必須使用離子風(fēng)機(jī)或離子棒。對(duì)于不能接地又直接接觸ESDS元件的物體，必須保證其保持在零電位狀態(tài)，必要時(shí)，可以使用離 子風(fēng)機(jī)消除在這個(gè)過程中產(chǎn)生的靜電。離子風(fēng)機(jī)在使用的過程中會(huì)產(chǎn)生較大功率的RF信號(hào)，因此進(jìn)行通信產(chǎn)品測(cè)試的車間不適用離子風(fēng) 機(jī)。如果要用，則需

15、要通過QC1ESD工程師的評(píng)估。懸掛式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)懸掛在離工作臺(tái)面60厘米的高度，（特殊工位可例外，但須經(jīng)ESD工程師認(rèn)可） 離子風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓保持在50V以內(nèi)，消電時(shí)間（從1000V中 和到100V）應(yīng)小于10秒（高風(fēng)速）。臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)放置在工作臺(tái)上且離工作區(qū)域3045厘米左右，以保證有足夠的覆蓋范圍和快速的 靜電消除。離子風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口不能有異物阻擋。離子風(fēng)機(jī)的平衡電壓保持在50V以內(nèi)，消電時(shí)間（從 1000V中和到100V）應(yīng)小于3秒（高風(fēng)速）。離子棒應(yīng)懸掛在合適的工作高度以保證除靜電效果，離子棒的平衡電壓應(yīng)保持在50V以內(nèi)，消電時(shí) 間（從1000V中和到1

16、00V）應(yīng)小于60秒。QC1ESD工程師應(yīng)每6個(gè)月做一次離子風(fēng)機(jī)平衡電壓和消電時(shí)間測(cè)試，填寫除靜電離子發(fā)生器測(cè)試 記錄表，對(duì)不符合要求的離子風(fēng)機(jī)，應(yīng)及時(shí)處理。其它防靜電物料及相關(guān)要求不在上面列出來的物料則按一般防靜電要求，表面電阻在1E41E11歐姆內(nèi)，系統(tǒng)電阻在1E41E11 歐姆內(nèi)。特殊情況下，如果找不到合適的供應(yīng)商，又經(jīng)過ESD專員的評(píng)估，確認(rèn)不會(huì)對(duì)產(chǎn)品構(gòu)成ESD隱患的 情況下，可以引入表面電阻或體積電阻小于1E11歐姆的物料。人體防靜電系統(tǒng)防靜電腕帶直接接觸ESDS的任何人員都應(yīng)按規(guī)定佩帶防靜電腕帶（俗稱靜電帶），禁止使用無線防靜電腕帶。防靜電腕帶的接觸線應(yīng)內(nèi)置一個(gè)1兆歐姆電阻，以保證

17、人體安全以及快速瀉放靜電，防靜電腕帶的腕 帶應(yīng)是導(dǎo)電性的，表面電阻應(yīng)小于1E3歐姆。同時(shí)應(yīng)保證防靜電腕帶與人體皮膚有良好的接觸，系統(tǒng) 電阻應(yīng)小于35兆歐姆，且使用鱷魚夾或插頭座可靠的連接在ESD線上。應(yīng)每天一次測(cè)量防靜電腕帶的系統(tǒng)電阻，由拉長(zhǎng)填寫靜電帶檢查記錄表，檢查不合格時(shí)應(yīng)交由修 理檢修，不能修復(fù)時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換。防靜電鞋/防靜電鞋套所有進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員都應(yīng)穿用防靜電鞋/鞋套，防靜電鞋/鞋套的使用要保證鞋的系統(tǒng)電阻在 1E5-歐姆范圍內(nèi)。應(yīng)每天一次測(cè)量防靜電鞋/鞋套的系統(tǒng)電阻，由拉長(zhǎng)填寫防靜電鞋/鞋套檢查記錄 表，檢查不合格時(shí)應(yīng)及時(shí)更換。防靜電工作服防靜電工作服包括一一防靜電連體衣、防靜

18、電大褂、防靜電工鞋（鞋套）和工帽，防靜電工作服要求 使用導(dǎo)電網(wǎng)格防靜電綢制作，制造要求應(yīng)符合GB12014之規(guī)定，其各部分之間應(yīng)存在電氣連續(xù)性。工 作服的設(shè)計(jì)應(yīng)能保持在穿著狀態(tài)下與人體皮膚直接或間接地接觸。進(jìn)入防靜電區(qū)域時(shí)，防靜電工作服、工鞋和工帽要求穿著整齊，全部紐扣（拉鏈）要系好（拉完全）， 頭發(fā)必須包在工帽內(nèi)，不能有外露。購(gòu)買防靜電工衣時(shí)應(yīng)滿足ESD技術(shù)指標(biāo)：表面電阻值（1E5歐姆1E10歐姆）。生產(chǎn)部應(yīng)每半年做一次防靜電工衣表面電阻測(cè)試，測(cè)試方法見附錄6，并填寫防靜電工衣表面電阻 測(cè)試記錄表，對(duì)于不符合指標(biāo)要求的防靜電工衣，予以更換。防靜電手套/指套由消散性材料制成，人體穿戴對(duì)地電阻在

19、1E51E11歐姆范圍，摩擦電壓小于50V。人體綜合接地測(cè)試系統(tǒng)要求手腕帶-人體工鞋-人體指示燈電阻下限歐姆1E5歐姆電阻上限歐姆歐姆電阻在范圍以內(nèi)綠燈電阻不在范圍以內(nèi)紅燈5.5.1.每個(gè)進(jìn)入防靜電區(qū)域的人員須進(jìn)行人體綜合接地效果測(cè)試，如果亮紅燈，則表明測(cè)試失敗，應(yīng)更換工鞋/鞋套或手腕帶重新進(jìn)行測(cè)試并通知相關(guān)人員。人員防靜電一般要求要求進(jìn)入防靜電區(qū)的人員盡量穿著棉質(zhì)衣物，盡量避免穿著尼龍等合成纖維制品，以免產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng)導(dǎo) 致靜電感應(yīng)放電現(xiàn)象。在防靜電工作區(qū)內(nèi)不得大聲喧嘩，坐立姿勢(shì)端正，避免不必要的走動(dòng)，以及不必要的大幅度身體運(yùn)動(dòng)， 如彎腰、晃動(dòng)手臂等，在防靜電工作區(qū)內(nèi)如有必要走動(dòng)，應(yīng)緩步行走，禁

20、止奔跑。接觸靜電敏感器件及組件之前應(yīng)戴好防靜電腕帶，防靜電腕帶再接入防靜電地線系統(tǒng)，要保證腕帶與 皮膚接觸良好，在戴腕帶處皮膚上不得涂護(hù)膚油、防凍油等絕緣物質(zhì)。手持靜電敏感器件及組件時(shí)應(yīng)避免接觸其導(dǎo)電（金屬管腳）部分，操作過程中應(yīng)盡量減少對(duì)靜電敏感 器件及組件的接觸次數(shù)。按需要逐一取用，不得一次倒出一堆IC散亂地放在工作臺(tái)面上，已裝貼有 元器件的PCB板不得裸露疊放，確需暫時(shí)疊放時(shí)必須用防靜電材料隔離開。外來人員參觀，必須有本公司人員全程陪同，按參觀路線行進(jìn)，不得隨意走動(dòng)，不得進(jìn)入機(jī)器外圍的 斑馬線地標(biāo)，更不得隨意觸摸產(chǎn)品。職責(zé)生產(chǎn)經(jīng)理、主管、科文等管理人員，職責(zé)包括：負(fù)責(zé)做好物料、作業(yè)員、及

21、其他進(jìn)出防靜電工作區(qū)人員及物品的出入管理，確保其按ESD要求正確著 裝，確保作業(yè)員及在防靜電工作區(qū)內(nèi)的人員正確使用ESD設(shè)備，包括防靜電工衣、防靜電工帽、防靜電工 鞋、防靜電腕帶、防靜電臺(tái)墊、離子風(fēng)機(jī)、ESD料盒和ESD地板等；確保無關(guān)人員不接觸產(chǎn)品，不對(duì)產(chǎn)品產(chǎn)生靜電釋放；對(duì)懷疑是靜電損傷的產(chǎn)品，需要保存樣品并報(bào)告給相應(yīng)的部門作失效分析；定期檢查防靜電工衣、工鞋、腕帶的ESD品質(zhì)，如有品質(zhì)異常，及時(shí)向采購(gòu)部提出采購(gòu)申請(qǐng)更換；每天檢查ESD設(shè)備、臺(tái)墊等的接地狀況（目視），確保接地線正確的連接到ESD總線上；每六個(gè)月要求服務(wù)組對(duì)防靜電地板進(jìn)行打蠟。QC1ESD工程師/技術(shù)員，職責(zé)包括：統(tǒng)籌全廠的E

22、SD控制，定期對(duì)生產(chǎn)線的靜電防護(hù)水平做出評(píng)估，并給出改善意見，提高其靜電防護(hù)水 平；負(fù)責(zé)尋找新的防靜電用品的供應(yīng)商，評(píng)估新購(gòu)的防靜電用品的性能；協(xié)助人力資源部進(jìn)行ESD培訓(xùn)；監(jiān)督各個(gè)部門的ESD管理情況，及時(shí)反映ESD狀況；對(duì)生產(chǎn)線的靜電損傷樣品作失效分析，解決工序中的ESD情況；定期檢查除靜電離子發(fā)生器的性能，確保其正常工作；負(fù)責(zé)對(duì)打蠟后的地板進(jìn)行測(cè)量。行政部/維修組，職責(zé)包括：行政部負(fù)責(zé)派人做好清潔工作，保證車間內(nèi)的相對(duì)空氣濕度在各車間規(guī)定的范圍內(nèi)；維修組定期檢查ESD總線的接地狀況，確保其狀況良好；服務(wù)組根據(jù)生產(chǎn)部的要求派人定期使用專用的防靜電地板蠟水對(duì)防靜電地板打蠟，打完蠟后通知 QC

23、1ESD工程師進(jìn)行電阻測(cè)試。人力資源部，職責(zé)包括：負(fù)責(zé)對(duì)新進(jìn)廠的員工進(jìn)行初步的防靜電知識(shí)培訓(xùn)；定期對(duì)員工進(jìn)行防靜電知識(shí)培訓(xùn)，并進(jìn)行培訓(xùn)的再審核。開發(fā)部，職責(zé)包括：開發(fā)部在設(shè)計(jì)新產(chǎn)品時(shí)應(yīng)考慮到器件的靜電敏感度，盡量選用具有最大靜電抗擾度的元件；在新產(chǎn)品設(shè)計(jì)階段應(yīng)盡量引入防靜電網(wǎng)絡(luò)到電路設(shè)計(jì)中去，以保護(hù)產(chǎn)品里面的靜電敏感元件；要求供應(yīng)商提供元器件靜電敏感度的級(jí)別。包括人體模型（HBM）、機(jī)器模型（MM）和帶電器件模型 （CDM）（應(yīng)列明何種標(biāo)準(zhǔn)）；做好SEF （包括防靜電指標(biāo)，partnumber等）給QC2部，供QC2部抽測(cè)來料。QA及QC2部，職責(zé)包括：確定ESDS敏感級(jí)別，對(duì)成品進(jìn)行靜電放電

24、模擬測(cè)試，確認(rèn)靜電敏感度；根據(jù)SEF負(fù)責(zé)抽測(cè)、監(jiān)控靜電敏感器件來料和靜電敏感器件產(chǎn)品的品質(zhì)，如發(fā)現(xiàn)異常，應(yīng)及時(shí)反饋信 息給QC1ESD工程師或相應(yīng)的部門。PEX程師/技術(shù)員，職責(zé)包括：定期檢查防靜電設(shè)備，確保其可以正常使用，包括防靜電臺(tái)墊、地墊、防靜電容器、運(yùn)輸工具和其它 輔助工具的表面電阻和系統(tǒng)電阻測(cè)試等；定期檢查臺(tái)墊和機(jī)器的接地狀況，確保接地良好。TEX程師/技術(shù)員，職責(zé)包括：負(fù)責(zé)測(cè)試架，測(cè)試臺(tái)的接地和測(cè)試工位內(nèi)的防靜電設(shè)備的定期檢查與控制。貨倉(cāng)工程師/技術(shù)員，職責(zé)包括：負(fù)責(zé)貨倉(cāng)防靜電措施的維護(hù)和管理。定期通知QC1ESD工程師進(jìn)行檢測(cè)使用中的防靜電用具。培訓(xùn)對(duì)所有可能接觸或接近ESDS的

25、人員，必須進(jìn)行相關(guān)的ESD知識(shí)培訓(xùn)，并加以教育與訓(xùn)練，使之樹立有 效的ESD防護(hù)觀念。培訓(xùn)的有效期為一年。人力資源部應(yīng)填寫員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)考核記錄表。防靜電培訓(xùn)的內(nèi)容包括：靜電學(xué)基礎(chǔ)和靜電損害靜電性能測(cè)試防靜電的標(biāo)示與包裝防靜電控制防靜電設(shè)備的使用和檢測(cè)（相關(guān)人員）米購(gòu)所有防靜電用品的采購(gòu)均須要按照附錄16防靜電制品采購(gòu)流程圖執(zhí)行文件生效日期本文件從文控中心正式發(fā)行日起開始生效。記錄序號(hào)記錄名稱責(zé)任部門測(cè)量周期保存期限1防靜電地板電阻測(cè)試記錄表QC1部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月2防靜電臺(tái)墊電阻測(cè)試記錄表PE/TE 部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月3靜電帶檢查記錄表生產(chǎn)部每周3個(gè)月4防靜電周轉(zhuǎn)容器電阻測(cè)試紀(jì)錄表PE部

26、6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月5防靜電運(yùn)輸工具存放架電阻測(cè)試記錄表PE部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月6防靜電工衣表面、鞋、鞋套電阻測(cè)試記錄表生產(chǎn)部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月7員工防靜電知識(shí)培訓(xùn)紀(jì)錄表人力資源部一年一年8廠房接地電阻測(cè)試紀(jì)錄表行政部3個(gè)月抽測(cè)一年9工作臺(tái)地線接地電阻測(cè)試紀(jì)錄表PE/TE 部3個(gè)月抽測(cè)1個(gè)月10防靜電椅子電阻測(cè)試記錄表PE部6個(gè)月抽測(cè)6個(gè)月12.附錄附錄1：ESDS元器件分類I 級(jí)：（0V1999V）序號(hào)元器件類別條件及說明1微波器件包括肖特基二極管，點(diǎn)接觸二極管，頻率大于1GHz的二極管2分立MOS場(chǎng)效應(yīng)管包括VWOS及VDMOS等等3表面聲波（SAW）器件4結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管5電荷耦合器件6精密穩(wěn)壓二極

27、管7運(yùn)算放大器包括雙極型工藝及MOS工藝8超高速集成電路包括ECL、HCMOS、FAST等工藝9其他集成電路包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等II級(jí)：(2000V3999V)序號(hào)元器件類別條件及說明1分立MOS場(chǎng)效應(yīng)管包括 VMOS、VDMOS 等2結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)晶體管3運(yùn)算放大器包括雙極工藝和MOS工藝4超高速集成電路5其他集成電路包括 CMOS、PMOS、NMOS、TTL 等6精密電阻網(wǎng)絡(luò)包括ECL、HCMOS、FAST等工藝7混合電路使用II級(jí)靜電敏感元器件組裝的混合電路8低功率雙極工藝晶體管PT100mW,IC100mA附錄2：防靜電地板表面電阻/系統(tǒng)電阻測(cè)試方法按下圖確定防靜

28、電地板測(cè)試點(diǎn) 每一個(gè)方格均代表一塊地板，測(cè)試用的電極一個(gè)放在中間的地板上，另外一個(gè)電極依次放在此地板相對(duì)角的 四塊地板上面，測(cè)量其表面電阻值。隨機(jī)抽樣測(cè)試點(diǎn)不少于20個(gè)區(qū)域，按下圖所示，每點(diǎn)測(cè)量地板4點(diǎn)表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)隨機(jī)抽樣測(cè)試點(diǎn)不少于5個(gè)區(qū)域，按下圖所示測(cè)量地板系統(tǒng)電阻，并記錄數(shù)據(jù)附錄3：防靜電臺(tái)墊/地墊電阻測(cè)試方法按下圖所示，每張臺(tái)墊/地墊測(cè)量2組表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示，每張臺(tái)墊/地墊測(cè)量2組對(duì)地電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄4：防靜電容器電阻測(cè)試方法按下圖所示，測(cè)量容器表面電阻值，并記錄數(shù)據(jù)按下圖所示，測(cè)量容器體積電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄5：防靜電運(yùn)輸工具/存放架測(cè)試方法按下圖所

29、示，測(cè)量運(yùn)轉(zhuǎn)車/存放架電阻值，并記錄數(shù)據(jù)附錄6：防靜電工衣表面電阻測(cè)試方法將防靜電工衣平坦展開放置在光滑的絕緣電阻大于1E12歐姆的平板表面上測(cè)試用兩電極應(yīng)順著導(dǎo)電絲放置按上圖所示，測(cè)量3個(gè)測(cè)試點(diǎn)：同片測(cè)試（褲腰以上一點(diǎn)對(duì)褲腰以下一點(diǎn)）；袖對(duì)腰下部位測(cè)試（袖對(duì)褲 腰以下一點(diǎn)）（對(duì)于連體服，用袖對(duì)腳測(cè)試取代袖對(duì)腰測(cè)試）；袖對(duì)袖測(cè)試。其中連體服需要加測(cè)鞋套的對(duì) 地電阻。附錄7：普通防靜電材料電阻測(cè)試方法對(duì)于新引入的物料要求隨機(jī)抽樣至少三個(gè)樣品，每一個(gè)樣品至少隨機(jī)測(cè)量三次。材料的測(cè)試紀(jì)錄應(yīng)包括表 面電阻和體積電阻。表面電阻的測(cè)試方法：將材料放置在一個(gè)光滑、平整、潔凈，且表面絕緣電阻大于1E12歐姆的

30、臺(tái)面。在材 料表面放置兩個(gè)測(cè)試電極（30cm是建議值，如果材料小于這個(gè)尺寸，則電極放在兩對(duì)角面上），如下圖所示：體積電阻的測(cè)試方法：將材料放置在一個(gè)光滑、平整、潔凈，且表面電阻小于10歐姆的金屬面上，一個(gè)電 極放置在金屬面上，另外一個(gè)電極放置在被測(cè)物上。對(duì)于烙鐵，只需要測(cè)量熱的金屬頭到地之間的電阻。 附錄8：防靜電工椅的測(cè)試方法要求隨機(jī)抽樣至少5個(gè)樣品，每一個(gè)樣品至少隨機(jī)測(cè)量三次（三個(gè)點(diǎn)）。防靜電工椅的測(cè)試紀(jì)錄應(yīng)包括表 面電阻和體積電阻。表面電阻的測(cè)試方法：在表面放置兩個(gè)測(cè)試電極，如下圖所示：體積（對(duì)地）電阻的測(cè)試方法：一個(gè)電極放置在金屬面上，另外一個(gè)電極放置在椅子上。注意，在生產(chǎn)線 進(jìn)行定期

31、檢測(cè)的時(shí)候，允許直接把一個(gè)電極放置在防靜電地板上，另外一個(gè)電極放置在椅子上。附錄9：物體表面的靜電壓測(cè)量方法使用SimcoFMX002靜電壓表去測(cè)量物體表面的靜電壓，要注意以下幾點(diǎn)：儀表的紅外燈指示器要兩個(gè)重合， 才算對(duì)焦，此時(shí)儀表距離被測(cè)物大約厘米。靜電壓表在使用的過程中需要接地。否則讀數(shù)不準(zhǔn)確。靜電壓表 的讀數(shù)的單位為KV。測(cè)試圖例如下：附錄10：懸掛式/臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)測(cè)試方法測(cè)量懸掛式離子風(fēng)機(jī)應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀，在評(píng)估新引入的離子風(fēng)機(jī)時(shí)候需要測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)點(diǎn) 的平衡電壓和消電時(shí)間。在平時(shí)的定期測(cè)量時(shí)，只需測(cè)量3個(gè)風(fēng)扇口正下方的平衡電壓和消電時(shí)間。標(biāo)準(zhǔn)的 12個(gè)點(diǎn)（以小網(wǎng)格表示）如

32、下所示：對(duì)每一個(gè)點(diǎn)均應(yīng)測(cè)量不少于三次。對(duì)每一個(gè)測(cè)試點(diǎn)的平衡電壓的測(cè)量時(shí)間不得少于1分鐘。應(yīng)紀(jì)錄平衡電 壓的最大（偏移零點(diǎn)最遠(yuǎn)）值。消電時(shí)間應(yīng)紀(jì)錄最大值。對(duì)新引入的懸掛式離子風(fēng)機(jī)的要求列表：（ANSI/ANSI/只對(duì)平衡電壓提出了要求，未強(qiáng)制規(guī)定消電時(shí)間， 因此，下表的平衡電壓是強(qiáng)制執(zhí)行，消電時(shí)間只是建議值）位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓（V）消電時(shí)間（S）平衡電壓（V）消電時(shí)間（S）CenterTP5&TP80+50V15s0+50V10sTP2&TP1130cmLeftTP1&TP100+50V0+50VTP4&TP730cmRightTP3&TP120+50V0+50VTP6&TP94.測(cè)量臺(tái)式

33、離子風(fēng)機(jī)應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)的離子風(fēng)機(jī)測(cè)試儀測(cè)試，在評(píng)估新引入的離子風(fēng)機(jī)時(shí)候需要測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)的12 個(gè)點(diǎn)的平衡電壓和消電時(shí)間。在平時(shí)的定期測(cè)量時(shí)，只需測(cè)量正對(duì)風(fēng)扇口 30厘米和60厘米兩個(gè)點(diǎn)的平衡電 壓和消電時(shí)間。標(biāo)準(zhǔn)的12個(gè)點(diǎn)（以黑豎條表示）如下所示：對(duì)每一個(gè)點(diǎn)均應(yīng)測(cè)量不少于三次。對(duì)每一個(gè)測(cè)試點(diǎn)的平衡電壓的測(cè)量時(shí)間不得少于1分鐘。應(yīng)紀(jì)錄平衡電 壓的最大（偏移零點(diǎn)最遠(yuǎn)）值。消電時(shí)間應(yīng)紀(jì)錄最大值。對(duì)新引入的臺(tái)式離子風(fēng)機(jī)的要求列表：（ANSI/ANSI/只對(duì)平衡電壓提出了要求，未強(qiáng)制規(guī)定消電時(shí)間，因 此，下表的平衡電壓是強(qiáng)制執(zhí)行，消電時(shí)間只是建議值）位置低風(fēng)速高風(fēng)速平衡電壓（V）消電時(shí)間（S）平衡電壓（V）消電

34、時(shí)間（S）center1ft(TP2)0+50V0+50V2ft(TP5)3ft(TP8)4ft(TP11)30cmLeft1ft(TP1)0+50VNA0+50VNA2ft(TP4)3ft(TP7)4ft(TP10)30cmRight1ft(TP3)0+50VNA0+50VNA2ft(TP6)3ft(TP9)4ft(TP12)附錄11手套/手指套的測(cè)量方法穿戴對(duì)地電阻測(cè)試：操作員把測(cè)試儀的兩個(gè)電極分別放在兩塊互相絕緣的金屬板上面，然后操作員戴上手套 /手指套。操作員把戴有手套/手指套的大拇指和食指分別按住那兩塊金屬板，然后按下測(cè)量開關(guān)，并等讀數(shù) 穩(wěn)定后讀出測(cè)試儀上的讀數(shù)，并記錄下來。操作員分別用大拇指和其它的手指按住金屬板，然后讀出測(cè)試儀 上的讀數(shù)，并記錄下來。每一種手套/手指套均需要測(cè)量5個(gè)（含）以上的樣品，每次測(cè)量均記錄最大值。表面摩擦電壓測(cè)試：操作員戴上1兆歐的標(biāo)準(zhǔn)手腕帶，鱷魚夾夾在接地線上面并確認(rèn)接地良好。操作員戴 上手套/手指套。一只手拿取高絕緣的塑料板，另一只手/手指摩擦塑料板十次，然后測(cè)量手套/手指套上面的 靜電壓，記錄最大值。注意：儀器要離絕緣板30厘米以上，以免影響讀數(shù)。每一種手套/手指套均需要測(cè)量 5個(gè)（含）