XRD水冷機(jī)維護(hù)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)_第1頁(yè)
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1、XRD水冷機(jī)維護(hù)標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)1 目的規(guī)范XRD水冷機(jī)的維護(hù)作業(yè)，提高設(shè)備使用壽命及效率。2 范圍XRD 水冷機(jī)3 參考文件無(wú)4 定義對(duì)XRD水冷機(jī)進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)工作。5 職責(zé)外延設(shè)備工程師。6 資歷 工作一年以上并受過(guò)本公司專(zhuān)業(yè)培訓(xùn)的設(shè)備工程師。7 作業(yè)內(nèi)容7.1 操作流程關(guān)閉XRD機(jī)臺(tái) 確認(rèn)水冷機(jī)關(guān)閉排空水冷機(jī)水槽中冷卻水清洗水冷機(jī)水槽水槽中加入PCW 廠務(wù)水開(kāi)啟水冷機(jī)開(kāi)啟XRD更換XRD水冷機(jī)冷卻水流程7.2 更換XRD水冷機(jī)冷卻水7.2.1 根據(jù)XRD檢查保養(yǎng)維護(hù)記錄表確認(rèn)是否可以進(jìn)行冷卻水更換。注：XRD水冷機(jī)冷卻水更換周期為3個(gè)月。7.2.2 更換冷卻水之前確認(rèn)關(guān)閉XRD設(shè)備。7.2

2、.3 確認(rèn)關(guān)閉水冷機(jī)開(kāi)關(guān)。水冷機(jī)開(kāi)關(guān)7.2.4 打開(kāi)水冷機(jī)設(shè)備頂蓋，露出加水口。加水口7.2.5 關(guān)閉水冷機(jī)后面XRD光管冷卻循環(huán)水進(jìn)、出口開(kāi)關(guān)。注：把手與水管平行為開(kāi)啟狀態(tài)，垂直為關(guān)閉狀態(tài)。7.2.6 打開(kāi)水冷機(jī)冷卻水排水開(kāi)關(guān)注：排水時(shí)注意不要讓水漫出到地面上，不要把水撒到XRD機(jī)臺(tái)。7.2.7 排空機(jī)臺(tái)冷卻水后，使用廠務(wù)PCW冷卻水沖洗水槽3-4次，清洗干凈后再向水槽中加入PCW冷卻水至水位面80%-90%處，關(guān)閉水冷機(jī)設(shè)備頂蓋。加水至此液位面之間7.2.8 打開(kāi)水冷機(jī)開(kāi)關(guān)，等到水槽中冷卻水溫度上升到22oC以上時(shí)，先開(kāi)水冷機(jī)后面進(jìn)水（回水）開(kāi)關(guān)，再開(kāi)出水開(kāi)關(guān)，防止水流高壓沖擊XRD光管。設(shè)定溫度實(shí)際溫度7.2.9 XED水冷機(jī)冷卻水更換完成，開(kāi)啟X

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