真空設(shè)備的維護(hù)和維修

1、真空設(shè)備的維護(hù)和維修1維護(hù)部分1.1、機(jī)械真空泵的維護(hù)和保養(yǎng)：泵及其四周環(huán)境應(yīng)經(jīng)常保持清潔。泵在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中應(yīng)保持油箱內(nèi)油量不得低于油標(biāo)中心。(3 )不同種類和牌號(hào)的真空泵油不可混合使用。泵在使用中溫升不能超過(guò) 70 C。新泵在使用100 h左右應(yīng)換12次油，待換下的油內(nèi)不再發(fā)現(xiàn)含黑色金屬粉末后，可 加長(zhǎng)換油期限。根據(jù)說(shuō)明書(shū)規(guī)定 和使用實(shí)際情況來(lái)確定換油期限。 新泵和修理后的泵應(yīng)現(xiàn)作運(yùn)轉(zhuǎn)試驗(yàn)46h，檢查泵是否符合使用要求。泵使用較長(zhǎng)時(shí)間以后(23年不等)，極限真空度下降，應(yīng)進(jìn)行一次檢修。同時(shí)也應(yīng) 對(duì)系統(tǒng)、管道、閥門和電動(dòng)機(jī)等加以清洗、檢修。泵在使用中，因系統(tǒng)損壞等特殊事故，或進(jìn)氣口突然暴露大氣時(shí)

2、，應(yīng)盡快停泵，并切 斷與系統(tǒng)連接的真空管(關(guān)低真空閥或夾真空夾)，防止噴油，污染工作場(chǎng)地。泵上所有機(jī)件，非絕對(duì)必要，切勿自行拆卸。(10 )泵不用時(shí)，應(yīng)用橡皮塞(帽)把進(jìn)氣口塞好，以免贓物和硬質(zhì)東西落入泵內(nèi)。(11)經(jīng)常注意真空技術(shù)發(fā)展動(dòng)向，盡量及早地引入新技術(shù)、新材料(如新泵油等)，以改 進(jìn)原有系統(tǒng)的性能。以上數(shù)點(diǎn)，可按具體情況，訂出相應(yīng)操作規(guī)程，嚴(yán)格施行。1.2、整套設(shè)備的日常維護(hù)：操作人員要熟悉各種儀表、泵，設(shè)備的各部分。閱讀并理解各種說(shuō)明書(shū)。冷卻水水壓應(yīng)保持 0.10.2 Mpa之間，出水溫度w 45C。壓縮空氣壓力在 0.40.5 Mpa之間。每爐開(kāi)機(jī)前，要檢查保護(hù)氣的氣瓶容量，以免

3、氣體充不足，更換氣瓶。開(kāi)機(jī)后如有異常情況，應(yīng)立即排除或停機(jī)查找原因。經(jīng)常檢查各部分的回水量，工作時(shí)應(yīng)保證各部分有充足的冷卻水。(7 )設(shè)備停止使用時(shí)，應(yīng)將爐內(nèi)氣體抽空，長(zhǎng)時(shí)間不用，要充入保護(hù)性氣體，并把設(shè)備水 冷套內(nèi)的循環(huán)水放掉。機(jī)械泵、羅茨泵應(yīng)定期換油加油，羅茨泵的油杯中要保持一直有油。換油時(shí)一定要把 廢油放干凈。擴(kuò)散泵換油時(shí)，內(nèi)部如有氧化，要把擴(kuò)散泵內(nèi)部的氧化層處理干凈，然后再換上新油。 充入的保護(hù)性氣體，純度不應(yīng)小于99.99%。本設(shè)備不允許使用易燃易爆和具有腐蝕性氣體作為保護(hù)氣氛。 設(shè)備表面及儀表表面要保持清潔，擦拭爐體內(nèi)壁不允許有帶有水份及沾有非真空類用 油的抹布擦拭。(13 )氣動(dòng)

4、系統(tǒng)的氣動(dòng)三連件上的油水分離器要經(jīng)常放水，油霧器內(nèi)應(yīng)注入真空擴(kuò)散泵油。 設(shè)備的整機(jī)電壓要保證在350420 V范圍內(nèi)。三相要平衡。規(guī)管、電接點(diǎn)壓力表、熱偶等處要經(jīng)常涂上擴(kuò)散泵油，使之與座之間形成一層油膜， 防止漏氣。以上各部分及法蘭連接處不允許長(zhǎng)期使用真空封泥密封。(16 )各部分的螺栓定期檢查，如發(fā)現(xiàn)松動(dòng)，及時(shí)擰緊。(17)設(shè)備工作時(shí)，注意觀察各儀表的顯示情況，及各泵的聲音，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常，找出問(wèn)題。（18 ）設(shè)備的使用環(huán)境，在相對(duì)濕度 85%A下，溫度在1040 C。在拆修設(shè)備時(shí)，各部分不許用重錘敲擊，密封面、密封槽不許劃傷。（19）設(shè)備在工作時(shí)，操作人員不得長(zhǎng)時(shí)間離崗。2維修部分2.1

5、真空設(shè)備維修的要點(diǎn)：維修真空設(shè)備的要點(diǎn)是判斷故障。往往是真空抽不上去，原因可能有幾個(gè)，一定要搞清楚是什么原因，也許真空機(jī)組的抽氣能力不夠，也可能是漏率偏高，又或者兩種可能都有。這時(shí)，應(yīng)該耐心觀察和記錄，從中找出故障。比如，抽空時(shí)間相同，而真空度偏低，這時(shí)候關(guān)閉主閥，如真空計(jì)指針很快下降，多數(shù)情況是真空室漏了，這時(shí)候應(yīng)先查出漏點(diǎn)。如真空計(jì)指針下降很慢，多數(shù)情況是真空機(jī)組抽氣能力不夠，這時(shí)可將重點(diǎn)放到查找真空泵及閥門的問(wèn)題上來(lái)，看是哪里出現(xiàn)了泄漏， 或是擴(kuò)散泵油污染了， 氧化了；或是前級(jí)管路密封不好， 泵油不足；或是泵油乳化，軸封漏油等故障。一、檢測(cè)漏率：用戶最頭疼的問(wèn)題就是檢測(cè)漏率。漏一一分內(nèi)漏

6、和外漏，外漏比較好檢測(cè)，內(nèi)漏則難辦些。較大的漏點(diǎn)可以用火焰法，利用氣流能使火焰偏離的原理，先抽上真空，比如用蠟燭或打火機(jī)在可疑點(diǎn)附近逐步查尋，會(huì)發(fā)現(xiàn)火苗向漏點(diǎn)偏移，則可找到漏點(diǎn)。（1）漏和微漏的查找：小漏和微漏就比較難查了， 大家常用的方法是利用在高真空狀態(tài)下電離管對(duì)某些氣體反應(yīng)敏 感來(lái)檢漏，比如丙酮或乙醇，用醫(yī)用注射器向可疑的地方噴射丙酮或乙醇，噴到漏點(diǎn)時(shí)，電離計(jì)的指針會(huì)有明顯擺動(dòng)。 用這種方法檢漏一定要有耐心，一定要等到電離計(jì)的示值穩(wěn)定了也就是真空機(jī)組的抽氣能力和漏率平衡了，然后再噴射。最好是反復(fù)幾次，確認(rèn)漏點(diǎn)。（2）漏和外漏的查找：內(nèi)漏多發(fā)生在有水冷套的設(shè)備上，查外漏沒(méi)有發(fā)現(xiàn)疑點(diǎn)，但是卻

7、有以下現(xiàn)象：機(jī)械泵的抽速明顯偏低、真空計(jì)示值低、機(jī)械泵油很快乳化、真空室內(nèi)的鐵基零部件明顯銹蝕。具 備以上條件基本可以確定有內(nèi)漏。例：有一臺(tái)25 kg中頻爐，配有2X 70旋片泵和兩臺(tái)ZJ 150羅茨泵加到一起抽也只抽到 10 Pa, ZJ150泵的作用顯現(xiàn)不出來(lái)，沒(méi)發(fā)現(xiàn)有外漏， 卻具備了機(jī)械泵油很快乳化，真空室內(nèi)鐵基件明顯銹蝕的條件，解體設(shè)備清理干凈后用通冷卻水的方法查出是爐蓋漏水，剩下就是查出漏點(diǎn)。先把內(nèi)壁清理干凈， 再通冷卻水，看有無(wú)濕潤(rùn)點(diǎn)，濕潤(rùn)處就是漏點(diǎn)。二、故障點(diǎn)的處理：找出故障點(diǎn)就可以因地制宜地進(jìn)行處理了，簡(jiǎn)單的辦法就是換件，小到膠圈，螺栓；大到閥門，真空泵，只要手頭上有的都可以換

8、。對(duì)于需要焊接的部位應(yīng)按要求來(lái)進(jìn)行，焊接后還需確認(rèn)是否達(dá)到了要求。三、維修時(shí)要注意的環(huán)節(jié)：維修應(yīng)注意幾個(gè)環(huán)節(jié)。即拆卸、清潔、檢驗(yàn)及裝配。真空設(shè)備無(wú)論大小都屬于精密機(jī)械設(shè)備，這點(diǎn)很重要。拆卸應(yīng)遵循輕拿輕放的原則，不能蠻干，一定不能用大錘去敲。清洗零件時(shí)要干凈，徹底，以便于發(fā)現(xiàn)問(wèn)題和查出隱患。真空泵類產(chǎn)品與一般機(jī)械產(chǎn)品有較大區(qū)別，一般機(jī)械產(chǎn)品多倒楞倒角，而真空泵的楞角分明，很易傷手應(yīng)多加小心，切記。千萬(wàn)別把楞角倒去。檢驗(yàn)是個(gè)細(xì)致活，每個(gè)細(xì)節(jié)都不要落掉，任何細(xì)微的地方都可能是問(wèn)題所在，所以不能存在僥幸心理。不論是用汽油還是其他溶劑清洗的真空泵件，一定要等到汽油或溶劑徹底揮發(fā)了才能進(jìn)行裝配。真空泵油若

9、與其他的油或溶劑或水混合會(huì)破壞其性能，影響真空泵的性能指標(biāo)。膠圈要擦干凈，仔細(xì)檢查有無(wú)缺陷和裂紋，尺寸是否正確，尺寸不對(duì)將影響密封。凡是有加熱位置的膠圈，每次拆卸清洗時(shí)必須換，比如油增壓泵各個(gè)接口， 裝配時(shí)泵件同樣需要輕拿 輕放；緊螺絲時(shí)用力要均，要從對(duì)角緊起。動(dòng)密封多用軸封，上軸封時(shí)要細(xì)心，先檢查軸封 本身有無(wú)缺陷，密封面是否平整，軸封簧彈性如何，在軸封內(nèi)側(cè)可薄薄地涂上一層真空脂， 上軸封時(shí)用力要均，骨架軸封不要壓偏了，偏了就會(huì)漏油、漏氣，軸封簧別擠進(jìn)去，沒(méi)了軸 封簧軸封就失效了。 注意軸封與軸的同心度， 有的泵是用對(duì)輪連接的， 對(duì)輪的同軸性要求很 嚴(yán)格，裝配時(shí)要從軸的四面去量， 保證平行一

10、致。羅茨泵的對(duì)齒輪調(diào)整的關(guān)鍵是兩個(gè)8型齒輪不相碰。擴(kuò)散泵的內(nèi)壁和噴射塔清洗干凈后最好用電力紡擦干。由于國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的擴(kuò)散泵主要靠電爐絲的長(zhǎng)短來(lái)控制泵油的溫度，擴(kuò)散泵油的注入量就需要考慮當(dāng)?shù)仉娋W(wǎng)的實(shí)際情況來(lái)酌量增減。泵的口徑大小不一樣注油量也有差別，電網(wǎng)的電壓低油可以減少2 mm只要是干凈的鋼板尺或鐵絲都可以用來(lái)測(cè)量。由于制造和使用上的差別，擴(kuò)散泵注油量?jī)H供參考。維修切記不可操之過(guò)急，故障沒(méi)搞清楚就想當(dāng)然的開(kāi)始動(dòng)手拆卸，舊病未除又添新病，把簡(jiǎn)單的問(wèn)題復(fù)雜化了。22、幾種情況下處理方式:2.2.1 應(yīng)急處理（1）高溫時(shí)斷水、斷電真空設(shè)備最怕的就是高溫時(shí)斷水、斷電。因此用戶最好在設(shè) 備安裝時(shí)建有備用水箱

11、或連有自來(lái)水管。設(shè)備在高溫時(shí)斷水、斷電，此時(shí)，泵、閥門均應(yīng)處于關(guān)閉狀態(tài)，操作人員應(yīng)馬上接通備用水 或自來(lái)水，對(duì)設(shè)備進(jìn)行水冷，如不能很快來(lái)電，還應(yīng)打開(kāi)充放氣系統(tǒng)的手動(dòng)充氣閥，對(duì)設(shè)備 進(jìn)行充氣保護(hù)，充氣壓力為 -0.02 MPa左右。然后，把控制柜上的所有按鈕關(guān)至“關(guān)”的位 置。同時(shí)用濕毛巾搭在電極引出接口處，定期更換，以免電極接口過(guò)熱，造成密封圈損壞。（2）更換充氣氣瓶.設(shè)備所用充氣氣瓶需更換時(shí)，拆掉穩(wěn)壓閥，換上一瓶新氣，一定要注意安裝時(shí)不許漏氣。在換上新氣瓶后，在工件沒(méi)加熱前，應(yīng)在抽空過(guò)程中對(duì)爐內(nèi)充氣，以便在換氣瓶過(guò)程中造成的管路內(nèi)存有的大氣抽出，使充氣管路保持清潔。（3）正常工作時(shí)，發(fā)現(xiàn)設(shè)備

12、突然漏氣，如馬上能找到泄露點(diǎn)，須用真空封泥把泄露點(diǎn)封住，待工作完畢后，再做處理。如不能確定泄露處，則應(yīng)立即停止工作，然后檢修。（4） 設(shè)備工作一段時(shí)間，一般50到70爐次，需清理打掃，把粉塵清出爐外，然后空爐工作一次。工作的方式是先抽空為真空度高于10-2 Pa時(shí)加熱，加熱溫度一般高于正常使用溫度的20C。在最高爐溫時(shí)保溫一個(gè)小時(shí)以上，然后自然冷卻。這樣使設(shè)備內(nèi)部空間保持清潔。2.2.2機(jī)械泵的常見(jiàn)故障及維修：故障現(xiàn)象產(chǎn)生原因消除方法1）不能達(dá)到所要求的 極限真空度。1 進(jìn)氣管路及連接處漏氣。1 .排除漏氣因素或臨時(shí)用真空封 泥封堵。2 所抽吸氣體溫度過(guò)高。2 .在進(jìn)氣管路上加裝冷凝裝置， 降

13、低進(jìn)氣溫度。3.油量不足或油質(zhì)不對(duì)。3 .增添新的機(jī)械泵用的真空油。4真空油已污損。4 .更換新的真空油。5.油溫太低。5.在嚴(yán)寒季節(jié)，室溫太低影響油 溫度，等泵運(yùn)轉(zhuǎn)半小時(shí)后，方能 進(jìn)入正常情況。6.排氣閥片損壞漏氣。6 .更換新的排氣閥片。7.進(jìn)氣管路連接處橡膠墊圈 損壞。7 .更換新的橡膠密封墊圈。8.所抽吸氣體中含有可凝性 烝氣。8.須用氣鎮(zhèn)裝置或加裝蒸汽捕集 裝置。9 機(jī)件損壞。9 .使用年久，由于零件磨損，不 能保持原來(lái)間隙影響正常工作和 真空度，須進(jìn)行修理或更新。10.選用真空計(jì)不對(duì)。10 .應(yīng)按標(biāo)準(zhǔn)選用壓縮式真空計(jì) 以測(cè)得的分壓強(qiáng)為準(zhǔn)，或以電真 空計(jì)測(cè)得全壓強(qiáng)作參考。2）油溫過(guò)高

14、。1 有雜物或鐵屑吸入泵體。1 .將泵拆開(kāi)檢查修理，取出雜物。2.吸入氣體溫度過(guò)高。2 .進(jìn)口管路上，裝冷卻裝置。3.冷卻水溫度過(guò)高或水量不 足。3 .降低冷卻水溫度或增加冷卻水 流量。3）真空泵漏油。1.泵油、軸圭寸損壞。1 .換新的軸封。2.油箱螺釘松動(dòng)或墊片損壞。2 .換新的墊片擰緊螺釘。4）泵運(yùn)轉(zhuǎn)不正常。1.泵潤(rùn)滑不良。1 .檢查清理潤(rùn)滑系統(tǒng)。2.三角帶太松或太緊。2 .調(diào)整三角帶的緊度。3.泵體內(nèi)有污物或磨損零件 碎粒。3 .將泵拆開(kāi)檢查排除之。223羅茨泵的常見(jiàn)故障：羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡谩Ｆ錁O限真空度可達(dá)5X 10-2Pa,又稱機(jī)械增加泵。其工作原理是通過(guò)二個(gè)“ 8”字形的

15、轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)，通過(guò)容積的改變來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣和排氣。其工作原 理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。維修保養(yǎng)：應(yīng)經(jīng)常保持泵房環(huán)境清潔干燥。應(yīng)經(jīng)常注意各部分潤(rùn)滑油的狀況，如發(fā)現(xiàn)不足時(shí)，應(yīng)及時(shí)補(bǔ)充。如發(fā)現(xiàn)不清潔時(shí)，應(yīng)及時(shí)更換，并注意螺塞重新旋進(jìn)去時(shí)應(yīng)保證密封。泵工作壓差應(yīng)控制在旁通閥允許的壓差范圍內(nèi)，否則易燒壞電機(jī)。在拆修時(shí)各部件不能用重錘敲打。拆下的零件避免碰傷、擦毛。特別要注意密封面的平整光潔， 否則會(huì)引起再裝配后漏氣現(xiàn)象，泵不能恢復(fù)原有性能。拆下的零件用汽油、四氯化碳或乙醚清洗，干燥后才能裝配。裝配時(shí)要注意轉(zhuǎn)子兩端與左右側(cè)蓋的間隙，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子 與泵體的間隙按規(guī)定要求調(diào)整。泵體左右側(cè)蓋之間之結(jié)合面均采用107樹(shù)脂（

16、即室溫硫化硅橡 膠）密封。裝配前必須注意螺旋套方向，主動(dòng)軸上靠近電機(jī)一側(cè)為左旋,齒輪箱一側(cè)為右旋，從動(dòng)軸上則相反。故障故障原因采取措施真空度達(dá) 不到要求被抽容器或連接管路漏氣消除被抽容器或連接管路漏氣本泵油封損壞漏氣（油杯中 的油漏進(jìn)泵內(nèi)）更換油封本泵各部螺絲松動(dòng)扳緊松動(dòng)的螺絲聲音異常軸承疲勞損壞更換軸承轉(zhuǎn)子間隙發(fā)生變化拆下齒輪經(jīng)清洗后重新裝上并 調(diào)整轉(zhuǎn)子之間間隙聯(lián)軸器疲勞損壞更換聯(lián)軸器齒輪疲勞損壞更換齒輪電機(jī)燒毀泵腔內(nèi)洛入較大異物排除異物溢流閥銹死拆開(kāi)溢流閥清洗后重新裝回224油擴(kuò)散泵故障處理（1）擴(kuò)散泵工作過(guò)程中冷卻水必須保證暢通，停止加熱后必須保證泵工作液已完全冷卻后方可關(guān)閉冷卻水。（2

17、）泵停止工作時(shí)，泵內(nèi)應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油劣化。（3）被抽氣體應(yīng)是干燥、無(wú)腐蝕、無(wú)灰塵的氣體。（4）泵如暫時(shí)不用，保管期間應(yīng)保持真空狀態(tài)，以免泵油污染和各零件腐蝕。并將冷卻水套內(nèi)的剩水吹凈。保存場(chǎng)地的室溫應(yīng)在10C40C之間。（5）泵在正常運(yùn)行時(shí)如突然出現(xiàn)性能變壞，應(yīng)先檢查加熱器是否正常。（6）泵在長(zhǎng)期工作后，性能會(huì)逐漸變壞，應(yīng)定期檢修。a.泵油是否減少或氧化，按相應(yīng)要求加油或更換處理。b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用絲綢蘸乙醚或丙酮進(jìn)行擦洗，并置于80C100C溫度下烘干或用電吹風(fēng)吹干。c.處理完后，按順序進(jìn)行裝配，保持泵芯與泵底垂直與泵腔同心，各級(jí)噴嘴間隙要按原要求調(diào)整好。2.2.

18、5整套設(shè)備的故障處理：故障現(xiàn)象原因處理方法1 粗抽閥無(wú)法開(kāi)啟1 壓縮空氣壓力是否夠1 .要求達(dá)到 0.40.6 Mpa2.粗抽閥的電磁換向閥不 工作2 .參照故障33咼真空閥上的行程開(kāi)關(guān) 未壓緊3.調(diào)整行程開(kāi)關(guān)與上面蓋板的 位置合適2.電磁換向閥不工 作1接通電無(wú)吸合動(dòng)作1 .線圈損壞，更換線圈或更換 全電磁閥2.工作環(huán)境溫度低2 .室溫高于+5C3.閥體有阻塞3 .通過(guò)手動(dòng)電動(dòng)檢查清洗閥 體，然后注入泵油4.氣源氣壓不足4 .達(dá)到 0.4 0.6 Mpa3.前級(jí)閥無(wú)法開(kāi)啟1氣壓不足1 .參照故障32.電磁換向閥工作2.參照故障34咼真空閥無(wú)法開(kāi) 啟1.粗抽閥上行程開(kāi)關(guān)未壓 緊1 .調(diào)整行程開(kāi)關(guān)與上蓋板位置 合適2氣源壓力不足2 .達(dá)到 0.4 0.6 Mpa3.電磁換向閥3 .參照故障34真空度不夠（沒(méi)達(dá)到真 空計(jì)設(shè)定一上限4 .復(fù)合真空計(jì)（工作時(shí)）設(shè)定不小于5 Pa5前級(jí)閥未開(kāi)5.在一定條件開(kāi)啟前級(jí)閥5.羅茨泵不啟動(dòng)1真空電接點(diǎn)壓力表未接 觸上1.抽真空，使大圓表黑針到左 邊盡頭2.延時(shí)時(shí)間未到2 .等待3.空氣開(kāi)關(guān)未合上3 .檢查無(wú)冋題，合上開(kāi)關(guān)6.擴(kuò)散泵不工作1.加熱時(shí)間不夠1 .KT 400 泵 1 小時(shí)；KT 600泵80分鐘2.油污染2 .換擴(kuò)散泵油（大連 3號(hào)）3.真空粗抽不夠高3 .真空度在5 Pa以上4.冷卻水不暢通4 .清洗泵冷卻水路5.油量不適5.油少加油