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文檔簡介

1、薄膜干涉分類薄膜干涉分類 等傾干涉(等傾條紋)(薄膜兩表面嚴(yán)格平行)同一條(級次相同)干涉條紋對應(yīng)同一個(gè)入射角值。 等厚干涉(等厚條紋)(光沿同一方向入射到薄膜上)同一條(級次相同)干涉條紋對應(yīng)同一個(gè)厚度值。常數(shù)常數(shù)E等厚干涉條紋平行光照射到表面平整、厚度不均勻的薄膜上產(chǎn)生的干涉條紋。薄膜厚度d 相同之處對應(yīng)于同一級條紋,因此稱為等厚干涉條紋。光線垂直入射時(shí):明紋暗紋等厚干涉條紋劈尖不規(guī)則表面白光入射單色光入射肥皂膜的等厚干涉條紋白光經(jīng)肥皂膜的干涉(KG001)劈尖膜nd平行光垂直入射,薄膜上下表面之間夾角極小。明紋暗紋 條紋特點(diǎn) 形狀:平行于劈尖棱邊的直條紋條紋等間距分布。相鄰條紋所對應(yīng)的厚

2、度差:條紋級次分布:厚度越大,級次越高。劈尖處為0級暗紋半波損失相鄰條紋間距:白光照射產(chǎn)生彩色的等厚干涉條紋移動(dòng)空氣劈尖的上玻璃片,條紋如何變化? 劈尖膜干涉的應(yīng)用測量微小直徑、厚度,表面平整度、平行度等。標(biāo)準(zhǔn)待測Dh測波長、折射率薄膜厚度:條紋數(shù) 測量薄膜厚度DLnlD例 如圖所示,兩個(gè)直徑有微小差別的彼此平行的滾柱之間的距離為L,夾在兩塊平晶的中間,形成空氣劈尖,當(dāng)單色光垂直入射時(shí),產(chǎn)生等厚干涉條紋。如果滾柱之間的距離L變小,則在L范圍內(nèi)干涉條紋的( )(A)數(shù)目減少,間距變大。(B)數(shù)目不變,間距變小。(C)數(shù)目增大,間距變小。(D)數(shù)目減少,間距不變。例 為了測量金屬細(xì)絲的直徑,把金屬絲夾在兩塊平玻璃之間,形成劈尖,如圖所示,如用單色光垂直照射 ,就得到等厚干涉條紋。測出干涉條紋的間距,就可以算出金屬絲的直徑。某次的測量結(jié)果為:單色光的波長 =589.3 nm金屬絲與劈間頂點(diǎn)間的距離L=28.880 mm,30條明紋間得距離為4.295 mm,求金屬絲的直徑D? 解: 相鄰兩條明紋間的間距 例 利用空氣劈尖的等厚干涉條紋可以檢測工 件表面存在的極小的加工紋路, 在經(jīng)過精密加工的工件表面上放一光學(xué)平面玻璃,使其間形成空氣劈形膜,用單色光照射玻璃表面,并在顯微鏡下觀察到干涉條紋,如圖所示。試根據(jù)干涉條紋的彎曲方向,判斷工件表面是凹的還是凸的;并證明凹凸深度可用下式求得

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