生產(chǎn)名詞與常識介紹09212課件

1、生產(chǎn)名詞與常識介紹092122022/7/27生產(chǎn)名詞與常識介紹09212Index半導(dǎo)體工廠基礎(chǔ)生產(chǎn)名詞生產(chǎn)流通名次產(chǎn)能相關(guān)的名詞Capacity計算原理產(chǎn)能的影響因素生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)指標的定義及管控生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)及生產(chǎn)指標CVP/OTD& CT的定義CVP/CT的管控CT、output與WIP、Capacity的關(guān)系OEE優(yōu)先級yield生產(chǎn)名詞與常識介紹09212第一章 半導(dǎo)體廠基礎(chǔ)生產(chǎn)類名詞 生產(chǎn)名詞與常識介紹092121.1生產(chǎn)流通名詞WIP：在制品，wafer in process的縮寫Effective WIP: 在線(不含customer hold)圓片中產(chǎn)出標記

2、不為P和FILLER的圓片BUFFER: 某設(shè)備大類前等待加工產(chǎn)品的數(shù)量,不含RUN的產(chǎn)品(不含HOLD) MOVE：圓片的制程步驟移動數(shù)量，一個圓片在PROMIS流程中每移動一步為一個MOVE有效MOVE：在線(不含customer hold)圓片中產(chǎn)出標記不為P和FILLER的圓片產(chǎn)生的MOVE Stage：同一制程目的的step合起來稱為一個stage; Turn ratio：周轉(zhuǎn)率，Move與WIP的比值，衡量流通速度的指標。 =Move / WIPREPSTAGE ：基本按光刻層次劃分，一層光刻表示一個 REPSTAGE，部分特殊。WAIT TIME:指當前步驟前等待時間,不含HOL

3、DHOLD TIME:最近一次發(fā)生HOLD后的時間FAB OUT：入B-ship的外部訂單數(shù)量。流程單：也稱RUN CARD。 記錄圓片的加工步驟和要求，在流片過程中要嚴格遵循流程單上的工藝步驟和要求生產(chǎn)名詞與常識介紹092121.2產(chǎn)能相關(guān)名詞SOP：Standard Operation Procedure-標準操作程序SPT：standard process time，在適宜的操作條件下，采用標準操作方法，以普通熟練工人的正常速度完成標準作業(yè)所需的時間。一般指作業(yè)一個Batch需要的時間。BATCH:一次生產(chǎn)量，一次操作所生產(chǎn)的數(shù)量，設(shè)備每個RUN的圓片數(shù)量。WPH： wafer per

4、hour,機臺每小時之圓片產(chǎn)出量。用來衡量設(shè)備的產(chǎn)出速率 WPH=BATCH/SPTCapacity:產(chǎn)能，設(shè)備目標OEE條件下按照SPT計算單位時間內(nèi)的理論產(chǎn)出數(shù)量 Capacity/day =WPH*24*OEE target生產(chǎn)名詞與常識介紹09212設(shè)備組Loading =Q1+Q2+Qn設(shè)備組Capacity設(shè)備組Capacity =加權(quán)平均WPH*24*OEE*設(shè)備臺數(shù)*天數(shù)1.3 Capacity_計算原理加權(quán)平均SPT =Q1* SPT1+Q2*SPT2+Qn*SPTnQ1+Q2+QnQn：某一時期內(nèi)菜單n的數(shù)量 SPTn:菜單n的SPT 加權(quán)平均WPH=Batch加權(quán)平均SP

5、TLoading最高的設(shè)備組為工廠的瓶頸設(shè)備組。FAB Capacity一般用光刻層數(shù)（layer數(shù)）表示。FAB Capacity=總光刻層數(shù)瓶頸設(shè)備組Loading生產(chǎn)名詞與常識介紹092121.4 Capacity_影響產(chǎn)能的因素F(x)Equipment. Uptime. Available. Set. EfficiencyProcess Type. Recipe; (SPT,WPH). FrequencyProduct mix.Total FrequencyCapacityYield.FAB Yield 97%.Photo Rework rate 95%生產(chǎn)名詞與常識介紹09212第

6、二章 生產(chǎn)與生產(chǎn)管理系統(tǒng) 生產(chǎn)指標定義及管控生產(chǎn)名詞與常識介紹09212index生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標CVP /OTD& CT 定義CVP/CT管控CT、output與WIP、Capacity的關(guān)系及管控OEE 優(yōu)先級系統(tǒng)Yield生產(chǎn)名詞與常識介紹092121.1生產(chǎn)的概念生產(chǎn)定義：狹義：投入一定的資源，經(jīng)過一系列、多種形式的變換，使其價值增值，最后產(chǎn)出消費產(chǎn)品的過程廣義：系統(tǒng)論的發(fā)展使人們能夠 從更抽象、更高的角度來認識和把握各種現(xiàn)象的共性，把有形產(chǎn)品的生產(chǎn)過程和無形產(chǎn)品服務(wù)的提供過程都看作一種“投入變換產(chǎn)出”的過程，作為一種具有共性的問題來研究投入人力物料設(shè)備技術(shù)信息知識能源

7、土地廠房增值變換（工藝過程或執(zhí)行步驟）產(chǎn)出產(chǎn)品服務(wù)信息收集與反饋顧客或用戶參與生產(chǎn)名詞與常識介紹092122.1生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)管理：對生產(chǎn)運作過程進行計劃、組織、指揮、協(xié)調(diào)、控制和考核的一系列管理活動。生產(chǎn)管理 現(xiàn)場管理 工程技術(shù)管理 任務(wù)對生產(chǎn)管理活動按職能分類：現(xiàn)場管理：最大限度地激活人、物、設(shè)備的作用，在每道工序保證完美質(zhì)量的前提下追求高效率化狹義生產(chǎn)管理：為了達到按用戶要求，采用合適、不浪費、經(jīng)濟的方式，生產(chǎn)已開發(fā)、設(shè)計的產(chǎn)品并提供給用戶這一目的所做的各項計劃、管理工作。 工程技術(shù)管理： 為了完成效率良好的Q、D、C而進行的產(chǎn)品設(shè)計、工程設(shè)計 和生產(chǎn)設(shè)備管理生產(chǎn)管理的任務(wù)與目標：實現(xiàn)

8、企業(yè)的總體經(jīng)營目標QQuality（質(zhì)量），DDelivery（進度），CCost（成本）保證與提高質(zhì)量；適時適量將產(chǎn)品投放市場；降低產(chǎn)品成本。DDelivery（進度）：包含產(chǎn)量、速度兩層含義。生產(chǎn)運作管理的作用與意義：生產(chǎn)運作過程是企業(yè)創(chuàng)造價值與利潤的主要環(huán)節(jié)；生產(chǎn)運作管理是企業(yè)經(jīng)營的基本職能；生產(chǎn)運作管理是企業(yè)增強竟爭力的源泉。生產(chǎn)名詞與常識介紹092122.2生產(chǎn)管理系統(tǒng)與生產(chǎn)指標生產(chǎn)管理系統(tǒng)生產(chǎn)管理現(xiàn)場管理工程技術(shù)管理指標：OTD/CVPCTOUTPUTYield生產(chǎn)計劃生產(chǎn)控制成本物料管理產(chǎn)能管理工作標準化PDCA循環(huán)管理模式 OEE實踐活動優(yōu)先級系統(tǒng)生產(chǎn)名詞與常識介紹092123

9、.1 OTD/CVP&CT 定義OTD：準時交貨率(On Time Deliver )CVP：定單數(shù)量的準時交付（入庫）率(Confirm Volume Performance)CVP=實際準時入庫數(shù)量/定單要求入庫數(shù)量*100% CT：流通周期（Cycle Time），即自投料到入庫的時間 CT=入庫時間-Customer Hold時間-投料時間CT/layer：自投料到入庫的實際流通時間/layer數(shù)生產(chǎn)名詞與常識介紹092123.2 OTD/ CVP/CT管控OTD運作控制工具：Daily reviewOTD/CT控制工具WAFER INWAFER START POLICYWAFER O

10、UT交期控制WAFER OUT生產(chǎn)目標達成LONG STAY CONTROL派貨1）Capacity Improve2）優(yōu)先級系統(tǒng)1、WIP數(shù)量及WIP分布的管控2、產(chǎn)能大小及穩(wěn)定性管控生產(chǎn)名詞與常識介紹092123.3 CT、output與WIP、Capacity的關(guān)系及管控Output（layer/day) =WIP/(CT/layer)當WIP大于某個值時：Output（layer/day)=Capacity（layer/day)此時 CT/layer =WIP/ Capacity（layer/day)CT、output 改善：1.控制WIP在合理水平2.努力提升靜態(tài)瓶頸設(shè)備產(chǎn)能3.保證

11、設(shè)備穩(wěn)定性，減少工藝限制，以減少動態(tài)瓶頸生產(chǎn)名詞與常識介紹09212 OEE(Overall Equipment Effectiveness),即總體設(shè)備效率。OEE是一個全面衡量半導(dǎo)體設(shè)備性能和產(chǎn)能的指標。4.1 OEE_定義生產(chǎn)名詞與常識介紹09212 Unworried days(holidays) Installation,rebuild or upgrade Process experiments Repair PM Change of consumable Regular production No product Rework No operator (02 state) Eng

12、ineering Lots Total Time Non-Scheduled TimeWorking Time UptimeDowntime Engineering Time Available Time Productive Time Idle Time Unscheduled Downtime (DOWN) Scheduled Downtime(PM) QC Time 4.2 基本概念-OEE_時間組成生產(chǎn)名詞與常識介紹092124.3 基本概念-OEE_計算公式責(zé)任部門計算公式Equipmentuptime%=(total time - 05-03down-04PM)/(total ti

13、me-05) =(01prod+02idle+06QC+07eng)/(total time-05)*100%ProcessAvailable%=(total time - 05-03down-04PM-06QC-07eng)/(total time-05) =(uptime- 06QC-07eng)/(total time-05) =(01prod+02idle)/(total time-05)*100%MFGEfficiency%=實際出片數(shù)目/按SPT計算出的理論出片數(shù)目MFG & MarketUsed of available%01prod/available time 01prod/

14、(01prod+02idle) OEE=Available% * Efficiency% * Used of available%注： 1）按照TOC（約束理論），提高瓶頸設(shè)備的Used of available%，就是提高生產(chǎn)率； 2）由于每個時期過片需求不同，導(dǎo)致Used of available%數(shù)值不同，因此，我們也會把Used of available%當100%的OEE數(shù)值，定為設(shè)備的目標OEE； 3）Used of available%相當于機臺Loading(即機臺負載），因此計算設(shè)備產(chǎn)能時,會將設(shè)備OEE中的Used of available%=100%，來反推機臺的Load

15、ing；生產(chǎn)名詞與常識介紹09212確定當前的瓶頸設(shè)備要搜集足夠的數(shù)據(jù)，尤其需要實時的、精確的數(shù)據(jù)成立一個跨部門的OEE專案小組分析數(shù)據(jù)，找出根本原因，提出改進措施，達成效果分析，推動Action執(zhí)行。鼓勵設(shè)備供應(yīng)商的參加4.4 OEE實施生產(chǎn)名詞與常識介紹092125.1優(yōu)先級系統(tǒng)優(yōu)先等級：按理論剩余流通周期（加調(diào)整天數(shù)）與剩余交貨時間差數(shù)大小，或者市場定單需求緊急程度，對園片加工先后順序給予的等級 優(yōu)先等級：資源有限的前提下，為更有效的完成生產(chǎn)目標（OTD、output、 line balance、key customer 等），對圓片的加工順序給予的等級，是一個資源合理分配的過程。生產(chǎn)名詞與常識介紹092126.1成品率類定義標準描述計算公式1)Line yield(線成品率)Line yield=當月在線產(chǎn)出 的圓片數(shù)/（當月在線產(chǎn)出片數(shù)+當月在線報廢片數(shù)）*100%2)PCM yield(PCM成品率)當月PCM產(chǎn)出片數(shù)/（當月PCM產(chǎn)出片數(shù)+當月PCM報廢片數(shù)） *100%3)QA yield(QA成品率)當月入庫片數(shù)/（當月入庫片數(shù)+當月QA報