PI工藝流程京東方課件

1、PI工藝學(xué)習(xí) PI工序主要是在TFT & CF基板上涂上一層取向膜,從而為液晶分子在取向膜上形成取向打下基礎(chǔ)。 PI工序的工藝流程如下：玻璃基板從loader處流入，先經(jīng)過(guò)cleaner對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，清洗完后在coater處涂布PI液，在PRE CURE處揮發(fā)部分溶劑，在Inspection處檢測(cè)涂布效果，在MAC/MIC處宏觀抽檢印刷涂布效果（主要用肉眼觀察檢查看有沒(méi)有白點(diǎn)，黑點(diǎn)，Pinhole，Mura等），微觀抽檢并測(cè)量印刷涂布效果（主要用光學(xué)鏡頭測(cè)量Edge Margin（板邊距離）來(lái)檢查對(duì)位情況）。檢查后的良品進(jìn)入MAINCURE處進(jìn)行揮發(fā)溶劑使PI固化，固化后的玻璃基板流入U(xiǎn)

2、nloader.工藝設(shè)備相關(guān)Loader處有四個(gè)Port口，其中三個(gè)Port口為normal口，一個(gè)口為Dummy口專(zhuān)門(mén)存放Dummy用。一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderCleaner （清洗機(jī)）總述：Cleaner（清洗機(jī)）作用是在PI涂布之前對(duì)玻璃基板進(jìn)行清洗，清除玻璃基板上的污漬，雜質(zhì)，灰塵等臟東西。為涂布出良好的取向膜做好準(zhǔn)備。如果涂布之前清洗機(jī)清洗效果不好或者殘留有Particle的話，在Coater處就會(huì)有不良品出現(xiàn)。Cleaner部分主要分為Wet wash（濕洗）部和Dry wash（干洗）部。一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderAPPAPP主要是通過(guò)把空氣電離后產(chǎn)生帶有氧化能力的氣體

3、以去除玻璃基板上的有機(jī)物將其轉(zhuǎn)化成碳?xì)浠衔锏囊环N清洗方式 ，除去有機(jī)物的作用。一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderTank2存放溶劑的地方，該溶劑由水跟洗劑按照一定比例混合形成。同時(shí)tank里有加熱器，把tank里的混合溶劑加熱到40度才可使用。其中一個(gè)tank使用，另一個(gè)tank為備用。備用tank是準(zhǔn)備好了的。隨時(shí)可以投入使用。當(dāng)使用的tank清洗了500張玻璃基板后，停止使用并開(kāi)始重新清洗轉(zhuǎn)為備用狀態(tài)，而備用的tank轉(zhuǎn)為使用狀態(tài)。洗劑存放位置，通過(guò)電機(jī)把存放在該處的洗劑按照一定的比例抽取出來(lái)，供給到tank里面形成一定濃度的溶劑以便于用來(lái)清洗玻璃基板。兩桶洗劑其中一桶使用，另外一桶備用。洗

4、劑型號(hào)為L(zhǎng)H540.和ECB868tank2tank1一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderHyper-Mix（混合）純水和高壓空氣在Hyper Mix的管道內(nèi)形成氣液混合體（2流體），2流體被高壓噴射在基板表面上時(shí)，利用高壓水的沖刷力和2流體內(nèi)氣泡破裂時(shí)產(chǎn)生的剝離力除去基板上的異物粒子。因?yàn)?流體內(nèi)水與空氣的混合更均勻，產(chǎn)生的氣泡更多也更小因此洗凈效果也更好。它的洗凈對(duì)象是小粒徑的異物粒子一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderHPS（ high pressure shower）把水已高壓的形式對(duì)基板表面進(jìn)行噴淋一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderIRIR干燥是利用高溫加熱的方式將殘留在基板表面的水分徹底除去。IR

5、干燥只能用于除去少量水分，干燥效果與加熱溫度和時(shí)間有關(guān)一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderEUVEUV清洗是指在一個(gè)封閉的chamber內(nèi)用UV lamp照射，生成O3及O，利用其強(qiáng)大的氧化能力以去除玻璃基板上的有機(jī)物將其轉(zhuǎn)化成CO,CO2,H2O的一種清洗方式.具有殺菌，去除油脂，除去有機(jī)物的作用。目的是提高PI印刷的適印性。適合在清洗后，印刷前使用。一、工藝設(shè)備相關(guān)-LoaderCPOCPO（cooling process offer）主要是對(duì)從上游流出來(lái)玻璃基板進(jìn)行冷卻使其達(dá)到常溫狀態(tài)。其吹出的是cool dry air。一、工藝設(shè)備相關(guān)-Loader版酮TABLEGLASSBlade一、工藝

6、設(shè)備相關(guān) CoaterCoater （涂布機(jī)）作用:是通過(guò)轉(zhuǎn)印的方式在已經(jīng)清洗好的玻璃基板上涂布出一層良好的取向膜 Anilox Roll : 均膠輥,用于將PI液涂到APR板上,上有小坑15深, 成網(wǎng)狀排布 Mesh400 Line/inch, 傾斜角度 60, 目的是使PI液涂布均勻.版胴: 用于安裝APR Plate.Table : 印刷時(shí)托放Glass，要求平坦度在 20以?xún)?nèi).Blade : 目的是使Anilox Roll 上的PI液均勻, 分Roll Type和Blade Type.中文譯作 刮膠輥或刮刀.TableBlade版酮一、工藝設(shè)備相關(guān) Coater陶瓷60度-Anilox

7、 Roll一、工藝設(shè)備相關(guān) Coater版酮TABLEGLASSBlade印刷原理：DISPENSER把PI液滴在刮刀上，然后流到刮刀與ANILOX ROLL的夾縫里。 ANILOX ROLL旋轉(zhuǎn)把PI液帶走，與此同時(shí)刮刀把ANILOX ROLL上多余的PI液刮掉，保持ANILOX ROLL上的PI液均勻。印刷前ANILOX ROLL與版酮上的APR版相捏合，通過(guò)捏合力APR版把ANILOX ROLL上的PI液擠壓出來(lái)并帶走，開(kāi)始印刷時(shí)版酮移動(dòng)，把APR版上的PI液轉(zhuǎn)印到GLASS基板上。印刷原理：一、工藝設(shè)備相關(guān) Coater圖1，APR版上的對(duì)位mark，轉(zhuǎn)印到dummy上。先進(jìn)行came

8、ra set圖2，攝像機(jī)鏡頭自動(dòng)捕捉normal glass上的對(duì)位mark圖3，攝像機(jī)鏡頭自動(dòng)捕捉normal glass上的對(duì)位mark與APR版上的對(duì)位mark出現(xiàn)偏移的情況圖4，攝像機(jī)鏡頭自動(dòng)捕捉normal glass上的對(duì)位mark與APR版上的對(duì)位mark重合的情況畫(huà)像對(duì)位系統(tǒng)一、工藝設(shè)備相關(guān) Coater工作臺(tái)Alignment system工作原理 : 先在Dummy 基板上印刷出圖形（見(jiàn)圖1）移動(dòng)機(jī)臺(tái),使對(duì)位標(biāo)記位于攝像機(jī)鏡頭中心,固定機(jī)臺(tái)位置并保存數(shù)據(jù)。生產(chǎn)時(shí)，攝像機(jī)鏡頭自動(dòng)捕捉normal glass上的對(duì)位mark（見(jiàn)圖2），使normal glass上mark與AP

9、R版上的對(duì)位mark重合。那樣就能保證涂布PI液時(shí)的準(zhǔn)確性。當(dāng)兩個(gè)mark出現(xiàn)偏移時(shí)，alignment pin自動(dòng)前后左右調(diào)整，使玻璃基板上的對(duì)位標(biāo)記與APR版上的對(duì)位mark重合，此時(shí)能夠確定玻璃基板在table上的準(zhǔn)確位置。（見(jiàn)圖3，4，5，6）這樣能夠確保每次印刷在同一位置。Pin不動(dòng)，開(kāi)始真空吸附并固定玻璃基板于table上。松開(kāi)pin可以開(kāi)始涂布PI液。圖5，6， alignment pin自動(dòng)前后左右調(diào)整，使玻璃基板上的對(duì)位標(biāo)記與APR版上的對(duì)位mark重合一、工藝設(shè)備相關(guān) CoaterDoctor roll壓入量Table speedD/R和A/R 回轉(zhuǎn)比（）PI液滴下量印刷要

10、素PI膜厚度控制一、工藝設(shè)備相關(guān) Coater一、工藝設(shè)備相關(guān) Pre curePre-cure主要是對(duì)前面coater涂布的取向膜進(jìn)行預(yù)固化.去除取向膜的一部分溶劑。使取向膜與玻璃基板有一定的粘合力。另外配向膜在未干燥時(shí)易吸附異物，為了防止粘附異物，需要進(jìn)行預(yù)干燥處理。Pre-cureInspection工作原理：當(dāng)glass流過(guò)時(shí)camera對(duì)基板進(jìn)行掃描。camera對(duì)流過(guò)的glass進(jìn)行連續(xù)拍照，計(jì)算機(jī)記錄拍下的數(shù)據(jù)，然后把數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，以一個(gè)點(diǎn)為基準(zhǔn)和相鄰的點(diǎn)進(jìn)行對(duì)比，當(dāng)有異常時(shí)計(jì)算機(jī)自動(dòng)記錄下坐標(biāo)位置，并以紅點(diǎn)的形式顯示在屏幕上，當(dāng)點(diǎn)擊異常PANEL上的坐標(biāo)時(shí)，顯微鏡自動(dòng)找到異常位

11、置，可以在顯示器上觀看是什么不良。一、工藝設(shè)備相關(guān)InspectionScan Camerasource of parallel light一、工藝設(shè)備相關(guān)InspectionReview Camera一、工藝設(shè)備相關(guān)InspectionInspection：檢出配向膜印刷缺陷及印刷膜外觀、膜厚均一性 主要不良：配向膜漏印、膜厚不均、印刷位置、異物、劃傷、基板 裂紋等一、工藝設(shè)備相關(guān)Inspection一、工藝設(shè)備相關(guān)Main CureUNLOADER設(shè)備原理Main-cure作用：通過(guò)高溫加熱的方式把glass基板上的PI膜完全轉(zhuǎn)化成PI膜IR (Infrared Ray) Heater 方

12、式由Air Pre-Heater向Chamber內(nèi)部逐步通入 N2 Gas預(yù)熱方式多段加熱爐內(nèi)一直保持負(fù)壓狀態(tài)它的目的及優(yōu)點(diǎn)是能制造出層流的Gas Flow提高seal的性能能強(qiáng)制排除shutter打開(kāi)時(shí)進(jìn)入的外氣能強(qiáng)制排除制程上產(chǎn)生的升華物一、工藝設(shè)備相關(guān)Main Cure一、工藝設(shè)備相關(guān)Unloader coolingPre FilterExhaustCDA Cooling chamber共有22個(gè)冷卻腔 冷卻溫度：40攝氏度Air Cooling 方式(空冷式:CDA Purge和水冷)1、TFT和CF進(jìn)行Sortering處理，保證TFT和CF配對(duì)的良率2.工藝設(shè)備相關(guān)PI CF So

13、rterPI REWORK用化學(xué)洗劑來(lái)去除GLASS表面的PI膜2.工藝設(shè)備相關(guān)PI Rework1、用來(lái)測(cè)量GLASS的PI膜厚2.工藝設(shè)備相關(guān)PI Thickness二、PI主要不良-主要發(fā)生原因 Glass 表面一小塊區(qū)域沒(méi)有涂布PI液，或僅涂有較薄一層PI液。主要由灰塵引起。灰塵落在ANILOX ROLL、DOCTOR ROLL或APR板上，使PI液不能正常轉(zhuǎn)印到Glass上，形成Pinhole。另一個(gè)原因是Glass未被清洗干凈或Glass自身特性，PI液不能正常涂布。-處理方法 Glass 未能清洗干凈，作業(yè)區(qū)內(nèi)人員過(guò)多、作業(yè)時(shí)打開(kāi)設(shè)備門(mén)等都可將灰塵帶入設(shè)備。設(shè)備的齒輪、軸承上的過(guò)多的潤(rùn)滑油也是灰塵的主要來(lái)源。1. Pinhole一、工藝設(shè)備相關(guān)-發(fā)生主要原因 APR板、或ANILOX ROLL有損傷（凹坑），可存入過(guò)多的PI液，使PI膜在局部過(guò)厚。2、 PI斑-Cell Final Test Cell Test時(shí)有PI斑有地方顏色發(fā)白。 Size在 1mm以?xún)?nèi)的PI斑在TEST不能被看到，是合格品. MAC MIC和INSPECTION都能檢測(cè)到，主要是由于GLASS背面或是機(jī)臺(tái)上有異物，使得機(jī)臺(tái)吸附時(shí)出現(xiàn)破損。需要認(rèn)真檢查機(jī)臺(tái)并擦拭。檢測(cè)完后投入DUMMY檢測(cè)。3、星型破損一、工藝設(shè)備相關(guān)