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1、泄漏與接地 全面質(zhì)量控制是一種對(duì)質(zhì)量形成的全過程,即對(duì)包括市場(chǎng)調(diào)查、設(shè)計(jì)研制、采購(gòu)、生產(chǎn)工藝準(zhǔn)備、制造、檢測(cè)、包裝儲(chǔ)運(yùn)、銷售支付、安裝調(diào)試、售后服務(wù)、維修等質(zhì)量循環(huán)中的各個(gè)環(huán)節(jié)進(jìn)行全面控制管理的技術(shù)。它將質(zhì)量控制工作延伸到制造過程結(jié)束后的外部時(shí)間空間,即包含線內(nèi)控制又包含線外控制。其特點(diǎn)是體現(xiàn)出以“事先預(yù)防”為主的質(zhì)量控制觀。 統(tǒng)計(jì)質(zhì)量控制有三種基本方法統(tǒng)計(jì)質(zhì)量控制有三種基本方法:(1)用正交設(shè)計(jì)與參數(shù)設(shè)計(jì)方法提高設(shè)計(jì)質(zhì)量用正交設(shè)計(jì)與參數(shù)設(shè)計(jì)方法提高設(shè)計(jì)質(zhì)量的線外質(zhì)量控制;的線外質(zhì)量控制;(2)控制圖法,即記錄質(zhì)量參數(shù)的波動(dòng)數(shù)據(jù)、控制圖法,即記錄質(zhì)量參數(shù)的波動(dòng)數(shù)據(jù)、設(shè)置控制界限,以發(fā)現(xiàn)并控制異
2、常數(shù)據(jù)波動(dòng)點(diǎn);設(shè)置控制界限,以發(fā)現(xiàn)并控制異常數(shù)據(jù)波動(dòng)點(diǎn); (3)抽樣檢查,即在不同時(shí)間段隨機(jī)抽取一定抽樣檢查,即在不同時(shí)間段隨機(jī)抽取一定的比例進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析處理。的比例進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析處理。2.質(zhì)量保證體系(1)體系結(jié)構(gòu)的完善化。質(zhì)量保證體系的結(jié)構(gòu)應(yīng)該完善,能覆蓋質(zhì)量保證標(biāo)準(zhǔn)要素的內(nèi)容,機(jī)構(gòu)合理,各要素有部門負(fù)責(zé)管理,例如:工藝、設(shè)備、檢驗(yàn)(包括元器件、材料檢驗(yàn)和產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn))、外購(gòu)、外協(xié)(設(shè)備、PCB等)、設(shè)計(jì)、包裝等。(2)體系運(yùn)作的有效性。體系應(yīng)能有效動(dòng)作,并應(yīng)制作相應(yīng)的程序文件,經(jīng)常進(jìn)行評(píng)審以及時(shí)糾正問題,包括對(duì)員工的培訓(xùn)和考核。(3)體系文件應(yīng)完整,質(zhì)量記錄齊全,能反映實(shí)際工作情況。(4)
3、體系內(nèi)部質(zhì)量信息應(yīng)能及時(shí)傳遞,以增強(qiáng)全體人員的質(zhì)量意識(shí)。生產(chǎn)管理1.工序管理辦法工序管理辦法(1)有一套正規(guī)的生產(chǎn)管理辦法,如規(guī)定有首件檢查、自有一套正規(guī)的生產(chǎn)管理辦法,如規(guī)定有首件檢查、自檢、互檢及檢驗(yàn)員巡檢的制度,工序檢驗(yàn)不合格不能轉(zhuǎn)到檢、互檢及檢驗(yàn)員巡檢的制度,工序檢驗(yàn)不合格不能轉(zhuǎn)到下道工序,下道工序,SMT生產(chǎn)首件產(chǎn)品中現(xiàn)場(chǎng)工藝運(yùn)行流程如圖生產(chǎn)首件產(chǎn)品中現(xiàn)場(chǎng)工藝運(yùn)行流程如圖1所示。所示。(2)有明確的質(zhì)量控制點(diǎn)有明確的質(zhì)量控制點(diǎn) SMT生產(chǎn)中的質(zhì)控點(diǎn)有:錫膏印刷、貼片、爐溫調(diào)控。生產(chǎn)中的質(zhì)控點(diǎn)有:錫膏印刷、貼片、爐溫調(diào)控。 對(duì)質(zhì)控點(diǎn)的要求如下:現(xiàn)場(chǎng)有質(zhì)控點(diǎn)標(biāo)識(shí)對(duì)質(zhì)控點(diǎn)的要求如下:現(xiàn)場(chǎng)有
4、質(zhì)控點(diǎn)標(biāo)識(shí);有規(guī)范的質(zhì)控有規(guī)范的質(zhì)控點(diǎn)文件;控制數(shù)據(jù)記錄正確、及時(shí)、清楚;對(duì)控制數(shù)據(jù)及點(diǎn)文件;控制數(shù)據(jù)記錄正確、及時(shí)、清楚;對(duì)控制數(shù)據(jù)及時(shí)進(jìn)行處理;定期評(píng)估時(shí)進(jìn)行處理;定期評(píng)估PDCA(Plan計(jì)劃計(jì)劃、Do執(zhí)行執(zhí)行、Check檢查檢查和和Action處理處理的縮寫的縮寫)循環(huán)和可追溯性。循環(huán)和可追溯性。 2.工藝文件工藝文件 主要工序都有工藝規(guī)程或作業(yè)指導(dǎo)書,工人嚴(yán)格按工藝主要工序都有工藝規(guī)程或作業(yè)指導(dǎo)書,工人嚴(yán)格按工藝文件操作,工藝文件處于受控狀態(tài),現(xiàn)場(chǎng)可以取得現(xiàn)行有文件操作,工藝文件處于受控狀態(tài),現(xiàn)場(chǎng)可以取得現(xiàn)行有效版本的工藝文件。效版本的工藝文件。 3.關(guān)鍵工序和特殊工序的控制關(guān)鍵工序
5、和特殊工序的控制 分清關(guān)鍵工序和特殊工序,進(jìn)行工藝參數(shù)的重點(diǎn)監(jiān)控。分清關(guān)鍵工序和特殊工序,進(jìn)行工藝參數(shù)的重點(diǎn)監(jiān)控。在關(guān)鍵工序和特殊工序工作的工人要通過培訓(xùn)考核,對(duì)這在關(guān)鍵工序和特殊工序工作的工人要通過培訓(xùn)考核,對(duì)這些工序的設(shè)備、工具、量具等均應(yīng)特別重視。些工序的設(shè)備、工具、量具等均應(yīng)特別重視。4.產(chǎn)品批次管理產(chǎn)品批次管理 成批生產(chǎn)的產(chǎn)品有批號(hào)、批量等標(biāo)識(shí)可以追溯成批生產(chǎn)的產(chǎn)品有批號(hào)、批量等標(biāo)識(shí)可以追溯(如通過計(jì)劃如通過計(jì)劃文件、工序卡、隨工單等文件、工序卡、隨工單等)。 5.不合格品的控制不合格品的控制 有一套合格品控制辦法,根據(jù)不同情況由不同的人和部門有一套合格品控制辦法,根據(jù)不同情況由不同
6、的人和部門對(duì)不合格品進(jìn)行隔離、標(biāo)識(shí)、記錄、評(píng)審和處置。對(duì)不合格品進(jìn)行隔離、標(biāo)識(shí)、記錄、評(píng)審和處置。 通常組件板返修過程中,其厚薄膜通常組件板返修過程中,其厚薄膜PCB返工不應(yīng)超過兩返工不應(yīng)超過兩次再循環(huán),次再循環(huán),SMA的返修不應(yīng)超過三次循環(huán)。的返修不應(yīng)超過三次循環(huán)。 6.生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng)生產(chǎn)設(shè)備的維護(hù)和保養(yǎng) 由于由于SMT設(shè)備大部分均為進(jìn)口,價(jià)格昂貴,無論是操作還是用后維護(hù)均有較設(shè)備大部分均為進(jìn)口,價(jià)格昂貴,無論是操作還是用后維護(hù)均有較高的要求,因此,要有一套設(shè)備管理辦法,關(guān)鍵設(shè)備應(yīng)由專職維護(hù)人員點(diǎn)檢,高的要求,因此,要有一套設(shè)備管理辦法,關(guān)鍵設(shè)備應(yīng)由專職維護(hù)人員點(diǎn)檢,使設(shè)備始終處于完好
7、的狀態(tài)。以貼片機(jī)為例,在實(shí)際操作中定人、定機(jī),按使設(shè)備始終處于完好的狀態(tài)。以貼片機(jī)為例,在實(shí)際操作中定人、定機(jī),按日、月和班次采集原始數(shù)據(jù),把貼片機(jī)每天、每班次的運(yùn)行狀態(tài)填入日、月和班次采集原始數(shù)據(jù),把貼片機(jī)每天、每班次的運(yùn)行狀態(tài)填入貼片貼片機(jī)運(yùn)行狀態(tài)一覽表機(jī)運(yùn)行狀態(tài)一覽表,統(tǒng)計(jì)每天產(chǎn)量的完成情況和正確率,并將每班次、每,統(tǒng)計(jì)每天產(chǎn)量的完成情況和正確率,并將每班次、每臺(tái)設(shè)備貼裝率繪制成臺(tái)設(shè)備貼裝率繪制成貼片機(jī)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控圖貼片機(jī)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控圖,對(duì)每臺(tái)設(shè)備的狀態(tài)實(shí)施跟,對(duì)每臺(tái)設(shè)備的狀態(tài)實(shí)施跟蹤與監(jiān)控,當(dāng)某班次某臺(tái)設(shè)備貼裝正確率低于蹤與監(jiān)控,當(dāng)某班次某臺(tái)設(shè)備貼裝正確率低于99.95%時(shí)就視為異常,
8、需要找時(shí)就視為異常,需要找出異常的原因,然后立即進(jìn)行處理。同時(shí)在每月初,各維修工對(duì)自己所負(fù)責(zé)出異常的原因,然后立即進(jìn)行處理。同時(shí)在每月初,各維修工對(duì)自己所負(fù)責(zé)的設(shè)備在上月運(yùn)行過程中的狀態(tài)進(jìn)行總結(jié)、分析,并填寫的設(shè)備在上月運(yùn)行過程中的狀態(tài)進(jìn)行總結(jié)、分析,并填寫一月設(shè)備運(yùn)行狀一月設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)總結(jié)表態(tài)總結(jié)表,針對(duì)其存在的問題提出改進(jìn)和預(yù)防措施,并及時(shí)加以維護(hù)和修,針對(duì)其存在的問題提出改進(jìn)和預(yù)防措施,并及時(shí)加以維護(hù)和修理。理。7.生產(chǎn)環(huán)境生產(chǎn)環(huán)境 生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)有定置區(qū)域線,樓層生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)有定置區(qū)域線,樓層(班組班組)有定置圖,定置圖繪有定置圖,定置圖繪制符合規(guī)范要求;定置合理,定置率高,標(biāo)識(shí)應(yīng)用正確;制符合
9、規(guī)范要求;定置合理,定置率高,標(biāo)識(shí)應(yīng)用正確;庫房材料與在制品分類儲(chǔ)存,所有物品堆放整齊、合理并庫房材料與在制品分類儲(chǔ)存,所有物品堆放整齊、合理并定區(qū)、定架、定位,與位號(hào)、臺(tái)賬相符;凡停滯區(qū)內(nèi)擺放定區(qū)、定架、定位,與位號(hào)、臺(tái)賬相符;凡停滯區(qū)內(nèi)擺放的物品必須要有定置標(biāo)識(shí),不得混放。的物品必須要有定置標(biāo)識(shí),不得混放。 在清潔文明方面應(yīng)做到:料架、運(yùn)輸車架、周轉(zhuǎn)箱無積塵;在清潔文明方面應(yīng)做到:料架、運(yùn)輸車架、周轉(zhuǎn)箱無積塵;管轄區(qū)的公共走道通暢無雜物,樓梯、地面光潔無垃圾,管轄區(qū)的公共走道通暢無雜物,樓梯、地面光潔無垃圾,門窗清潔無塵;文明作業(yè),無野蠻、無序操作行為;實(shí)行門窗清潔無塵;文明作業(yè),無野蠻、
10、無序操作行為;實(shí)行“日小掃日小掃”、“周大掃周大掃”制度。制度。對(duì)現(xiàn)場(chǎng)管理有制度、有檢查、有考核、有記錄;立體包干對(duì)現(xiàn)場(chǎng)管理有制度、有檢查、有考核、有記錄;立體包干區(qū)區(qū)(包括線體四部位、設(shè)備、地面包括線體四部位、設(shè)備、地面)整潔無塵,無多余物品;整潔無塵,無多余物品;能做到能做到“一日一查一日一查”、“日查日清日查日清”。 (1)動(dòng)力因素。動(dòng)力因素。SMT設(shè)備所需動(dòng)力通常為二部分:設(shè)備所需動(dòng)力通常為二部分: 電能與壓縮空氣。電能與壓縮空氣。其質(zhì)量好壞不僅影響設(shè)備的正常運(yùn)行其質(zhì)量好壞不僅影響設(shè)備的正常運(yùn)行, 而且直接影響設(shè)備的使用壽命。而且直接影響設(shè)備的使用壽命。壓縮空氣。壓縮空氣。SMT生產(chǎn)線
11、上生產(chǎn)線上, 設(shè)備的動(dòng)力是壓縮空氣,設(shè)備的動(dòng)力是壓縮空氣, 一臺(tái)設(shè)備上少一臺(tái)設(shè)備上少則幾個(gè)氣缸、電磁閥則幾個(gè)氣缸、電磁閥 , 多則二十幾個(gè)氣缸與電磁閥,壓縮空氣應(yīng)用統(tǒng)多則二十幾個(gè)氣缸與電磁閥,壓縮空氣應(yīng)用統(tǒng)一配備的氣源管網(wǎng)引入生產(chǎn)線相應(yīng)設(shè)備,空壓機(jī)離廠房要有一定距離;一配備的氣源管網(wǎng)引入生產(chǎn)線相應(yīng)設(shè)備,空壓機(jī)離廠房要有一定距離;氣壓通常為氣壓通常為0.50.6Mpa,由墻外引入時(shí)應(yīng)考慮到管路損耗量;壓縮,由墻外引入時(shí)應(yīng)考慮到管路損耗量;壓縮空氣應(yīng)除油、除水、除塵,含油量低于空氣應(yīng)除油、除水、除塵,含油量低于0.510-6。 采用三相五線制交流工頻供電。所謂三相五線制交流工頻供電是采用三相五線制
12、交流工頻供電。所謂三相五線制交流工頻供電是指除由電網(wǎng)接入指除由電網(wǎng)接入U(xiǎn)、V、W三相相線之外,電源的工作零線與保護(hù)地三相相線之外,電源的工作零線與保護(hù)地線要嚴(yán)格分開接入;在機(jī)器的變壓器前要加裝線路濾波器或交流穩(wěn)壓線要嚴(yán)格分開接入;在機(jī)器的變壓器前要加裝線路濾波器或交流穩(wěn)壓器器, 電源電壓不穩(wěn)及電源凈化不好電源電壓不穩(wěn)及電源凈化不好, 機(jī)器會(huì)發(fā)生數(shù)據(jù)丟失及其它損壞。機(jī)器會(huì)發(fā)生數(shù)據(jù)丟失及其它損壞。 (2)SMT車間正常環(huán)境。車間正常環(huán)境。SMT生產(chǎn)設(shè)備是高精度的機(jī)電生產(chǎn)設(shè)備是高精度的機(jī)電一體化設(shè)備一體化設(shè)備, 對(duì)于環(huán)境的要求相對(duì)較高對(duì)于環(huán)境的要求相對(duì)較高, 應(yīng)放置于潔凈廠房應(yīng)放置于潔凈廠房中中(不
13、低于不低于GB73-84潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范中的中的100000級(jí)級(jí))。溫度:溫度:2026(具有錫膏、貼片膠專用存放冰箱時(shí)可放具有錫膏、貼片膠專用存放冰箱時(shí)可放寬寬);相對(duì)濕度:;相對(duì)濕度:40%70%;噪聲:噪聲:70dB;潔凈度:粒徑潔凈度:粒徑5.0 0.5(m),含塵濃度含塵濃度3.5105 2.5104(粒粒/m2)。對(duì)墻上窗戶應(yīng)加窗簾對(duì)墻上窗戶應(yīng)加窗簾, 避免日光避免日光直接射到機(jī)器上直接射到機(jī)器上, 因?yàn)橐驗(yàn)镾MT生產(chǎn)設(shè)備基本上都配置有光電生產(chǎn)設(shè)備基本上都配置有光電傳感器傳感器, 強(qiáng)烈的光線會(huì)使機(jī)器誤動(dòng)作。強(qiáng)烈的光線會(huì)使機(jī)器誤動(dòng)作。 (3)SMT現(xiàn)場(chǎng)還應(yīng)有防靜電系統(tǒng)
14、,系統(tǒng)及防靜電地線應(yīng)符現(xiàn)場(chǎng)還應(yīng)有防靜電系統(tǒng),系統(tǒng)及防靜電地線應(yīng)符合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。合國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。 (4)SMT機(jī)房要有嚴(yán)格的出入制度、嚴(yán)格的操作規(guī)程、嚴(yán)機(jī)房要有嚴(yán)格的出入制度、嚴(yán)格的操作規(guī)程、嚴(yán)格的工藝紀(jì)律。如:凡非本崗位人員不得擅自入內(nèi),在學(xué)格的工藝紀(jì)律。如:凡非本崗位人員不得擅自入內(nèi),在學(xué)習(xí)期間人員習(xí)期間人員, 至少兩人方可上機(jī)操作,未經(jīng)培訓(xùn)人員嚴(yán)禁至少兩人方可上機(jī)操作,未經(jīng)培訓(xùn)人員嚴(yán)禁上機(jī);所有設(shè)備不得帶故障運(yùn)行,上機(jī);所有設(shè)備不得帶故障運(yùn)行, 發(fā)現(xiàn)故障及時(shí)停機(jī)并發(fā)現(xiàn)故障及時(shí)停機(jī)并向技術(shù)負(fù)責(zé)人匯報(bào)向技術(shù)負(fù)責(zé)人匯報(bào), 排除故障后方可開機(jī);所有設(shè)備與另排除故障后方可開機(jī);所有設(shè)備與另部件部件, 未經(jīng)
15、允許不得隨意拆卸未經(jīng)允許不得隨意拆卸, 室內(nèi)器材不得帶出車間等。室內(nèi)器材不得帶出車間等。1.靜電的產(chǎn)生靜電的產(chǎn)生除了摩擦?xí)a(chǎn)生靜電外,接觸、高速運(yùn)動(dòng)沖流、溫度、壓電、電解除了摩擦?xí)a(chǎn)生靜電外,接觸、高速運(yùn)動(dòng)沖流、溫度、壓電、電解也會(huì)產(chǎn)生靜電。也會(huì)產(chǎn)生靜電。(1)接觸摩擦起電。除了不同物質(zhì)之間的接觸摩擦?xí)a(chǎn)生靜電外,在接觸摩擦起電。除了不同物質(zhì)之間的接觸摩擦?xí)a(chǎn)生靜電外,在相同物質(zhì)之間也會(huì)發(fā)生,例如當(dāng)把兩塊密切接觸的塑料分開能產(chǎn)生高相同物質(zhì)之間也會(huì)發(fā)生,例如當(dāng)把兩塊密切接觸的塑料分開能產(chǎn)生高達(dá)達(dá)l0kV以上的靜電。以上的靜電。(2)剝離起電。當(dāng)相互密切結(jié)合的物體剝離時(shí),會(huì)引起電荷的分離,剝離起電
16、。當(dāng)相互密切結(jié)合的物體剝離時(shí),會(huì)引起電荷的分離,出現(xiàn)分離物體雙方帶電的現(xiàn)象,稱為剝離起電。出現(xiàn)分離物體雙方帶電的現(xiàn)象,稱為剝離起電。(3)斷裂帶電。材料因機(jī)械破裂使帶電粒子分開,斷裂兩半后的材料斷裂帶電。材料因機(jī)械破裂使帶電粒子分開,斷裂兩半后的材料各帶上等量的異性電荷。各帶上等量的異性電荷。(4)高速運(yùn)動(dòng)中的物體帶電。物體的高速運(yùn)動(dòng),其物體表面會(huì)因與空高速運(yùn)動(dòng)中的物體帶電。物體的高速運(yùn)動(dòng),其物體表面會(huì)因與空氣的摩擦而帶電。最典型的案例是高速貼片機(jī)貼片過程中因元器件的氣的摩擦而帶電。最典型的案例是高速貼片機(jī)貼片過程中因元器件的快速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生靜電,其靜電壓約在快速運(yùn)動(dòng)而產(chǎn)生靜電,其靜電壓約在60
17、0V左右左右靜電放電(ESD)對(duì)電子工業(yè)的危害(1)靜電吸附。在半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件制造過程廣泛采用Si02及高分子物質(zhì)的材料,由于它們的高絕緣性,在生產(chǎn)過程中易積聚很高的靜電,并易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體介面擊穿、失效。為了防止危害,半導(dǎo)體和半導(dǎo)體器件的制造必須在潔凈室內(nèi)進(jìn)行。同時(shí)潔凈室的墻壁、天花板、地板和操作人員及一切工具、器具均應(yīng)采取防靜電措施。 (2)靜電擊穿和軟擊穿。靜電放電對(duì)靜電敏感器件的損害主要表現(xiàn):靜電擊穿和軟擊穿。靜電放電對(duì)靜電敏感器件的損害主要表現(xiàn):硬擊穿,造成整個(gè)器件的失效和損壞;軟擊穿,造成器件的局部損傷,硬擊穿,造成整個(gè)器件的失效和損壞;軟擊穿,造成器件的局部損
18、傷,降低了器件的技術(shù)性能,而留下不易被人們發(fā)現(xiàn)的隱患以致設(shè)備不能降低了器件的技術(shù)性能,而留下不易被人們發(fā)現(xiàn)的隱患以致設(shè)備不能正常工作。靜電導(dǎo)致器件失效的機(jī)理大致有下面兩個(gè)原因:因靜電電正常工作。靜電導(dǎo)致器件失效的機(jī)理大致有下面兩個(gè)原因:因靜電電壓而造成的損害,主要有介質(zhì)擊穿、表面擊穿和氣弧放電;因靜電功壓而造成的損害,主要有介質(zhì)擊穿、表面擊穿和氣弧放電;因靜電功率而造成的損害,主要有熱二次擊穿、體積擊穿和金屬噴鍍?nèi)廴?。率而造成的損害,主要有熱二次擊穿、體積擊穿和金屬噴鍍?nèi)廴凇?現(xiàn)以現(xiàn)以MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管場(chǎng)效應(yīng)晶體管(MOSFET)為例,為例,MOS場(chǎng)效應(yīng)管的鋁柵覆蓋場(chǎng)效應(yīng)管的鋁柵覆蓋在在Si0
19、2膜上,并蓋住整個(gè)溝道,由于硅氧化膜絕緣性能好,使器件的膜上,并蓋住整個(gè)溝道,由于硅氧化膜絕緣性能好,使器件的輸入阻抗高達(dá)輸入阻抗高達(dá)1012以上,當(dāng)鋁柵上出現(xiàn)靜電荷時(shí),二氧化硅薄膜的以上,當(dāng)鋁柵上出現(xiàn)靜電荷時(shí),二氧化硅薄膜的高阻抗使其無從泄漏,于是就積聚在鋁柵上。此時(shí)鋁柵和高阻抗使其無從泄漏,于是就積聚在鋁柵上。此時(shí)鋁柵和Si02膜以及膜以及半導(dǎo)體溝三者相當(dāng)于一個(gè)平板電容器,且二氧化硅的厚度僅有半導(dǎo)體溝三者相當(dāng)于一個(gè)平板電容器,且二氧化硅的厚度僅有103,其耐壓值僅為其耐壓值僅為80100V,而場(chǎng)效應(yīng)管輸入電容值只有,而場(chǎng)效應(yīng)管輸入電容值只有3pF,即使是,即使是微量的電荷也會(huì)使電壓升高,當(dāng)
20、電壓超過微量的電荷也會(huì)使電壓升高,當(dāng)電壓超過100V時(shí),會(huì)導(dǎo)致時(shí),會(huì)導(dǎo)致Si02膜被擊膜被擊穿,致使柵溝相通,器件受損。穿,致使柵溝相通,器件受損。在生產(chǎn)中,人們又常把對(duì)靜電在生產(chǎn)中,人們又常把對(duì)靜電反應(yīng)敏感的電子器件稱為靜電敏感器件反應(yīng)敏感的電子器件稱為靜電敏感器件(Static Sensitive Device,SSD)。這類電子器件主要是指超大規(guī)模集成電路。這類電子器件主要是指超大規(guī)模集成電路,特別是金屬氧化膜特別是金屬氧化膜半導(dǎo)體半導(dǎo)體(MOS)器件。器件。靜電防護(hù)1.靜電防護(hù)原理靜電防護(hù)原理在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中,對(duì)在電子產(chǎn)品生產(chǎn)過程中,對(duì)SSD進(jìn)行靜電防護(hù)的基本思想進(jìn)行靜電防護(hù)的基本
21、思想有兩個(gè):一是對(duì)可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電的積聚,有兩個(gè):一是對(duì)可能產(chǎn)生靜電的地方要防止靜電的積聚,即采取一定的措施,減少高壓靜電放電帶來的危害,使之即采取一定的措施,減少高壓靜電放電帶來的危害,使之邊產(chǎn)生邊邊產(chǎn)生邊“泄放泄放”,以消除靜電的積聚,并控制在一個(gè)安全,以消除靜電的積聚,并控制在一個(gè)安全范圍之內(nèi);二是對(duì)已存在的靜電荷積聚的靜電源采取措施范圍之內(nèi);二是對(duì)已存在的靜電荷積聚的靜電源采取措施,使之迅速地消散掉,即時(shí)使之迅速地消散掉,即時(shí)“泄放泄放”。因此,電子產(chǎn)品生產(chǎn)中的靜電防護(hù)的核心是因此,電子產(chǎn)品生產(chǎn)中的靜電防護(hù)的核心是“靜電消除靜電消除”。當(dāng)然這里的消除并非指當(dāng)然這里的消除并非
22、指“一點(diǎn)不存在一點(diǎn)不存在”,而是控制在最小限,而是控制在最小限度之內(nèi)。度之內(nèi)。2.靜電防護(hù)方法靜電防護(hù)方法(1)靜電防護(hù)中所使用的材料。對(duì)于靜電防護(hù),原則上靜電防護(hù)中所使用的材料。對(duì)于靜電防護(hù),原則上不使用金屬導(dǎo)體,因?qū)w漏放電流大,會(huì)造成器件的損不使用金屬導(dǎo)體,因?qū)w漏放電流大,會(huì)造成器件的損壞,而是采用表面電阻壞,而是采用表面電阻ll05以下的所謂靜電導(dǎo)體,以及以下的所謂靜電導(dǎo)體,以及表面電阻為表面電阻為1105ll08的靜電亞導(dǎo)體。例如在橡膠中的靜電亞導(dǎo)體。例如在橡膠中混入導(dǎo)電碳黑后,其表面電阻可控制在混入導(dǎo)電碳黑后,其表面電阻可控制在1106以下,即以下,即為常用的靜電防護(hù)材料。為常用
23、的靜電防護(hù)材料。 (2)泄漏與接地。對(duì)可能產(chǎn)生或已經(jīng)產(chǎn)生靜電的部位,應(yīng)提供通泄漏與接地。對(duì)可能產(chǎn)生或已經(jīng)產(chǎn)生靜電的部位,應(yīng)提供通道,使靜電即時(shí)泄放,即通常所說的接地。通常防靜電工程中,均需道,使靜電即時(shí)泄放,即通常所說的接地。通常防靜電工程中,均需獨(dú)立建立獨(dú)立建立“地線地線”工程,并保證工程,并保證“地線地線”與大地之間的電阻小于與大地之間的電阻小于10。 靜電防護(hù)材料接地的方法是:將靜電防護(hù)材料如防靜電桌面臺(tái)靜電防護(hù)材料接地的方法是:將靜電防護(hù)材料如防靜電桌面臺(tái)墊、地墊,通過墊、地墊,通過1M的電阻連接到通向地線的導(dǎo)體上,詳情見的電阻連接到通向地線的導(dǎo)體上,詳情見SJT106301995電子
24、元器件制造防靜電技術(shù)要求。電子元器件制造防靜電技術(shù)要求。 IPC-A-6100標(biāo)準(zhǔn)中推薦的防靜電工作臺(tái)接地方法如圖所示。標(biāo)準(zhǔn)中推薦的防靜電工作臺(tái)接地方法如圖所示。 通過串接通過串接1M電阻的接法是確保對(duì)地泄放電流小于電阻的接法是確保對(duì)地泄放電流小于5mA,通常,通常又稱軟接地,而對(duì)設(shè)備外殼,靜電屏蔽罩通常是直接接地,則稱為硬又稱軟接地,而對(duì)設(shè)備外殼,靜電屏蔽罩通常是直接接地,則稱為硬接地。接地。3.導(dǎo)體帶靜電的消除 導(dǎo)體上的靜電可以用接地的方法使其泄漏到大地,一般要求在1s內(nèi)將靜電泄漏至電壓降至100V以下的安全區(qū),這樣可以防止因泄漏時(shí)間過短,泄漏電流過大對(duì)SSD造成損壞。所以在靜電防護(hù)系統(tǒng)中
25、通常有1M的限流電阻,將泄放電流控制在5mA以下。這也是為操作者的安全而設(shè)計(jì)的。如果操作人員在靜電防護(hù)系統(tǒng)中不注意觸及到220V的工業(yè)電壓也不會(huì)帶來危險(xiǎn)。 4.非導(dǎo)體帶靜電的消除 對(duì)于絕緣體上的靜電,由于電荷不能在絕緣體上流動(dòng),故不能用接地的方法排除其靜電荷,而只能用下列方法來控制。 (1)使用離子風(fēng)機(jī)。離子風(fēng)機(jī)可以產(chǎn)生正、負(fù)離子以中和靜電源的靜電。用于那些無法通過接地來泄放靜電的場(chǎng)所,如空間,貼片機(jī)頭附近,使用離子風(fēng)機(jī)排除靜電通常有良好的防靜電效果,如圖所示。 (2)使用靜電消除劑。靜電消除劑是各種表面活性劑,通過洗擦使用靜電消除劑。靜電消除劑是各種表面活性劑,通過洗擦的方法,可以去掉一些物
26、體表面的靜電,如儀表表面。當(dāng)采用靜電消的方法,可以去掉一些物體表面的靜電,如儀表表面。當(dāng)采用靜電消除劑的水溶液擦洗后能快速地消除儀表表面的靜電。除劑的水溶液擦洗后能快速地消除儀表表面的靜電。 (3)控制環(huán)境濕度。濕度的增加可以使非導(dǎo)體材料的表面電導(dǎo)率增控制環(huán)境濕度。濕度的增加可以使非導(dǎo)體材料的表面電導(dǎo)率增加,故物體不易積聚靜電。在有靜電的危險(xiǎn)場(chǎng)所,在工藝條件許可加,故物體不易積聚靜電。在有靜電的危險(xiǎn)場(chǎng)所,在工藝條件許可時(shí),可以安裝增濕機(jī)來調(diào)節(jié)環(huán)境的濕度,如在北方的工廠,由于環(huán)境濕時(shí),可以安裝增濕機(jī)來調(diào)節(jié)環(huán)境的濕度,如在北方的工廠,由于環(huán)境濕度低容易產(chǎn)生靜電,采用增濕的方法可以降低靜電產(chǎn)生的可能
27、,這種度低容易產(chǎn)生靜電,采用增濕的方法可以降低靜電產(chǎn)生的可能,這種方法效果明顯而且價(jià)格低廉。方法效果明顯而且價(jià)格低廉。 (4)采用靜電屏蔽。靜電屏蔽是針對(duì)易散發(fā)靜電的設(shè)備、部件、儀器采用靜電屏蔽。靜電屏蔽是針對(duì)易散發(fā)靜電的設(shè)備、部件、儀器而采取的屏蔽措施。通過屏蔽罩或屏蔽籠將靜電源與外界隔離,并將而采取的屏蔽措施。通過屏蔽罩或屏蔽籠將靜電源與外界隔離,并將屏蔽罩或屏蔽籠有效地接地。屏蔽罩或屏蔽籠有效地接地。1.人體靜電防護(hù)系統(tǒng)人體靜電防護(hù)系統(tǒng),包括防靜電的腕帶、工作服、鞋襪、帽、手套等,這種整體的防護(hù)系統(tǒng)兼具靜電泄漏與屏蔽功能,如圖所示。有關(guān)它們的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)與使用要求詳見SJ/T 10694-1996電子產(chǎn)品制造防靜電系統(tǒng)測(cè)試方法,所有的防靜電用品通常應(yīng)在專業(yè)工廠或商店購(gòu)買。2.防靜電地坪防靜電地坪是為了有效將人體靜電通過地面盡快地泄放于大地,同時(shí)也能泄放設(shè)備、工裝上的靜電以及因移動(dòng)操作而不宜使用腕帶的人體靜電。地面防靜電性參數(shù)的確定是既要保證在較短的時(shí)間內(nèi)將靜電電壓降至100V以下,又要保證人員的安全,系統(tǒng)電阻應(yīng)控制在105108之間。3.防靜電操作系統(tǒng)
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