熱場包裹、安裝、清掃

1、1熱場包裹熱場包裹、清掃清掃、安裝、安裝、爐臺清掃爐臺清掃技術一部技術一部2熱場的包裹熱場的包裹l熱場包裹前的準備l平鋪碳氈l上、中、下保溫筒包裹l切割石墨碳氈l接口處的處理l綁定石墨碳氈l挖測溫孔和排氣孔l平整石墨碳氈l上部、下部保溫用石墨碳氈l清掃石墨碳氈l工具歸位3熱場包裹前的準備熱場包裹前的準備l工具：直尺，鋼卷尺，克絲鉗，刀具，鉬絲，吸塵刷、模具，不銹鋼小車l人員佩戴： 潔凈工作服、潔凈鞋、一次性潔凈手套、袖套、防塵口罩4平鋪碳氈平鋪碳氈l將PVC板平鋪在地板上，用吸塵刷將表面清理干凈，再將石墨碳氈打開鋪在PVC板上5上、中、下保溫筒包裹上、中、下保溫筒包裹l用鋼卷尺測量石墨件的高度

2、h（決定碳氈的寬度）和外徑d，并根據(jù)外徑計算石墨碳氈的總長Ll上中下保溫筒碳氈厚度分別為65mm/75mm/65mm（厚度為10mm碳氈層數(shù)分別為6,7,6)6切割石墨碳氈切割石墨碳氈l再根據(jù)測量的數(shù)據(jù)，用鋼卷尺和直尺切割石墨碳氈l切割寬度一致，誤差5mm7接口處的處理接口處的處理l接口處一定要超出接口2-3cml切割接口處要用剛尺豎直接觸碳氈，用刀具沿鋼尺豎直劃下8綁定石墨碳氈綁定石墨碳氈l用克絲鉗和鉬絲將裹好的碳氈捆扎，定型l每隔20cm捆扎一次9挖測溫孔和排氣孔挖測溫孔和排氣孔l用刀具將中保溫筒測溫孔及下保溫筒排氣孔對應的碳氈切除l測溫孔孔徑40mm5mm，排氣孔處碳氈內徑為85mm-9

3、0mm10平整石墨碳氈平整石墨碳氈l檢查碳氈上下沿是否齊平，多余部分用刀具逐層切割，要求上下沿切割面水平l碳氈與保溫桶開槽處齊平，保溫筒卡口到位且碳氈間不留縫隙11上部、下部保溫用石墨碳氈上部、下部保溫用石墨碳氈l用切割碳氈的模具分別將上下保溫蓋間碳氈，上下壓片間碳氈，爐底碳氈，導流筒內碳氈切割完整l層數(shù)分別為2，2，6，112清掃石墨碳氈清掃石墨碳氈l用吸塵刷將包裹好的上中下保溫筒碳氈及切割好的保溫碳氈表面清理干凈，再有序放置在不銹鋼小車上l碳氈表面整齊，無附著物13工具歸位工具歸位l工具，模具等放回指定位置，清理好現(xiàn)場及周圍環(huán)境l工具歸位，垃圾入桶14熱場清掃l清洗臺清理l打磨石墨件附著物

4、l清理石墨件浮塵l石墨件放回小車l整理工具，清理周邊衛(wèi)生l工具歸位，垃圾入桶15清洗臺清理l穿戴潔凈服，口罩，潔凈帽，耐高溫手套l打開清洗臺吸塵機開關，清理吸塵臺表面l吸塵機抽速正常，吸塵臺表面清潔16打磨石墨件附著物l依次將待清理的石墨件放到清洗臺上l緩慢放置制定小車或作業(yè)臺上，嚴禁出現(xiàn)石墨件撞擊現(xiàn)象17清理石墨件浮塵l用砂紙或鋼刷認真打磨石墨件表面的附著物l石墨坩堝、保溫筒及蓋板表面無硅料揮發(fā)物等附著物.18石墨件放回小車l依次用吸塵刷清洗各類石墨件及碳氈表面浮塵l表面無松散附著的氧化物19整理工具，清理周邊衛(wèi)生l清理完畢的石墨件放到潔凈不銹鋼小車上l依次放回指定位置20工具歸位，垃圾入桶

5、l工具放回指定位置，清洗好清洗臺及周圍環(huán)境l工具指定區(qū)域放置，垃圾入桶21熱場的安裝n工具的準備n熱場移至爐臺邊n安裝爐底碳氈，壓片，保溫桶，電極，護套n裝石墨紙、對排氣孔n安裝加熱器n安裝中保溫桶n降爐筒n校對測溫孔n安裝電熱錐n安裝上保溫桶n安裝托桿n安裝堝托，三瓣堝n檢查堝轉、堝升降及對中22工具的準備n吸塵刷、無塵紙、吸塵管，不銹鋼小車、力矩扳手，手電筒，石墨紙，直角尺、工作服,耐高溫手套、帆布手套，防塵口罩、酒精23熱場移至爐臺邊n用不銹鋼小車將清理完畢的石墨大件平穩(wěn)移到單晶爐左側邊n平行爐臺距離50cm24安裝爐底碳氈，壓片，保溫桶，電極，護套n依次裝好石墨電極爐底碳氈爐底壓片下保

6、溫罩兩側排氣管爐底上壓片下碳氈爐底上壓片堝桿護套電極護套石英護套。n嚴格按次序25裝石墨紙、對排氣孔n石墨電極上下接觸面放置一層石墨紙n檢查接觸面是否平整，防止打火n裝入下保溫筒，再將排氣管與下爐筒兩邊排氣孔對正（可用手電筒進行照射查看）n保溫筒卡口到位，排氣管入槽26安裝加熱器n將清理后的加熱器裝好，擰上石墨螺絲n石墨螺絲松緊適度，防止引起打火n因個人力度不同，擰兩電極腳的螺絲要由一人來操作27安裝中保溫桶n將清理后的中保溫筒裝好，卡口到位。并校正與加熱器的間距，要均勻一致n測量四周間距差值2mm28降爐筒n打開液壓泵，升起爐筒至上限，清洗下爐筒上下的結合部，同時轉動爐筒到適當位置。n爐筒定

7、位環(huán)與導柱同軸29校對測溫孔n下降爐筒降到位后，校對測溫孔，對測溫孔正視，應看不到碳氈為準。n前后爐次歐陸數(shù)值在同一工序不得相差200點30安裝電熱錐n安裝熱電錐，將其及對應的密封、玻璃、四氟墊圈按原次序裝好n熱電錐螺絲松緊適度，連接線接觸良好，歐陸信號正常31安裝上保溫桶n將清理后的上保溫罩裝好，并卡口接到位n四周入槽，測量蓋距為190mm-205mm32安裝托桿n用專用工具裝好堝桿。要擰緊堝桿螺絲n檢查托桿不晃動33安裝堝托，三瓣堝n依次裝好堝托、三瓣堝n確認堝桿、堝底、三瓣堝是否吻合34檢查堝轉、堝升降及對中n打開并檢查堝轉及堝快速升降n顯示值與實際值一致，無卡滯現(xiàn)象n裝好后要打開堝轉旋

8、轉一下，檢驗三瓣堝與加熱器間距是否均勻n測量四周間距差值2mm35爐臺的清掃v作業(yè)準備作業(yè)準備vA真空過濾器清洗真空過濾器清洗vB真空泵油檢查更換真空泵油檢查更換vC副室的清理副室的清理vD小副室的清洗小副室的清洗vE E 爐蓋清洗爐蓋清洗vF爐筒清爐筒清vG G抽氣管道清洗抽氣管道清洗36作業(yè)準備作業(yè)準備v必必須穿戴好潔凈工作服、鞋。須穿戴好潔凈工作服、鞋。v準備好無塵手套、耐高溫手套、毛巾、無塵紙、準備好無塵手套、耐高溫手套、毛巾、無塵紙、研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。研磨布、酒精、吸塵刷、吸塵管、防塵口罩。v用毛巾將爐體從上到下一遍，擦洗時注意不要用毛巾將爐體從上到下一遍，擦洗

9、時注意不要觸碰所有控制接線及開關，并把爐子周圍清掃觸碰所有控制接線及開關，并把爐子周圍清掃干凈。干凈。37A真空過濾器清洗真空過濾器清洗v1.準備好吸塵刷、吸塵管、酒準備好吸塵刷、吸塵管、酒精、紙巾、扳手，帶好手套、精、紙巾、扳手，帶好手套、防塵口罩。防塵口罩。v2.用扳手打開真空過濾器蓋螺用扳手打開真空過濾器蓋螺絲。絲。v3.用吸塵刷仔細清洗過濾器內用吸塵刷仔細清洗過濾器內壁的揮發(fā)物。壁的揮發(fā)物。v4.用吸塵刷清洗過濾器蓋，用用吸塵刷清洗過濾器蓋，用沾酒精的紙巾擦凈密封圈，并沾酒精的紙巾擦凈密封圈，并檢查密封圈是否完好就位，防檢查密封圈是否完好就位，防止影響抽空。止影響抽空。v5.蓋好過濾器

10、蓋并用扳手上好蓋好過濾器蓋并用扳手上好過濾器蓋螺絲。過濾器蓋螺絲。38B真空泵油檢查更換真空泵油檢查更換v1.確認關閉主泵球閥和真空泵，在放油單晶確認關閉主泵球閥和真空泵，在放油單晶爐上掛檢修牌，打開上下腔放油開關，將油爐上掛檢修牌，打開上下腔放油開關，將油有放油口放入廢油桶，放完油后關閉上下腔有放油口放入廢油桶，放完油后關閉上下腔放油閥，廢油倒入指定油桶。放油閥，廢油倒入指定油桶。v2.清洗真空泵（每清洗真空泵（每5爐清洗一次），用扳手打爐清洗一次），用扳手打開真空泵側蓋，用毛巾徹底清理真空泵腔、開真空泵側蓋，用毛巾徹底清理真空泵腔、側蓋和下腔濾油網(wǎng)的油污，清洗完畢后，安側蓋和下腔濾油網(wǎng)的油

11、污，清洗完畢后，安裝好濾網(wǎng)，檢查密封圈，安裝好側蓋。裝好濾網(wǎng)，檢查密封圈，安裝好側蓋。v3. 將真空泵油注入真空泵注油孔，油位觀察將真空泵油注入真空泵注油孔，油位觀察窗窗1/2位置，停止注油，打開泵側的油路管道位置，停止注油，打開泵側的油路管道閥門向下腔放油，關閉油口。閥門向下腔放油，關閉油口。v4.啟動真空泵工作啟動真空泵工作5min后關閉泵側的油路管后關閉泵側的油路管道閥門，確認油位處于觀察窗道閥門，確認油位處于觀察窗1/3-1/2位置，位置，關閉真空泵，在單晶爐上移去檢修牌。油位關閉真空泵，在單晶爐上移去檢修牌。油位若低于下限重復若低于下限重復3，4操作。操作。v5.真空泵與電磁閥連接的

12、彎頭要在換油之前真空泵與電磁閥連接的彎頭要在換油之前清理并安裝完好。清理并安裝完好。39C副室的清理副室的清理v1.準備好清洗棒、紙巾、酒精。準備好清洗棒、紙巾、酒精。v2.在清洗棒上纏上沾有酒精的在清洗棒上纏上沾有酒精的無塵紙，清洗付室內部至上部，無塵紙，清洗付室內部至上部，直至確認無污物。直至確認無污物。 v3.快速降下籽晶夾頭，用沾有快速降下籽晶夾頭，用沾有酒精的無塵紙認真擦洗重錘，酒精的無塵紙認真擦洗重錘，夾具及鉬夾頭。必要時要將重夾具及鉬夾頭。必要時要將重錘摘下用研磨布認真打磨，并錘摘下用研磨布認真打磨，并清洗干凈。摘下重錘時，防止清洗干凈。摘下重錘時，防止鋼絲繩上彈出槽。鋼絲繩上彈

13、出槽。v4.清洗鋼絲繩時要檢查其接頭清洗鋼絲繩時要檢查其接頭部位是否老化或損壞，若有應部位是否老化或損壞，若有應截去一截鋼絲繩，防止在拉晶截去一截鋼絲繩，防止在拉晶過程中鋼絲繩斷裂。清洗升重過程中鋼絲繩斷裂。清洗升重錘時，防止重錘晃動導致重錘錘時，防止重錘晃動導致重錘掛住付室下沿，拉斷鋼絲繩。掛住付室下沿，拉斷鋼絲繩。40D小副室的清洗小副室的清洗v1.打開付室小門，用沾有酒精打開付室小門，用沾有酒精的無塵紙擦洗小付室內的附著的無塵紙擦洗小付室內的附著物。揮發(fā)物附著較多時，先用物。揮發(fā)物附著較多時，先用吸塵刷處理。吸塵刷處理。v2.用沾有酒精的無塵紙認真擦用沾有酒精的無塵紙認真擦洗付室抽氣口、

14、其它小孔及翻洗付室抽氣口、其它小孔及翻板閥四周及轉軸。翻板閥的溝板閥四周及轉軸。翻板閥的溝槽部位及焊縫處先用無塵紙卷槽部位及焊縫處先用無塵紙卷成筒狀再認真擦洗。成筒狀再認真擦洗。v3.清洗過的小付室將翻板閥蓋清洗過的小付室將翻板閥蓋住閥口，并關閉付室小門。住閥口，并關閉付室小門。v4.用潔凈的無塵紙將小付室上用潔凈的無塵紙將小付室上口蓋住?？谏w住。41E E 爐蓋清洗爐蓋清洗va. a. 爐蓋清洗爐蓋清洗v1. 1. 先用無塵紙擦洗內壁先用無塵紙擦洗內壁(氧化物過多先用吸塵刷清理氧化物過多先用吸塵刷清理)。 v2. 2. 小孔部位、觀察窗部位、伊爾根部位、閥口部位等各小孔部位、觀察窗部位、伊爾

15、根部位、閥口部位等各處的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的無塵紙認真擦洗處的接口及焊接口等部位要用沾有酒精的無塵紙認真擦洗至確認無污物。至確認無污物。 v3. 3. 爐蓋內壁揮發(fā)物要用研磨布認真研磨直至內壁出現(xiàn)光爐蓋內壁揮發(fā)物要用研磨布認真研磨直至內壁出現(xiàn)光亮無污物。亮無污物。v4.4.觀察窗、伊爾根窗口要認真清理，所有小孔的位置要把觀察窗、伊爾根窗口要認真清理，所有小孔的位置要把紙巾卷成卷清理直至沒有污物。紙巾卷成卷清理直至沒有污物。b b42F爐筒清洗爐筒清洗1.先用無塵紙擦洗內壁先用無塵紙擦洗內壁(氧化物過多先用吸塵刷清理氧化物過多先用吸塵刷清理)。2.中爐筒取光孔部位要用沾有酒精的無塵紙認真擦洗。中爐筒取光孔部位要用沾有酒精的無塵紙認真擦洗。 3.下爐筒兩邊排氣孔，堝桿入口及銅電極處附著氧化物要用研磨下爐筒兩邊排氣孔，堝桿入口及銅電極處附著氧化物要用研磨布認真研磨，直至光亮無污物。布認真研磨，直至光亮無污物。3.中爐筒，下爐筒內壁存在揮發(fā)物要用研磨布認真研磨直至爐筒中爐筒，下爐筒內壁存在揮發(fā)物要用研磨布認真研磨直至爐筒整個內壁出現(xiàn)光亮無污物。整個內壁出現(xiàn)光亮無污物。4