真空技術(shù)基礎(chǔ)

1、會(huì)計(jì)學(xué)1真空技術(shù)基礎(chǔ)真空技術(shù)基礎(chǔ)1真空的介紹真空的介紹2真空的獲得真空的獲得3真空的測(cè)量真空的測(cè)量目錄2“真空”這一術(shù)語譯自拉丁文Vacuo，其意義是虛無。真空應(yīng)理解為氣體較稀薄的空間。在指定的空間內(nèi)，低于一個(gè)大氣壓力的氣體狀態(tài)統(tǒng)稱為真空。自然真空：宇宙空間所自然存在的人為真空：人類利用真空泵抽取所獲得的絕對(duì)真空：完全沒有氣體的空間狀態(tài)相對(duì)真空：氣體稀薄，分子數(shù)較少的狀態(tài)真空狀態(tài)下氣體稀薄程度稱為真空度，通常用壓力值表示。3456蓋德 發(fā)明的機(jī)械泵蓋德發(fā)明的分子泵7現(xiàn)代的有擴(kuò)散泵8 今天的真空技術(shù)：105pa 10-13pa910760 mm HgVacuumATM1112單位單位帕帕/Pa托

2、托/Torr毫巴毫巴/mbar標(biāo)準(zhǔn)大氣壓標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1Pa17.510-3 1 10-2 9.87 10-6 1Torr133.311.3331.316 10-3 1mba1000.7519.87 10-4 1atm1.013 1057601.013 103 1l真空（壓強(qiáng)）單位l 真空度和壓強(qiáng)壓強(qiáng)越低，真空度越高；壓強(qiáng)越高，真空度越低。壓強(qiáng)越低，真空度越高；壓強(qiáng)越高，真空度越低。國(guó)際單位：帕斯卡（Pascal） Pa常用單位：托（Torr） 毫米汞柱（mmHg） 巴（bar） 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓（atm） 氣流種類真空狀態(tài)真空壓力特性分析應(yīng)用范圍黏滯流(Viscous flow)初真空： 10 Pa1

3、05 Pa10 Pa105 Pa氣體分子間因黏滯力作用，氣體運(yùn)動(dòng)有方向性，此方向與抽氣方向相同 工業(yè)應(yīng)用（包裝）過渡流(Transition flow)中真空： 10-2 Pa10 Pa10-2 Pa10 Pa真空度在10-6Torr以內(nèi)時(shí)，水汽占70%-90%CVD沉積技術(shù)分子流(Molecular flow)高真空：10-2 Pa10-6 Pa 氣體分子跟管壁間碰撞教分子間碰撞多。氣體分子間隨意運(yùn)動(dòng)方向。 濺射沉積技術(shù)超高真空：10-6Pa10-10Pa原子表面和界面分析極高真空： 10-10Pa 10-9 Pa 月球大氣壓強(qiáng) ，10-15Pa 星際空間壓強(qiáng)13研究。這是一項(xiàng)重大的技術(shù)突破

4、，它導(dǎo)致了近二十年來新興表面科學(xué)研究的蓬勃發(fā)展。無論在表面結(jié)構(gòu)、表面組分及表面能態(tài)等基本研方面，還是在催化，腐蝕等應(yīng)用研究都取得了發(fā)展。14氣體吸附就是固體表面捕獲氣體分子的現(xiàn)象，吸附分為物理吸附和化學(xué)吸附物理吸附和化學(xué)吸附。物理吸附?jīng)]有選擇性，任何氣體在固體表面均可發(fā)生，主要靠分子間的相互吸引力引起的。物理吸附的氣體容易發(fā)生脫附，而且這種吸附只在低溫下有效；化學(xué)吸附則發(fā)生在較高的溫度下，與化學(xué)反應(yīng)相似，氣體不易脫附，但只有當(dāng)氣體和固體表面原子接觸生成化合物時(shí)才能產(chǎn)生吸附作用。固體對(duì)氣體的吸附及氣體的脫附固體對(duì)氣體的吸附及氣體的脫附15固體對(duì)氣體的吸附及氣體的脫附固體對(duì)氣體的吸附及氣體的脫附氣

5、體的脫附氣體的脫附是氣體吸附的逆過程。通常把吸附在固體表面的氣體分子從固體表面被釋放出來的過程叫做氣體的脫附。一般地，影響氣體在固體表面吸附和脫附的主要因素是氣體的壓強(qiáng)、固體的溫度、固體表面吸附的氣體密度以及固體本身的性質(zhì)，如表面光潔程度、清潔度等。當(dāng)固體表面溫度較高時(shí)，氣體分子容易發(fā)生脫附，對(duì)真空室的適當(dāng)烘烤有利于真空的獲得就是利用這個(gè)道理。16固體對(duì)氣體的吸附及氣體的脫附固體對(duì)氣體的吸附及氣體的脫附在一些有電離現(xiàn)象的真空泵和真空計(jì)中，都不同程度的存在電吸收作用和化學(xué)清除作用，這兩個(gè)因素也將加速固體對(duì)氣體的吸附。其中電吸收是指氣體分子經(jīng)電離后形成正離子，正離子具有比中性氣體分子更強(qiáng)的化學(xué)活潑

6、性，因此常常和固體分子形成物理或化學(xué)吸附；化學(xué)清除現(xiàn)象常在活潑金屬（如鋇、鈦等）固體材料的真空蒸發(fā)時(shí)出現(xiàn)，這些蒸發(fā)的固體材料將與非惰性氣體分子生成化合物，從而產(chǎn)生化學(xué)吸附。17主要的吸附劑主要的吸附劑主要的吸附劑主要的吸附劑主要的吸附劑主要的吸附劑主要的吸附劑主要的吸附劑真空的獲得23泵1泵2真空室真空室泵1泵2并聯(lián)可以提高抽速 串聯(lián)可以提高極限真空度2425大氣狀態(tài)大氣狀態(tài)所需真空度所需真空度真空泵：真空泵：具有抽氣功能的設(shè)備具有抽氣功能的設(shè)備復(fù)合真空泵：復(fù)合真空泵：前級(jí)泵次級(jí)泵前級(jí)泵次級(jí)泵真空泵的分類真空泵的分類（1 1）輸運(yùn)式真空泵：以壓縮方式將氣體輸送到系統(tǒng)之外。 a、機(jī)械式氣體輸運(yùn)泵

7、：旋片式機(jī)械真空泵、羅茨泵、 渦輪分子泵。 b、氣流式氣體輸運(yùn)泵：油擴(kuò)散泵。（2）捕獲式真空泵：依靠凝結(jié)或吸附氣體分子的方式將氣體捕獲， 并排出系統(tǒng)之外。如低溫吸附泵、濺射離子泵。真空泵簡(jiǎn)介旋轉(zhuǎn)葉片真空泵(機(jī)械泵)工作原理： 凡是利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)（轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng)）以獲得真空的泵，就稱為機(jī)械泵機(jī)械泵。它是一種可以從大氣壓開始工作的典型的真空泵，既可以單獨(dú)使用，又可作為高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。由于這種泵是用油來進(jìn)行密封的，所以又屬于有有油類型的真空泵油類型的真空泵。這類機(jī)械泵常見的有旋片式、定片式和滑閥式（又稱柱塞式）幾種，其中以旋片式機(jī)械泵最為常見。 極限真空：?jiǎn)渭?jí)為2010-3 Torr； 兩級(jí)

8、串聯(lián)能低于110-3 Torr26 旋片式真空泵是用油來保持各運(yùn)動(dòng)部件之間的密封，并靠機(jī)械的辦法，使該密封空間的容積周期性地增大，即抽氣；縮小，即排氣，從而達(dá)到連續(xù)抽氣和排氣的目的。右圖是單級(jí)旋片泵的結(jié)構(gòu)圖，泵體主要由定子、轉(zhuǎn)子、旋片、進(jìn)氣管和排氣管等組成。定子兩端被密封形成一個(gè)密封的泵腔。泵腔內(nèi)，偏心地裝有轉(zhuǎn)子，實(shí)際相當(dāng)于兩個(gè)內(nèi)切圓。沿轉(zhuǎn)子的軸線開一個(gè)通槽，槽內(nèi)裝有兩塊旋片，旋片中間用彈簧相連，彈簧使轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)旋片始終沿定子內(nèi)壁滑動(dòng)。旋轉(zhuǎn)葉片真空泵旋轉(zhuǎn)葉片真空泵( (機(jī)械泵機(jī)械泵) )2728機(jī)械泵的結(jié)構(gòu)29 泵體內(nèi)兩個(gè)呈8字型的轉(zhuǎn)子以相反的方向旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子的咬合精度很高，且轉(zhuǎn)子間，轉(zhuǎn)子與泵體

9、間無需油作密封，轉(zhuǎn)速高，抽速快。羅茨（羅茨（Roots)Roots)真空泵真空泵( (無油泵無油泵) )工作原理：（a）進(jìn)氣 （b）隔離 （c）壓縮（d）排氣303132渦輪分子泵渦輪分子泵（Turbo pumb）工作原理： 靠機(jī)械運(yùn)動(dòng)對(duì)氣體分子施加作用，并使氣體分子向特定方向運(yùn)動(dòng)的原理來工作的。渦輪分子泵的轉(zhuǎn)子葉片具有特定的形狀，以20000-35000轉(zhuǎn)/分的高速旋轉(zhuǎn)，將動(dòng)量傳給氣體分子，多級(jí)葉片的連續(xù)壓縮保證了分子泵的高效快速的工作。33Turbo Pump 工作原理圖3435復(fù)合分子泵復(fù)合分子泵 分子泵是旋片式機(jī)械真空泵的一大發(fā)展。同機(jī)械泵一樣，分子泵也屬于氣體傳輸泵，但是它是一種無油

10、類泵，可以與前級(jí)泵構(gòu)成組合裝置，從而獲得超高真空。目前，可把分子泵分為牽引泵（阻壓泵）、渦輪分子泵和復(fù)合分子泵三大類。其中，牽引泵在結(jié)構(gòu)上更為簡(jiǎn)單，轉(zhuǎn)速較小，但壓縮比大；渦輪式分子泵又可以分成“敞開”葉片型和重疊葉片型。前者轉(zhuǎn)速高，抽速也較大，后者則恰好相反。復(fù)合型分子泵將渦輪分子泵抽氣能力高的優(yōu)點(diǎn)和牽引分子泵壓縮比大的優(yōu)點(diǎn)結(jié)合在一起，利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子攜帶氣體分子而獲得超高真空。36復(fù)合分子泵復(fù)合分子泵冷泵（冷泵（CryopumpCryopump）l工作原理： 依靠氣體分子在低溫條件（20 K）下自發(fā)凝結(jié)或被其它物質(zhì)表面吸附的性質(zhì)實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體分子的去除，進(jìn)而獲得高真空的裝置 。 真空度依賴于低

11、溫度，吸附物質(zhì)的表面積和吸附氣體的種類等。l優(yōu)點(diǎn)：無振動(dòng)，抽速快l廣泛用于受控核聚變，粒子加速器和現(xiàn)代半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域3738低溫泵是利用20K以下的低溫表面來凝聚氣體分子以實(shí)現(xiàn)抽氣的一種泵，是目前具有最高極限真空的抽氣泵。它主要用于大型真空系統(tǒng)，如高能物理、超導(dǎo)材料的制備、宇航空間模擬站等要求高清潔、無污染、大抽速、高真空和超高真空等場(chǎng)合。低溫泵又稱冷凝泵、深冷泵。按其工作原理又可分為低溫吸附泵、低溫冷凝泵、致冷機(jī)低溫泵。前兩種泵直接使用低溫液體（液氮、液氦等）來進(jìn)行冷卻的，成本較高，通常僅作為輔助抽氣手段；致冷機(jī)低溫泵是利用制冷機(jī)產(chǎn)生的深低溫來進(jìn)行抽氣的泵。l抽氣原理分成以下三個(gè)機(jī)構(gòu)：（1）

12、低溫冷凝（2）低溫吸附（3）低溫捕獲39第一級(jí)冷凝面第二級(jí)冷凝面40比較：工作方式類型抽氣類型工作原理極限真空優(yōu)點(diǎn)與使用缺點(diǎn)機(jī)械泵螺旋機(jī)械葉片泵氣體由特定空間內(nèi)除去并排除至大氣氣體壓縮或膨脹10-3 Pa結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，單獨(dú)使用或者作為前級(jí)泵。存在油污染及水蒸氣的問題。變?nèi)莘e式泵羅茨(Roots)泵無油真空系統(tǒng)，價(jià)格較貴，需要機(jī)械泵預(yù)抽真空；泵體與轉(zhuǎn)子發(fā)熱、膨脹，造成泵體損壞；當(dāng)氣體壓力低于10-1 Pa時(shí)，氣體回流造成抽速降低氣體動(dòng)力式渦輪分子泵分子牽引10-8 Pa 與旋片機(jī)械泵串聯(lián)使用，需要機(jī)械泵抽預(yù)真空(1Pa)；無油污染。價(jià)格昂貴。離子泵冷泵欲除之氣體不排除大氣，而是通過物理或化學(xué)的方式永

13、久或暫時(shí)吸附在系統(tǒng)中物理吸收作用10-8 Pa 需要機(jī)械泵抽預(yù)真空(10-1pa)；無油高真空，無振動(dòng)，抽速快。價(jià)格較貴；高溫時(shí)，被吸附的氣體又釋放出來。41真空真空計(jì)簡(jiǎn)計(jì)簡(jiǎn)介介定義： 真空氣壓計(jì)是測(cè)量真空度或氣壓的儀器簡(jiǎn)稱真空計(jì)（Vacuum gauges）又稱規(guī)。是依據(jù)各種物理原理來量測(cè)壓力或分子數(shù)目的多少。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。真空度依范圍區(qū)分依種工作原理區(qū)分粗略真空760 1Torr液體靜態(tài)真空計(jì)中度空1 10 Torr熱傳導(dǎo)式真空計(jì)皮拉尼(Pirani）高真空10 -3 107 Torr電容式真空計(jì)超高真空10-7 Torr以下離子化真空計(jì)4243真空測(cè)量是指用特定的儀器和裝置

14、，對(duì)某一特定空間內(nèi)真空測(cè)量是指用特定的儀器和裝置，對(duì)某一特定空間內(nèi)真空高低的測(cè)定。這種儀器或裝置稱為真空計(jì)（儀器、真空高低的測(cè)定。這種儀器或裝置稱為真空計(jì)（儀器、規(guī)管）。真空計(jì)的種類很多，通常按測(cè)量原理可分為絕規(guī)管）。真空計(jì)的種類很多，通常按測(cè)量原理可分為絕對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。凡通過測(cè)定物理參數(shù)直接獲得對(duì)真空計(jì)和相對(duì)真空計(jì)。凡通過測(cè)定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)均為絕對(duì)真空計(jì)，例如氣體壓強(qiáng)的真空計(jì)均為絕對(duì)真空計(jì)，例如U型壓力計(jì)、型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等，這類真空計(jì)所測(cè)量的物理參數(shù)與氣體壓縮式真空計(jì)等，這類真空計(jì)所測(cè)量的物理參數(shù)與氣體成分無關(guān)，測(cè)量比較準(zhǔn)確，但是在氣體壓強(qiáng)很低的情況成分無關(guān)

15、，測(cè)量比較準(zhǔn)確，但是在氣體壓強(qiáng)很低的情況下，直接進(jìn)行測(cè)量是極其困難的；而通過測(cè)量與壓強(qiáng)有下，直接進(jìn)行測(cè)量是極其困難的；而通過測(cè)量與壓強(qiáng)有關(guān)的物理量，并與絕對(duì)真空計(jì)比較后得到壓強(qiáng)值的真空關(guān)的物理量，并與絕對(duì)真空計(jì)比較后得到壓強(qiáng)值的真空計(jì)則稱為相對(duì)真空計(jì)，如放電真空計(jì)，熱傳導(dǎo)真空計(jì)，計(jì)則稱為相對(duì)真空計(jì)，如放電真空計(jì)，熱傳導(dǎo)真空計(jì)，電離真空計(jì)等，它的特點(diǎn)是測(cè)量的準(zhǔn)確度略差，而且和電離真空計(jì)等，它的特點(diǎn)是測(cè)量的準(zhǔn)確度略差，而且和氣體的種類有關(guān)。氣體的種類有關(guān)。l 真空測(cè)量元件常被稱為真空規(guī)，真空測(cè)量技術(shù)分為低真空和高真空測(cè)量；1、電離真空計(jì)2、電容壓力計(jì)3、熱偶真空規(guī)4、電阻真空計(jì)4、電離真空規(guī)44

16、水銀真空計(jì)直接測(cè)量真空度的量具，如U型計(jì)、壓縮真空計(jì)(麥克勞真空計(jì)) 。 壓縮型真空計(jì)測(cè)量范圍：103 10-3 PaU型計(jì)測(cè)量范圍：105 10 Pa4546電阻真空計(jì)電阻真空計(jì) 電阻真空計(jì)是熱傳導(dǎo)真空計(jì)的一種，它是利用測(cè)量真空中熱絲的溫度，從而間接獲得真空度的大小的。其原理是低壓強(qiáng)下氣體的熱傳導(dǎo)與壓強(qiáng)有關(guān)。47規(guī)管中的加熱燈絲是電阻溫度系數(shù)較大的鎢絲或鉑絲，熱絲電阻連接惠斯頓電橋，并作為電橋的一個(gè)臂。低壓強(qiáng)下加熱時(shí)，燈絲所產(chǎn)生的熱量Q可以表示為： Q = Q1 + Q2 （1-1）式中Q1是燈絲輻射的熱量，與燈絲的溫度有關(guān)；Q2是氣體分子碰撞燈絲而帶走的熱量，大小與氣體的壓強(qiáng)有關(guān)。當(dāng)熱絲溫

17、度恒定時(shí)，Q1是恒量，即熱絲輻射的熱量不變。在某一恒定的加熱熱絲電流條件下，當(dāng)真空系統(tǒng)的壓強(qiáng)降低，即空間中氣體的分子數(shù)減少時(shí)，Q2將隨之降低，此時(shí)燈絲所產(chǎn)生的熱量將相對(duì)增加，則燈絲的溫度上升，燈絲的電阻將增大，真空室的壓強(qiáng)和燈絲電阻之間的存在這樣的關(guān)系P R，所以可以利用測(cè)量燈絲的電阻值來間接地確定壓強(qiáng)。電阻真空計(jì)電阻真空計(jì)電容真空計(jì)l工作原理：通過薄膜在氣壓力差下產(chǎn)生機(jī)械位移，測(cè)量電極間電容對(duì)氣壓進(jìn)行絕對(duì)測(cè)量，測(cè)量結(jié)果與氣體種類無關(guān)。48電容真空計(jì)原理圖如圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會(huì)有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測(cè)量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變

18、化。 這種規(guī)的測(cè)量范圍一般橫跨4個(gè)量級(jí)，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。 49熱偶真空計(jì)熱偶真空計(jì)l熱偶規(guī)工作原理：氣體的熱導(dǎo)率隨氣體壓力變化，通過熱電偶測(cè)出熱絲的溫度，也就相應(yīng)的測(cè)出了環(huán)境的氣體壓強(qiáng)。l皮拉尼工作原理：通過測(cè)量熱絲的電阻隨溫度的變化實(shí)現(xiàn)對(duì)真空度的測(cè)量。5051熱偶真空計(jì)熱偶真空計(jì) 熱偶真空計(jì)的規(guī)管主要由加熱燈絲C與D（鉑絲）和用來測(cè)量熱絲溫度的熱電偶A與B（鉑銠或康銅-鎳鉻）組成。熱電偶熱端接熱絲，冷端接儀器中的毫伏計(jì)，從毫伏計(jì)中可以測(cè)出熱偶電動(dòng)勢(shì)。測(cè)量時(shí)，熱偶規(guī)管接入被測(cè)真空系統(tǒng)，熱絲通以恒定的電流，同電阻真空計(jì)不相同的是，此時(shí)燈絲所產(chǎn)生的熱

19、量Q有一部分將在燈絲與熱偶絲之間傳導(dǎo)散去。當(dāng)氣體的壓強(qiáng)降低時(shí)，熱電偶接點(diǎn)處溫度將隨熱絲溫度的升高而增大，同樣，熱電偶冷端的溫差電動(dòng)勢(shì)也將增大，及氣體壓強(qiáng)和熱電偶的電動(dòng)勢(shì)之間存在這樣的關(guān)系：P 。電離真空規(guī)l工作原理： 它由陰極，陽極和離子收集極組成，熱陰極發(fā)射電子飛向陽極過程中，使氣體分子電離，并被收集電極收集形成電流，根據(jù)離子電流測(cè)出氣體壓強(qiáng)。l特點(diǎn)與使用：屬高真空和超高真空測(cè)量，通常與熱偶規(guī)同時(shí)使用。5253電離計(jì)的工作原理是熱陰極A發(fā)射電子，經(jīng)過加速極加速，大部分電子飛向收集極，在B-C之間的拒斥場(chǎng)作用下，電子運(yùn)動(dòng)速度降低，當(dāng)速度減到零時(shí)，電子又重新飛向B極，在電子飛向B-C空間時(shí)，同樣

20、也受到拒斥場(chǎng)的作用，在速度減為零時(shí)，電子返轉(zhuǎn)飛向C極，電子在B-C空間的反復(fù)運(yùn)動(dòng)，將與氣體分子不斷發(fā)生碰撞，使氣體分子獲得能量而產(chǎn)生電離，電子最終被加速極收集，而電離產(chǎn)生的正離子則被收集極接受并形成離子流I+。電離真空計(jì)電離真空計(jì)種類測(cè)量范圍特點(diǎn)注意電容真空計(jì)10-3103Pa靈敏度高、氣體的介電常數(shù)不變、壓力讀數(shù)完全不受氣體成分影響、反應(yīng)速度快使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時(shí)。必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用。皮拉尼 (Pirani)0.1Pa1atm整個(gè)線性誤差允許范圍是正負(fù)百分之，其中a-1Pa這一段線性最好，也就是從中真空段到低真空段部分因各種氣體的比熱及其撞擊燈絲時(shí)帶走的熱量不盡相同，所以

21、需要對(duì)測(cè)量不同的氣體進(jìn)行校正，否則誤差甚大。熱偶真空計(jì)1300Pa精度不高，但是電路簡(jiǎn)單,價(jià)格低廉。電離真空計(jì)Ion gauge10-10-10-13Torr應(yīng)用于高真空至超高真空領(lǐng)域,定量性能優(yōu)異。通常與熱偶規(guī)同時(shí)使用比較：541. 小型化：是電子技術(shù)發(fā)展的產(chǎn)物,它又是一體化和集成化的基礎(chǔ)2. 一體化：可以提高測(cè)量準(zhǔn)確度3. 集成化：可以更好地適應(yīng)在實(shí)際真空系統(tǒng)中的應(yīng)用4. 智能化：依賴于計(jì)算機(jī)技術(shù)的迅速發(fā)展5. 系統(tǒng)化:可滿足工業(yè)自動(dòng)化的需求,亦與計(jì)算機(jī)技術(shù)密切相關(guān)因此,真空計(jì)向小型化、一體化、集成化、系統(tǒng)化和智能化方向的發(fā)展,是在迅速發(fā)展的電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)技術(shù)的推動(dòng)下,為滿足應(yīng)用的需求而

22、產(chǎn)生的結(jié)果。真空計(jì)的發(fā)展趨勢(shì)55低真空系統(tǒng)l系統(tǒng)組成： 真空室；機(jī)械泵；熱偶規(guī)l應(yīng)用 低壓化學(xué)汽相薄膜沉積； 真空包裝等真空室機(jī)械泵控制與測(cè)試電磁閥熱偶規(guī)56高真空系統(tǒng)l系統(tǒng)組成： 真空室；分子泵或油擴(kuò)散泵； 機(jī)械泵；熱偶電離復(fù)合規(guī)-l應(yīng)用:濺射沉積和蒸發(fā)等鍍膜系統(tǒng). 真空室機(jī)械泵控制與測(cè)試電磁閥復(fù)合真空規(guī)擴(kuò)散泵或分子泵57超高真空系統(tǒng)n系統(tǒng)組成： 真空室；分子泵或油擴(kuò)散泵； 機(jī)械泵；離子泵；熱偶電離復(fù)合真空規(guī)n應(yīng)用 表面，界面及原子操縱 真空室機(jī)械泵控制與測(cè)試電磁閥復(fù)合真空規(guī)擴(kuò)散泵或分子泵離子泵5859760 mm HgVacuumATM60固體對(duì)氣體的吸附及氣體的脫附固體對(duì)氣體的吸附及氣體

23、的脫附氣體的脫附氣體的脫附是氣體吸附的逆過程。通常把吸附在固體表面的氣體分子從固體表面被釋放出來的過程叫做氣體的脫附。一般地，影響氣體在固體表面吸附和脫附的主要因素是氣體的壓強(qiáng)、固體的溫度、固體表面吸附的氣體密度以及固體本身的性質(zhì)，如表面光潔程度、清潔度等。當(dāng)固體表面溫度較高時(shí)，氣體分子容易發(fā)生脫附，對(duì)真空室的適當(dāng)烘烤有利于真空的獲得就是利用這個(gè)道理。61真空的獲得62旋轉(zhuǎn)葉片真空泵(機(jī)械泵)工作原理： 凡是利用機(jī)械運(yùn)動(dòng)（轉(zhuǎn)動(dòng)或滑動(dòng)）以獲得真空的泵，就稱為機(jī)械泵機(jī)械泵。它是一種可以從大氣壓開始工作的典型的真空泵，既可以單獨(dú)使用，又可作為高真空泵或超高真空泵的前級(jí)泵。由于這種泵是用油來進(jìn)行密封的，所以又屬于有有