傳感器與檢測(cè)技術(shù)第二章-4光柵ppt課件

1、第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 二、光柵式位移傳感器二、光柵式位移傳感器光柵式位移傳感器有丈量線(xiàn)位移的長(zhǎng)光柵和丈量角位移的圓光柵式位移傳感器有丈量線(xiàn)位移的長(zhǎng)光柵和丈量角位移的圓光柵。光柵。第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 1.長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理什么是光柵？什么是光柵？第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 1.長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器

2、 1.長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 1.長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理32411.標(biāo) 尺 光 柵 2.指 示 光 柵3.光 電 元 件 4.光 源第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 光柵數(shù)字傳感器是干什么的？光柵數(shù)字傳感器是干什么的？1.長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 1.長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器

3、 假設(shè)光柵柵距為假設(shè)光柵柵距為W，兩個(gè)相，兩個(gè)相鄰鄰莫爾條紋的間距為莫爾條紋的間距為BH即即莫爾條紋中兩條暗紋或兩條莫爾條紋中兩條暗紋或兩條亮紋之間的間隔那么有亮紋之間的間隔那么有2(sin /2)HWWB莫爾條紋莫爾條紋這里這里是弧度，假設(shè)夾角是弧度，假設(shè)夾角為為0.100.10，那么，那么=0.1/180=0.1/180* *,那么那么BH=573W,BH=573W,相當(dāng)于把柵相當(dāng)于把柵距放大了距放大了573573倍。倍。第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 運(yùn)動(dòng)方向：當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線(xiàn)垂直方運(yùn)動(dòng)方向：當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線(xiàn)垂直方向作相對(duì)挪動(dòng)時(shí)，莫爾條紋那么沿向作相對(duì)挪動(dòng)時(shí)

4、，莫爾條紋那么沿光柵刻線(xiàn)方向挪動(dòng)兩者的運(yùn)動(dòng)方光柵刻線(xiàn)方向挪動(dòng)兩者的運(yùn)動(dòng)方向相互垂直。光柵運(yùn)動(dòng)方向改動(dòng)，向相互垂直。光柵運(yùn)動(dòng)方向改動(dòng)，莫爾條紋的運(yùn)動(dòng)方向也作相應(yīng)改動(dòng)。莫爾條紋的運(yùn)動(dòng)方向也作相應(yīng)改動(dòng)。 因此根據(jù)莫爾條紋挪動(dòng)方向就可以因此根據(jù)莫爾條紋挪動(dòng)方向就可以對(duì)光柵對(duì)光柵1的運(yùn)動(dòng)進(jìn)展辨向。的運(yùn)動(dòng)進(jìn)展辨向。莫爾條紋的特點(diǎn)莫爾條紋的特點(diǎn)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 莫爾條紋的位移與光柵的挪動(dòng)成莫爾條紋的位移與光柵的挪動(dòng)成比例：光柵每挪動(dòng)一個(gè)柵距比例：光柵每挪動(dòng)一個(gè)柵距W，莫爾條紋挪動(dòng)一個(gè)條紋間距莫爾條紋挪動(dòng)一個(gè)條紋間距BH；莫爾條紋的特點(diǎn)莫爾條紋的特點(diǎn)第二章 位移檢測(cè)

5、傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 莫爾條紋具有位移放大作用：莫莫爾條紋具有位移放大作用：莫爾條紋的間距爾條紋的間距B與兩光柵條紋夾角與兩光柵條紋夾角之間關(guān)系為之間關(guān)系為BH= W/,越小，越小， 那么那么BH越大。這相當(dāng)于把柵距越大。這相當(dāng)于把柵距 W放放大了大了 1/倍。倍。如對(duì)于如對(duì)于25線(xiàn)線(xiàn)/mm長(zhǎng)光柵而言，長(zhǎng)光柵而言，W=0.04mm,假設(shè)假設(shè)=0.016rad，那，那么么 BH =2.5mm(這樣，可把肉眼看不這樣，可把肉眼看不見(jiàn)的光柵位移變成為明晰可見(jiàn)的見(jiàn)的光柵位移變成為明晰可見(jiàn)的莫爾條紋挪動(dòng)，可以用丈量條紋莫爾條紋挪動(dòng)，可以用丈量條紋的挪動(dòng)來(lái)檢測(cè)光柵的位移?？梢缘呐矂?dòng)

6、來(lái)檢測(cè)光柵的位移?？梢詫?shí)現(xiàn)高靈敏的位移丈量實(shí)現(xiàn)高靈敏的位移丈量)莫爾條紋的特點(diǎn)莫爾條紋的特點(diǎn)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 莫爾條紋的特點(diǎn)莫爾條紋的特點(diǎn)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 U0UW/2oUm2W3W/2Wx按正弦規(guī)律變化。光柵挪動(dòng)一個(gè)柵距W，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。經(jīng)過(guò)光電元件，可將莫爾條紋挪動(dòng)光陰強(qiáng)的變化轉(zhuǎn)換為近似正弦變化的電信號(hào)，如圖所示。WxUUUm2sin0莫爾條紋的特點(diǎn)莫爾條紋的特點(diǎn)當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線(xiàn)垂直方向作相對(duì)挪動(dòng)時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋挪動(dòng)近似當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線(xiàn)垂直方向作相對(duì)挪動(dòng)時(shí)，莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋挪動(dòng)近似第

7、二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 莫爾條紋的特點(diǎn)莫爾條紋的特點(diǎn)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 u 當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線(xiàn)垂直方向作相對(duì)挪動(dòng)時(shí)，莫爾條紋當(dāng)兩個(gè)光柵沿刻線(xiàn)垂直方向作相對(duì)挪動(dòng)時(shí)，莫爾條紋那么沿光柵刻線(xiàn)方向挪動(dòng)兩者的運(yùn)動(dòng)方向相互垂直。光那么沿光柵刻線(xiàn)方向挪動(dòng)兩者的運(yùn)動(dòng)方向相互垂直。光柵每挪動(dòng)一個(gè)柵距柵每挪動(dòng)一個(gè)柵距W，莫爾條紋挪動(dòng)一個(gè)條紋間距，莫爾條紋挪動(dòng)一個(gè)條紋間距BH，經(jīng)，經(jīng)過(guò)丈量莫爾條紋移過(guò)的數(shù)目，即可得出光柵的位移量。過(guò)丈量莫爾條紋移過(guò)的數(shù)目，即可得出光柵的位移量。 u 光柵運(yùn)動(dòng)方向改動(dòng)，莫爾條紋的運(yùn)動(dòng)方向也作相應(yīng)改動(dòng)。光柵運(yùn)動(dòng)

8、方向改動(dòng)，莫爾條紋的運(yùn)動(dòng)方向也作相應(yīng)改動(dòng)。查看莫爾條紋的上下挪動(dòng)方向，即可確定主光柵左右挪動(dòng)方查看莫爾條紋的上下挪動(dòng)方向，即可確定主光柵左右挪動(dòng)方向向.u 莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋挪動(dòng)近似按正弦規(guī)律變化。莫爾條紋的光強(qiáng)度隨條紋挪動(dòng)近似按正弦規(guī)律變化。光柵挪動(dòng)一個(gè)柵距光柵挪動(dòng)一個(gè)柵距W，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。，光強(qiáng)變化一個(gè)周期。u 因此可根據(jù)莫爾條紋挪動(dòng)的條紋數(shù)和方向，測(cè)出光柵挪因此可根據(jù)莫爾條紋挪動(dòng)的條紋數(shù)和方向，測(cè)出光柵挪動(dòng)的間隔和方向。光柵傳感器就是根據(jù)這一原理，實(shí)現(xiàn)對(duì)位動(dòng)的間隔和方向。光柵傳感器就是根據(jù)這一原理，實(shí)現(xiàn)對(duì)位移的檢測(cè)。移的檢測(cè)。1.長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原理長(zhǎng)光柵位移傳感器的任務(wù)原

9、理第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 2. 長(zhǎng)光柵位移傳感器長(zhǎng)光柵位移傳感器 根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求，光柵可以制成透射光柵和反射光柵。根據(jù)不同的設(shè)計(jì)要求，光柵可以制成透射光柵和反射光柵。 透射光柵的柵線(xiàn)刻制在透明資料上，要求較高時(shí)，可以采透射光柵的柵線(xiàn)刻制在透明資料上，要求較高時(shí)，可以采用光學(xué)玻璃；而指示光柵最好采用光學(xué)玻璃。用光學(xué)玻璃；而指示光柵最好采用光學(xué)玻璃。 反射光柵的柵線(xiàn)刻制在具有反射率很高的金屬或鍍以金屬反射光柵的柵線(xiàn)刻制在具有反射率很高的金屬或鍍以金屬膜的玻璃上。膜的玻璃上。第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 由于采用不同方式的光柵

10、，光學(xué)系統(tǒng)也各不一樣，常采用由于采用不同方式的光柵，光學(xué)系統(tǒng)也各不一樣，常采用的光學(xué)系統(tǒng)有：的光學(xué)系統(tǒng)有： (1)透射式光路透射式光路 (2)反射式光路反射式光路3. 光學(xué)系統(tǒng)光學(xué)系統(tǒng)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 1 透射式光路透射式光路 光源光源5發(fā)出的光線(xiàn)經(jīng)發(fā)出的光線(xiàn)經(jīng)準(zhǔn)直透鏡準(zhǔn)直透鏡4變成平行變成平行光，入射到指示光柵光，入射到指示光柵3上，經(jīng)過(guò)指示光柵上，經(jīng)過(guò)指示光柵3和標(biāo)尺光柵和標(biāo)尺光柵2，再，再透射到光敏元件透射到光敏元件1上。上。普通標(biāo)尺光柵固定不動(dòng)，而光源、指示光柵和光敏元件固定普通標(biāo)尺光柵固定不動(dòng)，而光源、指示光柵和光敏元件固定在被測(cè)位移體上，

11、莫爾條紋的挪動(dòng)信號(hào)被光敏元件接納。每當(dāng)在被測(cè)位移體上，莫爾條紋的挪動(dòng)信號(hào)被光敏元件接納。每當(dāng)亮帶經(jīng)過(guò)光敏元件時(shí)，有一個(gè)相應(yīng)的電信號(hào)輸出。亮帶經(jīng)過(guò)光敏元件時(shí)，有一個(gè)相應(yīng)的電信號(hào)輸出。第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 透射式光柵透射式光柵第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 2 反射式光路反射式光路 光源光源1發(fā)出的光線(xiàn)經(jīng)發(fā)出的光線(xiàn)經(jīng)聚光鏡聚光鏡2及場(chǎng)鏡及場(chǎng)鏡4后后以平行光束射向指示以平行光束射向指示光柵光柵5上，再經(jīng)標(biāo)尺上，再經(jīng)標(biāo)尺光柵光柵6反射后構(gòu)成莫反射后構(gòu)成莫爾條紋，經(jīng)過(guò)反射鏡爾條紋，經(jīng)過(guò)反射鏡3和物鏡系統(tǒng)和物鏡系統(tǒng)7把莫把莫爾條紋的信號(hào)

12、送入光爾條紋的信號(hào)送入光敏元件敏元件8上上. 當(dāng)指示光柵與標(biāo)尺光當(dāng)指示光柵與標(biāo)尺光柵有相對(duì)位移時(shí)，光柵有相對(duì)位移時(shí)，光敏元件可接納到挪動(dòng)敏元件可接納到挪動(dòng)的莫爾條紋信號(hào)。的莫爾條紋信號(hào)。第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 反射式光柵反射式光柵第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 長(zhǎng)光柵式位移傳感器的特點(diǎn)長(zhǎng)光柵式位移傳感器的特點(diǎn)長(zhǎng)光柵位移傳感器的測(cè)長(zhǎng)精度可達(dá)長(zhǎng)光柵位移傳感器的測(cè)長(zhǎng)精度可達(dá)0.53m (3000mm范圍內(nèi)范圍內(nèi))，分辨力可達(dá)，分辨力可達(dá)0.1m,可進(jìn)展無(wú)接觸丈量可進(jìn)展無(wú)接觸丈量第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳

13、感器 用兩塊刻線(xiàn)數(shù)目一樣，切線(xiàn)圓半徑分別為用兩塊刻線(xiàn)數(shù)目一樣，切線(xiàn)圓半徑分別為r1、r2的切向圓的切向圓光柵同心放置，所產(chǎn)生的環(huán)形莫爾條紋如下圖光柵同心放置，所產(chǎn)生的環(huán)形莫爾條紋如下圖 其條紋間距為其條紋間距為21rrWRHB4. 圓光柵圓光柵第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 環(huán)形莫爾條紋環(huán)形莫爾條紋播放動(dòng)畫(huà)播放動(dòng)畫(huà)播放中播放中單擊預(yù)備演示單擊預(yù)備演示第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 用兩塊刻線(xiàn)數(shù)目一樣的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為用兩塊刻線(xiàn)數(shù)目一樣的徑向圓光柵偏心放置，偏心量為e，這時(shí)構(gòu)成不同曲率半徑的圓弧形莫爾條紋如下圖這時(shí)構(gòu)成不同曲

14、率半徑的圓弧形莫爾條紋如下圖4. 圓光柵圓光柵 其條紋間距為其條紋間距為eWRHB 動(dòng)光柵固定在轉(zhuǎn)軸上，因此，可將軸旋轉(zhuǎn)的角度量變換成動(dòng)光柵固定在轉(zhuǎn)軸上，因此，可將軸旋轉(zhuǎn)的角度量變換成莫爾條紋信號(hào)。經(jīng)過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件，將莫爾條紋的變化轉(zhuǎn)莫爾條紋信號(hào)。經(jīng)過(guò)光電轉(zhuǎn)換元件，將莫爾條紋的變化轉(zhuǎn)換成近似于正弦波形的電信號(hào)。測(cè)角精度可達(dá)換成近似于正弦波形的電信號(hào)。測(cè)角精度可達(dá)0.15，分，分辨力可達(dá)辨力可達(dá)0.1，甚至更高。，甚至更高。第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 播放中播放中圓弧莫爾條紋圓弧莫爾條紋單擊預(yù)備演示單擊預(yù)備演示播放動(dòng)畫(huà)播放動(dòng)畫(huà)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié)

15、大位移傳感器大位移傳感器 n由前面分析，光柵每挪動(dòng)一個(gè)柵距由前面分析，光柵每挪動(dòng)一個(gè)柵距W W，莫爾條紋挪動(dòng)，莫爾條紋挪動(dòng)一個(gè)條紋間距一個(gè)條紋間距BHBH，光電元件輸出就變化一個(gè)周期，光電元件輸出就變化一個(gè)周期22，經(jīng)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路輸出一個(gè)脈沖，假設(shè)按此進(jìn)展計(jì)數(shù)，經(jīng)信號(hào)轉(zhuǎn)換電路輸出一個(gè)脈沖，假設(shè)按此進(jìn)展計(jì)數(shù)，那么它的分辨力只需一個(gè)光柵柵距那么它的分辨力只需一個(gè)光柵柵距W.W.n為了可以分辨比為了可以分辨比W W更小的位移量，就要提高分辨力，更小的位移量，就要提高分辨力，一種方法是可以采用添加刻劃密度的方法來(lái)減少柵距，一種方法是可以采用添加刻劃密度的方法來(lái)減少柵距，但這種方法遭到制造工藝或本錢(qián)的限

16、制，如倘假設(shè)要但這種方法遭到制造工藝或本錢(qián)的限制，如倘假設(shè)要讀出位移為讀出位移為0.10.1m m，勢(shì)必要求每毫米刻線(xiàn)，勢(shì)必要求每毫米刻線(xiàn)1 1萬(wàn)條，這萬(wàn)條，這是目前工藝程度無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。是目前工藝程度無(wú)法實(shí)現(xiàn)的。5. 細(xì)分技術(shù)細(xì)分技術(shù)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 n另一種方法是采用柵距細(xì)分技術(shù)，在一個(gè)柵距即另一種方法是采用柵距細(xì)分技術(shù)，在一個(gè)柵距即一個(gè)莫爾條紋信號(hào)變化周期內(nèi)一個(gè)莫爾條紋信號(hào)變化周期內(nèi), , 發(fā)出發(fā)出n n脈沖脈沖, , 每個(gè)每個(gè)脈沖代表原來(lái)柵距的脈沖代表原來(lái)柵距的1/n1/n。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻。由于細(xì)分后計(jì)數(shù)脈沖頻率提高了率提高了n n倍倍,

17、 , 因此也稱(chēng)之為因此也稱(chēng)之為n n倍頻。倍頻。n細(xì)分后可以在不添加刻線(xiàn)數(shù)的情況下較大地提高細(xì)分后可以在不添加刻線(xiàn)數(shù)的情況下較大地提高光柵的分辨力。光柵的分辨力。n常用的細(xì)分方法有四倍頻細(xì)分法、十六倍頻常用的細(xì)分方法有四倍頻細(xì)分法、十六倍頻細(xì)分法、計(jì)算機(jī)細(xì)分法等。細(xì)分法、計(jì)算機(jī)細(xì)分法等。 5. 細(xì)分技術(shù)細(xì)分技術(shù)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 四倍頻細(xì)分法：在一個(gè)莫爾條紋寬度上并列放置四個(gè)光電元四倍頻細(xì)分法：在一個(gè)莫爾條紋寬度上并列放置四個(gè)光電元件，如右以下圖件，如右以下圖(a)(a)所示，得到相位分別相差所示，得到相位分別相差/2/2四個(gè)正弦四個(gè)正弦周期信號(hào)。用適

18、當(dāng)電路處置這些信號(hào)，使其合并得到如右以周期信號(hào)。用適當(dāng)電路處置這些信號(hào)，使其合并得到如右以下圖下圖 所示的脈沖信號(hào)。每個(gè)脈沖分別和四個(gè)周期信號(hào)的零所示的脈沖信號(hào)。每個(gè)脈沖分別和四個(gè)周期信號(hào)的零點(diǎn)相對(duì)應(yīng)，那么電脈沖的周期反響了點(diǎn)相對(duì)應(yīng)，那么電脈沖的周期反響了1/41/4個(gè)莫爾條紋寬度。個(gè)莫爾條紋寬度。用計(jì)數(shù)器對(duì)這一列脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)，就可以讀到用計(jì)數(shù)器對(duì)這一列脈沖信號(hào)計(jì)數(shù)，就可以讀到1/41/4個(gè)莫爾條個(gè)莫爾條紋寬度的位移量，這將是光柵固有分辨率的四倍。此種方法紋寬度的位移量，這將是光柵固有分辨率的四倍。此種方法被稱(chēng)為四倍頻細(xì)分法。被稱(chēng)為四倍頻細(xì)分法。5. 細(xì)分技術(shù)細(xì)分技術(shù)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三

19、節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 光柵傳感器的運(yùn)用光柵傳感器的運(yùn)用第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 光柵傳感器的運(yùn)用光柵傳感器的運(yùn)用第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 光柵傳感器的運(yùn)用光柵傳感器的運(yùn)用計(jì)量和消費(fèi)控制計(jì)量和消費(fèi)控制第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 光柵傳感器的運(yùn)用光柵傳感器的運(yùn)用位置丈量位置丈量第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 光柵傳感器的運(yùn)用光柵傳感器的運(yùn)用第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 課堂練習(xí)課堂練習(xí)第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié)

20、 大位移傳感器大位移傳感器 1、在下述位移傳感器中，適宜于丈量大位移的傳感器是A、電阻式傳感器B、電感式傳感器C、壓電式傳感器D、光柵式傳感器第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 2、假設(shè)光柵式位移傳感器的光柵柵距為0.04mm,柵線(xiàn)的夾角為 1.80，那么相鄰莫爾條紋的間距為單一 A、0.022mmB、0.07mmC、1.27mmD、3.99mmmmWHB27.1*180/8 .104.0第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 3 3、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測(cè)系統(tǒng)，當(dāng)用、四倍細(xì)分式光柵式位移傳感檢測(cè)系統(tǒng)，當(dāng)用4 4個(gè)光電元件個(gè)光電元件接納莫爾

21、條紋的挪動(dòng)信號(hào)時(shí)，分辨力為接納莫爾條紋的挪動(dòng)信號(hào)時(shí)，分辨力為0.004/mm0.004/mm脈沖，那么脈沖，那么光柵的柵距為光柵的柵距為 用四倍細(xì)分，那么分辨力是光柵柵距的1/4，那么光柵柵距為分辨力的4倍。4*0.004=0.016mm第二章 位移檢測(cè)傳感器第三節(jié)第三節(jié) 大位移傳感器大位移傳感器 4 4、四倍細(xì)分光柵式位移傳感檢測(cè)系統(tǒng)，假設(shè)柵線(xiàn)為、四倍細(xì)分光柵式位移傳感檢測(cè)系統(tǒng)，假設(shè)柵線(xiàn)為5050線(xiàn)線(xiàn)/mm,/mm,當(dāng)用當(dāng)用4 4個(gè)光電元件接納莫爾條紋的挪動(dòng)信號(hào)時(shí)個(gè)光電元件接納莫爾條紋的挪動(dòng)信號(hào)時(shí), ,那么分辨率為那么分辨率為 分辨率是一個(gè)光柵柵距，即1/50=0.02mm，假設(shè)用四個(gè)光電元件，即經(jīng)過(guò)