材料的強化與處理分析PPT學習教案

1、會計學1材料的強化材料的強化(qinghu)與處理分析與處理分析第一頁，共56頁。第1頁/共56頁第二頁，共56頁。第2頁/共56頁第三頁，共56頁。 熱處理：將固態(tài)金屬或合金熱處理：將固態(tài)金屬或合金(hjn)加熱、保溫、加熱、保溫、 冷卻，冷卻， 改變其內部組織，從而獲得所要求的改變其內部組織，從而獲得所要求的 性能的工藝性能的工藝臨界點溫度臨界點溫度溫溫度度時間時間加熱加熱保溫保溫冷卻冷卻熱處理工藝曲線熱處理工藝曲線2.1 鋼的熱處理鋼的熱處理 第3頁/共56頁第四頁，共56頁。熱處理熱處理普通熱處理：退火普通熱處理：退火(tu hu)、正火、淬火、正火、淬火、回火回火表面熱處理：表面淬火

2、、表面熱處理：表面淬火、 化學熱處理化學熱處理第4頁/共56頁第五頁，共56頁。一、轉變一、轉變(zhunbin)溫溫度度加熱目的加熱目的(md)-獲得細小奧氏體獲得細小奧氏體鋼的奧氏體化：鋼中奧氏體的形成鋼的奧氏體化：鋼中奧氏體的形成(xngchng)過程過程 鋼在加熱時的組織轉變鋼在加熱時的組織轉變第5頁/共56頁第六頁，共56頁。加熱加熱(ji r)時時 Ac1、Ac3、Accm 1加熱溫度(wnd)的確定 溫度溫度C%FeFe3CLAL+AL+ Fe3CADECFPSKGQA1A3AcmAc1AccmAc3第6頁/共56頁第七頁，共56頁。冷卻冷卻(lngqu)時時 Ar1、Ar3、A

3、rcmAr1ArcmAr3第7頁/共56頁第八頁，共56頁。2、奧氏體化過程、奧氏體化過程(guchng)Ac1AccmAc3第8頁/共56頁第九頁，共56頁。（1）奧氏體形核）奧氏體形核 （2）晶核長大）晶核長大 （3）殘余滲碳體的溶解）殘余滲碳體的溶解(rngji) （4）奧氏體均勻化）奧氏體均勻化 第9頁/共56頁第十頁，共56頁。奧氏體的冷卻方式奧氏體的冷卻方式(fngsh)： 1、等溫冷卻、等溫冷卻 2、連續(xù)冷卻、連續(xù)冷卻鋼在冷卻鋼在冷卻(lngqu)時的組織轉變時的組織轉變第10頁/共56頁第十一頁，共56頁。1、奧氏體的等溫轉變、奧氏體的等溫轉變(zhunbin)奧氏體等溫轉變曲

4、線的建立奧氏體等溫轉變曲線的建立(jinl)（金相硬度法）（金相硬度法） 1）制試樣）制試樣101.5mm 2）將試樣奧氏體化）將試樣奧氏體化 3）將試樣分成幾組，每組投入不同）將試樣分成幾組，每組投入不同(b tn)溫度的溫度的 鹽浴中等溫鹽浴中等溫以共析鋼為例以共析鋼為例4）每隔一定時間，從每組中取一試塊投入）每隔一定時間，從每組中取一試塊投入 水中，測硬度，觀察組織，即知道轉變水中，測硬度，觀察組織，即知道轉變 開始時間和轉變終了時間開始時間和轉變終了時間第11頁/共56頁第十二頁，共56頁。6）將意義）將意義(yy)相同的點連接成線相同的點連接成線5）將各轉變開始點和轉變終了點標在溫度

5、）將各轉變開始點和轉變終了點標在溫度(wnd)時時 間坐標圖中間坐標圖中溫度溫度時間時間A1MsMf第12頁/共56頁第十三頁，共56頁。第13頁/共56頁第十四頁，共56頁。C曲線曲線(qxin)分析分析1）線）線2) 區(qū)區(qū)3)孕育期孕育期550 C溫溫度度時間時間A1MsMf 4) 奧氏體等溫轉變奧氏體等溫轉變(zhunbin)產物產物第14頁/共56頁第十五頁，共56頁。 A1-650 C, A粗珠光體粗珠光體P HRC15 650 C-600 C, A索氏體索氏體S HRC30 600 C-550 C, A屈氏體屈氏體T HRC40(1)高溫高溫(gown)轉變轉變 (A1550C)溫

6、溫度度時間時間A1MsMf第15頁/共56頁第十六頁，共56頁。(a)珠光體 3800(b) 索氏體 8000 (c)屈氏體 8000珠光體型組織(zzh) 第16頁/共56頁第十七頁，共56頁。 (2)中溫轉變中溫轉變(zhunbin) (550CMs）溫溫度度時間時間A1MsMf貝氏體貝氏體(B B): 含碳量過飽和的鐵素體和滲碳體的含碳量過飽和的鐵素體和滲碳體的 機械混合物機械混合物bainite第17頁/共56頁第十八頁，共56頁。550 C-350 C, AB上上 HRC45350 C-Ms, AB下下 HRC55B下性能：良好下性能：良好(lingho)綜合力學性能綜合力學性能B上

7、性能：強度上性能：強度(qingd)和韌性差和韌性差第18頁/共56頁第十九頁，共56頁。影響影響(yngxing)C曲線的因曲線的因素素 亞共析鋼：亞共析鋼：CC曲線曲線(qxin)右移右移 過共析鋼：過共析鋼：CC曲線曲線(qxin)左移左移2）合金元素）合金元素 除除Co以外，其他以外，其他(qt)合金元合金元素溶入奧氏體中均使素溶入奧氏體中均使C曲線右移曲線右移1）含碳量）含碳量第19頁/共56頁第二十頁，共56頁。2、奧氏體的連續(xù)冷卻、奧氏體的連續(xù)冷卻(lngqu)轉變轉變PsPfPs： AP開始開始(kish)線線 Pf： AP終了終了(zhnglio)線線（1）連續(xù)冷卻轉變）連續(xù)

8、冷卻轉變曲線曲線溫溫度度時間時間A1MsMfV1V2第20頁/共56頁第二十一頁，共56頁。 若以若以V1速度冷卻得到珠光體；以速度冷卻得到珠光體；以V2速度冷卻得到細珠光速度冷卻得到細珠光體和極細珠光體；以體和極細珠光體；以V3、V4速度冷卻均得到馬氏體。其中速度冷卻均得到馬氏體。其中V3與與Ps線相切，是奧氏體全部過冷到線相切，是奧氏體全部過冷到Ms以下以下(yxi)轉變?yōu)檗D變?yōu)轳R氏體的最小冷卻速度，稱為臨界冷卻速度馬氏體的最小冷卻速度，稱為臨界冷卻速度 第21頁/共56頁第二十二頁，共56頁。（2）用）用C曲線近似分析連續(xù)曲線近似分析連續(xù)(linx)冷卻轉變冷卻轉變 V1相當于隨爐冷卻（

9、退火），它與C曲線交于700650C溫度范圍，估計過冷奧氏體轉變?yōu)橹楣怏w組織；V2相當于空冷（正火），它與C曲線交于650600C，估計過冷奧氏體轉變?yōu)榧氈楣怏w；V3得到的組織是極細珠光體；V4先與珠光體轉變開始線相割，隨后又與Ms相交，冷卻到室溫得到的組織是極細珠光體、馬氏體、殘余(cny)奧氏體；V5不與C曲線相交，奧氏體直接過冷到Ms以下轉變?yōu)轳R氏體；Vcr為將奧氏體全部過冷到Ms以下轉變?yōu)轳R氏體的最小冷卻速度，為臨界冷卻速度 第22頁/共56頁第二十三頁，共56頁。 晶體結構：晶體結構：C 0.25%,體心正方晶格體心正方晶格 形態(tài)形態(tài)(xngti):板條狀馬氏體（低碳馬氏體）板條狀馬

10、氏體（低碳馬氏體） 片狀馬氏體（高碳馬氏體）片狀馬氏體（高碳馬氏體）（3）過冷奧氏體向馬氏體的轉變）過冷奧氏體向馬氏體的轉變(zhunbin) 馬氏體馬氏體碳在碳在 -Fe中的過飽和固溶體中的過飽和固溶體第23頁/共56頁第二十四頁，共56頁。 性能性能(xngnng)： 低碳馬氏體：良好低碳馬氏體：良好(lingho)綜合力學性能綜合力學性能 高碳馬氏體：硬度、強度高、脆性大高碳馬氏體：硬度、強度高、脆性大熱熱處處理理工工藝藝(gngy)預備熱處理預備熱處理：消除熱加工缺陷，為以后的冷：消除熱加工缺陷，為以后的冷 加工和最終熱處理作準備加工和最終熱處理作準備最終熱處理最終熱處理：使工件獲得使

11、用性能的熱處理：使工件獲得使用性能的熱處理鋼的普通熱處理鋼的普通熱處理 第24頁/共56頁第二十五頁，共56頁。退火：把鋼件加熱到略高于或略低于臨界點（退火：把鋼件加熱到略高于或略低于臨界點（ Ac1 Ac1、Ac3 Ac3 ）某）某一溫度，保溫一定時間，然后緩慢冷卻（一般隨爐冷卻），這一一溫度，保溫一定時間，然后緩慢冷卻（一般隨爐冷卻），這一工藝工藝(gngy)(gngy)過程叫退火過程叫退火 退火退火(tu hu)(tu hu)的目的：的目的：1 1、細化晶粒，提高力學性能、細化晶粒，提高力學性能 2 2、消除缺陷和內應力，防止工件、消除缺陷和內應力，防止工件 的變形和開裂的變形和開裂 3

12、 3、降低硬度，改善切削加工性、降低硬度，改善切削加工性 退火退火(tu hu)方法：方法： 1鋼的退火和正火鋼的退火和正火（1）退火）退火 第25頁/共56頁第二十六頁，共56頁。工藝工藝(gngy)(gngy)：Ac3+30-50Ac3+30-50C C，保溫，爐冷，保溫，爐冷 完全(wnqun)退火Ac1Ac3組織組織(zzh)(zzh)：F+PF+P目的：目的： 1 1）細化晶粒）細化晶粒 2 2）消除內應力）消除內應力 3 3）降低硬度，改善切削加工性）降低硬度，改善切削加工性第26頁/共56頁第二十七頁，共56頁。等溫退火等溫退火 等溫退火的加熱等溫退火的加熱(ji r)工藝與完全

13、退火相同。但鋼經工藝與完全退火相同。但鋼經奧氏體化后，等溫退火以較快速度冷卻到珠光體轉變奧氏體化后，等溫退火以較快速度冷卻到珠光體轉變溫度區(qū)間的某一溫度，等溫一定時間，使奧氏體在等溫度區(qū)間的某一溫度，等溫一定時間，使奧氏體在等溫中發(fā)生珠光體轉變，然后又以較快速度（一般為空溫中發(fā)生珠光體轉變，然后又以較快速度（一般為空冷）冷至室溫冷）冷至室溫 第27頁/共56頁第二十八頁，共56頁。 工藝：加熱至工藝：加熱至Ac1+30-50C，保溫，爐冷至室溫，保溫，爐冷至室溫 或或 加熱保溫后冷至加熱保溫后冷至 Ar1以下以下20 C左右左右(zuyu)等溫等溫 而后空冷至室溫而后空冷至室溫 球化退火球化退

14、火(tu hu)Ac1組織：球狀珠光體（球狀滲碳體分布組織：球狀珠光體（球狀滲碳體分布(fnb)在鐵素體在鐵素體 基體上）基體上）目的：降低硬度，改善切削加工性目的：降低硬度，改善切削加工性第28頁/共56頁第二十九頁，共56頁。均勻均勻(jnyn)化化退火退火 工藝：加熱到高溫（工藝：加熱到高溫（Ac1、Ac3或或Accm+150250C）并停留較長時間，使合金元素并停留較長時間，使合金元素(yun s)得到充分擴散，得到充分擴散，然后緩慢冷卻下來然后緩慢冷卻下來 目的目的(md)：消除枝晶偏析：消除枝晶偏析 第29頁/共56頁第三十頁，共56頁。去應力去應力(yngl)退火退火工藝：加熱工

15、藝：加熱(ji r)至至500-600C，保溫，爐冷，保溫，爐冷目的目的(md)：消除內應力：消除內應力組織：原有組織組織：原有組織第30頁/共56頁第三十一頁，共56頁。（2）正火）正火正火：將工件加熱至正火：將工件加熱至Ac3或或Accm以上以上3050C，保溫后，保溫后從爐中取出在空氣中冷卻的一從爐中取出在空氣中冷卻的一種種(y zhn)熱處理工藝熱處理工藝 Ac1AccmAc3 目的：細化晶粒，提高力學性能；目的：細化晶粒，提高力學性能； 消除熱加工組織缺陷和內應力；消除熱加工組織缺陷和內應力； 調整硬度調整硬度(yngd)，改善切削加工性。，改善切削加工性。第31頁/共56頁第三十二

16、頁，共56頁。 淬火：淬火： 將鋼加熱將鋼加熱(ji r)到到Ac3或或Ac1以上以上3050C，保溫，保溫后快速冷卻的一種熱處理工藝后快速冷卻的一種熱處理工藝 2鋼的淬火(cu hu)與回火（1）淬火(cu hu) 目的目的(md)：獲得馬氏體，提高鋼的力學性能：獲得馬氏體，提高鋼的力學性能 第32頁/共56頁第三十三頁，共56頁。Ac1Ac3 1）淬火溫度(wnd)的選擇過共析鋼過共析鋼: Ac1+30-50 C亞共析鋼亞共析鋼: Ac3+30-50 C共析鋼共析鋼: Ac1+30-50 C第33頁/共56頁第三十四頁，共56頁。淬火淬火(cu hu)介質介質 水、鹽（堿）的水溶液水、鹽（

17、堿）的水溶液冷卻冷卻(lngqu)能力強，易得能力強，易得 到到M，易變形和開裂，易變形和開裂， 用于碳鋼淬火用于碳鋼淬火油油冷卻能力弱，減少變形和開裂，不易淬冷卻能力弱，減少變形和開裂，不易淬 透，用于透，用于合金鋼、碳鋼小零件合金鋼、碳鋼小零件淬火淬火第34頁/共56頁第三十五頁，共56頁。3）淬火）淬火(cu hu)時的內應力時的內應力 熱應力熱應力組織組織(zzh)應力應力單液淬火：將鋼奧氏體化后放在一種單液淬火：將鋼奧氏體化后放在一種 介質介質(jizh) 中冷卻到室溫中冷卻到室溫4）常用淬火方法）常用淬火方法特點：操作簡單；特點：操作簡單； 易產生淬火缺陷易產生淬火缺陷 應用：碳鋼

18、用水淬應用：碳鋼用水淬 合金鋼油淬合金鋼油淬第35頁/共56頁第三十六頁，共56頁。雙液淬火：將鋼奧氏體化后先放在一種冷卻雙液淬火：將鋼奧氏體化后先放在一種冷卻(lngqu) 能力較強的介質中冷至接近能力較強的介質中冷至接近Ms 然后立即轉入另一種冷卻然后立即轉入另一種冷卻(lngqu)能力較能力較 弱的介質中冷至室溫弱的介質中冷至室溫特點：操作復雜特點：操作復雜(fz)； 降低了淬火應力降低了淬火應力應用：形狀復雜的碳鋼件，應用：形狀復雜的碳鋼件， 如工具如工具(gngj)、模具、模具第36頁/共56頁第三十七頁，共56頁。分級淬火法：將鋼奧氏體化后，迅速置于溫分級淬火法：將鋼奧氏體化后，迅

19、速置于溫 度稍高于度稍高于Ms的鹽浴或堿浴中，的鹽浴或堿浴中， 并稍加停留，使鋼件內外溫度并稍加停留，使鋼件內外溫度 一致一致(yzh)，再取出空冷，使過冷奧，再取出空冷，使過冷奧 氏體轉變?yōu)轳R氏體氏體轉變?yōu)轳R氏體特點特點(tdin)：進一步減小了內應力，減小了變形：進一步減小了內應力，減小了變形 應用應用(yngyng)：形狀復雜的小工件，如刀具：形狀復雜的小工件，如刀具第37頁/共56頁第三十八頁，共56頁。 等溫淬火：將鋼奧氏體化后先放入溫度接近等溫淬火：將鋼奧氏體化后先放入溫度接近Ms的鹽的鹽 浴或堿浴中等溫足夠長時間，使過冷奧氏浴或堿浴中等溫足夠長時間，使過冷奧氏 體轉變?yōu)橄仑愂象w然

20、后體轉變?yōu)橄仑愂象w然后(rnhu)再空冷至再空冷至室溫室溫特點：明顯降低了內應力，減特點：明顯降低了內應力，減 小了變形；不必再進行小了變形；不必再進行 回火回火(hu hu)；時間；時間長，效率低長，效率低應用：形狀復雜、尺寸精確應用：形狀復雜、尺寸精確(jngqu)的的 小工件，如彈簧、小齒小工件，如彈簧、小齒 輪、工具、模具輪、工具、模具第38頁/共56頁第三十九頁，共56頁。鋼的淬透性：鋼在一定條件下淬火時，獲得鋼的淬透性：鋼在一定條件下淬火時，獲得 淬硬層深度淬硬層深度(shnd)的能力的能力 5）鋼的淬透性）鋼的淬透性影響影響(yngxing)淬透性的因素：淬透性的因素：2 2）合

21、金）合金(hjn)(hjn)元素：除元素：除CoCo以外，其他合金以外，其他合金(hjn)(hjn)元元素溶入素溶入 奧氏體中均使鋼的淬透性提高奧氏體中均使鋼的淬透性提高1 1）含碳量：含碳量越接近共析成分，淬透性）含碳量：含碳量越接近共析成分，淬透性 越好越好第39頁/共56頁第四十頁，共56頁。 回火回火(hu hu)目的：目的： （2）回火）回火(hu hu)回火回火temper ：將淬火鋼加熱到：將淬火鋼加熱到A1以下某一溫以下某一溫 度，保溫度，保溫(bown)一定時間，空冷或油冷一定時間，空冷或油冷 到室溫到室溫3）穩(wěn)定工件尺寸）穩(wěn)定工件尺寸2）消除淬火應力，防止工件的變形、開裂）

22、消除淬火應力，防止工件的變形、開裂1）降低脆性，提高塑性）降低脆性，提高塑性第40頁/共56頁第四十一頁，共56頁。 1）低溫）低溫(dwn)回火（回火（150-250C） 回火回火(hu hu)的分類：的分類：應用：工具應用：工具(gngj)、模具、滾動軸承、模具、滾動軸承目的：降低內應力和脆性，保留高的強度、硬目的：降低內應力和脆性，保留高的強度、硬 度、耐磨性度、耐磨性 2）中溫回火（）中溫回火（350-500 C）目的：提高鋼的彈性、韌性，消除內應力和目的：提高鋼的彈性、韌性，消除內應力和 脆性脆性應用：彈簧、高強度件應用：彈簧、高強度件第41頁/共56頁第四十二頁，共56頁。3）高溫

23、）高溫(gown)回火（回火（500-650 C） 調質處理：淬火調質處理：淬火+高溫高溫(gown)回火回火應用：重要零件應用：重要零件(ln jin)如軸、齒輪如軸、齒輪目的：獲得良好的綜合力學性能目的：獲得良好的綜合力學性能第42頁/共56頁第四十三頁，共56頁。 僅對鋼的表面加熱和冷卻僅對鋼的表面加熱和冷卻(lngqu)而不改變鋼表而不改變鋼表層化學成分的熱處理工藝稱為表面淬火層化學成分的熱處理工藝稱為表面淬火 1、表面淬火、表面淬火特點：只有表層特點：只有表層(biocng)得到了馬氏體，心部組織不得到了馬氏體，心部組織不變變 表層表層(biocng)具有高的強度、硬度、耐磨性，具有

24、高的強度、硬度、耐磨性，心心 部具有好的塑性、韌性部具有好的塑性、韌性第43頁/共56頁第四十四頁，共56頁。加熱方法加熱方法(fngf)：1、火焰加熱（淬硬層、火焰加熱（淬硬層2-8mm）2、感應加熱（淬硬層、感應加熱（淬硬層0.5-20mm）高頻感應加熱（高頻感應加熱（200-300kHz）：）：中頻感應加熱中頻感應加熱(2500-3000 Hz)：工頻感應加熱工頻感應加熱(50kHz)： 第44頁/共56頁第四十五頁，共56頁。2、化學、化學(huxu)熱處理熱處理化學熱處理：將鋼件置于一定介質中加熱和保溫，化學熱處理：將鋼件置于一定介質中加熱和保溫， 使介質中的活性原子滲入工件表層，使

25、介質中的活性原子滲入工件表層， 改變表層的化學成分和組織，從而改變表層的化學成分和組織，從而 使工件表層具有某些特殊使工件表層具有某些特殊(tsh)(tsh)的力學或的力學或 物理、化學性能的一種熱處理工藝物理、化學性能的一種熱處理工藝特點：改變表層化學成分和組織，心部不變；特點：改變表層化學成分和組織，心部不變； 使表層具有使表層具有(jyu)高的硬度、耐磨性、耐蝕性高的硬度、耐磨性、耐蝕性 等特殊性能，心部具有等特殊性能，心部具有(jyu)足夠的強度和韌足夠的強度和韌性性化學熱處理化學熱處理滲碳、滲氮（滲碳、滲氮（氮化氮化）、）、 碳氮共滲等碳氮共滲等第45頁/共56頁第四十六頁，共56頁

26、。目的：使工件目的：使工件(gngjin)(gngjin)表層具有高的硬度、耐磨性，表層具有高的硬度、耐磨性，心部保心部保 持一定的強度和韌性持一定的強度和韌性 材料材料(cilio)(cilio)：低碳鋼、低碳：低碳鋼、低碳合金鋼合金鋼后續(xù)熱處理：淬火后續(xù)熱處理：淬火(cu hu)+(cu hu)+低溫回火低溫回火滲層厚度：滲層厚度：0.5-2.5mm0.5-2.5mm應用：承受沖擊載荷、交變載荷及嚴重磨損的應用：承受沖擊載荷、交變載荷及嚴重磨損的 零件，如傳動齒輪、套筒、活塞銷零件，如傳動齒輪、套筒、活塞銷滲滲 碳碳第46頁/共56頁第四十七頁，共56頁。目的：提高目的：提高(t go)(

27、t go)工件表面的硬度、耐磨性、疲勞強工件表面的硬度、耐磨性、疲勞強度和耐度和耐 蝕性等蝕性等 材料材料(cilio)(cilio)：中碳合金鋼：中碳合金鋼 35CrAlA, 38CrMoAlA, 38CrWVAlA 35CrAlA, 38CrMoAlA, 38CrWVAlA 滲層厚度滲層厚度(hud)(hud)：0.6-0.7mm0.6-0.7mm應用：耐磨性、精度均要求很高的零件，如精密應用：耐磨性、精度均要求很高的零件，如精密 傳動齒輪、鏜床主軸、活塞銷；交變載荷傳動齒輪、鏜床主軸、活塞銷；交變載荷 下的零件，如高速柴油機曲軸；變形小、下的零件，如高速柴油機曲軸；變形小、 耐蝕的耐磨件

28、，如閥門、熱作模具耐蝕的耐磨件，如閥門、熱作模具滲滲 氮氮第47頁/共56頁第四十八頁，共56頁。目的：提高工件目的：提高工件(gngjin)表層的硬度、耐磨性及疲勞強表層的硬度、耐磨性及疲勞強度等度等 應用：汽車和機床應用：汽車和機床(jchung)齒輪、蝸輪、蝸桿、軸齒輪、蝸輪、蝸桿、軸 碳氮共滲碳氮共滲第48頁/共56頁第四十九頁，共56頁。熱處理新技術熱處理新技術(jsh)簡介簡介1真空真空(zhnkng)熱處理熱處理2可控氣氛可控氣氛(qfn)熱處理熱處理3激光熱處理和電子束表面淬火激光熱處理和電子束表面淬火4形變熱處理形變熱處理第49頁/共56頁第五十頁，共56頁。2.2工程材料的

29、表面工程材料的表面(biomin)處理方法處理方法 氣相沉積氣相沉積 氣相沉積是利用氣相中發(fā)生的物理、化學過程在氣相沉積是利用氣相中發(fā)生的物理、化學過程在工件表面形成具有特殊性能的金屬或化合物涂層，工件表面形成具有特殊性能的金屬或化合物涂層，使工件表面性能優(yōu)化的一種新技術。按照過程的本使工件表面性能優(yōu)化的一種新技術。按照過程的本質質(bnzh)，可將氣相沉積分為兩大類：一類是化，可將氣相沉積分為兩大類：一類是化學氣相沉積，簡稱學氣相沉積，簡稱CVD法；另一類是物理氣相沉積，法；另一類是物理氣相沉積，簡稱簡稱PVD法。法。 1化學氣相沉積化學氣相沉積(chnj) 化學氣相沉積化學氣相沉積(chn

30、j)是利用氣態(tài)物質在固態(tài)工件表面是利用氣態(tài)物質在固態(tài)工件表面進行化學反應，生成固態(tài)沉積進行化學反應，生成固態(tài)沉積(chnj)物的過程。物的過程。 第50頁/共56頁第五十一頁，共56頁。 常見常見(chn jin)的碳化鈦沉積的化學反應為：的碳化鈦沉積的化學反應為： TiCl+ CHTiC+4HCl TiCl+CTiC+2Cl2物理氣相沉積物理氣相沉積 物理氣相沉積是用物理方法將源物質轉移到氣相中，物理氣相沉積是用物理方法將源物質轉移到氣相中，在基體在基體(j t)上形成覆蓋層的方法。上形成覆蓋層的方法。 物理氣相沉積主要有真空濺射、離子鍍和離子濺射三物理氣相沉積主要有真空濺射、離子鍍和離子濺射三種種(sn zhn)方法方法 圖圖2.18為離子鍍原理示意圖為離子鍍原理示意圖 第51頁/共56頁第五十二頁，共56頁?；瘜W轉化化學轉化(zhunhu)膜技術膜技術化學轉化化學轉化(zhunhu)膜技術就是通過化學或電化學處理，使膜技術就是通過化學或電