晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝流程圖

1、晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝流程圖電池片工藝流程說明： (1)清洗、制絨：首先用化學(xué)堿（或酸）腐蝕硅片，以去除硅片表面機(jī)械損傷層，并進(jìn)行硅片表面織構(gòu)化，形成金字塔結(jié)構(gòu)的絨面從而減少光反射?，F(xiàn)在常用的硅片的厚度在 180m 左右。去除硅片表面損傷層是太陽能電池制造的第一道常規(guī)工序。 (2)甩干：清洗后的硅片使用離心甩干機(jī)進(jìn)行甩干。 (3)擴(kuò)散、刻蝕：多數(shù)廠家都選用P型硅片來制作太陽能電池，一般用POCl3液態(tài)源作為擴(kuò)散源。擴(kuò)散設(shè)備可用橫向石英管或鏈?zhǔn)綌U(kuò)散爐,進(jìn)行磷擴(kuò)散形成P-N結(jié)。擴(kuò)散的最高溫度可達(dá)到850-900。這種方法制出的PN結(jié)均勻性好，方塊電阻的不均勻性小于10，少子壽命大于10 微秒。擴(kuò)

2、散過程遵從如下反應(yīng)式： 4POCl33O2（過量） 2P2O52Cl2（氣）2P2O55Si 5SiO2 + 4P 腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路，用化學(xué)方法除去擴(kuò)散生成的副產(chǎn)物。SiO2 與HF生成可溶于水的SiF62-，從而使硅表面的磷硅玻璃（摻P2O5的SiO2） 溶解，化學(xué)反應(yīng)為： SiO2 6HF H2（SiF6）2H2O(4)減反射膜沉積：采用等離子體增強(qiáng)型化學(xué)氣相沉積(PECVD: Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且由于在制備SiNx 減反射膜過程中有大量的氫

3、原子進(jìn)入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果。這是因?yàn)閷?duì)于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的懸掛鍵被飽和，降低了復(fù)合中心的原因。由于表面鈍化和體鈍化作用明顯，就可以降低對(duì)制作太陽能電池材料的要求。由于增強(qiáng)了對(duì)光的吸收，氫原子對(duì)太陽能電池起到很好的表面和體內(nèi)鈍化作用，從而提高了電池的短路電流和開路電壓。 (5)印刷、燒結(jié)：為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個(gè)盡可能低的接觸電阻。背面做成BSF結(jié)構(gòu)，以減小表面電子復(fù)合，印刷后要進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)。 (6)檢測(cè)分選：為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，通常要對(duì)每個(gè)

4、電池片測(cè)試，并按電流和功率大小進(jìn)行分類，也可根據(jù)電池效率進(jìn)行分級(jí)。 (7)包裝入庫：將分選好的電池片一部分可以進(jìn)行包裝，入庫，準(zhǔn)備外賣；其他的準(zhǔn)備進(jìn)入電池組件生產(chǎn)工序待用。晶體硅太陽能電池組件流程圖電池分選電池片焊接電池串焊接玻璃清洗TPT、EVA裁切電池板鋪設(shè)待壓組件初測(cè)層壓裁邊逆電流測(cè)試封裝固化測(cè)試、貼標(biāo)清洗入庫包裝電池組件工藝流程說明：(1)電池分選：由于采用自產(chǎn)電池片，電性能測(cè)試在電池片工藝流程中已經(jīng)完成，該步驟主要對(duì)電池片的色差、崩邊、陷裂、缺角等外觀不良進(jìn)行篩選。 (2)正面焊接：是將匯流帶焊接到電池正面（負(fù)極）的主柵線上，匯流帶為鍍錫的銅帶，我們使用的焊接機(jī)可以將焊帶以多點(diǎn)的形式

5、點(diǎn)焊在主柵線上。焊接采用熱風(fēng)或紅外焊接方式。焊帶的長(zhǎng)度約為電池邊長(zhǎng)的2倍。多出的焊帶在背面焊接時(shí)與后面的電池片的背面電極相連。 (3)背面串接：背面焊接是將多片電池串接在一起形成一個(gè)組件串。 (4)層壓敷設(shè)：背面串接完成且經(jīng)過檢驗(yàn)合格后，將組件串、玻璃和切割好的EVA、背板按照一定的層次敷設(shè)好，準(zhǔn)備層壓。敷設(shè)時(shí)保證各層之間的相對(duì)位置，調(diào)整好電池串間的距離，為層壓打好基礎(chǔ)。（敷設(shè)層次：由下向上：玻璃、EVA、電池、EVA、背板）。 (5)組件層壓：將敷設(shè)好的電池放入層壓機(jī)內(nèi)，通過抽真空將組件內(nèi)的空氣抽出，然后加熱使EVA熔化,將電池、玻璃和背板粘接在一起,最后取出組件。層壓工藝是組件生產(chǎn)的關(guān)鍵一步，層壓溫度、層壓時(shí)間根據(jù)EVA的性質(zhì)決定。 (6)修邊：層壓時(shí)EVA熔化后由于壓力而向外延伸固化形成毛邊，所以層壓完畢后應(yīng)將其切除。(7)逆電流測(cè)試：利用穩(wěn)壓電源在太陽能電池上外加正偏壓或負(fù)偏壓，然后觀測(cè)紅外熱像圖，判定電池片有無隱裂、虛焊等缺陷。(8)裝框：類似于給玻璃裝一個(gè)鏡框。給玻璃組件裝鋁框，增加組件的強(qiáng)度，進(jìn)一步密封電池組件，以延長(zhǎng)電池的使用壽命。邊框和玻璃組件的縫隙用硅酮樹脂填充，各邊框間用角鍵連接。 (9)焊接接線盒：在組件背面引線處焊接一個(gè)盒子，以利于電池與其他設(shè)備或電池間的連接。(10)高壓測(cè)試：高壓測(cè)試是指在組件邊框和電極引線間施加一定的電壓，測(cè)試組件的耐壓性和絕緣強(qiáng)度