透射電鏡介紹課件

1、一一 概況概況透射式電子顯微鏡透射式電子顯微鏡(Transmission ElectronMicroscopes )簡稱透射電鏡。原理：原理：利用磁透鏡對(duì)穿過樣品的電子束進(jìn)行放大，這種電子束帶有樣品中的超微結(jié)構(gòu)信息，可以在熒光屏上顯示超微結(jié)構(gòu)的放大電子圖像。特點(diǎn)特點(diǎn)： 分辨率高：H-9500可達(dá)0.10nm 放大倍數(shù)高：幾百數(shù)十萬倍 應(yīng)用范圍廣：生物、醫(yī)學(xué)、冶金、 化學(xué)化工HITACHI H-7650HITACHI H-7700二二 結(jié)構(gòu)結(jié)構(gòu)1、電子光學(xué)系統(tǒng)、電子光學(xué)系統(tǒng) 照明系統(tǒng)鏡筒 成 像 系 統(tǒng) 觀察記錄系統(tǒng)電子槍聚光鏡樣品室物鏡中間鏡投影鏡觀察室照相系統(tǒng)結(jié)構(gòu)1.1 照明系統(tǒng)照明系統(tǒng)n電

2、子槍電子槍電鏡以電子槍作為光源，相當(dāng)于光學(xué)顯微鏡的照明可見光源。目前電鏡大多采用由陰極、柵極和陽極陰極、柵極和陽極組成的三極式電子槍。陰極陰極 俗稱燈絲，一般為直徑0.12mm的鎢絲鎢絲制成彎曲或發(fā)叉式（也稱V型）。通入加熱電流時(shí)，燈絲尖端產(chǎn)生熱電子發(fā)射，并在陽極電壓作用下，將發(fā)射的電子加速到極高的速度。另外還有LaB6陰極和場發(fā)射鎢場發(fā)射鎢單晶單晶陰極，其亮度和壽命均優(yōu)于前者。柵極柵極 由一個(gè)中央孔徑d=2mm的圓金屬筒構(gòu)成。柵極水平面與燈絲尖端的距離h=0.51mm，并且在柵極上加有相對(duì)于陰極的負(fù)電位，因此也稱負(fù)偏壓柵極，用于有效地控制陰極（燈絲）的發(fā)射電流。陽極陽極 陽極電位為零，相對(duì)于

3、陰極是正的加速電壓。通常幾十千伏幾百千伏，視不同要求而定，其作用是使電子加速。聚光鏡聚光鏡聚光鏡的作用聚光鏡的作用是將電子槍所發(fā)射的電子束會(huì)聚在樣品上，控制照明亮度、電子束斑的大小及孔徑角。構(gòu)成：構(gòu)成：電磁透鏡、聚光鏡光闌、偏轉(zhuǎn)線圈、消像散器等組成。Overfocused Focused Underfocused (Second condenser lens )1.2 成像系統(tǒng)成像系統(tǒng)成像放大系統(tǒng)成像放大系統(tǒng)是電鏡獲得高分辨率和高放大倍數(shù)的核心組件。一般由物鏡、中間鏡物鏡、中間鏡和兩個(gè)投影鏡和兩個(gè)投影鏡組成?？赏ㄟ^調(diào)節(jié)中間鏡和投影鏡的電流來改變不同的放大倍數(shù)，改變物鏡電流對(duì)圖像進(jìn)行聚焦。裝上有

4、關(guān)附件，還可進(jìn)行掃描、電子衍射和能譜分析等方面的觀察和測試。物鏡物鏡(Objective lens) 物鏡物鏡(Objective lens)是成像放大系統(tǒng)的第一級(jí)成像透鏡，其作用是將樣品信息作初級(jí)放大，一般放大倍數(shù)為50倍。物鏡光闌物鏡光闌(Objective aperture )Remove aperture Insert aperture中間鏡中間鏡(Intermediate lens) 中間鏡和投影鏡的作用中間鏡和投影鏡的作用是將來自物鏡的初級(jí)像逐級(jí)放大，最后成像于熒光屏上。其結(jié)構(gòu)與物鏡基本相似，中間鏡中間鏡是長焦距弱磁透鏡，投影鏡投影鏡是短焦距強(qiáng)磁透鏡。利用改變中間鏡和第一投影鏡的電流來控制總放大倍數(shù)。投影鏡投影鏡(Projector Lens)1.3 觀察記錄系統(tǒng)觀察記錄系統(tǒng)n熒光板n雙目鏡n底片盒n底片傳送裝置n控制暴光裝置2 真空排氣系統(tǒng)真空排氣系統(tǒng)真空系統(tǒng)的作用真空系統(tǒng)的作用是使鏡筒內(nèi)部處于高真空狀態(tài)，也是決定電鏡能否正常工作的重要因素。如果真空度差，則：(1)導(dǎo)致氣體分子與高速運(yùn)行的電子相互作用而隨機(jī)地散射電子，降低圖像的反差。(2)電子槍中所殘存的氣體分子會(huì)產(chǎn)生電離而放電，引起電子束發(fā)射不穩(wěn)定或“閃爍”。(3)殘余氣體與熱燈絲作用，縮短燈絲壽命。(4)殘余氣體聚集在樣品上會(huì)污染樣品。真空系統(tǒng)包括：真空系統(tǒng)