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2、AABfF出射光瞳出射光瞳(或孔徑光闌或孔徑光闌)CCD像面像面BB2A1B1B2A2y1y2l(+)l (l為負為負)F出射光瞳出射光瞳(或孔徑光闌或孔徑光闌)A2y1y2DyOCUY非希望反射光非希望反射光模糊模糊T.)(! 21)(0011020100jjiininjjiiiniiqqqqqqyqqqyyynnqqyqqyyyy0011000.nDf管徑掃描管徑掃描mM2M2M1激光光源激光光源探測器探測器)()(00CmCmLLdLLLdnnLdLdKKLdL)(2222000CmLLnnKnKKnLnKL200)()(000CmLLnnKKLL光柵尺光柵尺(無誤差安裝無誤差安裝)光柵盤光柵盤萬工顯萬工顯LLcosly雙線夾單線雙線夾單線=510單 線 對 單 線單 線 對 單 線=

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