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文檔簡介

1、潔凈室管理2012年3月施工管理教育訓(xùn)練2TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number目錄為什么要建立潔凈室潔凈室的標(biāo)準(zhǔn)潔凈室的結(jié)構(gòu)簡介潔凈室內(nèi)工作人員要求出入潔凈室規(guī)定、著裝潔凈房內(nèi)作業(yè)要求設(shè)備、環(huán)境維護(hù)3TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number為什么要建立潔凈室 在芯片的生產(chǎn)過程中,對生產(chǎn)環(huán)境有著很高的要求,生產(chǎn)車間的潔凈控制是保證產(chǎn)品高質(zhì)量的先決條件,車間的潔凈控制包括廠房潔凈度的控制及生產(chǎn)中所有人員設(shè)備材料等等的潔凈度控制,只有生產(chǎn)環(huán)境滿足工藝要求,才能進(jìn)行正常生產(chǎn)。大量的經(jīng)驗(yàn)教訓(xùn)使人們認(rèn)識(shí)并重視生產(chǎn)環(huán)境問題。全世界芯

2、片廠家不惜大量資金,采取各種措施改善生產(chǎn)環(huán)境,取得了顯著的效果。這充分說明了生產(chǎn)環(huán)境是現(xiàn)代化芯片生產(chǎn)的要求,隨著生產(chǎn)水平、產(chǎn)品檔次的提高,這種要求將會(huì)越來越高。4TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number潔凈室的標(biāo)準(zhǔn) 潔凈室 級別塵埃粒徑(m)粒/英尺3 粒/升1000.51003.510000 0.55.0 1000065 3502.3100000 0.55.0 100000700 350025溫度:19C25C 濕度:5060RH5TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number潔凈室結(jié)構(gòu)簡介 固有型紊亂式潔凈室 千級以上,投資

3、少。水平平行流式潔凈室 局部凈化,效果好。垂直平行流式潔凈室 高效,費(fèi)用較高。6TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number潔凈室的空氣流動(dòng)7TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number潔凈室內(nèi)工作人員要求 無傳染性疾病。 對化學(xué)物品,凈房使用物品不過敏。 皮膚屑、頭皮屑、體毛脫落不多者。 沒有抓擦頭皮、皮膚等到不良習(xí)慣。 身體分泌物不多者,如出汗等。 沒有神經(jīng)過敏癥,對閉所恐懼者。8TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number出入潔凈室規(guī)定、著裝著裝戴好乳膠手套、頭罩、無塵帽、做到不露出頭發(fā)、不掉

4、頭皮屑。戴好口罩以遮住嘴、鼻子尖為準(zhǔn)。必須佩戴合格靜電手環(huán)。著無塵衣時(shí)、無塵鞋須套在無塵衣外面。著無塵衣時(shí)、須在更衣室指定區(qū)域內(nèi)進(jìn)行。無塵衣須按規(guī)定進(jìn)行定期清洗。9TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number進(jìn)出潔凈室程序進(jìn)出潔凈室程序進(jìn)入潔凈室:1、辦公區(qū)更衣室換工作鞋。 2、在休息區(qū)將無塵室禁帶物品放入個(gè)人柜中。3、脫工作鞋放入鞋架,然后進(jìn)入無塵更衣室。4、在指定區(qū)域依次戴頭罩、口罩、無塵帽,然后 依次穿無塵服、無塵鞋、戴手套、靜電手環(huán)。5、進(jìn)入風(fēng)淋室風(fēng)淋,然后進(jìn)入無塵工作區(qū)。10TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number進(jìn)

5、出潔凈室程序退出潔凈室:1、從無塵工作區(qū)退出2、脫無塵鞋并整理好放在鞋架內(nèi),脫無塵服并掛在衣架上,脫無塵帽并掛在衣架上。3、脫口罩、頭罩、手套放置指定回收箱。4、穿工作鞋,然后在休息區(qū)將個(gè)人物品取出。5、在更衣室更換工作鞋,進(jìn)入辦公區(qū)11TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number潔凈室內(nèi)作業(yè)要求人是最大的污染源:凈化房工作人員要有良好的凈化環(huán)境意識(shí)及個(gè)人衛(wèi)生習(xí)慣。進(jìn)入潔凈室不能攜帶個(gè)人用品,嚴(yán)禁攜帶易燃易爆物品。進(jìn)入潔凈室應(yīng)按規(guī)定路線進(jìn)入,潔凈室內(nèi)不能跑動(dòng),鞋不能拖地走動(dòng),避免帶起塵埃。任何物品不能與地面進(jìn)行滑動(dòng)摩擦。潔凈室內(nèi)嚴(yán)禁打鬧及大聲喧嘩。工作中操作動(dòng)作要規(guī)范,不做無關(guān)動(dòng)作,不講與作業(yè)無關(guān)的話。12TUONENG TECH - CONFIDENTIALFile Number潔凈室內(nèi)設(shè)備及環(huán)境的維護(hù) 為了保證潔凈室內(nèi)的環(huán)境符合生產(chǎn)要求,對室內(nèi)一切設(shè)施、工裝、工具、物品必須制定相關(guān)規(guī)定并檢查確認(rèn),室內(nèi)所有物品數(shù)量都應(yīng)限制在最少的限度,并對物品的放置做出規(guī)定,盡量減少空氣亂流。潔凈室使用物品應(yīng)先進(jìn)行除塵處理,易產(chǎn)塵的物品不能帶入潔凈室內(nèi)。凈化房衛(wèi)生定期清掃。對潔凈室的潔凈度、溫度、濕度要進(jìn)行監(jiān)控、測試,及時(shí)進(jìn)行調(diào)整超標(biāo)參數(shù)。13TUONENG TECH

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