常用真空單位換算表

1、常用真空單位換算表 帕Pa 托Torr 微米汞柱mHg 毫巴mbar 大氣壓atm 工程大氣壓am 1 Pa 1 7.5×10-3 7.5 10-29.86923×10-61.0197×1051 Torr 133.32 1 103 1.3332 1.31579×10-3 1.3595×10-31 mHg 0.13332 10-3 1 1.3332×10-3 1.31579×10-6 1.3595×10-61 mbar 102 7.5×10-17.5×102 1 9.86923×10-4

2、 1.0197×10-31標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=760毫米汞柱=76厘米汞柱=1.013×105帕斯卡=10.336米水柱 公斤不是單位，一般我們通常說的，事實(shí)上是一種非標(biāo)準(zhǔn)單位，名稱叫：公斤力/平方厘米Kgf/cm2 1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓=0.1MPa兆帕=101KPa=千帕左右=1bar巴=760mmHg（毫米汞柱）=14.696磅/英寸2(psi)1工程大氣壓1Kgf/cm2千克力/平方厘米 千克：是質(zhì)量單位， 千克力：是作用在單位體積上一千克的力 一個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓一般約等于101千帕即0.1兆帕，約等于一工程大氣壓約等于一千克力每平方厘米 工程大氣壓是比標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小一點(diǎn)的 1

3、物理大氣壓1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(atm) 為什么會多一個工程大氣壓我也不清楚 但是工程大氣壓通常按千克力等，用一種質(zhì)量作用力對單位面積獲得的壓強(qiáng)。 而標(biāo)準(zhǔn)大氣壓(atm)則為標(biāo)準(zhǔn)的大氣壓強(qiáng)，比工程大氣壓精確，但他們是約等于的。沒必要那么精確，除非你是在某些特定領(lǐng)域使用飽和水蒸汽的壓力與溫度的關(guān)系 ( 摘自 范仲元: "水和水蒸氣熱力性質(zhì)圖表"  p410 )溫度水蒸氣壓力 MPa相應(yīng)真空度 MPa220.002640.09869240.002980.09835260.003360.09797280.003780.09755300.004240.09709320.00475

4、0.09658340.005320.09601360.005940.09539380.006620.09471400.007380.09395溫度水蒸氣壓力 MPa相應(yīng)真空度 MPa420.008200.09313440.009100.09223460.010090.09124480.011160.09017500.012340.08899520.013610.08772540.015000.08633560.016510.08482580.018150.08318600.019920.08141溫度水蒸氣壓力 MPa相應(yīng)真空度 MPa620.021840.07949640.023910.07

5、742660.026150.07518680.028560.07277700.031160.07017720.033960.06737740.036960.06437760.040190.06114780.043650.05768800.047360.05397溫度水蒸氣壓力 MPa相應(yīng)真空度 MPa820.051330.05000840.055570.04576860.060110.04122880.064950.03638900.070110.03122920.075610.02572940.081460.0198796 0.08769 0.01364 980.094300.0070310

6、00.101330溫度水蒸氣壓力 MPa1020.108781040.116681060.125041080.133901100.143271120.153161140.163621160.174651180.186281200.19854溫度水蒸氣壓力 MPa1220.211451240.225041260.239331280.254351300.270131320.278311340.304071360.322291380.341381400.36138    真空計(jì)算常用公式 1、玻義爾定律        體積V，壓強(qiáng)P，P&#

7、183;V常數(shù)（一定質(zhì)量的氣體，當(dāng)溫度不變時，氣體的壓強(qiáng)與氣體的體積成反比。即P1/P2V2/V1）2、蓋·呂薩克定律     當(dāng)壓強(qiáng)P不變時，一定質(zhì)量的氣體，其體積V與絕對溫度T成正比：（V1/V2T1/T2常數(shù)）        當(dāng)壓強(qiáng)不變時，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或P降低)1，則它的體積比原來增加(或縮小)1/273。3、查理定律           當(dāng)氣體的體積V保持不變，一定質(zhì)量的氣體，壓強(qiáng)P與其他絕對溫度T成正比，即：P1/P2T1/T2&

8、#160;             在一定的體積下，一定質(zhì)量的氣體，溫度每升高(或降低)1，它的壓強(qiáng)比原來增加(或減少)1/273。4、平均自由程：     (5×10-3)/P (cm)5、抽速：      Sdv/dt (升/秒)或 SQ/P       Q流量(托·升/秒) P壓強(qiáng)(托)V體積(升) t時間(秒)6、通導(dǎo)： CQ/(P2-P1) (升/秒)7、真空抽氣時間：     

9、;   對于從大氣壓到1托抽氣時間計(jì)算式： t8V/S (經(jīng)驗(yàn)公式)     （V為體積，S為抽氣速率，通常t在510分鐘內(nèi)選擇。）8、維持泵選擇：       S維S前/109、擴(kuò)散泵抽速估算：      S3D2 (D直徑cm）10、羅茨泵的前級抽速：     S(0.10.2)S羅 (l/s)11、漏率：       Q漏V(P2-P1)/(t2-t1)        &

10、#160;   Q漏系統(tǒng)漏率(mmHg·l/s)             V系統(tǒng)容積(l)           P1真空泵停止時系統(tǒng)中壓強(qiáng)(mmHg)          P2真空室經(jīng)過時間t后達(dá)到的壓強(qiáng)(mmHg)           t壓強(qiáng)從P1升到P2經(jīng)過的時間(s)12、粗抽泵的抽速選擇：     &#

11、160; SQ1/P預(yù) (l/s)      S=2.3V·lg(Pa/P預(yù))/t           S機(jī)械泵有效抽速            Q1真空系統(tǒng)漏氣率(托·升/秒)            P預(yù)需要達(dá)到的預(yù)真空度(托)     V真空系統(tǒng)容積(升)         t達(dá)到P預(yù)時所

12、需要的時間        Pa大氣壓值(托）13、前級泵抽速選擇：           排氣口壓力低于一個大氣壓的傳輸泵如擴(kuò)散泵、油增壓泵、羅茨泵、渦輪分子泵等，它們工作時需要前級泵來維持其前級壓力低于臨界值，選用的前級泵必須能將主泵的最大氣體量排走，根據(jù)管路中，各截面流量恒等的原則有：  PnSgPgS 或 SgPgs/Pn    Sg前級泵的有效抽速(l/s)  Pn主泵臨界前級壓強(qiáng)(最大排氣壓強(qiáng))(l/s)  Pg真空室最高工作壓強(qiáng)(托)&

13、#160;  S主泵工作時在Pg時的有效抽速。(l/s)14、擴(kuò)散泵抽速計(jì)算公式：      SQ/P(K·n)/(P·t)(升/秒)式中：S被試泵的抽氣速率(l/s)     n滴管內(nèi)油柱上升格數(shù)(格)t油柱上升n格所需要的時間(秒)   P在泵口附近測得的壓強(qiáng)(托)K滴管系數(shù)(托·升/秒)    KV0·(L/n)·(0/m)+PaVt             &

14、#160; 其中V0滴管和真空膠管的原始容積(升)    L滴管刻度部分的長度(mm)           n滴管刻度部分的格數(shù)(格)            0油的比重(克/厘米3)         m汞的比重(克/厘米3)           Pa當(dāng)?shù)卮髿鈮簭?qiáng)(托)          Vt滴管的刻

15、度上的一格的對應(yīng)的容積(升/格)15、旋片真空泵的幾何抽速計(jì)算公式：     SZnLKv(D2-d2)/(24×104) (l/s)       式中：Z為旋片數(shù)，n為轉(zhuǎn)速(轉(zhuǎn)/分)，L為泵腔長度，D為泵腔直徑，d為轉(zhuǎn)子直徑(cm)，Kv為容積利用系數(shù)(一般取95)。16、O型橡膠槽深B0.7D           D為橡膠直徑，槽寬C1.6B17、方形橡膠槽深B0.8A          A為方形橡膠邊

16、長，槽寬C1.67B                                      選用真空泵時，需要注意下列事項(xiàng)：    1、真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：真空鍍膜要求1×10-5mmHg的真空度，選用的真空泵的真空度至少要5×10-6mmHg。通常選擇泵的真空度要高于真空設(shè)備真空度半個到一個數(shù)量級。  

17、;   2、正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：擴(kuò)散泵為10-310-7mmHg，在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化，其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為5×10-45×10-6mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個范圍之內(nèi)，而不能讓它在10-8mmHg下長期工作。又如鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓強(qiáng)應(yīng)小于1×10-5mmHg為好。     3、真空泵在其工作壓強(qiáng)下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。     4、正確地組合真空泵。由于真空泵

18、有選擇性抽氣，因而，有時選用一種泵不能滿足抽氣要求，需要幾種泵組合起來，互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。另外，有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓，需要前級泵，故都需要把泵組合起來使用。     5、真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油

19、阱等，也能達(dá)到清潔真空要求。     6、了解被抽氣體成分，氣體中含不含可凝蒸氣，有無顆?；覊m，有無腐蝕性等。選擇真空泵時，需要知道氣體成分，針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體，應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備，如冷凝器、除塵器等。     7、真空泵排出來的油蒸氣對環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染，可以選無油真空泵，或者把油蒸氣排到室外。     8、真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響。若工藝過程不允許，應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施。  

20、;   9、真空泵的價(jià)格、運(yùn)轉(zhuǎn)及維修費(fèi)用。 水環(huán)式真空泵的選擇 一、泵類型的確定泵的類型主要由工作所需的氣量、真空度或排氣壓力而定。 泵工作時，需要注意以下兩個方面： 盡可能要求在高效區(qū)內(nèi)，也就是在臨界真空度或臨界排氣壓力的區(qū)域內(nèi)運(yùn)行。 應(yīng)避免在最大真空度或最大排氣壓力附近運(yùn)行。在此區(qū)域內(nèi)運(yùn)行，不僅效率極低，而且工作很不穩(wěn)定，易產(chǎn)生振動和噪音。對于真空度較高的真空泵而言，在此區(qū)域之內(nèi)運(yùn)行，往往還會發(fā)生汽蝕現(xiàn)象，產(chǎn)生這種現(xiàn)象的明顯標(biāo)志是泵內(nèi)有噪音和振動。汽蝕會導(dǎo)致泵體、葉輪等零件的損壞，以致泵無法工作。 根據(jù)以上原則，當(dāng)泵所需的真空度或氣體壓力不高時，可優(yōu)先在單級泵中選取。如

21、果真空度或排氣壓力較高，單級泵往往不能滿足，或者，要求泵在較高真空度情況下仍有較大氣量，即要求性能曲線在較高真空度時較平坦，可選用兩級泵。如果真空度要求在710mmHg以上，可選用水環(huán)大氣泵或水環(huán)羅茨真空機(jī)組作為抽真空裝置。 如果只作真空泵用，則選用單作用泵比較好。因?yàn)閱巫饔帽玫臉?gòu)造簡單，容易制造和維護(hù)，且在高真空情況下抗汽蝕性好。如果僅作較大氣量的壓縮機(jī)使用，則選用雙作用的泵比較合適。因?yàn)殡p作用泵的氣量大，體積小，重量輕，徑向力能得到自動平衡，軸不容易產(chǎn)生疲勞斷裂，泵的使用壽命較長。 二、根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量選擇真空泵 初步選定了泵的類型之后，對于真空泵，還要根據(jù)系統(tǒng)所需的氣量來選用泵的型號。關(guān)于真空泵的抽速選擇及抽氣時間計(jì)算可參