第5章 電感傳感器

1、第第5章電感式傳感器章電感式傳感器v5.1自感式電感傳感器及其應(yīng)用自感式電感傳感器及其應(yīng)用v5.2 差動變壓器及其應(yīng)用差動變壓器及其應(yīng)用v5.3 電感式傳感器及其應(yīng)用電感式傳感器及其應(yīng)用v小小 結(jié)結(jié)5.1 自感式電感傳感器及其應(yīng)用自感式電感傳感器及其應(yīng)用v5.1.1 自感式傳感器工作原理自感式傳感器工作原理v5.1.2 自感式電感傳感器的測量電路自感式電感傳感器的測量電路v5.1.3 自感式電感傳感器的應(yīng)用自感式電感傳感器的應(yīng)用第一節(jié)第一節(jié) 自感傳感器自感傳感器 電感傳感器種類很多，可分為自感式和互感電感傳感器種類很多，可分為自感式和互感量式兩大類。人們習(xí)慣上講量式兩大類。人們習(xí)慣上講電感傳感

2、器電感傳感器通常通常是是指自感傳感器指自感傳感器。為了觀察鐵心氣隙與電感的關(guān)系，我們先來做為了觀察鐵心氣隙與電感的關(guān)系，我們先來做一個實(shí)驗。將一只一個實(shí)驗。將一只380V交流接觸器線圈與交流毫交流接觸器線圈與交流毫安表串聯(lián)后，接到機(jī)床用控制變壓器的安表串聯(lián)后，接到機(jī)床用控制變壓器的36V交流電交流電壓源上，如圖所示。這時毫安表的示值約為幾十壓源上，如圖所示。這時毫安表的示值約為幾十毫安。用手慢慢將接觸器的活動鐵心（稱為銜鐵）毫安。用手慢慢將接觸器的活動鐵心（稱為銜鐵）往下按，將會發(fā)現(xiàn)毫安表的讀數(shù)逐漸減小。當(dāng)銜往下按，將會發(fā)現(xiàn)毫安表的讀數(shù)逐漸減小。當(dāng)銜鐵與固定鐵心之間的氣隙等于零時，毫安表的讀鐵

3、與固定鐵心之間的氣隙等于零時，毫安表的讀數(shù)只剩下十幾毫安。數(shù)只剩下十幾毫安。小小 實(shí)實(shí) 驗驗電感傳感器的基本工作電感傳感器的基本工作原理演示原理演示F F220V準(zhǔn)備工作準(zhǔn)備工作電感傳感器的基本工作電感傳感器的基本工作原理演示原理演示氣隙變小，電感變大，電流變小氣隙變小，電感變大，電流變小F F 由電工知識可知，當(dāng)鐵心的氣隙較大時，由電工知識可知，當(dāng)鐵心的氣隙較大時，磁路的磁阻磁路的磁阻R Rm m較大，線圈的電感量較大，線圈的電感量L L和感抗和感抗X XL L就較小，所以電流就較小，所以電流I I較大。較大。 當(dāng)鐵心閉合時，磁阻變小、電感變大，當(dāng)鐵心閉合時，磁阻變小、電感變大，電流減小。我

4、們可以利用上述實(shí)驗中自感量電流減小。我們可以利用上述實(shí)驗中自感量隨氣隙而改變的原理來制作測量位移的自感隨氣隙而改變的原理來制作測量位移的自感傳感器傳感器 。回顧與總結(jié)回顧與總結(jié)(3 1)2LUUUIZXfL5.1.1 自感式傳感器工作原理自感式傳感器工作原理v自感式電感傳感器的結(jié)構(gòu)示意圖如圖3.1所示，它主要由線圈、鐵心和銜鐵三部分組成。 自感式電感傳感器常見的形式自感式電感傳感器常見的形式 變隙式變隙式 變截面式變截面式 螺線管式螺線管式 1線圈 2鐵心 3銜鐵 4測桿 5導(dǎo)軌 6工件 7旋轉(zhuǎn)軸10RRRRm211111AlR2222AlRAR002RRR2102022AWRWLL0mRWL

5、202022AWRWL1102002AWL 0,0200200112)(2AWAWLLL1)(22200020AW00L)(1100001LLLLL012001LL00LLS.3020001LL時，當(dāng)100,0200200222)(2AWAWLLL00L.3020002 LL時，當(dāng)10002LL.11132xxxx時，當(dāng)1x13.13020001LL.13020002LL)(20201AWL)(20202AWL002LS .250300012LLLL 當(dāng)銜鐵偏離中間位當(dāng)銜鐵偏離中間位置時，兩個線圈的電感置時，兩個線圈的電感量一個量一個增加增加，一個，一個減小減小，形成差動形式。形成差動形式。

6、差動電感傳感器的特點(diǎn)差動電感傳感器的特點(diǎn) 1-1-差動線圈差動線圈 2-2-鐵心鐵心 3-3-銜鐵銜鐵 4-4-測桿測桿 5-5-工件工件 差動式電感傳感器差動式電感傳感器對外界影響，如溫度的對外界影響，如溫度的變化、電源頻率的變化變化、電源頻率的變化等基本上可以互相抵消，等基本上可以互相抵消，銜鐵承受的電磁吸力也銜鐵承受的電磁吸力也較小，從而減小了測量較小，從而減小了測量誤差。誤差。差動電感傳感器的特性差動電感傳感器的特性 曲線曲線1、2為為L1、L2 的特性，的特性，3為差動特性為差動特性 請分析：請分析： 從曲線圖可以看出，從曲線圖可以看出，與與非差動非差動電感傳感器相電感傳感器相比較，

7、差動式電感傳感比較，差動式電感傳感器的器的靈敏度、線性度靈敏度、線性度有有何變化？何變化？16l)(10472HlAWL5.1.2 自感式電感傳感器的測量電路自感式電感傳感器的測量電路v自感式電感傳感器的測量轉(zhuǎn)換電路通常采用電橋電路，其作用是把電感量的變化轉(zhuǎn)換為電壓或電流信號，以便送入后續(xù)放大電路進(jìn)行放大，然后由儀器指示或記錄。18ZZUUAC2000022LLULjRLjUACAC00ACUU002LL192212ACACBAABUUZZZUUU21122ZZZZUACZZZ210ABUZZZ2ZZZ1)()()()(2ZZZZZZZZUUACAB000222LLULjRLjUZZUACAC

8、ACCDAB2ACU2ACU20ZZZ1ZZZ2022LLUZZUUACACAB02LLUUACAB02LLUUACAB5.1.3 自感式電感傳感器的應(yīng)用自感式電感傳感器的應(yīng)用v自感式電感傳感器的應(yīng)用很廣泛，它不僅可直接用于測量位移，還可以用于測量振動、應(yīng)變、厚度、壓力、流量、液位等非電量。下面是自感式傳感器應(yīng)用的一些實(shí)例。v1. 壓力測量v2. 位移測量v3. 自感式測厚儀v4. 電感傳感器在仿形機(jī)床中的應(yīng)用v5. 電感式接近開關(guān)第三節(jié)第三節(jié) 電感式傳感器的應(yīng)用電感式傳感器的應(yīng)用 一、位移測量位移測量 軸向式軸向式電感測微電感測微器的外形器的外形 航空插頭航空插頭紅寶石測頭紅寶石測頭其他電感

9、測微頭其他電感測微頭模擬式及數(shù)字式模擬式及數(shù)字式電感測微儀電感測微儀軸向式電感測微器的內(nèi)部結(jié)構(gòu)軸向式電感測微器的內(nèi)部結(jié)構(gòu) 1 1引線電纜引線電纜 2 2固定磁筒固定磁筒 3 3銜鐵銜鐵 4 4線圈線圈 5 5測力彈簧測力彈簧 6 6防轉(zhuǎn)銷防轉(zhuǎn)銷 7 7鋼球?qū)к墸ㄖ本€軸承）鋼球?qū)к墸ㄖ本€軸承） 8 8測桿測桿 9 9密封套密封套 1010測端測端 1111被測工件被測工件 1212基準(zhǔn)面基準(zhǔn)面 探頭探頭測量測量電橋電橋交流交流放大放大相敏相敏檢波檢波指示器指示器振蕩器振蕩器電感式滾柱直徑分選裝置電感式滾柱直徑分選裝置 滾柱直徑分選裝置圖滾柱直徑分選裝置圖 1 1氣缸氣缸 2 2活塞活塞 3 3推

10、桿推桿 4 4被測滾柱被測滾柱 5 5落料管落料管 6 6電感測微器電感測微器 7 7鎢鋼測頭鎢鋼測頭 8 8限位擋板限位擋板 9 9電磁翻板電磁翻板 1010容器（料斗）容器（料斗） 電感式滾柱直徑分選裝置電感式滾柱直徑分選裝置 測微儀測微儀圓柱滾子圓柱滾子電感式滾柱直徑分選裝置電感式滾柱直徑分選裝置（外形）（外形） 滑道滑道分選分選倉位倉位軸承滾子外形軸承滾子外形（參考中原量儀股份有限公司資料）（參考中原量儀股份有限公司資料）電感式滾柱直徑分電感式滾柱直徑分選裝置選裝置外形外形落料振動臺落料振動臺滑道滑道11個分選倉位個分選倉位（參考無錫市通達(dá)滾（參考無錫市通達(dá)滾子有限公司資料）子有限公司

11、資料）廢料倉廢料倉電感式滾柱直徑分選裝置（電感式滾柱直徑分選裝置（機(jī)械結(jié)構(gòu)放大）機(jī)械結(jié)構(gòu)放大）汽缸汽缸控制鍵盤控制鍵盤直徑測微裝置直徑測微裝置長度測微裝置長度測微裝置滑道滑道機(jī)械及氣動元件機(jī)械及氣動元件電感測微器電感測微器汽缸汽缸 氣水分離器氣水分離器（供氣三聯(lián)件）（供氣三聯(lián)件）儲氣罐儲氣罐導(dǎo)氣管導(dǎo)氣管 氣壓表氣壓表（0.4MPa左右）左右）電感式滾柱直徑分選界面電感式滾柱直徑分選界面 分選分選結(jié)果基本結(jié)果基本符合符合 正態(tài)分布正態(tài)分布差動變壓器式厚度測量原理差動變壓器式厚度測量原理 電感式不圓度計原理電感式不圓度計原理 該圓度計采用該圓度計采用旁向式電感測微頭旁向式電感測微頭電感式不圓度測試

12、系統(tǒng)電感式不圓度測試系統(tǒng)旁向式電感測微頭旁向式電感測微頭電感式不圓度測量系統(tǒng)外形電感式不圓度測量系統(tǒng)外形（參考（參考洛陽匯智測控技術(shù)有限公司資料）洛陽匯智測控技術(shù)有限公司資料）旋轉(zhuǎn)盤旋轉(zhuǎn)盤測量頭測量頭不圓度測量打印不圓度測量打印電感式輪廓儀電感式輪廓儀 旁向式旁向式電感電感 測微頭測微頭壓力測量壓力測量 1壓力輸入接壓力輸入接頭頭 2波紋膜盒波紋膜盒 3電纜電纜 4印制線路板印制線路板 5差動線圈差動線圈 6銜鐵銜鐵 7電源變壓器電源變壓器 8罩殼罩殼 9指示燈指示燈 10密封隔板密封隔板 11安裝底座安裝底座2ZRjfL222232402400 30 1085.4ARfL2212285.4R

13、RRfL2211040.234V22 85.42(2 )oZZUUUZRfl答：(1)阻抗的幅值為使4臂阻抗相有：(2)差動5.2 差動變壓器及其應(yīng)用差動變壓器及其應(yīng)用v5.2.1 差動變壓器的工作原理和結(jié)構(gòu)形式差動變壓器的工作原理和結(jié)構(gòu)形式v5.2.2 差動變壓器的測量電路差動變壓器的測量電路v5.2.3 差動變壓器的應(yīng)用差動變壓器的應(yīng)用5.2.1 差動變壓器的工作原理和結(jié)構(gòu)差動變壓器的工作原理和結(jié)構(gòu)形式形式v工作原理v互感式電感傳感器本身相當(dāng)于一個變壓器，當(dāng)一次線圈接入電源后，二次線圈就將產(chǎn)生感應(yīng)電動勢，當(dāng)互感變化時，感應(yīng)電動勢也相應(yīng)變化。差動變壓器像自感傳感器一樣，也有變氣隙式、變面積式

14、和螺管式三種類型，目前應(yīng)用最廣泛的是螺管式差動變壓器。差動變壓器的工作原理差動變壓器的工作原理 差動變壓器是把差動變壓器是把被測位移量被測位移量轉(zhuǎn)換為一次線轉(zhuǎn)換為一次線圈與二次線圈間的圈與二次線圈間的互感量互感量M的變化的變化的裝置。由的裝置。由于兩個二次線圈采用差動接法，故稱為差動變于兩個二次線圈采用差動接法，故稱為差動變壓器。目前應(yīng)用最廣泛的結(jié)構(gòu)型式是螺線管式壓器。目前應(yīng)用最廣泛的結(jié)構(gòu)型式是螺線管式差動變壓器。差動變壓器。 在差動變壓器的線框上繞有一組輸入線圈在差動變壓器的線框上繞有一組輸入線圈（稱一次線圈）；在同一線框的上端和下端再（稱一次線圈）；在同一線框的上端和下端再繞制兩組完全對稱

15、的線圈（稱二次線圈），它繞制兩組完全對稱的線圈（稱二次線圈），它們反向串聯(lián)，組成差動輸出形式。圖中標(biāo)有黑們反向串聯(lián)，組成差動輸出形式。圖中標(biāo)有黑點(diǎn)的一端稱為同名端，通俗的說法是指線圈的點(diǎn)的一端稱為同名端，通俗的說法是指線圈的“頭頭”。 返 回差動變壓器差動變壓器差動變壓器是把被測的非電量變化轉(zhuǎn)換成線圈互感量的變化。這種傳感器是根據(jù)變壓器的基本原理制成的，并且次級繞組用差動的形式連接，故稱之為差動變壓器式傳感器。 變隙式 變面積式 螺線管式下一頁返 回(a)、(b) 變隙式差動變壓器；(c)、(d) 螺線管式差動變壓器；(e)、(f) 變面積式差動變壓器 上一頁返 回下一頁5.2.1 5.2.1

16、 差動變壓器差動變壓器 變隙式差動變壓器 螺線管式差動變壓器 差動變壓器應(yīng)用 上一頁返 回下一頁變隙式差動變壓器變隙式差動變壓器 當(dāng)一次側(cè)線圈接入激勵電壓后，二次側(cè)線圈將產(chǎn)生感應(yīng)電壓輸出互感變化時，輸出電壓將作相應(yīng)變化 上一頁返 回下一頁兩個初級繞組的同名端順向串聯(lián)，而兩個次級繞組的同名端則反向串聯(lián)。當(dāng)沒有位移時，銜鐵C處于初始平衡位置，它與兩個鐵芯的間隙為a0 =b0=0兩個次級繞組的互感電勢相等，即e2a=e2b。由于次級繞組反向串聯(lián)，因此，差動變壓器輸出電壓當(dāng)被測體有位移時，與被測體相連的銜鐵的位置將發(fā)生相應(yīng)的變化，使ab兩次級繞組的互感電勢e2ae2b，輸出電壓 電壓的大小反映了被測位

17、移的大小，通過用相敏檢波等電路處理，使最終輸出電壓的極性能反映位移的方向。0222baeeU0222baeeU1. 1. 工作原理工作原理上一頁返 回下一頁. .輸出特性輸出特性 .112.2UWWUabab上一頁返 回下一頁如果被測體帶動銜鐵移動 01122UWWU01122UWWUK圖3.2.3 變隙式差動變壓器輸出特性 理想特性； 實(shí)際特性上一頁返 回下一頁結(jié)論：結(jié)論： （）供電電源首先要穩(wěn)定，電源幅值的適當(dāng)提高可以提高靈敏度K值;（）增加W2/W1的比值和減少0都能使靈敏度K值提高;（）以上分析的結(jié)果是在忽略鐵損和線圈中的分布電容條件下得到的;（）以上結(jié)果是在假定工藝上嚴(yán)格對稱前提下得

18、到的，而實(shí)際上很難做到這一點(diǎn);（）上述推導(dǎo)是在變壓器副邊開路的情況下得到的。上一頁返 回下一頁螺線管式差動變壓器 1. 工作原理2. 基本特性 3. 主要性能4. 零點(diǎn)殘余電壓及消除方法5. 轉(zhuǎn)換電路上一頁返 回下一頁. 工作原理工作原理 -活動銜鐵；-導(dǎo)磁外殼；-骨架；-匝數(shù)為W1初級繞組；-匝數(shù)為W2a的次級繞組；-匝數(shù)為W2b的次級繞組上一頁返 回下一頁圖3.2.6 差動變壓器輸出電壓特性曲線 上一頁返 回下一頁. 基本特性基本特性當(dāng)次級開路時有 ,初級線圈激勵電流 1111LjrUI根據(jù)電磁感應(yīng)定律，次級繞組中感應(yīng)電勢的表達(dá)式為 112IMjEa122IMjEb次級兩繞組反相串聯(lián)，且考

19、慮到次級開路，則 11121222LjrUMMjEEUba21211212LrUMMU輸出電壓有效值 上一頁返 回下一頁基本特性分析：基本特性分析： （1）當(dāng)活動銜鐵處于中間位置時 M1= M2=M 則 U2=0（2）當(dāng)活動銜鐵向W2a方向移動時 M1= M+M, M2= M-M 故 （3）當(dāng)活動銜鐵向W2b方向移動時 M1= M-M，M2= M+M 故 2121122LrMUU2121122LrMUU上一頁返 回下一頁. 主要性能主要性能（1）靈敏度（2）線性度上一頁返 回下一頁（1）靈敏度）靈敏度 差動變壓器在單位電壓激勵下，鐵芯移動一個單位距離時的輸出電壓，以V/mm/V表示。 理想條件

20、下，差動變壓器的靈敏度KE正比于電源激勵頻率f .圖3.2.7 KE與f關(guān)系曲線上一頁返 回下一頁提高輸入激勵電壓，將使傳感器靈敏度按線性增加。 除了激勵頻率和輸入激勵電壓對差動變壓器靈敏度有影響外，提高線圈品質(zhì)因數(shù)Q值，增大銜鐵直徑，選擇導(dǎo)磁性能好，鐵損小以及渦流損耗小的導(dǎo)磁材料制作銜鐵和導(dǎo)磁外殼等可以提高靈敏度。上一頁返 回下一頁（2）線性度）線性度傳感器實(shí)際特性曲線與理論直線之間的最大偏差除以測量范圍（滿量程），并用百分?jǐn)?shù)來表示。 影響差動變壓器線性度的因素:骨架形狀和尺寸的精確性，線圈的排列，鐵芯的尺寸和材質(zhì)，激勵頻率和負(fù)載狀態(tài)等。 改善差動變壓器的線性度: 取測量范圍為線圈骨架長度的

21、1/10-1/4，激勵頻率采用中頻，配用相敏檢波式測量電路 上一頁返 回下一頁4. 零點(diǎn)殘余電壓及消除方法零點(diǎn)殘余電壓及消除方法零點(diǎn)殘余電壓危害： 使傳感器輸出特性在零點(diǎn)附近的范圍內(nèi)不靈敏，限制著分辨力的提高。 零點(diǎn)殘余電壓太大，將使線性度變壞，靈敏度下降，甚至?xí)狗糯笃黠柡?，堵塞有用信號通過，致使儀器不再反映被測量的變化。 上一頁返 回下一頁產(chǎn)生零點(diǎn)殘余電壓的原因產(chǎn)生零點(diǎn)殘余電壓的原因 （1）由于兩個二次測量線圈的等效參數(shù)不對稱，使其輸出的基波感應(yīng)電動勢的幅值和相位不同，調(diào)整磁芯位置時，也不能達(dá)到幅值和相位同時相同。（2）由于鐵芯的B-H特性的非線性，產(chǎn)生高次諧波不同，不能互相抵消。上一頁返

22、 回下一頁減小零點(diǎn)殘余電壓措施減小零點(diǎn)殘余電壓措施： （1）在設(shè)計和工藝上，力求做到磁路對稱，線圈對稱。鐵芯材料要均勻，要經(jīng)過熱處理去除機(jī)械應(yīng)力和改善磁性。兩個二次側(cè)線圈窗口要一致，兩線圈繞制要均勻一致。一次側(cè)線圈繞制也要均勻。（2）采用拆圈的實(shí)驗方法來減小零點(diǎn)殘余電壓。其思路是，由于兩個二次側(cè)線圈的等效參數(shù)不相等，用拆圈的方法，使兩者等效參數(shù)相等。（3）在電路上進(jìn)行補(bǔ)償。線路補(bǔ)償主要有：加串聯(lián)電阻，加并聯(lián)電容，加反饋電阻或反饋電容等。上一頁返 回下一頁補(bǔ)償零點(diǎn)殘余電壓的電路補(bǔ)償零點(diǎn)殘余電壓的電路 上一頁返 回下一頁5.2.2 差動變壓器的測量電路差動變壓器的測量電路v差動變壓器的輸出電壓是交

23、流分量，若用交流電壓表測量，既不能反映銜鐵移動的極性，又不能解決零點(diǎn)殘余電壓問題，為此，常采用差動相敏檢波電路和差動整流電路。v差動相敏檢波電路 （1）差動整流電路 （2）相敏檢波電路 （3）直流差動變壓器電路上一頁返 回下一頁（1）差動整流電路）差動整流電路(a)、(b)適用于高阻抗負(fù)載(c)、(d)適用于低阻抗負(fù)載電阻R0用于調(diào)整零點(diǎn)殘余電壓。 上一頁返 回下一頁測量電路測量電路 （以以差動整流差動整流為為例）例）1、2虛焊，虛焊，Ua o、 Ub o將變成什么波形？將變成什么波形？ 圖中的圖中的R P起什么作用？起什么作用？普通的全波整流電路及波形電路普通的全波整流電路及波形電路只能得到

24、單一方向的直流電，不能反只能得到單一方向的直流電，不能反映輸入信號的相位。映輸入信號的相位。（2）相敏檢波電路）相敏檢波電路 (a）被測位移變化波形圖；(b)差動變壓器激勵電壓波形；(c) 差動變壓器輸出電壓波形；(d)相敏檢波解調(diào)電壓波形；(e)相敏檢波輸出電壓波形上一頁返 回下一頁735.35.3電感式傳感器的應(yīng)用電感式傳感器的應(yīng)用v1位移測量位移測量v差動變壓器測量的基本量仍然是位移。它可以作為精密差動變壓器測量的基本量仍然是位移。它可以作為精密測量儀的主要部件，對零件進(jìn)行多種精密測量工作，如測量儀的主要部件，對零件進(jìn)行多種精密測量工作，如內(nèi)徑、外徑、不平行度、粗糙度、不垂直度、振擺、偏

25、內(nèi)徑、外徑、不平行度、粗糙度、不垂直度、振擺、偏心和橢圓度等；作為軸承滾動自動分選機(jī)的主要測量部心和橢圓度等；作為軸承滾動自動分選機(jī)的主要測量部件，可以分選大、小鋼球、圓柱、圓錐等；用于測量各件，可以分選大、小鋼球、圓柱、圓錐等；用于測量各種零件膨脹、伸長、應(yīng)變等。種零件膨脹、伸長、應(yīng)變等。v 圖為圖為。當(dāng)某一設(shè)定液位使鐵芯處于中心位置時，當(dāng)某一設(shè)定液位使鐵芯處于中心位置時，差動變壓器輸出信號差動變壓器輸出信號Uo=0；當(dāng)液位上升；當(dāng)液位上升或下降時，或下降時，Uo 0，通過相應(yīng)的測量電路，通過相應(yīng)的測量電路便能確定液位的高低便能確定液位的高低。 浮子鐵芯液罐74v2振動和加速度測量振動和加速

26、度測量 v利用差動變壓器加上懸臂梁彈性支承可構(gòu)成加速度計。利用差動變壓器加上懸臂梁彈性支承可構(gòu)成加速度計。為了滿足測量精度，加速度計的固有頻率應(yīng)比被測頻率為了滿足測量精度，加速度計的固有頻率應(yīng)比被測頻率上限大上限大35倍。由于運(yùn)動系統(tǒng)質(zhì)量倍。由于運(yùn)動系統(tǒng)質(zhì)量m不可能太小，而增不可能太小，而增加彈性片剛度加彈性片剛度k又使加速度計靈敏度受到影響，因此系又使加速度計靈敏度受到影響，因此系統(tǒng)固有頻率不可能很高。所以，能測量的振動頻率上限統(tǒng)固有頻率不可能很高。所以，能測量的振動頻率上限就受到限制，一般在就受到限制，一般在150Hz以下。高頻時加速度測量用以下。高頻時加速度測量用壓電式傳感器。壓電式傳感

27、器。v 差動變壓器加速度計結(jié)構(gòu)及其測量電路框圖差動變壓器加速度計結(jié)構(gòu)及其測量電路框圖v(a)結(jié)構(gòu)；結(jié)構(gòu)；(b)測量電路框圖測量電路框圖v1-彈性支承；彈性支承；2-差動變壓器差動變壓器輸出被測加速度方向振蕩器穩(wěn)壓電源檢波器濾波器75v3壓力測量壓力測量v差動變壓器和彈性敏感元件組合，可以組成開環(huán)壓力傳差動變壓器和彈性敏感元件組合，可以組成開環(huán)壓力傳感器。由于差動變壓器輸出是標(biāo)準(zhǔn)信號，常稱為變送器。感器。由于差動變壓器輸出是標(biāo)準(zhǔn)信號，常稱為變送器。v (a)微壓變送器；微壓變送器； (b)測量電路框圖測量電路框圖v 1-接頭；接頭；2-膜盒；膜盒；3-底座；底座；4-線路板；線路板；5-差動變壓器線