電子顯微鏡習(xí)題三答案

1、精選優(yōu)質(zhì)文檔-傾情為你奉上習(xí)題三1. “SEM”的中英文全稱 掃描式電子顯微鏡 scanning electron microscopy2. 掃描電子顯微鏡的主要構(gòu)造有哪些? 電子光學(xué)系統(tǒng) 掃描系統(tǒng) 信號(hào)探測(cè)放大系統(tǒng) 圖象顯示和記錄系統(tǒng) 真空系統(tǒng) 電源系統(tǒng)3. 掃描電子顯微鏡的主要工作原理是什么？掃描電鏡的工作原理可以簡(jiǎn)單地歸納為“光柵掃描，逐點(diǎn)成像“。用一束極細(xì)的電子束掃描樣品，在樣品表面激發(fā)出次級(jí)電子，次級(jí)電子的多少與電子束入射角有關(guān)，也就是說(shuō)與樣品的表面結(jié)構(gòu)形貌有關(guān)，次級(jí)電子由探測(cè)器收集，并被閃爍器轉(zhuǎn)變?yōu)楣庑盘?hào)，再經(jīng)光電倍增管和放大器轉(zhuǎn)變?yōu)殡娦盘?hào)來(lái)控制熒光屏上電子束的強(qiáng)度，顯示出與電子束

2、同步的掃描圖像。圖像為立體形象，反映了樣品的表面結(jié)構(gòu)形貌4. “SEM”中的掃描系統(tǒng)由哪些主要部件構(gòu)成掃描系統(tǒng)主要由掃描偏轉(zhuǎn)線圈、掃描信號(hào)發(fā)生器；掃描放大控制器等部件組成 5. “SEM”中，掃描系統(tǒng)的主要作用是什么？電子光學(xué)系統(tǒng)和掃描系統(tǒng)的作用是用來(lái)獲得掃描電子束，作為信號(hào)的激發(fā)源6. 掃描電子顯微鏡的放大倍數(shù)是如何定義的？7. 在“SEM”中，掃描電子束激發(fā)樣品產(chǎn)生的物理信號(hào)主要有哪些？8. “SEM”中二次電子像和背散射電子像的主要異同是什么？ 用背反射信號(hào)進(jìn)行形貌分析時(shí)，其分辨率比二次電子低。背散射電子來(lái)自樣品表層幾百納米的深度范圍。不僅能用作形貌分析，而且可以用來(lái)顯示原子序數(shù)襯度，定

3、性地用作成分分析。 二次電子是在入射電子束的作用下被轟擊出來(lái)并離開樣品表面的樣品原子的核外電子，來(lái)自表層510nm，能有效顯示樣品表面形貌，二次電子的產(chǎn)額和原子序數(shù)之間沒(méi)有明顯的依賴關(guān)系，不能用它來(lái)進(jìn)行成分分析9. 在“SEM”中，接收樣品信息的探測(cè)器主要有哪些？10. 在圖-1所示樣品表面形貌示意圖中，a、b、d、f處的二次電子產(chǎn)率由高到低的排序是什么？圖-1樣品表面形貌示意圖二次電子產(chǎn)率：a<b<d<e 或 f(邊緣效應(yīng)), e 與f 難以區(qū)分a<b<d<c(尖端效應(yīng))11. 隨著原子序數(shù)的增大，背散射電子產(chǎn)額是增大還是減小？ 增大12. 在圖-2所示背散射電子圖像中，A、B二處原子序數(shù)較大的是誰(shuí)？ A圖-2背散射電子圖像AB13. 掃描電子顯微鏡有哪些主要的性能指標(biāo)？ 分辨率 放大倍數(shù) 景深14. 用掃描電子顯微鏡觀察非導(dǎo)電樣品，為何通常要在非導(dǎo)電樣品的表面鍍上一層薄導(dǎo)電膜？ 非導(dǎo)電樣品，如塑料、礦物等，在電子束作用下會(huì)產(chǎn)生電荷堆積，影響入射電子束斑和樣品發(fā)射的二次電子運(yùn)動(dòng)軌跡，使圖像質(zhì)量下降。15. 在非導(dǎo)電樣品的表面鍍上一層薄導(dǎo)電膜，所采用的材料通常有哪些？導(dǎo)電膜的鍍膜方法主要有哪二種？