表面擴(kuò)滲新技術(shù)

1、表面擴(kuò)滲新技術(shù)表面擴(kuò)滲新技術(shù)14115336陶國強(qiáng)科學(xué)11-2班緒論 表面擴(kuò)滲是將置于一定的活性介質(zhì)中加熱到一定的溫度，是預(yù)定的金屬和非金屬向工作表層擴(kuò)散滲入，形成一定厚度的擴(kuò)散層，以改變表層的成分、組織和性能， 分解分解滲劑通過一定溫度下的化學(xué)反應(yīng)或蒸發(fā)作用，滲劑通過一定溫度下的化學(xué)反應(yīng)或蒸發(fā)作用，形成含有一定介質(zhì)的活性介質(zhì)，再通過活性原形成含有一定介質(zhì)的活性介質(zhì)，再通過活性原子在滲劑中的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)達(dá)到工件表面。子在滲劑中的擴(kuò)散運(yùn)動(dòng)達(dá)到工件表面。滲入元素的活性原子吸附于工件表面并發(fā)滲入元素的活性原子吸附于工件表面并發(fā)生相界面反應(yīng)生相界面反應(yīng)吸收吸收擴(kuò)散擴(kuò)散吸附的活性原子從工件的表面向內(nèi)部擴(kuò)吸附

2、的活性原子從工件的表面向內(nèi)部擴(kuò)散，并與金屬基體形成固溶體化合物散，并與金屬基體形成固溶體化合物（1）基本過程）基本過程（2）主要特點(diǎn)）主要特點(diǎn) 改善工件表面的綜合性能；改善工件表面的綜合性能； 對(duì)被滲工件的幾何形狀和尺寸影響很小，工件變形小、精對(duì)被滲工件的幾何形狀和尺寸影響很小，工件變形小、精度高尺寸穩(wěn)定性好；度高尺寸穩(wěn)定性好； 可通過選擇和控制滲入元素和滲層深度，使工件表面獲得可通過選擇和控制滲入元素和滲層深度，使工件表面獲得不同性能；不同性能； 不收工件形狀的局限；不收工件形狀的局限； 可節(jié)約貴重金屬，降低成本；可節(jié)約貴重金屬，降低成本； 多數(shù)表面擴(kuò)滲工藝復(fù)雜，處理周期長(zhǎng)，對(duì)設(shè)備要求較高。

3、多數(shù)表面擴(kuò)滲工藝復(fù)雜，處理周期長(zhǎng)，對(duì)設(shè)備要求較高。根據(jù)滲入元素根據(jù)滲入元素介質(zhì)所處的狀介質(zhì)所處的狀態(tài)不同態(tài)不同固體法、液體法、氣體法、等離子固體法、液體法、氣體法、等離子法法滲入非金屬元素、滲入金屬元素、滲入非金屬元素、滲入金屬元素、滲入金屬滲入金屬-非金屬和擴(kuò)散消除雜質(zhì)非金屬和擴(kuò)散消除雜質(zhì)元素等元素等按工件表面化按工件表面化學(xué)成分的變化學(xué)成分的變化特點(diǎn)特點(diǎn)（3）分類）分類 1） 滲金屬滲金屬 滲金屬滲金屬是采用加熱的方法，是一種或多種金屬擴(kuò)散入工是采用加熱的方法，是一種或多種金屬擴(kuò)散入工件表面合金層。這一表面層稱為件表面合金層。這一表面層稱為滲層滲層或或擴(kuò)散滲層。擴(kuò)散滲層。 滲金屬的主要特點(diǎn)

4、是：滲層是靠加熱擴(kuò)散形成的，滲層滲金屬的主要特點(diǎn)是：滲層是靠加熱擴(kuò)散形成的，滲層與集體結(jié)合牢固，結(jié)合強(qiáng)度高；滲層具有與基體金屬不與集體結(jié)合牢固，結(jié)合強(qiáng)度高；滲層具有與基體金屬不同的成分和組織，因而可獲得特殊的性能。同的成分和組織，因而可獲得特殊的性能。 常用方法：氣相滲金屬法、固相滲金屬法常用方法：氣相滲金屬法、固相滲金屬法 滲鋁滲鋁 工件經(jīng)滲鋁后具有很高的抗高溫氧化與抗燃?xì)鈴?fù)試能力在工件經(jīng)滲鋁后具有很高的抗高溫氧化與抗燃?xì)鈴?fù)試能力在大氣硫化氫堿和海水等介質(zhì)中具有良好的耐腐蝕性能。大氣硫化氫堿和海水等介質(zhì)中具有良好的耐腐蝕性能。 主要用于鋼鐵材料，鐵基粉墨冶金銅合金和鈦合金。主要用于鋼鐵材料，

5、鐵基粉墨冶金銅合金和鈦合金。 主要方法有粉末滲鋁熱浸滲鋁，氣體滲鋁熱噴涂滲鋁靜電主要方法有粉末滲鋁熱浸滲鋁，氣體滲鋁熱噴涂滲鋁靜電噴涂滲鋁電泳沉積滲鋁料漿滲鋁等。噴涂滲鋁電泳沉積滲鋁料漿滲鋁等。 其中應(yīng)用最多的是粉末滲鋁和熱浸滲鋁。其中應(yīng)用最多的是粉末滲鋁和熱浸滲鋁。粉末滲鋁是將工件置于裝有主要成分為鋁粉鋁鉄合金或鋁鉬合金粉末氯化物或其活性劑氧化鋁等粉末混合物的專用得易熔合金密封的料罐中通過化學(xué)氣相反應(yīng)和熱擴(kuò)散作用形成滲鋁層。熱浸滲鋁熱浸滲鋁是將工件浸入熔融的主要由工業(yè)純鋁和少是將工件浸入熔融的主要由工業(yè)純鋁和少量的鐵組成并加有硅的鋁浴中，借助于熔融的鋁液量的鐵組成并加有硅的鋁浴中，借助于熔融

6、的鋁液與工件表面材料的材料互溶而形成富鋁的合金層其與工件表面材料的材料互溶而形成富鋁的合金層其最大特點(diǎn)是生產(chǎn)周期短操作方便成本低不需復(fù)雜設(shè)最大特點(diǎn)是生產(chǎn)周期短操作方便成本低不需復(fù)雜設(shè)備。備。兩種方法都需進(jìn)行擴(kuò)散退火，以降低脆性和表面鋁兩種方法都需進(jìn)行擴(kuò)散退火，以降低脆性和表面鋁濃度使?jié)B層與基體結(jié)合的更緊密。濃度使?jié)B層與基體結(jié)合的更緊密。滲鉻滲鉻 滲鉻穆鉻的滲鉻穆鉻的目的目的主要有兩個(gè)：主要有兩個(gè)：是為了是為了提高鋼和耐熱合金的耐蝕性和抗氧化性提高鋼和耐熱合金的耐蝕性和抗氧化性, ,提高持久強(qiáng)度和疲勞強(qiáng)度提高持久強(qiáng)度和疲勞強(qiáng)度二是為了用二是為了用普通鋼材代替昂貴的不銹鋼耐熱鋼和高普通鋼材代替昂貴

7、的不銹鋼耐熱鋼和高鉻合金鋼鉻合金鋼, , 滲鉻方法主要有固體液體和氣體滲鉻三種滲鉻方法主要有固體液體和氣體滲鉻三種, ,人造心臟人造心臟人造關(guān)節(jié)人造關(guān)節(jié) 固體滲鉻固體滲鉻有粉末裝箱滲鉻和膏劑滲鉻等有粉末裝箱滲鉻和膏劑滲鉻等,其中常用粉末滲鉻劑的主要成分為鉻粉其中常用粉末滲鉻劑的主要成分為鉻粉或鉻鐵合金粉末。氯化物或其活性劑或鉻鐵合金粉末。氯化物或其活性劑,氧氧化鋁化鋁(惰性添加劑惰性添加劑)等的粉末狀混合物；等的粉末狀混合物； 液體滲駱液體滲駱在含有活性鉻原子的鹽浴中進(jìn)在含有活性鉻原子的鹽浴中進(jìn)行行,具有設(shè)備簡(jiǎn)單，加熱均勻具有設(shè)備簡(jiǎn)單，加熱均勻,生產(chǎn)周期短生產(chǎn)周期短,可直接淬火等特點(diǎn)。主要有硬

8、砂鹽浴滲可直接淬火等特點(diǎn)。主要有硬砂鹽浴滲鉻和氯化物鹽浴滲鉻兩類；鉻和氯化物鹽浴滲鉻兩類； 固體滲鉻固體滲鉻 液體神格液體神格 氣體滲鉻氣體滲鉻在多為鉻的氟化物和氯化物的在多為鉻的氟化物和氯化物的氣體滲鉻介質(zhì)中進(jìn)行。具有滲速快、勞氣體滲鉻介質(zhì)中進(jìn)行。具有滲速快、勞動(dòng)強(qiáng)度小，滲層質(zhì)量高動(dòng)強(qiáng)度小，滲層質(zhì)量高,有表面光潔有表面光潔,氣體氣體有毒性及腐蝕性等特點(diǎn)。有毒性及腐蝕性等特點(diǎn)。滲釩滲釩.滲鈮滲鈮.滲鈦滲鈦 原理原理：釩：釩.鈮鈮.鈦鉭等金屬元素可與鋼中碳鈦鉭等金屬元素可與鋼中碳原子結(jié)合，在表面形成碳化物型滲層原子結(jié)合，在表面形成碳化物型滲層.適適用于高碳鋼用于高碳鋼.為獲得碳化物層為獲得碳化物

9、層,基體的含碳基體的含碳量必須超過量必須超過045%. 工藝方法：工藝方法：鹽浴法鹽浴法.粉末法和氣體法。其粉末法和氣體法。其中硼砂鹽浴法應(yīng)用最多中硼砂鹽浴法應(yīng)用最多.滲釩內(nèi)模滲釩內(nèi)模滲釩劑滲釩劑滲鈮滲鈦硼砂鹽浴法硼砂鹽浴法 也叫硼砂浴覆層法,是在硼砂中加人欲滲金屬。這些金屬在硼砂浴中以高度彌散態(tài)懸浮,以硼砂為載體在高溫下通過鹽浴本身的不斷對(duì)流與被處理工件表面接觸、吸附并向內(nèi)擴(kuò)散;與此同時(shí).基體中的碳向表面遷移,從而在表面獲得碳化物覆層.碳化物滲層具有熔點(diǎn)高.硬度極高.熱穩(wěn)定性好.抗咬合性及磨性和耐蝕性優(yōu)良滲硼滲硼 定義：定義：滲硼是把工件置于含有硼原子的介質(zhì)中，加熱到一定溫度，保溫一段時(shí)間，

10、通過化學(xué)或電化學(xué)反應(yīng),使硼原子滲入工件表層形成一層堅(jiān)硬的硼化物滲層. 目的：目的：滲硼主要是為了提高金屬表面的硬度.耐磨性.耐蝕性和抗高溫氧化性:可用于鋼鐵材料.硬質(zhì)合金.金屬陶瓷和某些有色金屬如鈦鉭和鎳基合金:滲硼工件滲硼工件 滲硼最合適的鋼種為中碳鋼及中碳合金滲硼最合適的鋼種為中碳鋼及中碳合金鋼鋼,滲硼后為了改善基體的力學(xué)性能滲硼后為了改善基體的力學(xué)性能,應(yīng)應(yīng)進(jìn)進(jìn)行淬火行淬火+回火處理回火處理, 有色金屬滲硼通常是在非晶態(tài)硼中進(jìn)行有色金屬滲硼通常是在非晶態(tài)硼中進(jìn)行的的,有色金屬如鈦有色金屬如鈦:及其合金必須在商純氬及其合金必須在商純氬或高真空中進(jìn)行或高真空中進(jìn)行,且必須在滲硼前對(duì)非晶且必須

11、在滲硼前對(duì)非晶碰進(jìn)行除氧大多數(shù)難熔金屬都能滲硼碰進(jìn)行除氧大多數(shù)難熔金屬都能滲硼,滲硼工藝手段滲硼工藝手段 主要有固體液體氣體和等離子滲硼。（工業(yè):上最常用的是固體和液體滲硼.）固體滲硼固體滲硼在本質(zhì)屬于氣態(tài)催化反應(yīng)的氣相滲硼, 供硼劑在高溫和活化劑的作用F形成氣態(tài)硼化物。它在工件表不斷化合與分解,釋放出活性硼原子并不斷被工件表面吸附并向工件內(nèi)擴(kuò)散,形成穩(wěn)定的鐵的硼化物層.種類：種類：粉末法粉末法、粒狀法粒狀法、膏劑法膏劑法 液體滲硼液體滲硼 液體滲硼又叫鹽浴滲硼,是將工件放在硼砂和還原劑組成的鹽浴中進(jìn)行的。 氣體滲硼氣體滲硼 氣體滲硼與固體滲硼的區(qū)別是供硼劑為氣體,氣體滲硼需用易爆的憶硼烷或有

12、毒的氯化硼,故沒有用于工業(yè)生產(chǎn)。 等離子滲硼等離子滲硼 可以用氣體滲硼類似的介質(zhì).這一領(lǐng)域已進(jìn)行了研究,但還沒有在工業(yè)上應(yīng)用。滲硅滲硅 定義：定義：滲硅是將含硅的化合物通過置換還原和熱分解得到的活性硅,被材料表面所吸附并向內(nèi)擴(kuò)散,從而形成含硅的表層 目的：目的：提高工件的耐蝕性穩(wěn)定性硬度和耐磨性。 場(chǎng)所場(chǎng)所:可在粉末.鹽浴或氣體介質(zhì)中進(jìn)行,也可在真空或流態(tài)床中進(jìn)行滲硫滲硫 滲硫的目的目的是在鋼鐵工件表面生成FeS(或FeS2+FeS)薄膜,以降低摩擦系數(shù),提高抗咬合性能,一般滲硫應(yīng)在淬火滲碳,軟氮化等工藝之后進(jìn)行。 由于滲硫?qū)訉?shí)質(zhì)上是由FeS(或FeS2+FeS)組成的化學(xué)轉(zhuǎn)化膜,因此對(duì)于有色

13、金屬及表面具有氧化物保護(hù)薄膜的不銹鋼等不適用。 各種滲硫方法滲硫方法中,應(yīng)用較多的是低溫液體電解滲硫定義：定義：共滲是將工件置于含有至少兩種欲滲元素的滲劑中經(jīng)過一次加熱擴(kuò)散過程,使多種元素同時(shí)滲入工件表層的表面擴(kuò)滲工藝；復(fù)合滲則是把工件先后分別置于相應(yīng)滲劑中經(jīng)數(shù)次加熱擴(kuò)散過程,使多種元素先后然工件表面的表面擴(kuò)滲工藝。目的：目的：吸收各種單元素的優(yōu)點(diǎn),彌補(bǔ)其不足之處,使工件表面達(dá)到更高的綜合性能指標(biāo)含鋁共滲與復(fù)合滲含鋁共滲與復(fù)合滲（1）含鋁共滲與復(fù)合滲含鋁共滲與復(fù)合滲-下表下表（2）鋁稀土共滲鋁稀土共滲 1）稀土的作用）稀土的作用:改變滲劑的特性;催滲;改善滲層性能, 2）方法：）方法：固體法和

14、電泳法 3）特點(diǎn)：）特點(diǎn)：鋁稀土共滲層表面氧化膜的致密度和塑性較高,具有更高的耐蝕性和熱勞抗力含鉻共滲與復(fù)合滲含鉻共滲與復(fù)合滲含硼共滲與復(fù)合滲含硼共滲與復(fù)合滲 （1）碳硼復(fù)合滲碳硼復(fù)合滲:先滲碳后滲硼的工藝,它結(jié)合了滲碳層的優(yōu)點(diǎn)(高接觸疲勞強(qiáng)度和高耐磨性)和滲硼層的優(yōu)點(diǎn)(高硬度、高紅硬性和優(yōu)良的抗黏著磨損能力)預(yù)滲碳能提高滲硬的速度,碳碳共滲已在工業(yè)生產(chǎn)中得到了應(yīng)用。 （2）氮硼復(fù)合滲氮硼復(fù)合滲：可先滲氮冷至室溫后再滲硼,也可在含供氮?jiǎng)┖凸┡饎┑臐B劑中滲氮后,再升溫滲硼。 （2）氮硼復(fù)合滲氮硼復(fù)合滲 特點(diǎn)：特點(diǎn)：對(duì)提高滲硼速度來說,先滲氮和先滲碳具有相同的效應(yīng),氮硼復(fù)合滲既保持滲硼層高的硬度,

15、又比滲硼層脆性低,抗鹽酸腐蝕性能比不銹鋼好。（3）硼鋁共滲與復(fù)合滲硼鋁共滲與復(fù)合滲 鋼鐵和鎳基合金硼鋁共滲的目的目的是提高耐磨性和耐熱性,硬鋁復(fù)合滲的目的也是為了獲得硬度高耐磨性好抗氧化性好的表面層。 通常采用先滲硼后滲鋁,(4)硼鉻共滲與復(fù)合滲硼鉻共滲與復(fù)合滲 硼鉻共滲或復(fù)合滲后.滲層由鐵.鉻的硼化物以及碳化物組成,前者起硬質(zhì)相作用.后者的塑性較好.因此,硼鉻共滲或復(fù)合滲層的塑性和耐磨性.尤其在動(dòng)載荷下比滲硼層好得多。(5)硼硅共滲與復(fù)合滲硼硅共滲與復(fù)合滲 共滲共滲目的目的：改善滲硼層的高脆性 方法：方法：粉末法、鹽浴法或電解鹽浴法。 (5)硼硅共滲與復(fù)合滲硼硅共滲與復(fù)合滲 復(fù)合滲的目的復(fù)合

16、滲的目的：克服滲硼層的脆性和滲硅層的多孔性. 特點(diǎn)：特點(diǎn)：滲硼后再滲硅,硅化物層基本無孔,顯微硬度達(dá)900920HV,但較薄,硼硅共滲層的表面耐酸性十分突出:含硫共滲含硫共滲 （1）硫氮共滲硫氮共滲 目的目的：是為了兼顧滲硫滲氮二者的優(yōu)點(diǎn)。 組織性能：組織性能：其共滲層的組織、性能與滲氮后滲硫基本相同,但工藝簡(jiǎn)單.滲層最外層的微孔組織可儲(chǔ)存潤滑油、降低摩擦系數(shù)。次層硬度較高，因而耐磨性尤其抗黏著.咬合性能顯著提高。 方法方法：鹽浴法氣體法和離子法等。 (2)硫氮碳共滲硫氮碳共滲 實(shí)質(zhì)是滲硫與氮碳共滲的結(jié)合,與硫氮共滲相比,其優(yōu)點(diǎn)在于能使低碳鋼零件也得到較好的強(qiáng)化效果。 硫氮碳共滲有粉末法、氣體

17、法、液體法和離子法。 硫氮碳共滲層的減摩性抗咬合性接觸疲勞強(qiáng)度均好于一般氣體氨碳共滲;其脆性和剝落傾向較小;其抗磨料磨損的能力比氣體氮碳共滲略差碳氮硼三元共滲和氧硫碳氮硼五元共滲碳氮硼三元共滲和氧硫碳氮硼五元共滲 （1）碳氮硼三元共滲碳氮硼三元共滲 主要目的：為了進(jìn)一步提高碳氮共滲件的耐磨性。 在我國多用鹽浴法進(jìn)行。 （2）氧硫碳氮硼五元共滲氧硫碳氮硼五元共滲 主要用于高速鋼刀具。 常規(guī)淬、回火 后,在低于回火溫度的溫度進(jìn)行。 一般采用氣體法.導(dǎo)入導(dǎo)入 等離子體是一種物質(zhì)能量較高的聚集狀態(tài),被稱為物質(zhì)的第照:電離度超過0.1%的氣體.是由離子.電子和中性粒子集合體。等離子體整體呈中性.但含有相

18、當(dāng)數(shù)量的電子和離子,表現(xiàn)出相應(yīng)的磁學(xué)等性能。利用粒子熱運(yùn)動(dòng).電子碰撞、電磁波能量法以及高能粒子等方法可獲得等離子體槽。但獲得低溫等離子體的主要方法是利用氣體放電。等離子體表面擴(kuò)滲主要使用低溫等離子體技術(shù)。定義：定義：等離子體表面擴(kuò)滲是離子滲氮、離子氮碳共滲、離子滲碳、離子碳氮共滲、離子滲硫、離子滲硼及離子滲金屬等表面擴(kuò)滲技術(shù)的總稱,其中開發(fā)最早和應(yīng)用較多的是離子滲氮。原理：原理：等離子體表面擴(kuò)滲是在真空室中通入少量與欲滲元素有關(guān)的氣體,在陰極工件)和陽極間施加高壓,使氣體產(chǎn)生輝光放電,一方面加熱工件,另一方面滲入元素的離子轟擊工件表面形成擴(kuò)散層或覆蓋層。等離子體表面擴(kuò)滲速度比一般表面擴(kuò)滲快等離

19、子體表面擴(kuò)滲速度比一般表面擴(kuò)滲快原因：原因：高能粒子轟擊工件表面,將產(chǎn)生如下幾種效應(yīng) 粒子的大量動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能,使工件表面升溫 高速粒子的轟擊作用使其可直接注入工件表面; 高速粒子的轟擊產(chǎn)生濺射作用,使表面凈化.消除表面氣體吸附層及氧化物,減輕鈍化層對(duì)反應(yīng)的阻礙作用,使表面處于活化狀態(tài)。 1、 等離子體等離子體表面擴(kuò)滲設(shè)表面擴(kuò)滲設(shè)備備 （ 典型的等典型的等離子體擴(kuò)滲離子體擴(kuò)滲設(shè)備組成設(shè)備組成右右圖所示）圖所示） 等離子體表面擴(kuò)滲設(shè)備主要由爐體等離子體表面擴(kuò)滲設(shè)備主要由爐體、真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)電源系統(tǒng)電源系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)等幾部分組成供氣系統(tǒng)和檢測(cè)系統(tǒng)等幾部分組成 爐體爐體有鐘罩式、井式.通

20、用式和臥式等幾種類型.工作爐膛為真空容器,爐膛內(nèi)有陰極和陽極,常以工件作陰極,爐殼為陽極。 真空系統(tǒng)真空系統(tǒng)采用機(jī)械泵或機(jī)械泵和擴(kuò)散泵串接的真空機(jī)組即能滿足要求。 電源系統(tǒng)電源系統(tǒng)由供電裝置、自動(dòng)滅弧裝置、測(cè)量?jī)x表、控制柜等組成。 供氣系統(tǒng)供氣系統(tǒng)由氣瓶、流量計(jì)等組成,有時(shí)直接供給含欲滲元素的氣體,有時(shí)是由熱分解裝置產(chǎn)生所需氣體。 檢測(cè)系統(tǒng)檢測(cè)系統(tǒng)包括溫度檢測(cè)系統(tǒng)和真空檢測(cè)系統(tǒng)等 2、等離子體表面擴(kuò)滲工藝等離子體表面擴(kuò)滲工藝（1）離子滲氮離子滲氮 用途：用途：主要用于提高零件的疲勞強(qiáng)度.耐磨性,延長(zhǎng)使用壽命;或者用于代替滲碳,淬火回火.氮碳共滲等工藝,減小變形,降低廢品率。 優(yōu)點(diǎn)：優(yōu)點(diǎn)：冷速較

21、快、生產(chǎn)周期短,熱效率高,節(jié)約能源;處理溫度范圍寬，工件變形小,材料適應(yīng)性強(qiáng);滲層組織易控制可局部滲氮;幾乎無污染無公害,勞動(dòng)條件好; 缺點(diǎn)：缺點(diǎn)：設(shè)備復(fù)雜.投資大,調(diào)整維修困難,對(duì)操作人員的技術(shù)要求較高。(2)離子滲碳離子滲碳 原理原理：工件在低氣壓(低于105pa)含有碳?xì)浠衔锏臍夥罩屑訜帷２⒃谧鳛殛帢O的工件與陽極之間加直流電壓,產(chǎn)生輝光放電,等離子體中的碳離子被加速后轟擊工件表面而滲碳。 特點(diǎn)：特點(diǎn)：具有高濃度滲碳、高滲層滲碳以及對(duì)于燒結(jié)件和不銹鋼等難滲碳件進(jìn)行滲碳的能力,滲碳速度快,滲層碳濃度和深度容易控制,滲層致密性好,滲劑的滲碳效率高,滲碳件表面不產(chǎn)生脫碳層.無晶界氧化,表面清潔

22、光亮,變形小.處理后的工件耐磨性和疲勞強(qiáng)度比常規(guī)滲碳件高（3）離子碳氮共滲離子碳氮共滲 基本原理類同于離子滲碳,只是通入的:氣體含有氮原子,滲速比普通碳氮共滲快23倍,在一定設(shè)備條件下.可采用碳氮復(fù)合離子滲,即“滲碳滲氮”或“滲氮滲碳”交替進(jìn)行,以獲得滲層組織是碳化物+氮化物的復(fù)合層.這種復(fù)合滲工藝,不僅時(shí)間短,而且性能也好。(4)離子滲金屬離子滲金屬 在低真空下,利用輝光放電即低溫等離子體轟擊的方法,可使工件表面滲入金屬元素,還可以進(jìn)行多種元素的復(fù)合滲和表面合金化處理,以獲得更好的表面性能 大多數(shù)表面擴(kuò)滲處理大多數(shù)表面擴(kuò)滲處理時(shí)間長(zhǎng)時(shí)間長(zhǎng),局部防滲困局部防滲困難難,能耗大能耗大.設(shè)備和材設(shè)備和材料消耗嚴(yán)重料消耗嚴(yán)重.污染環(huán)污染環(huán)境境. 采