硅拋光片表面質(zhì)量目檢測量方法

1、ICS H 80中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn) GB/T 6624200×代替GB/T 6624-1995 200×-××-××發(fā)布200×-××-××實(shí)施中華人民共和國國家質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會 硅拋光片表面質(zhì)量目檢測量方法 Standard method for measuring the surface quality of polished silicon slices by visual inspection（討論稿）發(fā)布前 言本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T 6624-1

2、995，相比主要有如下改動，更改高強(qiáng)度鎢絲燈照度要求；新增凈化室級別要求；更改照度計(jì)測量范圍；新增測量長度工具；更改檢測條件：光源與硅片之間的距離和，ß角要求。本標(biāo)準(zhǔn)由中國有色工業(yè)協(xié)會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會歸口。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草單位：上海合晶硅材料有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人：徐新華、王珍。本標(biāo)準(zhǔn)所替代標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：GB/T 6624-86、GB/T 6624-1995。硅拋光片表面質(zhì)量目檢測量方法本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了在一定光照條件下，用目測檢驗(yàn)單晶單面拋光片（以下簡稱拋光片）表面質(zhì)量的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于歸拋光片表面質(zhì)量檢驗(yàn)。2. 規(guī)范性引

3、用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單（不包括勘誤的內(nèi)容）或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵(lì)根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達(dá)成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T 14264 半導(dǎo)體材料術(shù)語3. 方法原理硅拋光片表面質(zhì)量缺陷在一定光照條件下可以產(chǎn)生光的漫反射，且能目測觀察，據(jù)此可目測檢驗(yàn)其表面缺陷。4. 設(shè)備和器具4.1 高強(qiáng)度匯聚光源：鎢絲燈。照度不小于200klx。4.2 大面積漫射光源：可調(diào)節(jié)光強(qiáng)度的熒光燈或乳白燈，是檢測面上的光強(qiáng)度為430650lx。4.3 凈化室：凈化室級別應(yīng)該

4、與硅片表面顆粒檢測的水平相一致，不低于100級。4.4 凈化臺：大小能容納檢測設(shè)備，凈化級別優(yōu)于100級，離凈化臺正面邊緣230mm處背景照度為50650lx。4.5 真空吸筆：吸筆頭可拆卸清洗，拋光片與其接觸后不留下任何痕跡，不引入任何缺陷。4.6 照度計(jì)：應(yīng)可測到0330klx。4.7 公制尺：150mm長度，最小刻度1mm5. 試樣按照規(guī)定的抽樣方案或商定的抽樣方案從清洗后的拋光片中抽取試樣。6. 檢測程序6.1 檢測條件 在凈化室內(nèi)，用真空吸筆吸住拋光片背面，使拋光面朝上，正對光源。光源、拋光片與檢測人位置如圖所示。光源離拋光片距離為1020cm。角為商定角度±10°

5、;，ß角為商定角度±10°。見圖1。圖1 用高強(qiáng)度會聚光檢測硅片正面的示意圖 檢測光源分別為:高強(qiáng)度匯聚光：照度200klx大面積散射光：照度430650lx 用真空吸筆吸住拋光片背面，使高強(qiáng)度匯聚光束斑直射拋光片表面（如圖所示）。 晃動拋光片，改變?nèi)肷涔饨嵌?，目測檢測整個(gè)拋光片正面的缺陷：沾污，霧，劃道，顆粒。 將光源換成大面積散射光源，目測檢查拋光片正面的缺陷：邊緣碎裂,桔皮，鴨爪，裂紋，槽，波紋，淺坑，小丘，刀痕，條紋。用真空吸筆吸住拋光片背面，使背面向上，在大面積散射光照射下，目測檢查拋光片背面的缺陷：邊緣碎裂，沾污，裂紋，刀痕。6.2.4 6.2.4條中的術(shù)語應(yīng)符合GB/T 14264的規(guī)定。7.1計(jì)算和記錄觀察到的顆粒數(shù)。7.2估計(jì)和記錄沾污或缺陷面積占硅片總面積的百分?jǐn)?shù)（精確到10%）。7.3 記錄劃道根數(shù)及長度（精確到10%）。計(jì)算和記錄觀察到邊緣碎裂，弧坑，波紋，小丘,淺坑數(shù)。7.5記錄拋光片的裂紋，雞爪和條紋數(shù)7.6 估計(jì)和記錄桔皮，未拋光部分的面積占拋光片總面積的百分?jǐn)?shù)（精確到10%）。7.7 記錄槽的根數(shù)和累計(jì)長度（以直徑為單位，精確到10%）。7.8估計(jì)和記錄拋光片的刀痕，退刀痕長度（精