第七章：沉積

上傳人：5*** IP屬地：湖北上傳時(shí)間：2022-02-24 格式：PPT 頁(yè)數(shù)：56 大?。?.91MB 積分：30 舉報(bào) 版權(quán)申訴

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（a）臺(tái)階覆蓋太差）臺(tái)階覆蓋太差（b）臺(tái)階覆蓋好）臺(tái)階覆蓋好硅槽沉積硅槽沉積SiO2的的SEM照片照片、濺射、濺射成核成核島生長(zhǎng)島生長(zhǎng)成膜成膜（a）回流前）回流前（b）回流后）回流后

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