導(dǎo)軌絲桿表面處理技術(shù)資料_圖文

1、 直動(dòng)系統(tǒng)的特殊環(huán)境規(guī)格本商品說(shuō)明書使用再生紙- 約三十年的技術(shù)和豐富的經(jīng)驗(yàn)孕育出了用於半導(dǎo)體製造裝置液晶製造裝置醫(yī)療器械和食品機(jī)械等特殊環(huán)境的直動(dòng)系統(tǒng)-本書介紹為了滿足多種要求由獨(dú)自的球保持器技術(shù)材料技術(shù)潤(rùn)滑技術(shù)和表面處理技術(shù)孕育出的特殊環(huán)境規(guī)格的產(chǎn)品-12清潔室在清潔室之類的清潔環(huán)境中必須減少直動(dòng)系統(tǒng)的生塵並因?yàn)椴荒苁褂梅犁n油所以必須提高防鏽力-另外對(duì)於有些清潔度還須使用吸塵裝置-AFE潤(rùn)滑脂AFF潤(rùn)滑脂選用適合於清潔環(huán)境的生塵少的潤(rùn)滑脂-帶球保持器的LM導(dǎo)軌利用鋼珠與鋼珠之間不相互摩擦較少產(chǎn)生金屬磨損粉的帶球保持器的LM導(dǎo)軌可抑制生塵-不鏽鋼製LM導(dǎo)軌是使用具有防鏽效果的馬氏體類不鏽鋼的

2、LM導(dǎo)軌-高耐蝕LM導(dǎo)軌LM軌道使用防鏽效果大的奧氏體類不鏽鋼-AP-C處理AP-CF處理AP-HC處理在直動(dòng)系統(tǒng)上進(jìn)行表面處理提高耐蝕性-1在真空環(huán)境下因?yàn)椴荒軖?cǎi)用從樹脂排出的氣體和潤(rùn)滑脂飛濺的措施及不能使用防鏽油所以必須選擇防鏽能力出色的產(chǎn)品-對(duì)從樹脂排出的氣體的措施對(duì)潤(rùn)滑脂飛濺的措施防鏽措施不鏽鋼製LM導(dǎo)軌LM滑塊的端蓋板(樹脂製鋼珠循環(huán)部分採(cǎi)用不鏽鋼減少氣體的排出-真空用潤(rùn)滑脂若在真空環(huán)境下使用通用潤(rùn)滑脂潤(rùn)滑脂中的油會(huì)飛濺失去潤(rùn)滑性所以使用以蒸汽壓力較低的氟類油作為基礎(chǔ)油的真空用潤(rùn)滑脂-高耐蝕LM導(dǎo)軌LM軌道使用防鏽效果大的奧氏體類不鏽鋼的LM導(dǎo)軌-高溫用LM導(dǎo)軌因烘烤產(chǎn)生高溫時(shí)採(cǎi)用耐

3、熱性和耐蝕性出色的高溫用LM導(dǎo)軌-2對(duì)潤(rùn)滑脂飛濺生塵的措施對(duì)金屬磨損粉生塵的措施利用材料的措施利用表面處理的措施直動(dòng)系統(tǒng)的生塵防鏽與清潔室的情況相同利用材料和表面處理提高耐蝕性-利用材料的措施不鏽鋼製LM導(dǎo)軌不鏽鋼製LM導(dǎo)軌是使用具有防鏽效果的馬氏體類不鏽鋼的LM導(dǎo)軌-高耐蝕LM導(dǎo)軌LM軌道使用防鏽效果大的奧氏體類不鏽鋼-AP-C處理AP-CF處理AP-HC處理在直動(dòng)系統(tǒng)上進(jìn)行表面處理提高耐蝕性-34在高速環(huán)境下必須控制高速運(yùn)動(dòng)時(shí)的發(fā)熱及採(cǎi)用提高潤(rùn)滑脂的保持能力的最佳潤(rùn)滑方法-發(fā)熱措施潤(rùn)滑措施帶球保持器的LM導(dǎo)軌透過(guò)球保持器鋼珠與鋼珠之間不相互摩擦減少發(fā)熱-並且因?yàn)樘岣吡藵?rùn)滑脂保持能力能延長(zhǎng)壽

4、命發(fā)揮出色的高速性-帶球保持器的高速滾珠螺桿(DN值=13萬(wàn)透過(guò)採(cǎi)用球保持器實(shí)現(xiàn)了理想的鋼珠循環(huán)結(jié)構(gòu)使以前的產(chǎn)品不能實(shí)現(xiàn)的高速進(jìn)給成為可能-AFG潤(rùn)滑脂透過(guò)使用能抑制高速使用時(shí)的發(fā)熱潤(rùn)滑性也十分出色的潤(rùn)滑脂使高速進(jìn)給成為可能-潤(rùn)滑裝置QZ可大幅度延長(zhǎng)為補(bǔ)充損失的油的潤(rùn)滑保養(yǎng)的間隔在轉(zhuǎn)動(dòng)面上僅需塗上最少量的潤(rùn)滑油所以是不污染周圍保護(hù)環(huán)境的潤(rùn)滑系統(tǒng)-耐蝕高速36考慮低溫對(duì)樹脂零部件的影響採(cǎi)取防止因常溫和低溫的溫度變化而生鏽的防鏽措施及使用即使低溫時(shí)滾動(dòng)阻力的變化也較小的潤(rùn)滑脂-低溫對(duì)樹脂零部件的影響防鏽措施潤(rùn)滑脂不鏽鋼製LM導(dǎo)軌LM滑塊的端蓋板(樹脂製鋼珠循環(huán)部分採(cǎi)用不鏽鋼-在直動(dòng)系統(tǒng)上進(jìn)行表面處

5、理提高防鏽能力 -使用即使低溫時(shí)滾動(dòng)阻力的變化也較小的AFC潤(rùn)滑脂-4在高溫環(huán)境下因熱引起的尺寸變化很成問(wèn)題-使用具有耐熱性加熱冷卻後的尺寸變化較小的高溫用LM導(dǎo)軌和高溫用潤(rùn)滑脂-耐熱性潤(rùn)滑脂高溫用LM導(dǎo)軌是耐熱性出色加熱冷卻後的尺寸變化較小的LM導(dǎo)軌-高溫用潤(rùn)滑脂使用即使從常溫向高溫變化由潤(rùn)滑脂引起的滾動(dòng)阻力的變化也較小的高溫用潤(rùn)滑脂-57由微小的行程引起的油膜缺乏潤(rùn)滑不良會(huì)導(dǎo)致提前磨損-此時(shí)選擇油膜強(qiáng)度出色易形成油膜的潤(rùn)滑脂-潤(rùn)滑脂AFC潤(rùn)滑脂是油膜強(qiáng)度和耐磨損性能出色的尿素類潤(rùn)滑脂-直動(dòng)系統(tǒng)的特殊環(huán)境規(guī)格低溫高溫微動(dòng)直動(dòng)系統(tǒng)的特殊環(huán)境規(guī)格 SHSAP-HC處理AFF潤(rùn)滑脂AFE潤(rùn)滑脂SH

6、W SRS SSRHSR-M2SNR/SNS直動(dòng)系統(tǒng)的特殊環(huán)境規(guī)格 HSR-M1 SR-M1 RSR-M1HSR-M2直動(dòng)系統(tǒng)的特殊環(huán)境規(guī)格 HSR-M2AP-HC處理AP-C處理AP-CF處理直動(dòng)系統(tǒng)的特殊環(huán)境規(guī)格 LM導(dǎo)軌用潤(rùn)滑裝置QZ滾珠螺桿用潤(rùn)滑裝置QZAFG潤(rùn)滑脂SHSSHWSSRSNR/SNSSRS直動(dòng)系統(tǒng)的特殊環(huán)境規(guī)格 HSR-M1SR-M1RSR-M1AP-CF處理AFC潤(rùn)滑脂AFC潤(rùn)滑脂10020030051015生塵量(個(gè)/2分鐘升時(shí)間(hour 0100200101520鋼珠與鋼珠之間不相互接觸 鋼珠的磨損較少鋼珠與鋼珠之間接觸舊型(全鋼珠型SSR20(帶球保持器透過(guò)球保

7、持器使鋼珠與鋼珠之間不相互摩擦較少產(chǎn)生金屬磨損粉發(fā)揮出色的低生塵性-帶球保持器的LM導(dǎo)軌鋼珠與鋼珠保持器的接觸狀態(tài)2.05.05.0粒子直徑 (µm鋼珠保持器 切線方向與舊型相比 鋼珠的軌道合理與導(dǎo)程角一致循環(huán)管 螺桿軸滾珠螺桿螺母循環(huán)管螺桿軸滾珠螺桿螺母導(dǎo)程角前傾角大 SBN型SBN型透過(guò)採(cǎi)用球保持器使鋼珠的循環(huán)順暢是適用於高速的理想的鋼珠循環(huán)方式高速性和負(fù)荷耐久性十分卓越- SBN型的回流管上無(wú)唇部鋼珠沿著切線方向上行所以鋼珠的軌道合理為理想的循環(huán)方式-另外回流管和球保持器設(shè)計(jì)得強(qiáng)度充分可在DN值為13萬(wàn)之處使用-帶球保持器的高速滾珠螺桿潤(rùn)滑裝置QZLM導(dǎo)軌和滾珠螺桿在走行時(shí)僅損

8、失微量的油-潤(rùn)滑裝置QZ是向適當(dāng)?shù)牟糠止?yīng)適當(dāng)量的潤(rùn)滑油的新潤(rùn)滑系統(tǒng)所以能長(zhǎng)期地補(bǔ)充損失的油-若將潤(rùn)滑裝置QZ安裝在潤(rùn)滑脂的保持能力出色的帶球保持器的LM導(dǎo)軌及帶球保持器的高速滾珠螺桿上則能進(jìn)一步提高潤(rùn)滑性能- 不鏽鋼製LM導(dǎo)軌因?yàn)椴荤n鋼製LM導(dǎo)軌使用馬氏體類不鏽鋼所以耐蝕性出色-另外經(jīng)超過(guò)HRC58的熱處理所以壽命長(zhǎng)能承受高負(fù)荷-在通常環(huán)境下使用樹脂製的端蓋板在真空環(huán)境下為了減少排出的氣體使用SUS304(奧氏體類不鏽鋼-SUS304材料具有氧化少氣體排出也少等特性- 高耐蝕LM導(dǎo)軌 高溫用LM導(dǎo)軌對(duì)LM滑塊和LM軌道的奧氏體類不鏽鋼的-EX50材料進(jìn)行尺寸穩(wěn)定化處理減少了因熱引起的尺寸變化

9、-端蓋板採(cǎi)用奧氏體類不鏽鋼的SUS304材料以提高耐熱性- AP-HC處理相當(dāng)於硬鉻鍍可獲得與馬氏體類不鏽鋼幾乎相同的耐蝕性-另外因?yàn)榻?jīng)過(guò)表面處理形成了硬度超過(guò)700HV的被膜是耐磨損性出色的生塵量少的表面處理-表面處理AP-C處理 是以提高耐蝕性為目的的黑色被膜處理-價(jià)格比不鏽鋼製的LM導(dǎo)軌低用於需防鏽之處-AP-CF處理 是在黑色被膜上塗抹特殊氟樹脂的複合表面處理因?yàn)閷⒔饘俦砻嫱耆采w防鏽力高所以適用於需高耐蝕性的場(chǎng)所-另外因?yàn)榉鷺渲腔瘜W(xué)性能穩(wěn)定的被膜所以防污性也很出色- AFF潤(rùn)滑脂使用高級(jí)合成油鋰類增稠劑及特殊加添劑是具有以前的真空潤(rùn)滑脂和低生塵潤(rùn)滑脂所沒(méi)有的優(yōu)異的穩(wěn)定的滾動(dòng)阻力低生

10、塵耐微振磨損性平衡的潤(rùn)滑脂-提高半導(dǎo)體和液晶製造裝置所使用的精密定位元件在低速時(shí)的等速性和微小步進(jìn)時(shí)的隨動(dòng)性-並且對(duì)微振動(dòng)的耐微振磨損性(微動(dòng)磨損性能也很出色所以可延長(zhǎng)加油時(shí)間降低維修保養(yǎng)的費(fèi)用-AFF潤(rùn)滑脂AFF潤(rùn)滑脂的代表特性 AFE潤(rùn)滑脂幾乎無(wú)變色及無(wú)損傷幾乎無(wú)變色及無(wú)損傷AFE潤(rùn)滑脂以高級(jí)合成油作為基礎(chǔ)油使用尿素類增稠劑是具有優(yōu)異的低生塵特性的潤(rùn)滑脂-能適應(yīng)於從低溫至高溫的範(fàn)圍廣泛的溫度與以前作為低生塵用的真空潤(rùn)滑脂和一般低生塵潤(rùn)滑脂相比生塵量少故最適合於半導(dǎo)體和液晶製造裝置的LM導(dǎo)軌滾珠螺桿及各種元件產(chǎn)品-另外因?yàn)榇蠓鹊靥岣吡薒M系統(tǒng)的壽命所以降低了維修保養(yǎng)的費(fèi)用-AFE潤(rùn)滑脂AF

11、E潤(rùn)滑脂的代表特性AFG潤(rùn)滑脂 AFG潤(rùn)滑脂以高級(jí)合成油作為基礎(chǔ) 油使用尿素類增稠劑是具有優(yōu)異的低發(fā)熱特 性的潤(rùn)滑脂 -抑制了高速使用時(shí)的發(fā)熱氧化穩(wěn) 定性也非常出色AFG潤(rùn)滑脂的代表特性 試驗(yàn)項(xiàng)目 混合稠度 （25,60次） 滴點(diǎn)： 銅板腐蝕 （B法,100,24小時(shí)） 蒸發(fā)量：mass% （99,22小時(shí)） 離油度：mass% （100,24小時(shí)） 氧化穩(wěn)定度：MPa （99,100小時(shí)） 混合穩(wěn)定度 （10萬(wàn)次） 水洗耐水度：mass% （38,1小時(shí)） 低溫扭矩：Nm （54） 起動(dòng) 旋轉(zhuǎn) 防鏽試驗(yàn)： （52,48小時(shí)） 代表值 試驗(yàn)方法 285 261 合格 JIS K2220 5.3

12、 JIS K2220 5.4 JIS K2220 5.5 JIS K2220 5.6 JIS K2220 5.7 JIS K2220 5.8 JIS K2220 5.11 JIS K2220 5.12 JIS K2220 5.14 ASTM D1743 0.20 0.50 0.029 329 0.6 0.439 0.049 1,1,1 試驗(yàn)條件 項(xiàng) 目 內(nèi) 容 螺母外徑部分的飽和溫度( 低發(fā)熱特性 60 AFG潤(rùn)滑脂 一般低生塵潤(rùn)滑脂 50 軸 徑 / 導(dǎo) 軌 進(jìn) 給 速 度 軸 旋 轉(zhuǎn) 數(shù) 行 程 潤(rùn)滑脂加入量 溫度測(cè)定部位 32/10mm 67500mm/s 4003000min-1 40

13、0mm 12cm3 螺母外徑部分 40 30 20 0 500 1000 1500 2000 2500 3000 3500 軸旋轉(zhuǎn)數(shù)(min-1 滾珠螺桿高速耐久試驗(yàn) 透過(guò)與帶球保持器滾珠螺桿相組合可在DN值為13萬(wàn) 的超高速之處使用試驗(yàn)條件 項(xiàng) 目 內(nèi) 容 軸 徑 / 導(dǎo) 軌 最 大 旋 轉(zhuǎn) 數(shù) 行 加 速 程 度 32/10mm 3900min-1（DN值：13萬(wàn)） 400mm 9.8m/s2 【潤(rùn)滑條件】 潤(rùn)滑劑： AFG潤(rùn)滑脂 3 加入量：12cm （僅在初次加入） 走行1000km時(shí)的螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)面的外觀 走行1000km時(shí)的鋼珠外觀 未使用 走行後 未發(fā)現(xiàn)異常 25 AFC潤(rùn)滑脂 AF

14、C潤(rùn)滑脂以高級(jí)合成油作為基礎(chǔ) 油使用尿素類增稠劑及特殊加添劑所以具有 非常優(yōu)異的耐微振磨損性和耐蝕性因?yàn)锳FC潤(rùn)滑脂具有優(yōu)異的氧化穩(wěn)定性所 以與一般的金屬皂基潤(rùn)滑脂相比延長(zhǎng)了加油間 隔降低了維修保養(yǎng)的費(fèi)用AFC潤(rùn)滑脂的代表特性 試驗(yàn)項(xiàng)目 混合稠度 （25,60W） 滴點(diǎn)： 銅板腐蝕 （B法,100,24小時(shí)） 蒸發(fā)量： （B法,177,22小時(shí)） % 離油度： （177,30小時(shí)） % 氧化穩(wěn)定度： （99,100小時(shí)） MPa 夾雜物：個(gè)/cm3 2575m 75m以上 混合穩(wěn)定度 （10萬(wàn)次） 水洗耐水度： （38,1小時(shí)） % 低溫扭矩： （54） 起動(dòng) ：Nm 運(yùn)轉(zhuǎn) 代表值 288 2

15、69 合格 7.9 2.0 0.031 370 0 3.41 0.6 0.439 0.049 1,1,1 合格 -52+177 防鏽性能： （52,48小時(shí)） 振動(dòng)試驗(yàn)： （200小時(shí)） 使用溫度範(fàn)圍 耐微振磨損性和耐蝕性試驗(yàn)資料 試驗(yàn)條件 項(xiàng) 行 目 程 內(nèi)容 3mm 200min-1 2.88×105 （24小時(shí)） 1118MPa 12g/ 1個(gè) （每小時(shí)加油） 每分鐘行程數(shù) 總 行 程 次 數(shù) 承 載 潤(rùn)滑脂加入量 走行前 AFG潤(rùn)滑脂 1mm 1µm 走行前 一般用潤(rùn)滑脂 1mm 1µm 走行後 走行後 1mm 2µm 2µm 1mm

16、26 LM導(dǎo)軌 球保持器 QZ是THK公司的注冊(cè)商標(biāo)- 照片與實(shí)際的產(chǎn)品會(huì)有不完全相同的情況 外觀規(guī)格等因改進(jìn)而有變更時(shí)恕不預(yù)告使用時(shí)請(qǐng)事先洽詢 儘管製作商品說(shuō)明書時(shí)非常仔細(xì)慎重但因發(fā)生錯(cuò)字或漏字等而引起損害時(shí)恕不負(fù)責(zé)請(qǐng)諒解 有關(guān)弊公司產(chǎn)品技術(shù)的輸出及輸入的銷售以遵守外匯管理法外國(guó)貿(mào)易管理法及其他相關(guān)的法律為基本方針另外只出口弊公司非成套單一產(chǎn)品時(shí)請(qǐng)事先洽談未經(jīng)許可禁止轉(zhuǎn)載 HEAD OFFICE 3-11-6, NISHI-GOTANDA, SHINAGAWA-KU, TOKYO 141-8503 JAPAN ASIA PACIFIC SALES DEPARTMENT PHONE:(0354

17、34-0351 FAX:(035434-0353 CHINA BEIJING PHONE:(106590-3557 FAX:(106590-3557 SHANGHAI PHONE:(216267-6571 FAX:(216267-6654 THK SHOUZAN CO.,LTD. PHONE:2376-1091 FAX:2376-0749 TAIWAN TAIPEI PHONE:(022888-3818 FAX:(022888-3819 TAICHUNG PHONE:(042359-1505 FAX:(042359-1506 SOUTHERN PHONE:(06289-7668 FAX:(06

18、289-7669 KOREA (SEOUL PHONE:(023463-0351 FAX:(023017-0351 MALAYSIA (KUALA LUMPUR PHONE:(039287-1137 FAX:(039287-8071 INDIA (BANGALORE PHONE:(080330-1524 FAX:(080330-1524 NORTH AMERICA CHICAGO PHONE:(847310-1111 FAX:(847310-1182 NEW JERSEY PHONE:(201529-1950 FAX:(201529-1962 ATLANTA PHONE:(770840-799

19、0 FAX:(770840-7897 LOS ANGELES PHONE:(714891-6752 FAX:(714894-9315 SAN FRANCISCO PHONE:(925455-8948 FAX:(925455-8965 BOSTON PHONE:(781575-1151 FAX:(781575-9295 DETROIT PHONE:(248858-9330 FAX:(248858-9455 INDIANAPOLIS PHONE:(317243-3496 FAX:(317243-3499 MINNEAPOLIS PHONE:(952953-4442 FAX:(952953-4441 TORONTO PHONE:(905712-2922 FAX:(905712-2925 BRASIL (SÃO PAULO PHONE:(0113767-0100 FAX:(0113767-0101 EUROPE DÜ