文件修訂記錄

1、文件修訂記錄序號(hào)修改內(nèi)容修改人日期版本1首次發(fā)行謝超凡1. 目的：對(duì)一次清洗減薄量進(jìn)行監(jiān)控，確保制絨質(zhì)量。2. 適用范圍：156 多晶一次清洗工序3. 責(zé)任：本工藝說明由工藝部制定修改，生產(chǎn)人員按照要求執(zhí)行。4. 設(shè)備：電子天平5. 操作步驟：5.1 在電腦上打開“一次清洗減薄量監(jiān)控”表格，找到當(dāng)日日期及時(shí)間，在對(duì)應(yīng)表格中填寫 硅片廠家、批次、硅片型號(hào)信息，為數(shù)據(jù)記錄做好準(zhǔn)備。5.2 在已拆盒的原硅片中取 8 片，層疊整齊后置于電子天平內(nèi)，待數(shù)值顯示穩(wěn)定后讀取數(shù)值， 輸入到表格“清洗前”一欄中，保存數(shù)據(jù)。5.3 將稱重后的硅片按每道一片進(jìn)行放片，同時(shí)通知下料人員注意收片。為了區(qū)分出稱重片， 在

2、放置這 8 片硅片時(shí)要與其他正常生產(chǎn)的硅片隔出一定距離， 使下料人員能夠區(qū)分出這 8片。5.4 到設(shè)備主操作臺(tái)處讀取制絨參數(shù)，包括制絨槽設(shè)定溫度、實(shí)際溫度、滾輪速度、稱重片 數(shù)的信息，將數(shù)據(jù)分別填入對(duì)應(yīng)表格中。5.5 待 8 片稱重片傳出設(shè)備后，下料人員收集好，到電腦桌處進(jìn)行再次稱重，將讀到的數(shù)據(jù) 填入“清洗后”一欄中，表格會(huì)自動(dòng)算出減薄量。稱重作業(yè)完成。稱重前務(wù)必保持電子天平處于水平狀態(tài)，可觀察水平浮泡進(jìn)行調(diào)整。5.6 電子天平操作說明：5.6.1 電子天平定置后，接通電源，調(diào)節(jié)水平調(diào)節(jié)鈕，使水平浮泡置于中間圓心處。5.6.2待“0K指示燈常亮綠色后，按 TARE POWE清零，使界面顯示0

3、.00,此時(shí)電子天平 準(zhǔn)備好，可以進(jìn)行稱重操作。6.減薄量SPEC線：6.1 控制線：一次清洗工序減薄量控制線 CL=4.0 pm控制上限UCL=4.2pm控制下限LCL=3.8pn6.2 規(guī)格線：一次清洗工序減薄量規(guī)格上限 USL=4.5pm規(guī)格下限LSL=3.5pm6.3 控制要求：631換班后的第一次稱重，減薄量不小于 3.6 pm時(shí)即可上片。6.3.2 生產(chǎn)過程中減薄量測(cè)得數(shù)據(jù)超出控制線，生產(chǎn)繼續(xù)，并及時(shí)通知工藝人員進(jìn)行確認(rèn)調(diào) 整，使減薄量數(shù)據(jù)符合控制線要求。6.3.3 生產(chǎn)過程中減薄量測(cè)得數(shù)據(jù)超出規(guī)格線，馬上停止生產(chǎn)，并通知工藝人員，待工藝調(diào) 整正常后方可繼續(xù)生產(chǎn)。7. 監(jiān)控頻率7.1 換班次生產(chǎn)前要進(jìn)行本班第一次稱重，生產(chǎn)過程中每隔一個(gè)小時(shí)進(jìn)行一次稱重。7.2 生產(chǎn)中途停產(chǎn)超過半個(gè)小時(shí)以上，恢復(fù)生產(chǎn)后進(jìn)行稱重。7.3 換片源