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文檔簡介
1、基于CCD相機(jī)的BeamView系統(tǒng)應(yīng)用于激光光束質(zhì)量分析ETSC-TECH東隆科技· BeamView 系統(tǒng)提供如下光束分析功能:峰值/質(zhì)點(diǎn)位置、光束橢圓度及主次軸角度、圓度、標(biāo)準(zhǔn)偏差直徑(D4)、高斯擬合、均勻度、光闌設(shè)定和比值、以及通過設(shè)定參數(shù)和偏差范圍實(shí)現(xiàn)在線篩選功能等等。BeamView 光束質(zhì)量分析系統(tǒng)無論從軟件、硬件還是所使用的光學(xué)元件等各個方面都被認(rèn)為是業(yè)界的領(lǐng)先的光束質(zhì)量分析系統(tǒng)。相干公司秉承不斷創(chuàng)新的理念,聆聽和尊重用戶意見,不斷改進(jìn), BeamView 光束質(zhì)量分析系統(tǒng)已經(jīng)成為實(shí)驗(yàn)室、工業(yè)現(xiàn)場應(yīng)用的首選激光參數(shù)測量裝置。BeamView系統(tǒng)中,有三種觸發(fā)圖象獲取
2、方式和5種圖象獲取模式,這三種觸發(fā)方式和5種圖象獲取模式的配合使得BeamView 系統(tǒng)可以分析任意時間特性的激光,從連續(xù)到脈沖(最高脈沖響應(yīng)頻率可達(dá)10kHz):o 在Auto模式下,用戶可預(yù)先設(shè)定入射強(qiáng)度閾值,當(dāng)入射光束的強(qiáng)度高過這個閾值,就自動觸發(fā)系統(tǒng)捕獲圖象。o 在Synchronous模式下,由圖象采集卡發(fā)出TTL 信號同步圖象采集和激光發(fā)出脈沖。o 在Asynchronous模式下,采集卡由用戶提供的TTL信號觸發(fā)圖象捕獲。5種圖象獲取模式:連續(xù)獲取、固定時間間隔獲取、脈沖同步獲取、手動獲取、單次獲取等。BeamView 系統(tǒng)中所使用的圖象采集卡與RS-170或CCIR 制式的相機(jī)
3、兼容,可以同時帶4個相機(jī),而后通過軟件控制/選擇任意一個相機(jī)在任意時刻工作。BeamView系統(tǒng)中所采用的CCD相機(jī)有傳統(tǒng)的模擬相機(jī),也有新發(fā)展的數(shù)字相機(jī)。大多數(shù)的應(yīng)用采用數(shù)字相機(jī)和分析系統(tǒng)都最方便,同時,數(shù)字BeamView? 分析系統(tǒng)相比起傳統(tǒng)的模擬系統(tǒng),光學(xué)動態(tài)范圍更寬,測量更精確,測量結(jié)果一致性更好,但是在激光光束直徑比較大(比如半導(dǎo)體激光器)、或者波長大于1100nm的應(yīng)用中,目前只有部分的模擬相機(jī)才能夠滿足應(yīng)用要求。· 基于CCD相機(jī)的BeamView系統(tǒng)特點(diǎn):o 適合測量脈沖或連續(xù)激光o 提供全面的、高精度的2D、3D空間信息o 功能強(qiáng)大亦便于使用的分析軟件·
4、 BeamView分析軟件特點(diǎn):o 25種以上數(shù)值分析功能o 28種不同分析視圖o 13種圖形輸入輸出格式o Pass/Fail設(shè)置與警告o 軟件界面操作簡單o 背景自動消除BeamView 分析軟件· CCD相機(jī)o 測量連續(xù)激光或者脈沖激光(重復(fù)頻率可達(dá)10kHz)o 最小分辨率5.0mo 相機(jī)工作參數(shù)預(yù)先存儲在BeamView 分析軟件內(nèi)o 高光學(xué)動態(tài)范圍相干公司所有的相機(jī)經(jīng)過ISO9002標(biāo)準(zhǔn)檢驗(yàn),都是專門為激光光束質(zhì)量分析而設(shè)計或者優(yōu)化的,噪聲低、線性率高、響應(yīng)平滑。多數(shù)相機(jī)是RS-170 (60 Hz 場頻) 制式,如果需要CCIR (50 Hz幀頻)制式,請向技術(shù)人員詢問
5、。多數(shù)相機(jī)是基于CCD探測元陣列,也有一些相機(jī)的探測元件是像管(Vidicon)。CCD 相機(jī)由二維排列的離散像素點(diǎn)給出強(qiáng)度分布,而像管通過電子束在像平面掃描來給出強(qiáng)度分布,可能的話,應(yīng)選擇CCD 相機(jī),整體表現(xiàn)性能要優(yōu)越一些。從光譜響應(yīng)范圍來看,CCD 相機(jī)覆蓋從190 nm 到1100 nm的光譜范圍;而Vidicon 相機(jī)可以響應(yīng)到1100-1800nm;如果要響應(yīng)到190 nm以下,可以選擇深紫外采集裝置。所有標(biāo)準(zhǔn)的CCD 相機(jī)接受C-口光學(xué)件和附件直接耦合和連接,敏感元外沒有任何玻璃或者塑料窗口,避免引入任何光學(xué)畸變;但都配有一個低畸變的平面濾波片(LDFP Filter),用來對環(huán)
6、境中的雜散光進(jìn)行足夠的衰減,而不需要在暗室內(nèi)進(jìn)行操作。但被測光源波長短于400nm時,應(yīng)去掉LDFP濾波片??焖俚剡x擇合適的相機(jī)應(yīng)當(dāng)考慮最重要的幾個參數(shù):激光波長、功率密度/峰值功率密度、光束尺寸、分辨率要求、價格等。· 光束尺寸為了能夠正確地呈現(xiàn)被測激光光束的全貌,應(yīng)注意光束的1/e2 直徑不應(yīng)當(dāng)超過相機(jī)敏感面短軸的80%,這樣, 光束位置漂移不會影響到測量結(jié)果。但是,對于一些特殊參數(shù)的測量,比如D4,一般要求光束的1/e2 直徑不應(yīng)當(dāng)超過相機(jī)敏感面短軸的50%。最小可測量的光束直徑則決定于所要求的空間測量的準(zhǔn)確性,光束覆蓋的像元數(shù)越少,空間測量的準(zhǔn)確性就越差,我們一般用“覆蓋40
7、個像元” (或者類似的Vidicon 處理元)來作為最小可測量光束直徑的標(biāo)準(zhǔn)。· 圖象獲取模式和分辨率要理解分辨率,首先要了解圖象的獲取模式,因?yàn)橄鄼C(jī)的最大有效成像面積與分辨率,和總像元面積與像素點(diǎn)尺寸這兩對概念并不總是相同的。像素信息是用電子方法獲得的,而在某些模式下,未必獲取到陣列中所有像素的數(shù)據(jù)。在逐行掃描的相機(jī)中,比如LaserCam?II,每個掃描周期(1/30 秒)都會獲取到所有像素點(diǎn)的信息。在隔行掃描相機(jī)中,C-48和C-64,每個掃描周期(1/60 秒)只有隔行像素數(shù)據(jù)被獲取到,其他行的像素信息在下個周期才能夠獲取到。有些時候,用戶可能希望工作在全場(Full Fie
8、ld)或者半場(Half Field)模式下,從更少的像素點(diǎn)中讀取信息以加快數(shù)據(jù)處理速度。這種數(shù)據(jù)獲取方式最初是為了適應(yīng)運(yùn)算速度慢的計算機(jī),但即使是在今天,計算機(jī)速度已經(jīng)非??炝?,要達(dá)到最快的數(shù)據(jù)獲取速度全場和半場工作方式還是經(jīng)常被用到。在全場方式下就是只搜集每2個像素點(diǎn)的數(shù)據(jù);在半場方式下就是搜集每4個像素點(diǎn)的數(shù)據(jù)。這樣的方式很顯然會提高速度,但是會犧牲分辨率。綜合以上對不同數(shù)據(jù)采集模式的分析,就有不同的分辨率數(shù)據(jù)與之相對應(yīng):幀掃模式分辨率、全場模式分辨率、和半場模式分辨率。· 測量脈沖激光在選擇相機(jī)測量脈沖激光的時候有更多需要注意的地方,因?yàn)榧す饷}沖的時序可能與獲取像素點(diǎn)信息的時
9、序相互干擾。LaserCam II 和 LaserCam IIID 工作在逐行掃描方式下,刷新全部像素點(diǎn)的頻率是30Hz,因此整幅獲取脈沖激光的最高響應(yīng)頻率是30Hz。而隔行掃描的相機(jī),工作在全場或半場模式下,可以響應(yīng)的最大脈沖重復(fù)頻率是60Hz。如果要獲取重復(fù)頻率>60Hz的脈沖串中的單個脈沖,則建議在相機(jī)前加上一個電子快門。· 光學(xué)動態(tài)范圍光學(xué)動態(tài)范圍定義為傳感器可以線性響應(yīng)的最大和最小光學(xué)信號水平的比值。相機(jī)飽和值的80%通常是線性響應(yīng)的高限;而線性響應(yīng)的低限是可以被相機(jī)從背景噪聲中分辨出來的最低照度。所有的模擬相機(jī)的光學(xué)動態(tài)范圍都比較有限(典型地大約200:1 到 30
10、0:1)。數(shù)字相機(jī)的光學(xué)動態(tài)范圍相對比較大(超過 1200:1),原因是數(shù)字相機(jī)內(nèi)部的積分?jǐn)?shù)字電路的噪聲更低。· 光束衰減通常情況下,入射到相機(jī)面上的光束需要衰減,以避免引起相機(jī)飽和,甚至損壞相機(jī)。所有衰減光路中的光學(xué)元件應(yīng)當(dāng)使用激光級材料以避免引入過多的光學(xué)畸變。相干公司提供數(shù)種符合上述要求的衰減裝置,衰減率從1:1到 400,000:1,如果需要更高衰減倍數(shù),請向技術(shù)人員詢問。衰減特點(diǎn):o 不失真、非干涉的衰減元件o 可變衰減率或固定衰減率,可組合,承受最大2000W/cm2或50J/cm2光束強(qiáng)度o C-口螺紋,可直接與相機(jī)相連接相機(jī)非常敏感,典型的飽和密度大約是0.5W/cm
11、2(在633nm處),或者9nJ/cm2(在1060nm處),因此,在很多情況下,直接對準(zhǔn)激光光束很有可能引起飽和。需要先對光束進(jìn)行衰減才能夠得到正確的測量結(jié)果,以及確保相機(jī)不被損壞。如果相機(jī)本身帶有電子快門,可以起到一定的衰減作用,多數(shù)情況下,使用衰減器靈活性和保障更多一些。任何引入到光路中的衰減裝置必須保證不引入更多的光學(xué)畸變,要求其中的元件應(yīng)當(dāng)是激光級的,以及為避免產(chǎn)生干涉的可能,元件應(yīng)當(dāng)有一定的傾角。相干公司提供一系列的衰減元件,組合可得到1:1 到 400,000:1的衰減倍數(shù)。BeamCube 固定衰減率模塊 (BCUBE 和 UV-BCUBE):未鍍膜的激光鏡片,反射光依入射光偏
12、振不同,大約是入射光的2% - 10%,從而提供10:1到50:1的衰減倍數(shù),多個BeamCube 可以重疊使用,增大衰減倍數(shù)。VARM可變衰減率模塊:九重濾波片組合,每3片濾波片由一個撥輪帶動,一共有64個步進(jìn),每次增加約16%的衰減,衰減倍數(shù)從1:1 到400,000:1。C-VARM (C-VARM 和 UV C-VARM) 連續(xù)可變衰減率模塊:由一個衰減倍數(shù)連續(xù)可變的楔形衰減器和一個衰減倍數(shù)從3,000:1到107:1 的步進(jìn)衰減器組合而成,可以精確調(diào)整光強(qiáng)水平到理想狀態(tài) 避免令相機(jī)飽和又正好在相機(jī)的動態(tài)范圍內(nèi)。以上所有的衰減器和所有的相機(jī)都為female C-口,可以方便地與帶有Ma
13、le C-口的裝置連接。另外,所有的衰減器都帶有1/4-20 孔,方便安裝在光具座上,為了方便連接和固定,我們還提供和帶C-口的光束套筒(產(chǎn)品編號:33-3773)。· 應(yīng)用于高能脈沖激光或高功率激光光束質(zhì)量分析的選擇方案33-7022-000 1/2" LaserCam IIID數(shù)字相機(jī)和BeamView分析系統(tǒng),包括1/2" LaserCam IIID數(shù)字相機(jī)、接口卡、軟件、電纜及操作手冊等全套裝置· 光衰減組合方案o 2個BCUBE + 1個C-VARM + 1個VARMBCUBE 1:最大能量密度為40J/cm2,最大功率密度400W/cm2BC
14、UBE 2:最大能量密度為2J/cm2,最大功率密度20W/cm2C-VARM或VARM:最大能量密度為0.1J/cm2,最大功率密度1W/cm2LDFP:最大能量密度為23J/cm2,最大功率密度1.2mW/cm21/2" LaserCam IIID:最大能量密度為9.1nJ/cm2,最大功率密度0.5W/cm2衰減組合方案o 3個UV BCUBE + 1個UV C-VARM + 1個VARMUV BCUBE 1:最大能量密度為50J/cm2,最大功率密度2000W/cm2UV BCUBE 2:最大能量密度為2.5J/cm2,最大功率密度100W/cm2UV BCUBE 3:最大能
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