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文檔簡介
1、SIX SIGMA降低內(nèi)層報(bào)廢率項(xiàng)目報(bào)告甲上計(jì)算機(jī)(深圳)有限公司甲上計(jì)算機(jī)(深圳)有限公司項(xiàng)目報(bào)告書期初期中期末項(xiàng)目名稱降低內(nèi)層報(bào)廢率項(xiàng)目編號G00031024管制狀況發(fā)行日期2003年10月24日管制類別機(jī)密禁止拷貝列管 一般發(fā)行單位SIX SIGMA項(xiàng)目改善小組提案人楊正兵審查者審查者審查者核準(zhǔn)者 索引項(xiàng)目編號:(此一編號由總經(jīng)理室填寫)日期: 2003年10月24日起至2003年12月31日止內(nèi)容頁次一、 本項(xiàng)目簡介及大略描述3二、 項(xiàng)目目的(重點(diǎn)說明進(jìn)行項(xiàng)目的原因)5三、 項(xiàng)目預(yù)期效益(摘要概述項(xiàng)目預(yù)期效益并可作為期中執(zhí)行5控制及期末檢討之依據(jù))四、 項(xiàng)目組織(畫出項(xiàng)目組織圖及職掌,
2、并說明各成員之任務(wù))6五、 項(xiàng)目時(shí)程表(Schedule)及說明(摘要概述項(xiàng)目所要進(jìn)行的7各項(xiàng)工作計(jì)劃,請擇重點(diǎn)說明)六、 項(xiàng)目預(yù)算估計(jì)(說明項(xiàng)目預(yù)定使用之預(yù)算,經(jīng)總經(jīng)核準(zhǔn)后8即可作為預(yù)算追加的依據(jù))本項(xiàng)目簡介及大略描述: 項(xiàng)目主題降低內(nèi)層報(bào)廢率1. 項(xiàng)目背景 1.1 內(nèi)印目前品質(zhì)狀況a. 四層板平均報(bào)廢率為0.48% b. 六層板平均報(bào)廢率為3.87%c. 八層板內(nèi)印平均報(bào)廢率為5.88%d.十層板內(nèi)印平均報(bào)廢率為6.98%e. 十二層板內(nèi)印平均報(bào)廢率為7.50%f. 報(bào)廢率較高增加生產(chǎn)成本1.2 內(nèi)印制程目前基本概況 a. 所有制程參數(shù)均為之前經(jīng)驗(yàn)或者供貨商所給無合理技朮驗(yàn)證 b. 本制程
3、之品質(zhì)狀況無統(tǒng)一的項(xiàng)目進(jìn)行改善 c.因制程參數(shù)不穩(wěn)定及未有項(xiàng)目管理是導(dǎo)致品質(zhì)異常之主要原因2. 項(xiàng)目目標(biāo)2.1通過DOE和田口方法對公司鉆孔制程各參數(shù)進(jìn)行重新求證求出最佳參數(shù)降低內(nèi)層報(bào)廢率(具體明細(xì)如下)a. 四層板平均報(bào)廢率為0.24% b. 六層板平均報(bào)廢率為2.0%c. 八層板內(nèi)印平均報(bào)廢率為3.0% d.十層板內(nèi)印平均報(bào)廢率為4.5%e. 十二層板內(nèi)印平均報(bào)廢率為4.5%2.2 相關(guān)指針 a. 四層板報(bào)廢單價(jià)為54.92元/FT2; b. 六層板報(bào)廢單價(jià)為56.69元/FT2; c. 八層板報(bào)廢單價(jià)為85.97元/FT2; d. 十層板報(bào)廢單價(jià)為100.37元/FT2; e. 十二層板
4、報(bào)廢單價(jià)為107.57元/FT2;2.3 項(xiàng)目完成時(shí)間2003年12月31日相關(guān)資料意見項(xiàng)目目的1.降低內(nèi)印課報(bào)廢率, 縮短制造周期以提高生產(chǎn)效率2. 降低生產(chǎn)制造成本, 提高企業(yè)在同行業(yè)的竟?fàn)?3. 提高公司在客戶中的信譽(yù)。項(xiàng)目預(yù)期效益: 1. 因四層板報(bào)廢率降低預(yù)計(jì)年節(jié)省金額為 50萬FT2 × 12個(gè)月 × 54.92元/ FT2 × 0.24%=790,848元2. 因六層板報(bào)廢率降低預(yù)計(jì)年節(jié)省金額為 2.0萬FT2 × 12個(gè)月 × 56.69元/ FT2 × 1.87%=254,424元3. 因八層板報(bào)廢率降低預(yù)計(jì)年節(jié)省金
5、額為 3000 FT2 × 12個(gè)月 × 85.97元/ FT2 × 2.88%=89,134元4. 因十層板報(bào)廢率降低預(yù)計(jì)年節(jié)省金額為 2000 FT2 × 12個(gè)月 × 100.37元/ FT2 × 2.48%=59,739元5. 因十二層板報(bào)廢率降低預(yù)計(jì)年節(jié)省金額為 2000萬FT2 × 12個(gè)月 × 107.57元/ FT2 × 3.0%=77,449元預(yù)計(jì)每年共可為公司節(jié)省人民幣1,271,594元項(xiàng)目組織1. 組織圖組長 (黑帶楊正兵)專案顧問: 林秀雄/教授經(jīng)營決策總監(jiān)綠帶人員績效評估總監(jiān)生
6、產(chǎn)執(zhí)行總監(jiān)劉木生楊亞鵬朱永勝李武民陳友良生產(chǎn)技朮總監(jiān)曾義良方健趙利文趙剛副組長(黑帶許偉良)張興源2.組織成員職掌及任務(wù)項(xiàng)目職掌部門姓名任務(wù)執(zhí)行長朱亞鵬經(jīng)營決策總監(jiān)廠長徐永勝生產(chǎn)技朮總監(jiān)財(cái)務(wù)處處長財(cái)務(wù)處蕭武民績效評估總監(jiān)生產(chǎn)部工程部經(jīng)理工程部生產(chǎn)部蘇友良生產(chǎn)執(zhí)行總監(jiān)QA部副經(jīng)理QA部劉木生兼職綠帶生產(chǎn)部副經(jīng)理生產(chǎn)部張興源兼職綠帶工程部副經(jīng)理工程部曾義良兼職綠帶內(nèi)印課課長生產(chǎn)部方健兼職綠帶內(nèi)印課工程師工程部趙紅利兼職綠帶黑帶趙剛兼職綠帶專 案 時(shí) 程 表 頁次:階段項(xiàng)目完成期限負(fù)責(zé)人界定階段項(xiàng)目定義10月24日楊正兵團(tuán)隊(duì)組成10月24日楊正兵目標(biāo)設(shè)定10月25日項(xiàng)目小組量測階段現(xiàn)狀分析10月25
7、日楊正兵分析階段要因分析10月27日楊正兵改進(jìn)階段DOE實(shí)驗(yàn)10月30日11月18日項(xiàng)目小組控制階段效果確認(rèn)10月30日12月30日項(xiàng)目小組標(biāo)準(zhǔn)化12月28日項(xiàng)目小組項(xiàng)目預(yù)算估計(jì)頁次:項(xiàng)目工作項(xiàng)目預(yù)算科目(金額)說明制程的參數(shù)試驗(yàn)求證1. 電 費(fèi)(3*60+9*110)*0.84=982.8元1. 因內(nèi)印前處理及去墨用新機(jī)進(jìn)行求證故耗用電費(fèi)以及水費(fèi)前處理60KW/小時(shí)去墨機(jī)110kw/小時(shí)。2. 內(nèi)印前處理用水量為30噸/12H, 剝錫段用水量為15噸/12H, 本次試驗(yàn)共占用前處理3H, 剝錫段9H. 3. 預(yù)計(jì)試驗(yàn)報(bào)廢100FT2, 且內(nèi)印制造成本為10.55元/FT2每條顯影蝕刻線產(chǎn)能1
8、5000FT2, 分兩條線試驗(yàn)內(nèi)層外包價(jià)格為1.8元/FT2, 內(nèi)部制造成本1.36元/FT22. 水 費(fèi)(30*3/12+9*15/12)*2.14=40.13元預(yù)算:預(yù)算合計(jì)982.8+40.13+105510800=12877.93元3. 試驗(yàn)報(bào)廢費(fèi)用100FT2*10.55元/FT2=1055 元4. 工時(shí)費(fèi)用15000FT2*18h/22h*(1.8-1.36) *2=10800元1.2.預(yù)算:3.4.1.2.預(yù)算:3.4.2.預(yù)算:3.4.2.預(yù)算:3.4.1.2.預(yù)算:3.4.注:1.每一工作項(xiàng)目應(yīng)除了記載項(xiàng)目名稱外,也要注明預(yù)算總額,細(xì)分預(yù)算科目,并填上每一科目之預(yù)算,以利管制
9、。2.篇幅不夠請自行影印。甲上計(jì)算機(jī)(深圳)有限公司提案改善項(xiàng)目報(bào)告書期初期中期末項(xiàng)目名稱降低內(nèi)層報(bào)廢率項(xiàng)目編號G000307003管制狀況發(fā)行日期2003年 10月24日管制類別機(jī)密禁止拷貝列管一般發(fā)行單位提案人楊正兵審查者審查者審查者核準(zhǔn)者索引項(xiàng)目編號:(此一編號由總經(jīng)理室填寫)日期:2003年10月24日起至2003年12月31日止內(nèi)容頁次七、 本項(xiàng)目測量階段介紹1-6八、 項(xiàng)目控制階段介紹 7-18九、 實(shí)驗(yàn)結(jié)論19測 量 階 段(Measure)分 析 階 段(Analyse)特 性 要 因 圖DES其它對位顯影水洗段太短導(dǎo)致殘墨無塵室落塵量太大降低內(nèi)印報(bào)廢率棕片邊條邊緣粗糙清潔不到
10、位導(dǎo)致臟點(diǎn)蝕刻實(shí)際溫度濃度與佼儀表顯示不符操作人員無塵衣太臟曝光機(jī)能量不穩(wěn)定內(nèi)層板在搬運(yùn)過程產(chǎn)生刮傷曝光機(jī)保養(yǎng)不徹底棕片漲縮比例不當(dāng)噴嘴堵塞補(bǔ)線方式不當(dāng) 機(jī)器設(shè)備不徹底蝕刻檢驗(yàn)人員漏檢驗(yàn)川寶曝光機(jī)臺面溫度高清潔保養(yǎng)不到位水破試驗(yàn)不合格烘烤方式不當(dāng)烘烤條件不適落塵量過大未依板厚調(diào)整刷幅烘烤后靜置時(shí)間長烘烤方式不當(dāng)翻板接板處卡板涂布厚度不均勻達(dá)不到要求機(jī)器設(shè)備保養(yǎng)不徹底開料刀口不利產(chǎn)生PP粉塵地點(diǎn):黑帶辦公室磨刷涂布開料時(shí)間:2003/10/27序號過程功能要求潛在失效模式潛在失效后果嚴(yán)重度S級別潛在失效原因機(jī)理頻度O現(xiàn)行過程控制預(yù)防現(xiàn)行過程控制探測探測度DRPN建 議措 施責(zé)任及目標(biāo)完成日期措施
11、結(jié)果采取的措施SODRPN1.依客戶要求準(zhǔn)備相應(yīng)尺寸板材開料烘烤方式不當(dāng)內(nèi)蝕后導(dǎo)致殘銅造成內(nèi)偏或板材脹縮報(bào)廢造成內(nèi)短或者修刮不良報(bào)廢77烘烤方式不合理機(jī)板堆棧過高10烘烤時(shí)每層20PNL共40層IPQC現(xiàn)場稽核2140烘烤時(shí)每層10PNL共20層趙剛蔡北平11/25同建議措施 73242烘烤條件不當(dāng)無法達(dá)到烘烤效果因烘烤溫度過高PP粉塵粘于板面前處理不干凈97烘烤溫度155±2度薄板烘烤5HR厚板烘烤3HR開料后烘烤再移入內(nèi)印制程目視檢查IPQC現(xiàn)場稽核目視檢查23126126烘烤溫度改為180±2度時(shí)間不變薄板開料后先過內(nèi)印前處理機(jī)清洗后再烘烤趙剛蔡北平11/25楊正兵蔡
12、北平12/06同建議措施同建議措施7724232884失效模式分析(FMEA)失效模式分析(FMEA)失效模式分析(FMEA)序號過程功能要求潛在失效模式潛在失效后果嚴(yán)重度S級別潛在失效原因機(jī)理頻度O現(xiàn)行過程控制預(yù)防現(xiàn)行過程控制探測探測度DRPN建 議措 施責(zé)任及目標(biāo)完成日期措施結(jié)果采取的措施SODRPN3.完成內(nèi)層圖像轉(zhuǎn)移人為漏檢AOI設(shè)備漏檢報(bào)廢報(bào)廢77人為目視檢驗(yàn)時(shí)造成遺漏檢驗(yàn)6層以上板時(shí)造成過多報(bào)廢AOI設(shè)備檢驗(yàn)時(shí)因設(shè)備本身參數(shù)設(shè)置不當(dāng)或者檢修人員漏失導(dǎo)致漏檢報(bào)廢77對于6層以上機(jī)板只針對線路面進(jìn)行掃描按CAMTEK工程師所給參數(shù)進(jìn)行作業(yè)人工檢驗(yàn)機(jī)器設(shè)定53245147針對6層以上機(jī)板
13、兩面均采用AOI進(jìn)行掃描要求CAMTEK工程師及時(shí)調(diào)整設(shè)備并對所有AOI作人員進(jìn)行系統(tǒng)培訓(xùn)許應(yīng)利方偉11/10許應(yīng)利方偉11/20同建議措施同建議措施77363363126失效模式分析(FMEA)序號過程功能要求潛在失效模式潛在失效后果嚴(yán)重度S級別潛在失效原因機(jī)理頻度O現(xiàn)行過程控制預(yù)防現(xiàn)行過程控制探測探測度DRPN建 議措 施責(zé)任及目標(biāo)完成日期措施結(jié)果采取的措施SODRPN4.完成內(nèi)層圖像轉(zhuǎn)移補(bǔ)線方式不當(dāng)無塵室落塵量較大報(bào)廢斷線或者缺口76人為修補(bǔ)斷線或缺口板時(shí)因條件或者方法原因?qū)е略诤笫鲎鳂I(yè)中造成短斷路報(bào)廢開料PP粉塵帶入無塵室及本身環(huán)境清潔不夠徹底77采用機(jī)補(bǔ)板線補(bǔ)補(bǔ)銅線補(bǔ)三種補(bǔ)線方式進(jìn)行
14、補(bǔ)線作業(yè)補(bǔ)線完后棕第并烘烤作業(yè)時(shí)按正常清潔頻率進(jìn)行清潔切片分析目視檢查或AOI掃描64294168停止使用板線補(bǔ)的方式盡量采用機(jī)補(bǔ)補(bǔ)線完成先進(jìn)行檢查后再過棕化重新求證開料刀之使用壽命除正常清潔頻率外對無塵室進(jìn)行不定期清潔楊正兵方偉11/12方偉11/10同建議措施同建議措施763 56 4126120失效模式分析(FMEA)改 進(jìn) 階 段(Improve)1) 改進(jìn)階段共分為如下三部分一 DOE參數(shù)求証部分二 開料后烘烤條件確認(rèn)部分三 制程改善部分2) 每部分完成以下事項(xiàng) 一相關(guān)試驗(yàn)報(bào)告二相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)化三效益評估改 進(jìn) 階 段(Improve)完善制程參數(shù)之DOE實(shí)驗(yàn)求証部分1. 實(shí)驗(yàn)部分2. 標(biāo)
15、準(zhǔn)化部分實(shí)驗(yàn)部分(Experiment Section)(一)內(nèi)印參數(shù)DOE試驗(yàn)求證實(shí)驗(yàn)名稱:內(nèi)印DOE實(shí)驗(yàn)實(shí)驗(yàn)?zāi)康模豪锰锟诜椒ㄍ√匦?,?yàn)證內(nèi)印制程最佳參數(shù).實(shí)驗(yàn)時(shí)間:11/0311/18測試者:許應(yīng)利 趙剛 楊正兵 張興源A. 原制程參數(shù)操作標(biāo)準(zhǔn)水準(zhǔn)參數(shù)水準(zhǔn)一水準(zhǔn)二油墨厚度()A1A2曝光能量(格)B1B2顯影速度(m/min)C1C2比重D1D2HCL含量(g/l)E1E2蝕刻速度(m/min)F1F2蝕刻溫度()G1G2B. 規(guī)劃實(shí)驗(yàn)因子表C. 排列實(shí)驗(yàn)直交表實(shí)驗(yàn)編號重復(fù)次數(shù)ABCDEFGYi油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL含量蝕刻速度蝕刻溫度11A1B1C1D1E1F1G110.
16、5921A1B1C1D2E2F2G2031A1B2C2D1E1F2G20.8441A1B2C2D2E2F1G1051A2B1C2D1E2F1G29.2461A2B1C2D2E1F2G11.7771A2B2C1D1E2F2G15.5381A2B2C1D2E1F1G20D. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果實(shí)驗(yàn)序號總檢數(shù)不良數(shù)不良率備注11701810.59%2309103.24%323720.84%411643.25%5119119.24%611321.77%7199115.53%811932.52%E. 查看S/N、一覽表、圖形及工程推定F. 驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)、確認(rèn)最佳組合制程條件參數(shù)設(shè)計(jì)值油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL
17、含量蝕刻速度蝕刻溫度備注原設(shè)計(jì)值A(chǔ)1B1C1D1E1F1G1新設(shè)計(jì)值(最佳組合)A1B2C2D2E1F2G2連路油墨注:此實(shí)驗(yàn)結(jié)果依DOE軟件計(jì)算出最佳組合條件還需進(jìn)行實(shí)驗(yàn)確認(rèn)。 G. DOE試驗(yàn)結(jié)果分析 由S/N一覽表Raw(平均數(shù))一覽表中可以得出以下以下參數(shù)對整個(gè)制程良率影響最大前四位影響程度較大之參數(shù)依次為蝕刻速度比重曝光能量HCL含量。故在進(jìn)行確認(rèn)試驗(yàn)時(shí)需確保其準(zhǔn)確無誤不可偏差太大。且如果確認(rèn)試驗(yàn)之結(jié)果與理想值偏差較大則重要對此四因素進(jìn)行DOE試驗(yàn)求證。H. 確認(rèn)實(shí)驗(yàn)實(shí)際參數(shù)參數(shù)設(shè)計(jì)值油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL含量蝕刻速度蝕刻溫度備注原設(shè)計(jì)值A(chǔ)1B1C1D1E1F1G1新設(shè)計(jì)
18、值(最適組合)A1B2C2D2E1F2G2連路油墨備注所有實(shí)際參數(shù)值均需填寫范圍值(如為定值則不需)確認(rèn)試驗(yàn)料號為Q105-6054V3.1數(shù)量為300PNL層數(shù)為L4,L5層油墨厚度測量時(shí)每PNL上面各測九點(diǎn)兩面均需測以5PNL板之厚度值做為是否調(diào)整之依據(jù)做試驗(yàn)板前測量曝光能量并調(diào)整至要求值試驗(yàn)前需預(yù)先調(diào)整比重和HCL含量蝕刻溫度以不至于影響生產(chǎn)進(jìn)度。其余參數(shù)可于試驗(yàn)時(shí)實(shí)時(shí)調(diào)整。實(shí)驗(yàn)部分(Experiment Section)(二)內(nèi)印參數(shù)DOE最佳參數(shù)之確認(rèn)試驗(yàn)確認(rèn)試驗(yàn)?zāi)康拇_認(rèn)依DOE試驗(yàn)設(shè)計(jì)方法所求出之最佳參數(shù)所得出的品質(zhì)結(jié)果是否趨于預(yù)計(jì)或者理想值。試驗(yàn)方法選取Q105-6054 V3.
19、1料號 L4L5層共300PNL進(jìn)行試驗(yàn)至內(nèi)蝕完成品處進(jìn)行兩面AOI掃描觀測品質(zhì)良率排除因非參數(shù)原因所導(dǎo)致的不良缺陷求出在最佳參數(shù)水準(zhǔn)下之品質(zhì)水準(zhǔn)。試驗(yàn)人員楊正兵 試驗(yàn)日期12/10/0312/12/03 試驗(yàn)參數(shù) 參數(shù)設(shè)計(jì)值油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL含量蝕刻速度蝕刻溫度備注原設(shè)計(jì)值A(chǔ)1B1C1D1E1F1G1新設(shè)計(jì)值(最適組合)A1B2C2D2E1F2G2連路油墨 備注在實(shí)際實(shí)驗(yàn)時(shí)諸如比重HCL蝕刻溫度等參數(shù)無法固定于某一具體值故實(shí)際參數(shù)為一范圍值。試驗(yàn)流程開料涂布(新涂布線) 曝光DES兩面AOI掃描 試驗(yàn)結(jié)果1) 所有不良項(xiàng)目分析不良項(xiàng)目不良數(shù)不良率不良項(xiàng)目不良數(shù)不良率短路20.
20、67%顯影不凈31%斷線20.67%殘膠41.33%殘銅62%氧化10.33%缺口206.67%板材10.33%總不良率13%2) 所有不良項(xiàng)目明細(xì)分析不良項(xiàng)目不良原因明細(xì)及數(shù)量不良項(xiàng)目不良原因明細(xì)短路2咬蝕不凈2顯影不凈3均為板角處趕氣不足斷線2臟點(diǎn)2殘膠4不明粘狀物殘銅6位置于孔內(nèi)顯影不凈所致氧化1未戴手套接觸板面缺口20臟點(diǎn)17油墨不均1撞傷1板材不良1板材1板材不良試驗(yàn)結(jié)果分析在所有不良項(xiàng)中因參數(shù)原因?qū)е轮涣柬?xiàng)目及數(shù)量為短路2pcs殘銅6pcs油墨不均導(dǎo)致缺口1pcs不良率為3%改善前短路殘銅平均總不良率為5.64%。確認(rèn)試驗(yàn)結(jié)論 從試驗(yàn)結(jié)果中得出導(dǎo)致內(nèi)層不良項(xiàng)主要是缺口殘銅前者主要
21、與現(xiàn)場清潔及來料板邊PP粉塵有關(guān)后者與涂布均勻性蝕刻均勻性有關(guān)下一步將繼續(xù)采用DOE試驗(yàn)設(shè)計(jì)的方法驗(yàn)證涂布段之均勻性及蝕刻均勻性。上述參數(shù)可導(dǎo)入使用。楊正兵12/12/03實(shí)驗(yàn)部分(Experiment Section)(三)內(nèi)印制程舊涂布線參數(shù)DOE試驗(yàn)求證實(shí)驗(yàn)名稱:內(nèi)印DOE實(shí)驗(yàn)之涂布均勻性實(shí)驗(yàn)?zāi)康模豪锰锟诜椒ㄍ刻匦?,?yàn)證內(nèi)印制程涂布均勻性最佳參數(shù).實(shí)驗(yàn)時(shí)間:03/12/0503/12/06實(shí)驗(yàn)料號Q102-4011 V1.0測試者:楊正兵 趙剛A. 原制程參數(shù)操作標(biāo)準(zhǔn)水準(zhǔn)參數(shù)水準(zhǔn)一水準(zhǔn)二水準(zhǔn)三油墨粘度(sec)A1A2A3涂布輪轉(zhuǎn)速B1B2B3B. 規(guī)劃實(shí)驗(yàn)因子表C. 排列實(shí)驗(yàn)直交表
22、及實(shí)驗(yàn)結(jié)果實(shí)驗(yàn)編號重復(fù)次數(shù)粘度轉(zhuǎn)速Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8Y911112.43.21.8452.63.41.82.6121141.62.61.64.843.442.913114.52.942.63.43.742.62.914114.24.55.93.73.72.65.34.21.815114.24.845.35.92.43.253.72112554.24.24.25.354.54.822124.845.95.66.15.95.33.74.223125.35.34.55.95.34.53.43.73.224125.64.573.25.94.23.72.9525124.25.65.654.
23、22.64.544.231132.143.43.22.93.43.25.6532134.53.244.85.65.33.62.94.2331346.44.54.85.65.64.555.634133.25.94.2543.75.34.84.535135.34.84.55.35.93.25.356.141213.22.92.94.51.82.14.84.54.842212.62.94.52.14.53.45.91.84.843212.63.45.62.95.63.74.53.73.744212.94.84.5553.74.53.4445215.92.64.85.63.25.95.645.3512
24、243.43.44.54.844.542.452222.14.22.62.143.74.54.2453224.83.74.53.444.24.23.45.354223.73.73.45.63.24.53.45555225.3455.64.852.65.63.761231.82.41.83.22.93.74.51.64.56223452.92.43.745.33.75.663232.64.54.84.55.655.65.95.964233.73.74.86.1446.73.44.865234.54.84553.274.84.271314.256.15.35.34.25.35.33.472315.
25、95.65.94.544.85.656.4733143.75.35.36.15.97.245.674314.26.44.85.34.84.86.755.675315.6554.85.96.174.57.281325.65.63.42.94.85.36.45.3582325.95.64.25.65.66.45.355.3833256.42.95.956.775.65.684326.16.46.74.85.36.46.77.25.985325.95.37.87.27.56.475.9491335.97.555.776.77.25.37.592335.64.54.52.42.93.22.94.859
26、33355.95.35.3555.355.394337.856.46.15.96.74.855.695337.88.16.77.27.25.35.35.66.1D. 查看S/N、一覽表、圖形及工程推定E. 驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)、確認(rèn)最佳組合制程條件參數(shù)設(shè)計(jì)值油墨粘度涂布輪轉(zhuǎn)速原設(shè)計(jì)值A(chǔ)2B2新設(shè)計(jì)值(最佳組合)A3B2注:此實(shí)驗(yàn)結(jié)果依DOE軟件計(jì)算出最佳組合條件確認(rèn)實(shí)驗(yàn)已完成。具體數(shù)據(jù)如下表所示項(xiàng)次123456789極差均值14.56.15.95.94.86.44.85.05.91.95.477825.96.15.04.54.256.75.64.02.75.222235.65.37.04.56.16.75
27、.66.16.72.55.955646.46.45.06.15.65.35.64.55.61.95.611157.07.05.67.86.45.35.95.05.92.86.211165.96.46.77.27.27.85.97.26.11.96.711177.06.45.67.27.55.97.56.16.11.96.588986.45.95.67.06.75.35.65.96.41.76.088995.07.06.47.27.07.86.16.46.12.86.5556107.07.55.36.76.75.66.47.06.72.26.5444總極差和均值3.86.0967依上表可知總體極
28、差為3.8um總體均值為6.0967um結(jié)果理想能滿足實(shí)際生產(chǎn)要求。F確認(rèn)依此最佳組合至內(nèi)蝕完成品AOI掃描結(jié)果 實(shí)驗(yàn)料號為Q126-4008 V1.0共100PNL(200pcs)涂布段按最佳組合參數(shù)其余條件同生產(chǎn)線參數(shù)經(jīng)掃描后共3pcs孔內(nèi)殘銅良率98.5%。G結(jié)論舊涂布線涂布輪轉(zhuǎn)速粘度最佳條件為轉(zhuǎn)速A3 粘度B2報(bào)告人楊正兵12/07/03實(shí)驗(yàn)部分(Experiment Section)(四)內(nèi)印制程新涂布線參數(shù)DOE試驗(yàn)求證實(shí)驗(yàn)名稱:內(nèi)印DOE實(shí)驗(yàn)之涂布均勻性實(shí)驗(yàn)?zāi)康模豪锰锟诜椒ㄍ刻匦?,?yàn)證內(nèi)印制程涂布均勻性最佳參數(shù).實(shí)驗(yàn)時(shí)間:03/12/2203/12/24實(shí)驗(yàn)料號Q155-40
29、01 V1.0測試者:楊正兵 趙紅利A. 原制程參數(shù)操作標(biāo)準(zhǔn)水準(zhǔn)參數(shù)水準(zhǔn)一水準(zhǔn)二水準(zhǔn)三油墨粘度(cps)A1A2A3下刮刀壓力(bar)B1B2B3涂布速度C1C2C3B. 規(guī)劃實(shí)驗(yàn)因子表C. 排列實(shí)驗(yàn)直交表及實(shí)驗(yàn)結(jié)果實(shí)驗(yàn)編號重復(fù)次數(shù)油墨粘度下刮刀壓力涂布速度Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8Y91111110.18.710.499.37.48.27.96.9121119.3910.19.66.87.47.47.4913111119910.19.610.18.799.31411110.110.49.910.497.67.97.67.4151119.999.610.19.66.88.26.87.6
30、211228.78.57.69.68.697.67.97.1221229.37.698.78.77.47.66.59231229.37.49.37.99.87.469.68.22412298.29.69.68.76.87.97.97.12512299.39.399.668.57.69.9311336.87.48.78.77.48.28.27.97.9321337.97.17.18.57.16.87.98.57.2331337.97.17.68.27.66.87.97.98.7341337.98.28.27.17.97.98.28.18.4351337.17.48.58.27.47.98.28.
31、18.4412126.67.17.787.78.59.19.68.8422127.26.38.58.38.59.18.39.19.14321287.36.17.46.698.89.68.8442126.67.76.17.36.69.19.48.58452127.77.77.47.76.989.19.69.1512235.86.67.16.96.19.49.188.8522237.76.37.27.47.79.68.89.18.8532236.36.67.46.67.78.57.48.39.1542236.96.36.96.36.9889.18.5552237.27.26.96.96.39.59
32、.19.18.36123188.888.88.37.27.77.78.36223188.58.58.58.588.58.38632317.77.76.96.98.36.66.67.46.96423188.388.37.7887.27.2652317.288.587.77.77.78.37.77131387.78.57.77.27.77.76.96.3723138.87.47.788.38.37.47.47.47331387.27.78.38.37.27.77.77.27431387.77.77.787.27.27.76.9753138.88.87.48.58.57.78.86.96.98132
33、18.38.58.39.18.57.46.97.27.4823219.48.88.59.49.188.37.27.7833218.58.88.88.38.87.47.47.27.4843219.68.89.68.58.38.87.77.47.4853217.78.37.18.38.87.47.48.37.7913329.48.59.48.88.87.26.97.27.2923329.48.58.89.19.17.46.96.96.9933329.68.37.29.98.887.77.27.7943328.39.18.39.49.17.288.38953328.58.88.88.88.86.97
34、.77.27.7D. 查看S/N、一覽表、圖形及工程推定E. 驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)、確認(rèn)最佳組合制程條件參數(shù)設(shè)計(jì)值油墨粘度CPS下刮刀壓力bar涂布速度原設(shè)計(jì)值A(chǔ)2B2C2新設(shè)計(jì)值(最佳組合)A3B3C3最適組合A2B3C3注:由參數(shù)之S/N比效應(yīng)值大小可以看出下刮刀壓力及涂布速度影響較大此實(shí)驗(yàn)結(jié)果依DOE軟件計(jì)算出最佳組合條件確認(rèn)實(shí)驗(yàn)已完成。具體數(shù)據(jù)如下表所示 123456789極差均值16.96.87.76.16.97.788.882.77.43333327.77.47.46.96.17.27.76.981.97.25555637.288.37.47.27.46.988.31.47.63333347.
35、26.98.37.77.487.47.78.31.47.65555657.28.37.77.26.67.27.27.781.77.45555667.46.98.57.76.48.38.58.58.52.17.85555676.96.67.46.66.67.47.48.38.31.77.27777886.96.96.67.46.66.6888.31.77.25555697.26.686.96.67.76.99.19.12.57.566667106.65.57.27.76.37.77.27.48.32.87.1總極差和均值3.67.448889依上表可知總體極差為3.6um總體均值為7.44889um結(jié)果理想能滿足實(shí)際生產(chǎn)要求。F確認(rèn)依此最佳組合至內(nèi)蝕完成品AOI掃描結(jié)果 實(shí)驗(yàn)料號為Q155-4001 V1.0共849PNL(1698pcs)涂布段按最佳組合參數(shù)其余條件同生產(chǎn)線參數(shù)經(jīng)掃描后共32pcs孔
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