SIXSIGMA專案改善實例——降低內(nèi)層報廢率項目報告

1、SIX SIGMA降低內(nèi)層報廢率項目報告甲上計算機(深圳)有限公司甲上計算機(深圳)有限公司項目報告書期初期中期末項目名稱降低內(nèi)層報廢率項目編號G00031024管制狀況發(fā)行日期2003年10月24日管制類別機密禁止拷貝列管 一般發(fā)行單位SIX SIGMA項目改善小組提案人楊正兵審查者審查者審查者核準者 索引項目編號：（此一編號由總經(jīng)理室填寫）日期： 2003年10月24日起至2003年12月31日止內(nèi)容頁次一、 本項目簡介及大略描述3二、 項目目的(重點說明進行項目的原因)5三、 項目預期效益(摘要概述項目預期效益并可作為期中執(zhí)行5控制及期末檢討之依據(jù)）四、 項目組織(畫出項目組織圖及職掌，

2、并說明各成員之任務)6五、 項目時程表(Schedule)及說明(摘要概述項目所要進行的7各項工作計劃，請擇重點說明)六、 項目預算估計(說明項目預定使用之預算，經(jīng)總經(jīng)核準后8即可作為預算追加的依據(jù))本項目簡介及大略描述： 項目主題降低內(nèi)層報廢率1. 項目背景 1.1 內(nèi)印目前品質(zhì)狀況a. 四層板平均報廢率為0.48% b. 六層板平均報廢率為3.87%c. 八層板內(nèi)印平均報廢率為5.88%d.十層板內(nèi)印平均報廢率為6.98%e. 十二層板內(nèi)印平均報廢率為7.50%f. 報廢率較高增加生產(chǎn)成本1.2 內(nèi)印制程目前基本概況 a. 所有制程參數(shù)均為之前經(jīng)驗或者供貨商所給無合理技朮驗證 b. 本制程

3、之品質(zhì)狀況無統(tǒng)一的項目進行改善 c.因制程參數(shù)不穩(wěn)定及未有項目管理是導致品質(zhì)異常之主要原因2. 項目目標2.1通過DOE和田口方法對公司鉆孔制程各參數(shù)進行重新求證求出最佳參數(shù)降低內(nèi)層報廢率(具體明細如下)a. 四層板平均報廢率為0.24% b. 六層板平均報廢率為2.0%c. 八層板內(nèi)印平均報廢率為3.0% d.十層板內(nèi)印平均報廢率為4.5%e. 十二層板內(nèi)印平均報廢率為4.5%2.2 相關指針 a. 四層板報廢單價為54.92元/FT2; b. 六層板報廢單價為56.69元/FT2; c. 八層板報廢單價為85.97元/FT2; d. 十層板報廢單價為100.37元/FT2; e. 十二層板

4、報廢單價為107.57元/FT2;2.3 項目完成時間2003年12月31日相關資料意見項目目的1.降低內(nèi)印課報廢率, 縮短制造周期以提高生產(chǎn)效率2. 降低生產(chǎn)制造成本, 提高企業(yè)在同行業(yè)的竟爭;3. 提高公司在客戶中的信譽。項目預期效益： 1. 因四層板報廢率降低預計年節(jié)省金額為 50萬FT2 × 12個月 × 54.92元/ FT2 × 0.24%=790,848元2. 因六層板報廢率降低預計年節(jié)省金額為 2.0萬FT2 × 12個月 × 56.69元/ FT2 × 1.87%=254,424元3. 因八層板報廢率降低預計年節(jié)省金

5、額為 3000 FT2 × 12個月 × 85.97元/ FT2 × 2.88%=89,134元4. 因十層板報廢率降低預計年節(jié)省金額為 2000 FT2 × 12個月 × 100.37元/ FT2 × 2.48%=59,739元5. 因十二層板報廢率降低預計年節(jié)省金額為 2000萬FT2 × 12個月 × 107.57元/ FT2 × 3.0%=77,449元預計每年共可為公司節(jié)省人民幣1,271,594元項目組織1. 組織圖組長 (黑帶楊正兵)專案顧問: 林秀雄/教授經(jīng)營決策總監(jiān)綠帶人員績效評估總監(jiān)生

6、產(chǎn)執(zhí)行總監(jiān)劉木生楊亞鵬朱永勝李武民陳友良生產(chǎn)技朮總監(jiān)曾義良方健趙利文趙剛副組長(黑帶許偉良)張興源2.組織成員職掌及任務項目職掌部門姓名任務執(zhí)行長朱亞鵬經(jīng)營決策總監(jiān)廠長徐永勝生產(chǎn)技朮總監(jiān)財務處處長財務處蕭武民績效評估總監(jiān)生產(chǎn)部工程部經(jīng)理工程部生產(chǎn)部蘇友良生產(chǎn)執(zhí)行總監(jiān)QA部副經(jīng)理QA部劉木生兼職綠帶生產(chǎn)部副經(jīng)理生產(chǎn)部張興源兼職綠帶工程部副經(jīng)理工程部曾義良兼職綠帶內(nèi)印課課長生產(chǎn)部方健兼職綠帶內(nèi)印課工程師工程部趙紅利兼職綠帶黑帶趙剛兼職綠帶專 案 時 程 表 頁次：階段項目完成期限負責人界定階段項目定義10月24日楊正兵團隊組成10月24日楊正兵目標設定10月25日項目小組量測階段現(xiàn)狀分析10月25

7、日楊正兵分析階段要因分析10月27日楊正兵改進階段DOE實驗10月30日11月18日項目小組控制階段效果確認10月30日12月30日項目小組標準化12月28日項目小組項目預算估計頁次：項目工作項目預算科目(金額)說明制程的參數(shù)試驗求證1. 電 費(3*60+9*110)*0.84=982.8元1. 因內(nèi)印前處理及去墨用新機進行求證故耗用電費以及水費前處理60KW/小時去墨機110kw/小時。2. 內(nèi)印前處理用水量為30噸/12H, 剝錫段用水量為15噸/12H, 本次試驗共占用前處理3H, 剝錫段9H. 3. 預計試驗報廢100FT2, 且內(nèi)印制造成本為10.55元/FT2每條顯影蝕刻線產(chǎn)能1

8、5000FT2, 分兩條線試驗內(nèi)層外包價格為1.8元/FT2, 內(nèi)部制造成本1.36元/FT22. 水 費(30*3/12+9*15/12)*2.14=40.13元預算：預算合計982.8+40.13+105510800=12877.93元3. 試驗報廢費用100FT2*10.55元/FT2=1055 元4. 工時費用15000FT2*18h/22h*(1.8-1.36) *2=10800元1.2.預算：3.4.1.2.預算：3.4.2.預算：3.4.2.預算：3.4.1.2.預算：3.4.注：1.每一工作項目應除了記載項目名稱外，也要注明預算總額，細分預算科目，并填上每一科目之預算，以利管制

9、。2.篇幅不夠請自行影印。甲上計算機(深圳)有限公司提案改善項目報告書期初期中期末項目名稱降低內(nèi)層報廢率項目編號G000307003管制狀況發(fā)行日期2003年 10月24日管制類別機密禁止拷貝列管一般發(fā)行單位提案人楊正兵審查者審查者審查者核準者索引項目編號：（此一編號由總經(jīng)理室填寫）日期：2003年10月24日起至2003年12月31日止內(nèi)容頁次七、 本項目測量階段介紹1-6八、 項目控制階段介紹 7-18九、 實驗結論19測 量 階 段(Measure)分 析 階 段(Analyse)特 性 要 因 圖DES其它對位顯影水洗段太短導致殘墨無塵室落塵量太大降低內(nèi)印報廢率棕片邊條邊緣粗糙清潔不到

10、位導致臟點蝕刻實際溫度濃度與佼儀表顯示不符操作人員無塵衣太臟曝光機能量不穩(wěn)定內(nèi)層板在搬運過程產(chǎn)生刮傷曝光機保養(yǎng)不徹底棕片漲縮比例不當噴嘴堵塞補線方式不當 機器設備不徹底蝕刻檢驗人員漏檢驗川寶曝光機臺面溫度高清潔保養(yǎng)不到位水破試驗不合格烘烤方式不當烘烤條件不適落塵量過大未依板厚調(diào)整刷幅烘烤后靜置時間長烘烤方式不當翻板接板處卡板涂布厚度不均勻達不到要求機器設備保養(yǎng)不徹底開料刀口不利產(chǎn)生PP粉塵地點:黑帶辦公室磨刷涂布開料時間:2003/10/27序號過程功能要求潛在失效模式潛在失效后果嚴重度S級別潛在失效原因機理頻度O現(xiàn)行過程控制預防現(xiàn)行過程控制探測探測度DRPN建 議措 施責任及目標完成日期措施

11、結果采取的措施SODRPN1.依客戶要求準備相應尺寸板材開料烘烤方式不當內(nèi)蝕后導致殘銅造成內(nèi)偏或板材脹縮報廢造成內(nèi)短或者修刮不良報廢77烘烤方式不合理機板堆棧過高10烘烤時每層20PNL共40層IPQC現(xiàn)場稽核2140烘烤時每層10PNL共20層趙剛蔡北平11/25同建議措施 73242烘烤條件不當無法達到烘烤效果因烘烤溫度過高PP粉塵粘于板面前處理不干凈97烘烤溫度155±2度薄板烘烤5HR厚板烘烤3HR開料后烘烤再移入內(nèi)印制程目視檢查IPQC現(xiàn)場稽核目視檢查23126126烘烤溫度改為180±2度時間不變薄板開料后先過內(nèi)印前處理機清洗后再烘烤趙剛蔡北平11/25楊正兵蔡

12、北平12/06同建議措施同建議措施7724232884失效模式分析(FMEA)失效模式分析(FMEA)失效模式分析(FMEA)序號過程功能要求潛在失效模式潛在失效后果嚴重度S級別潛在失效原因機理頻度O現(xiàn)行過程控制預防現(xiàn)行過程控制探測探測度DRPN建 議措 施責任及目標完成日期措施結果采取的措施SODRPN3.完成內(nèi)層圖像轉移人為漏檢AOI設備漏檢報廢報廢77人為目視檢驗時造成遺漏檢驗6層以上板時造成過多報廢AOI設備檢驗時因設備本身參數(shù)設置不當或者檢修人員漏失導致漏檢報廢77對于6層以上機板只針對線路面進行掃描按CAMTEK工程師所給參數(shù)進行作業(yè)人工檢驗機器設定53245147針對6層以上機板

13、兩面均采用AOI進行掃描要求CAMTEK工程師及時調(diào)整設備并對所有AOI作人員進行系統(tǒng)培訓許應利方偉11/10許應利方偉11/20同建議措施同建議措施77363363126失效模式分析(FMEA)序號過程功能要求潛在失效模式潛在失效后果嚴重度S級別潛在失效原因機理頻度O現(xiàn)行過程控制預防現(xiàn)行過程控制探測探測度DRPN建 議措 施責任及目標完成日期措施結果采取的措施SODRPN4.完成內(nèi)層圖像轉移補線方式不當無塵室落塵量較大報廢斷線或者缺口76人為修補斷線或缺口板時因條件或者方法原因導致在后述作業(yè)中造成短斷路報廢開料PP粉塵帶入無塵室及本身環(huán)境清潔不夠徹底77采用機補板線補補銅線補三種補線方式進行

14、補線作業(yè)補線完后棕第并烘烤作業(yè)時按正常清潔頻率進行清潔切片分析目視檢查或AOI掃描64294168停止使用板線補的方式盡量采用機補補線完成先進行檢查后再過棕化重新求證開料刀之使用壽命除正常清潔頻率外對無塵室進行不定期清潔楊正兵方偉11/12方偉11/10同建議措施同建議措施763 56 4126120失效模式分析(FMEA)改 進 階 段(Improve)1) 改進階段共分為如下三部分一 DOE參數(shù)求証部分二 開料后烘烤條件確認部分三 制程改善部分2) 每部分完成以下事項 一相關試驗報告二相關標準化三效益評估改 進 階 段(Improve)完善制程參數(shù)之DOE實驗求証部分1. 實驗部分2. 標

15、準化部分實驗部分(Experiment Section)(一)內(nèi)印參數(shù)DOE試驗求證實驗名稱：內(nèi)印DOE實驗實驗目的：利用田口方法望小特性，驗證內(nèi)印制程最佳參數(shù).實驗時間：11/0311/18測試者：許應利 趙剛 楊正兵 張興源A. 原制程參數(shù)操作標準水準參數(shù)水準一水準二油墨厚度()A1A2曝光能量(格)B1B2顯影速度(m/min)C1C2比重D1D2HCL含量(g/l)E1E2蝕刻速度(m/min)F1F2蝕刻溫度()G1G2B. 規(guī)劃實驗因子表C. 排列實驗直交表實驗編號重復次數(shù)ABCDEFGYi油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL含量蝕刻速度蝕刻溫度11A1B1C1D1E1F1G110.

16、5921A1B1C1D2E2F2G2031A1B2C2D1E1F2G20.8441A1B2C2D2E2F1G1051A2B1C2D1E2F1G29.2461A2B1C2D2E1F2G11.7771A2B2C1D1E2F2G15.5381A2B2C1D2E1F1G20D. 實驗結果實驗序號總檢數(shù)不良數(shù)不良率備注11701810.59%2309103.24%323720.84%411643.25%5119119.24%611321.77%7199115.53%811932.52%E. 查看S/N、一覽表、圖形及工程推定F. 驗證實驗、確認最佳組合制程條件參數(shù)設計值油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL

17、含量蝕刻速度蝕刻溫度備注原設計值A1B1C1D1E1F1G1新設計值(最佳組合)A1B2C2D2E1F2G2連路油墨注：此實驗結果依DOE軟件計算出最佳組合條件還需進行實驗確認。 G. DOE試驗結果分析 由S/N一覽表Raw(平均數(shù))一覽表中可以得出以下以下參數(shù)對整個制程良率影響最大前四位影響程度較大之參數(shù)依次為蝕刻速度比重曝光能量HCL含量。故在進行確認試驗時需確保其準確無誤不可偏差太大。且如果確認試驗之結果與理想值偏差較大則重要對此四因素進行DOE試驗求證。H. 確認實驗實際參數(shù)參數(shù)設計值油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL含量蝕刻速度蝕刻溫度備注原設計值A1B1C1D1E1F1G1新設計

18、值(最適組合)A1B2C2D2E1F2G2連路油墨備注所有實際參數(shù)值均需填寫范圍值(如為定值則不需)確認試驗料號為Q105-6054V3.1數(shù)量為300PNL層數(shù)為L4,L5層油墨厚度測量時每PNL上面各測九點兩面均需測以5PNL板之厚度值做為是否調(diào)整之依據(jù)做試驗板前測量曝光能量并調(diào)整至要求值試驗前需預先調(diào)整比重和HCL含量蝕刻溫度以不至于影響生產(chǎn)進度。其余參數(shù)可于試驗時實時調(diào)整。實驗部分(Experiment Section)(二)內(nèi)印參數(shù)DOE最佳參數(shù)之確認試驗確認試驗目的確認依DOE試驗設計方法所求出之最佳參數(shù)所得出的品質(zhì)結果是否趨于預計或者理想值。試驗方法選取Q105-6054 V3.

19、1料號 L4L5層共300PNL進行試驗至內(nèi)蝕完成品處進行兩面AOI掃描觀測品質(zhì)良率排除因非參數(shù)原因所導致的不良缺陷求出在最佳參數(shù)水準下之品質(zhì)水準。試驗人員楊正兵 試驗日期12/10/0312/12/03 試驗參數(shù) 參數(shù)設計值油墨厚度曝光能量顯影速度比重HCL含量蝕刻速度蝕刻溫度備注原設計值A1B1C1D1E1F1G1新設計值(最適組合)A1B2C2D2E1F2G2連路油墨 備注在實際實驗時諸如比重HCL蝕刻溫度等參數(shù)無法固定于某一具體值故實際參數(shù)為一范圍值。試驗流程開料涂布(新涂布線) 曝光DES兩面AOI掃描 試驗結果1) 所有不良項目分析不良項目不良數(shù)不良率不良項目不良數(shù)不良率短路20.

20、67%顯影不凈31%斷線20.67%殘膠41.33%殘銅62%氧化10.33%缺口206.67%板材10.33%總不良率13%2) 所有不良項目明細分析不良項目不良原因明細及數(shù)量不良項目不良原因明細短路2咬蝕不凈2顯影不凈3均為板角處趕氣不足斷線2臟點2殘膠4不明粘狀物殘銅6位置于孔內(nèi)顯影不凈所致氧化1未戴手套接觸板面缺口20臟點17油墨不均1撞傷1板材不良1板材1板材不良試驗結果分析在所有不良項中因參數(shù)原因導致之不良項目及數(shù)量為短路2pcs殘銅6pcs油墨不均導致缺口1pcs不良率為3%改善前短路殘銅平均總不良率為5.64%。確認試驗結論 從試驗結果中得出導致內(nèi)層不良項主要是缺口殘銅前者主要

21、與現(xiàn)場清潔及來料板邊PP粉塵有關后者與涂布均勻性蝕刻均勻性有關下一步將繼續(xù)采用DOE試驗設計的方法驗證涂布段之均勻性及蝕刻均勻性。上述參數(shù)可導入使用。楊正兵12/12/03實驗部分(Experiment Section)(三)內(nèi)印制程舊涂布線參數(shù)DOE試驗求證實驗名稱：內(nèi)印DOE實驗之涂布均勻性實驗目的：利用田口方法望目特性，驗證內(nèi)印制程涂布均勻性最佳參數(shù).實驗時間：03/12/0503/12/06實驗料號Q102-4011 V1.0測試者：楊正兵 趙剛A. 原制程參數(shù)操作標準水準參數(shù)水準一水準二水準三油墨粘度(sec)A1A2A3涂布輪轉速B1B2B3B. 規(guī)劃實驗因子表C. 排列實驗直交表

22、及實驗結果實驗編號重復次數(shù)粘度轉速Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8Y911112.43.21.8452.63.41.82.6121141.62.61.64.843.442.913114.52.942.63.43.742.62.914114.24.55.93.73.72.65.34.21.815114.24.845.35.92.43.253.72112554.24.24.25.354.54.822124.845.95.66.15.95.33.74.223125.35.34.55.95.34.53.43.73.224125.64.573.25.94.23.72.9525124.25.65.654.

23、22.64.544.231132.143.43.22.93.43.25.6532134.53.244.85.65.33.62.94.2331346.44.54.85.65.64.555.634133.25.94.2543.75.34.84.535135.34.84.55.35.93.25.356.141213.22.92.94.51.82.14.84.54.842212.62.94.52.14.53.45.91.84.843212.63.45.62.95.63.74.53.73.744212.94.84.5553.74.53.4445215.92.64.85.63.25.95.645.3512

24、243.43.44.54.844.542.452222.14.22.62.143.74.54.2453224.83.74.53.444.24.23.45.354223.73.73.45.63.24.53.45555225.3455.64.852.65.63.761231.82.41.83.22.93.74.51.64.56223452.92.43.745.33.75.663232.64.54.84.55.655.65.95.964233.73.74.86.1446.73.44.865234.54.84553.274.84.271314.256.15.35.34.25.35.33.472315.

25、95.65.94.544.85.656.4733143.75.35.36.15.97.245.674314.26.44.85.34.84.86.755.675315.6554.85.96.174.57.281325.65.63.42.94.85.36.45.3582325.95.64.25.65.66.45.355.3833256.42.95.956.775.65.684326.16.46.74.85.36.46.77.25.985325.95.37.87.27.56.475.9491335.97.555.776.77.25.37.592335.64.54.52.42.93.22.94.859

26、33355.95.35.3555.355.394337.856.46.15.96.74.855.695337.88.16.77.27.25.35.35.66.1D. 查看S/N、一覽表、圖形及工程推定E. 驗證實驗、確認最佳組合制程條件參數(shù)設計值油墨粘度涂布輪轉速原設計值A2B2新設計值(最佳組合)A3B2注：此實驗結果依DOE軟件計算出最佳組合條件確認實驗已完成。具體數(shù)據(jù)如下表所示項次123456789極差均值14.56.15.95.94.86.44.85.05.91.95.477825.96.15.04.54.256.75.64.02.75.222235.65.37.04.56.16.75

27、.66.16.72.55.955646.46.45.06.15.65.35.64.55.61.95.611157.07.05.67.86.45.35.95.05.92.86.211165.96.46.77.27.27.85.97.26.11.96.711177.06.45.67.27.55.97.56.16.11.96.588986.45.95.67.06.75.35.65.96.41.76.088995.07.06.47.27.07.86.16.46.12.86.5556107.07.55.36.76.75.66.47.06.72.26.5444總極差和均值3.86.0967依上表可知總體極

28、差為3.8um總體均值為6.0967um結果理想能滿足實際生產(chǎn)要求。F確認依此最佳組合至內(nèi)蝕完成品AOI掃描結果 實驗料號為Q126-4008 V1.0共100PNL(200pcs)涂布段按最佳組合參數(shù)其余條件同生產(chǎn)線參數(shù)經(jīng)掃描后共3pcs孔內(nèi)殘銅良率98.5%。G結論舊涂布線涂布輪轉速粘度最佳條件為轉速A3 粘度B2報告人楊正兵12/07/03實驗部分(Experiment Section)(四)內(nèi)印制程新涂布線參數(shù)DOE試驗求證實驗名稱：內(nèi)印DOE實驗之涂布均勻性實驗目的：利用田口方法望目特性，驗證內(nèi)印制程涂布均勻性最佳參數(shù).實驗時間：03/12/2203/12/24實驗料號Q155-40

29、01 V1.0測試者：楊正兵 趙紅利A. 原制程參數(shù)操作標準水準參數(shù)水準一水準二水準三油墨粘度(cps)A1A2A3下刮刀壓力(bar)B1B2B3涂布速度C1C2C3B. 規(guī)劃實驗因子表C. 排列實驗直交表及實驗結果實驗編號重復次數(shù)油墨粘度下刮刀壓力涂布速度Y1Y2Y3Y4Y5Y6Y7Y8Y91111110.18.710.499.37.48.27.96.9121119.3910.19.66.87.47.47.4913111119910.19.610.18.799.31411110.110.49.910.497.67.97.67.4151119.999.610.19.66.88.26.87.6

30、211228.78.57.69.68.697.67.97.1221229.37.698.78.77.47.66.59231229.37.49.37.99.87.469.68.22412298.29.69.68.76.87.97.97.12512299.39.399.668.57.69.9311336.87.48.78.77.48.28.27.97.9321337.97.17.18.57.16.87.98.57.2331337.97.17.68.27.66.87.97.98.7341337.98.28.27.17.97.98.28.18.4351337.17.48.58.27.47.98.28.

31、18.4412126.67.17.787.78.59.19.68.8422127.26.38.58.38.59.18.39.19.14321287.36.17.46.698.89.68.8442126.67.76.17.36.69.19.48.58452127.77.77.47.76.989.19.69.1512235.86.67.16.96.19.49.188.8522237.76.37.27.47.79.68.89.18.8532236.36.67.46.67.78.57.48.39.1542236.96.36.96.36.9889.18.5552237.27.26.96.96.39.59

32、.19.18.36123188.888.88.37.27.77.78.36223188.58.58.58.588.58.38632317.77.76.96.98.36.66.67.46.96423188.388.37.7887.27.2652317.288.587.77.77.78.37.77131387.78.57.77.27.77.76.96.3723138.87.47.788.38.37.47.47.47331387.27.78.38.37.27.77.77.27431387.77.77.787.27.27.76.9753138.88.87.48.58.57.78.86.96.98132

33、18.38.58.39.18.57.46.97.27.4823219.48.88.59.49.188.37.27.7833218.58.88.88.38.87.47.47.27.4843219.68.89.68.58.38.87.77.47.4853217.78.37.18.38.87.47.48.37.7913329.48.59.48.88.87.26.97.27.2923329.48.58.89.19.17.46.96.96.9933329.68.37.29.98.887.77.27.7943328.39.18.39.49.17.288.38953328.58.88.88.88.86.97

34、.77.27.7D. 查看S/N、一覽表、圖形及工程推定E. 驗證實驗、確認最佳組合制程條件參數(shù)設計值油墨粘度CPS下刮刀壓力bar涂布速度原設計值A2B2C2新設計值(最佳組合)A3B3C3最適組合A2B3C3注：由參數(shù)之S/N比效應值大小可以看出下刮刀壓力及涂布速度影響較大此實驗結果依DOE軟件計算出最佳組合條件確認實驗已完成。具體數(shù)據(jù)如下表所示 123456789極差均值16.96.87.76.16.97.788.882.77.43333327.77.47.46.96.17.27.76.981.97.25555637.288.37.47.27.46.988.31.47.63333347.

35、26.98.37.77.487.47.78.31.47.65555657.28.37.77.26.67.27.27.781.77.45555667.46.98.57.76.48.38.58.58.52.17.85555676.96.67.46.66.67.47.48.38.31.77.27777886.96.96.67.46.66.6888.31.77.25555697.26.686.96.67.76.99.19.12.57.566667106.65.57.27.76.37.77.27.48.32.87.1總極差和均值3.67.448889依上表可知總體極差為3.6um總體均值為7.44889um結果理想能滿足實際生產(chǎn)要求。F確認依此最佳組合至內(nèi)蝕完成品AOI掃描結果 實驗料號為Q155-4001 V1.0共849PNL(1698pcs)涂布段按最佳組合參數(shù)其余條件同生產(chǎn)線參數(shù)經(jīng)掃描后共32pcs孔