鍍膜機標(biāo)準作業(yè)指導(dǎo)書

1、*公司 * 標(biāo)準作業(yè)指導(dǎo)書版本：1.1編制人： * 審核人： 會簽人： 批準人： 1目的： 指導(dǎo)操作人員正確操作設(shè)備，防止因操作不當(dāng)造成的生產(chǎn)異常及安全事故，確保正常運轉(zhuǎn)，保障*站生產(chǎn)正常進行。2適用范圍工作站。3修訂詳情版本修訂人詳情審核人批準人初*撰寫4 職責(zé)4.1生產(chǎn)部4.1.1 鍍膜站操作員工嚴格按照本指導(dǎo)書所規(guī)定操作步驟進行操作，嚴禁私自更改操作步驟，出現(xiàn)問題及時上報。4.1.2 鍍膜站班長監(jiān)督當(dāng)班操作員工作，發(fā)現(xiàn)問題及時以書面形式上報，帶領(lǐng)當(dāng)班操作人員做好日常維護工作，在設(shè)備正常的情況下保證鍍膜生產(chǎn)的正常運行。4.2技術(shù)部4.2.1 及時解決蒸發(fā)臺生產(chǎn)部門上報的技術(shù)問題，并做出詳盡

2、明確的書面解決方案，同時負責(zé)監(jiān)督實施。4.3設(shè)備維護部4.3.1 按照蒸發(fā)臺設(shè)備維護保養(yǎng)表的要求，定期對蒸發(fā)臺進行日常維護，及時處理生產(chǎn)部門上報的蒸發(fā)臺設(shè)備異常，并按要求填寫相應(yīng)記錄表單。5參考文件列表5.1作業(yè)流程5.2操作步驟5.3異常處理5.4蒸發(fā)臺設(shè)備維護保養(yǎng)表5.5蒸發(fā)臺生產(chǎn)記錄表5.6蒸發(fā)臺物料使用表5.7前工藝環(huán)境管理規(guī)范6文件要求6.1作業(yè)流程開門取鍍盤清理坩堝確認金屬源上片關(guān)門檢查密封圈掛鍍盤開EB-Gun調(diào)用程序開門送至下道觀察記錄數(shù)據(jù)摘片6.2操作步驟序號操作步驟示意圖操作要點和注意事項1開門腔體門打開后，用腔體右上角的掛鉤將門固定。如果有金鈹?shù)群辖鹞镔|(zhì)在腔體內(nèi)，務(wù)必先等

3、腔體降溫到30以內(nèi)再開腔體。2取鍍盤操作時要戴乳膠手套，戴口罩，腔體附近操作時嚴禁說話。固定鍍盤的卡子要放在底部防著板的左下角。3清理坩堝先用手術(shù)刀片和改錐等工具將坩堝邊緣以及內(nèi)部的金屬剔除，再用吸塵器將剔除的金屬吸走，最后用蘸酒精的無塵布擦干凈坩堝表面。4確認金屬源P電極蒸發(fā)要確認坩堝內(nèi)放有鈦源和鋁源，N電極蒸發(fā)要確認坩堝內(nèi)放有鎳源、鍺源和金源。其他特殊工藝參看工藝流程單要求或?qū)嶒炆暾垎我髞泶_認金屬源。5上片上片前先將蒸發(fā)臺腔體門關(guān)閉。將待加工的工件平均放置在三個鍍盤上。嚴禁用手觸碰被加工工件，沒有加工物的載片盤上放置陪片，禁止私自刮出鍍盤上的金屬。如需清理，必須至少有兩個與此工作站相關(guān)人

4、員在場。6掛鍍盤用提盤把手將放好工件的鍍盤裝入腔體，用卡子將鍍盤固定好，旋轉(zhuǎn)單個鍍盤，確認已經(jīng)卡緊，再旋轉(zhuǎn)鍍盤支架，確保行星轉(zhuǎn)能正常運轉(zhuǎn)。7檢查密封圈腔體門的密封圈有時會被擠出，關(guān)門前檢查密封圈是否完好，如果被擠出，用鑷子將擠出的部分回復(fù)原狀，確認沒問題后再進行下一步操作。8關(guān)門將腔體門關(guān)閉，找到抽真空界面，點擊抽真空步驟的“START”，設(shè)備自動抽真空，此時嚴禁拉動開門把手。9開EB-Gun開高壓電子槍之前要確認前道步驟已經(jīng)完成，關(guān)門之前嚴禁開高壓電子槍。10調(diào)用程序根據(jù)工藝的不同，調(diào)用相應(yīng)的鍍膜程序。11觀察記錄數(shù)據(jù)將蒸發(fā)過程中的信息詳細記錄在蒸鍍生產(chǎn)記錄表上。12開門取鍍盤圖略，參考第“1”“2”步驟圖片與第“1”“2”步操作相同。13摘片按照投片順序，依次取出加工完成的工件。14送至下道詳細記錄相關(guān)數(shù)據(jù)后，將加工完成的工件送至下道操作工序。交接必須有雙方交接人員簽字6.3異常處理生產(chǎn)部生產(chǎn)異常上報設(shè)備維護部生產(chǎn)確認正常提出解決方案上報生產(chǎn)技術(shù)部技術(shù)確認分析蒸發(fā)臺問題分析工藝問題處理蒸發(fā)臺異常生產(chǎn)繼續(xù)進行技術(shù)部跟蹤實驗生產(chǎn)繼續(xù)進行生產(chǎn)確認可