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熱處理工藝流程流程參數(shù)注意事項(xiàng)1、領(lǐng)料2.11爐子升溫時(shí)高、中、低溫度區(qū)溫度必須同步升溫,如不同升溫需調(diào)節(jié) 2、開爐2.1熱處理升溫恒溫溫度為650?5?至同步3.11插片時(shí)必須戴口罩、手套、防止污染片子3、擺片3.12插片時(shí)必須從片子中隨意抽樣 4片測(cè)電阻率,不可從一個(gè)地方抽取4.11拉桿標(biāo)識(shí)綠為第二舟到爐口位4.1硅片處理時(shí)間為15分鐘 置,紅為第一舟位置(陪片)4、熱處理 陪片的處理時(shí)間為2個(gè)小時(shí)4.12如果片子一般需推至標(biāo)識(shí)后再推進(jìn)20mm5.11陪片時(shí)間到后,取出舟要平行將5、出料 舟慢慢拉出,不可用力快速拉出。5.12將隨意抽測(cè)的樣片測(cè)電阻率觀察其變化。6、冷卻6.11陪片硅片出爐后,需快速冷卻降溫,以保持電阻率平衡穩(wěn)定。7.11裝料時(shí)必須戴手套,每盒500片,檢查盒子標(biāo)簽與流程單是否一致。熱處理后的硅片,如果電阻率低于 7、收片裝盒10,而熱處理后的硅片又不屬于硅棒尾部材料可能是熱處理時(shí)間不夠或沒有放在恒溫區(qū)處理,需重新做熱處理
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