阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告V1.0

1、文件編號ICS-QRE-D01 (A)-print Corp Quality System Doc.20150701-阻焊直接成像曝光機 (Screen)驗收報告V1.0第0頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告一、驗收目的：檢驗設(shè)備的各項指標是否達到規(guī)格書要求，并評估設(shè) 備工藝能力及產(chǎn)品品質(zhì)是否達到我司要求。二、驗收信息：序 號項目彳巨息說明備注1型號Screen LI-5F-M 曝光機與威志傳送設(shè)備2供應(yīng)商Screen(網(wǎng)屏)、威志3用途阻焊曝光4驗收數(shù)且里1使用廠5區(qū)/部 門/工ICS/工藝部/阻焊序設(shè)備負甘斌、曾祥敏6責人

2、快捷公司質(zhì)量體系文件第1頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告7驗收入王鋒鋒、劉成勇8驗收時 間2015.6.22 2015.7.3三、驗收項目及結(jié)果:項E=Item驗收標準Aceeptance Standard結(jié) 果備注機 體 結(jié) 構(gòu)機體完 整性機體完整，表面無劃 痕，損傷，各部件可 正常運行OK傳送設(shè)備不銹 鋼表面未拋光 處理基本規(guī) 格1 . Passline:960 ± 30mm2 .設(shè)備尺寸：符合規(guī) 格書設(shè)計要求3 .運行方向(以操作 面看)：從右到左4 .傳送尺寸：415 X510mm 準OK傳送系 統(tǒng)1.各馬達符合類型、 數(shù)里和規(guī)格符合規(guī)格待 改翻板

3、機為皮帶； 傳送滾輪間距文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第2頁共13頁電氣系統(tǒng)書要求2 .馬達運行平穩(wěn)3 .馬達皮帶(鏈條)轉(zhuǎn) 動正常4 .與板接觸部位材質(zhì) 符合要求5 .各搬送部運行穩(wěn) 定，夾持無異常，無 異常噪聲1 .馬達電流正確2 .接線正確無誤，并 標示正確3 .接線柱穩(wěn)定無松動4 .線槽穩(wěn)固良好5 .控制箱清潔良好6 .入板電眼調(diào)試正常7 .電源規(guī)格符合我司 要求8 .電控柜需要有調(diào)溫 裝置善較大；收放板機 吸板不平整；放 板后吸嘴會粘 板(7/25 )OK文件編號ICS-QRE-D01 (A)Fast-print Corp Quality System Doc.快

4、捷公司質(zhì)量體系文件文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告控制系統(tǒng)機臺運行機體溫、濕度控制1 .運行正常，軟件系 統(tǒng)至少包括中文2 .電腦設(shè)有斷電緩沖 （ups裝置3 .各控制項目符合要 求4 .參數(shù)有分級修改權(quán) 限設(shè)定5 .預(yù)留收放板機自動 控制端口1 .曝光機，冷卻機， 溫調(diào)機等各部運行正 常，無異常噪聲或者 故障2 .開機試運行，抽真 空后觀察真空度數(shù)值 是否達標1 .溫度控制精度：土2 C3 .濕度控制精度：土第3頁共13頁OK轉(zhuǎn)換文件軟件 CU-9000無設(shè)置 頁為英文，無中 文；曝光機無分 級修改權(quán)限設(shè) 定；NG產(chǎn)品暫 存機無NG暫存功能（7/25）驗收期間“主機 冷卻”

5、常出現(xiàn)黃 色警報，未知原 因；目前正常產(chǎn) 品在High模式 下真空值約 -5kpa。（7/25）曝光機內(nèi)部溫 度約25 c文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.文件編號：ICS-QRE-D01 (A)文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第4頁共13頁5%機體灰 塵控制潔凈度W 100級潔凈度按1000級控制警報指 示1 .故障報警正常2 .報警指示燈正確3 .各種保護、報警、 急停等輔助裝置可以 正常使

6、用4 .做各種違規(guī)等操作 驗證報警功能是否有 效5 .按急停鍵驗證能否 實現(xiàn)急停功能6 .設(shè)備，控制箱，線 路等標牌粘貼正確7 .異常情況、生產(chǎn)記 錄等自動存儲功能， 保存期限)6個月待 改 善曝光主機無報 警指示燈；抓板 手臂在非指定 區(qū)域可卜降；其他項 目此表中未涉及的項目 依設(shè)備規(guī)格書逐項檢待 確查認能力與品質(zhì)傳送能 力1 .卡板，掉板，板折 等導(dǎo)致的過板失敗率 <0.3%2 .出板產(chǎn)品無損傷、 無雜物、無褶皺、無 跡印、無翹曲待 確 認有吸嘴印跡防翹曲 能力水平放置前后翹曲w 6mnjf況的板能順禾 運行，未出現(xiàn)掉板、 折板、卡板等，產(chǎn)品 生產(chǎn)時不會出現(xiàn)曝光 不良現(xiàn)象待 改 善板

7、邊翹曲情況 下無法正常對 位(7/25)產(chǎn)能產(chǎn)能滿足：5000n2/month最小開 囪1 .最小SROt昌力:50 ± 5um2 .銅上及基材上阻焊 undercut or foot :< 5umOK第5頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.文件編號：ICS-QRE-D01 (A)文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第6頁共13頁3.開窗形態(tài)良好能量均 勻性1 .開窗大小：250 士5um (245255um)2 .均勻性A 95%OK阻焊橋1. &g

8、t;50um2.無發(fā)白、橋彎、掉 橋等OK臺面印 記無臺面印記、凹坑、 吸盤印等待 改 善產(chǎn)品圖形內(nèi)有 吸盤印曝光條 紋無明顯曝光過度線 條、曝光不良條紋等(依據(jù)Taiyo datasheet中能級要 求，最高曝光能量均 可滿足要求)OK有輕微曝光條 紋位置精 度要求 3 a < 10unr| cp >1.331.玻璃底片檢查測試，1年/次提供許)kit|待 確 認尚未提供校準 報告文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第7頁共13頁重復(fù)精度試報告給FP,OK2 .定期校準檢查，每 季度/次-提供校準 報告給FP3 .實際圖形測試結(jié)果 滿足驗收標準(銅面阻焊厚度25 士

9、 10unf SR8 200uni 300um為考察對象，測 量位置：45Points/Panel ) 要求 3 a < 5um, cpk>1.331 .玻璃底片檢查測 試，1年/次-提供測 試報告給FP2 .定期校準檢查，每 季度/次-提供校準 報告給FP3 .實際圖形測試方法尚未提供校準 報告文件編號ICS-QRE-D01 （A）快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.第8頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告及結(jié)果滿足驗收標準 （銅面阻焊厚度25 士10unf SR8 200uni300um為考察對象，測

10、 量位置：Offset區(qū)域45Points/Panel ） 要求重合部分0 2um 肉眼觀察無明顯曝光過度線條評估測試AUS308AUS320油墨適應(yīng)性至少可以對應(yīng)taiyo 所有IC載板類型油墨（包括濕膜和干膜阻 焊）AUS410 EG23OKAQ4086 與 ORC 設(shè)備相比，更容 易出現(xiàn)臺面印跡問題（通過堵 部分吸氣孔改 善）文件格至少可以支持Gerber OK支持 gerber、快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.文件編號：ICS-QRE-D01 (A)文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第9頁共13頁式兼容 性和OD

11、B+格式的文件ODB+格式文件，但目前板邊 設(shè)計需作變更設(shè) 備 與 服 務(wù)拆箱1 .機臺外觀無損壞；2 .設(shè)備無明顯劃傷；OK部品點 收依清單內(nèi)容，點收各 部件，各部件規(guī)格以 及物品與清單內(nèi)容相 符；OK常規(guī)漏 電檢查無漏電；OK易耗品 清單以 及壽命提供說明書 (中文1本、原版2本無塵紙、英文1本)待 確 認軟件要 求隨機的PC內(nèi)用的軟件 必須正版OK設(shè)備安 裝提供設(shè)備安裝計劃書OK設(shè)備MTBFMTBF(Mean TimeBetween Failures) >待 確文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System D

12、oc.文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告1000hrs ;（一個月后穩(wěn)定生產(chǎn)）MTTR第10頁共13頁MTTR (Mean Time ToRepair) < 2hrs ;(一個月后穩(wěn)定生產(chǎn))四、驗收結(jié)論：目前（7/27）確認主要存在問題:1.罩®!黯堯配1位于曝光臺面正上方，導(dǎo)軌上油2.敬我1奈耒隼光機內(nèi)部，易導(dǎo)致異物增多；對于薄板，中信上時斗需重新啟動時操作步驟繁 敢板出柒4.,手臂會自動下降，存在損壞產(chǎn)品與設(shè)備的5 .滾輪傳送速度無數(shù)值顯示。6 .暫存機感應(yīng)器不穩(wěn)定。7 .政恢時，吸嘴會有粘板，導(dǎo)致板有移動，最終無法正常 對位；8 .板邊翹曲時，對位圖像模糊

13、，無法正常對位；9 .暫存機在“ NG暫存”模式下不能實現(xiàn)NG暫存功能；10 .曝光主機警報清除需消耗很長時間；11拓虞置日光N塊板時，第N塊板在臺面上不會被自動 移12束必福皤到出現(xiàn)喋鼻鬻梆酷嚼1第11頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告數(shù)據(jù)停止。13浦消蝴式時，順時針調(diào)節(jié)角度過大，會在曝光過 在 中出現(xiàn),W報。14.需要調(diào)整板尺寸才能讓對位點進入 CCD鏡頭區(qū)域在問題改善前，無法用于生產(chǎn)。五、附件：5.1、 機體溫、濕度控制5.1.1、 驗收標準：(1)溫度控制精度：士 1 濕度控制精度：土 5% 5.1.2、驗收方法： (1)利用空氣溫度計測量機體內(nèi)部溫度數(shù)值，在

14、一天內(nèi)，間 隔測量30次(2)利用濕度計測量機體內(nèi)部濕度數(shù)值，在一天內(nèi)，間隔測量30次5.1.3、 測試條件曝光機外部溫度：22±2C;濕度：50±5%5.1.4、 測試結(jié)果：5.2、 機體灰塵控制5.2.1、 驗收標準潔凈度w 100級第12頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告5.2.2、 驗收方法啟動機器，利用潔凈度測試儀測量機體內(nèi)部塵埃粒子數(shù)量5.2.3、 測試條件5.2.4、 測試結(jié)果5.3、 傳送能力測試5.3.1、 驗收標準(1) .卡板，掉板，板折等導(dǎo)致的過板失敗率0.3%(2) .出板產(chǎn)品無損傷、無雜物、無褶皺、無跡印、無翹曲5.3.

15、2、 驗收方法(1)CCL (0.040mm 基材+2|im*2 銅)連續(xù)過板；(2)圖形板(0.040mm基材+10(1 m*2銅)連續(xù)過板。板尺寸：415mm*510mm5.3.3、 測試條件5.3.4、 測試結(jié)果圖形板測試OK, CCL尚未確認。5.4、 防翹曲能力測試5.4.1、 驗收標準水平放置前后翹曲w 6mm情況的板能順利運行，未出現(xiàn)掉文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.第13頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告板、折板、卡板等，產(chǎn)品生產(chǎn)時不會出現(xiàn)曝光不良現(xiàn)象5.4

16、.2、 驗收方法尺寸415X 510mm）板厚0.044mm-2.0mm）用不同翹曲程 度的板，進行過板測試。5.4.3、 測試條件5.4.4、 測試結(jié)果5.5、 設(shè)備產(chǎn)能5.5.1、 驗收標準產(chǎn)能滿足： 5000m2/month5.5.2、 驗收方法計算方法：產(chǎn)能（m2/月）=3600 （sec/、時）X 22 （小時/天）X 26 （天/月）X 0.21 （m2/pnl） tact time（sec/pnl）5.5.3、 測試條件在設(shè)定的曝光能量條件下正常進行 4點對位曝光。5.5.4、 測試結(jié)果油墨/干膜型 號曝光能量Tact time(sec/pnl)產(chǎn)能AUS308260mj/cm

17、281secAUS320300mj/cm 282secAUS410220 mj/cm 274secEG23220mj/cm 274secAQ408630mj/cm 241sec第14頁共13頁注：Tract Time指產(chǎn)品單面對位+曝光時間，不含曝光能量文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告調(diào)整時間與成像頭校正時間5.6、 最小開窗5.6.1、 驗收標準1 .最小SRO能力：50±5um2 .銅上及基材上阻焊 undercut or foot : < 5um3 .開窗形態(tài)良好5.6.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅

18、面阻焊厚度25±10um,設(shè)計不同SMD阻焊開窗，曝光、 顯影、后固化后，分析開窗形貌。5.6.3、 測試條件5.6.4、 測試結(jié)果油墨 型號SRO（設(shè)計值50 pm）SRO （設(shè)計值80pm）文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第15頁共13頁注：SMD補償值按-18 m計算5.7、 能量均勻性5.7.1、 驗收標準1 .開窗大小：250 ± 5um (245255um)2 .均勻性A 95%5.7.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，板厚0.044mm,銅面阻焊厚度 25±10um, SRO以250u

19、m 為考察對象，測量位置：45Points/Panel,能量均勻性計算 公式：Min/Max*100%5.7.3、 測試條件測試油墨型號：AUS308、AUS410、EG235.7.4、 測試結(jié)果油墨型號阻焊厚度(m m)文件設(shè)計SRO (g m)實際SROAVE ( m m)實際SROMAX ( m m)實際SROMIN ( m m)實際SRORANGE (m m)MIN/MAX文件編號ICS-QRE-D01 (A)Fast-print Corp Quality System Doc.快捷公司質(zhì)量體系文件第16頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告AUS30825.87

20、568547.73552.56534.8717.7096.80%AUS41023.56568554.84556.42549.217.2098.71%EG2326.02568551.82553.43548.015.4299.02%注：SMD開窗補償+18Nm金戀酬« -在圭級/“也 iM «N HU » UI gff M R 1汽通 1*415 HP /MH 直 <r 4H,mn 3 5US1Z4E IQMTIE -t 號UN蚣-« WTar*早i. 1班前q詈妣薩tfK=F -VB 令計日E w HU 由直 的q hi I j 4mbj a- jt

21、ii.UH 0 <f3松箕+ l leEnftd ii. En洶外 電 * ini.iKHnHiHME£ 匕 Bl91 I JBJ3I期ItH計HM， 站他mmA hffi 忙!I H M.imi K. lMt VG.lUtM Q I &1M7 0防ESI ii dri帶T b£ /Ml5.8、 阻焊橋5.8.1、 驗收標準1 .>50um2 .無發(fā)白、橋彎、掉橋等5.8.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅面阻焊厚度25±10um,設(shè)計不同尺寸SR dam,曝光、 顯影、后固化后，分析SR da

22、m能力5.8.3、測試條件5.8.4、測試結(jié)果文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質(zhì)量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.第17頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告5.9、 臺面印跡5.9.1、 驗收標準無臺面印記、凹坑、吸盤印等5.9.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅面阻焊厚度25±10um,正常條件下生產(chǎn)5.9.3、 測試條件5.9.4、 測試結(jié)果初期臺面印跡明顯，后更換新臺面；新臺面條件下AUS320 仍有印跡，堵住部分吸氣孔進行改善。5.10、 曝光

23、條紋5.10.1、 驗收標準無明顯曝光過度線條、曝光不良條紋等(依據(jù)Taiyo datasheet中能級要求，最高曝光能量均可滿足要求)5.10.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅面阻焊厚度25±10um,正常條件下生產(chǎn)第18頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告5.10.3、 測試條件5.10.4、 測試結(jié)果5.11、 位置精度5.11.1、 驗收標準要求 3a< 10um, cpk>1.331 .玻璃底片檢查測試，1年/次-提供測試報告給FP,OK2 .定期校準檢查，每季度/次-提供校準報告給FP

24、3 .實際圖形測試結(jié)果滿足驗收標準(銅面阻焊厚度 25±10um, SRO以200um, 300um為考 察對象)測量位置：45Points/Panel)5.11.2、 驗收方法此測試需在設(shè)備供應(yīng)商處進行，采用預(yù)先準備的玻璃底 片，學習其上的靶標，以此作為CCD對位靶標(不漲縮)， 將測試圖形曝光到底片上，然后測量測試圖形中心與玻璃 底片上圖形中心的距離，即為對位偏差值。取點數(shù)量至少20個。計算如下：偏移量 D=(Xi-xi)2+(Yi-yi)20.5,偏移量 標準偏差為(T5.11.3、 條件5.11.4、 測試結(jié)果第19頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告

25、5.12、 重復(fù)精度5.12.1、 驗收標準要求 3 er < 5um, cpk > 1.331 .玻璃底片檢查測試，1年/次-提供測試報告給FP2 .定期校準檢查，每季度/次-提供校準報告給FP3 .實際圖形測試方法及結(jié)果滿足驗收標準(銅面阻焊厚度 25土 10um, SRO以200um, 300um為考 察對象，測量位置：45Points/Panel)5.12.2、 驗收方法此測試需在設(shè)備供應(yīng)商處進行，采用預(yù)先準備的玻璃底 片，學習其上的靶標，以此作為CCD對位靶標(不漲縮)， 在板的四角和中心各設(shè)計4個同心圓環(huán)圖形，并將測試圖 形曝光到底片上，每次只曝光一個圓環(huán)，多次曝光，測

26、量 圓環(huán)中心之間的偏差值，檢驗其穩(wěn)定性。5.12.3、 測試條件5.12.4、 測試結(jié)果5.13、 Offset 區(qū)域5.13.1、 驗收標準文件編號ICS-QRE-D01 (A)Fast-print Corp Quality System Doc.快捷公司質(zhì)量體系文件第20頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告要求重合部分w 2um,肉眼觀察無明顯曝光過度線條5.13.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨,銅面阻焊厚度25 ± 10um ,在光銅板上設(shè)計阻焊線寬50um,正常參數(shù)曝光后，在DMD掃描重合區(qū)域內(nèi)，用顯 微鏡觀察阻焊線寬變異寬度。2um5.13.3、 測試條件5.13.4、 測試結(jié)果5.14、 油墨適應(yīng)性5.14.1、 驗收標準至少可以對應(yīng)taiyo所有IC載板類型油墨(包括濕膜和干膜阻焊)5.14.2、 驗收方法使用多種IC載板用油墨進行曝光，測量并記錄各種油墨 的