阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告V1.0

1、文件編號ICS-QRE-D01 (A)-print Corp Quality System Doc.20150701-阻焊直接成像曝光機 (Screen)驗收報告V1.0第0頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告一、驗收目的：檢驗設備的各項指標是否達到規(guī)格書要求，并評估設 備工藝能力及產品品質是否達到我司要求。二、驗收信息：序 號項目彳巨息說明備注1型號Screen LI-5F-M 曝光機與威志傳送設備2供應商Screen(網屏)、威志3用途阻焊曝光4驗收數且里1使用廠5區(qū)/部 門/工ICS/工藝部/阻焊序設備負甘斌、曾祥敏6責人

2、快捷公司質量體系文件第1頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告7驗收入王鋒鋒、劉成勇8驗收時 間2015.6.22 2015.7.3三、驗收項目及結果:項E=Item驗收標準Aceeptance Standard結 果備注機 體 結 構機體完 整性機體完整，表面無劃 痕，損傷，各部件可 正常運行OK傳送設備不銹 鋼表面未拋光 處理基本規(guī) 格1 . Passline:960 ± 30mm2 .設備尺寸：符合規(guī) 格書設計要求3 .運行方向(以操作 面看)：從右到左4 .傳送尺寸：415 X510mm 準OK傳送系 統1.各馬達符合類型、 數里和規(guī)格符合規(guī)格待 改翻板

3、機為皮帶； 傳送滾輪間距文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第2頁共13頁電氣系統書要求2 .馬達運行平穩(wěn)3 .馬達皮帶(鏈條)轉 動正常4 .與板接觸部位材質 符合要求5 .各搬送部運行穩(wěn) 定，夾持無異常，無 異常噪聲1 .馬達電流正確2 .接線正確無誤，并 標示正確3 .接線柱穩(wěn)定無松動4 .線槽穩(wěn)固良好5 .控制箱清潔良好6 .入板電眼調試正常7 .電源規(guī)格符合我司 要求8 .電控柜需要有調溫 裝置善較大；收放板機 吸板不平整；放 板后吸嘴會粘 板(7/25 )OK文件編號ICS-QRE-D01 (A)Fast-print Corp Quality System Doc.快

4、捷公司質量體系文件文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告控制系統機臺運行機體溫、濕度控制1 .運行正常，軟件系 統至少包括中文2 .電腦設有斷電緩沖 （ups裝置3 .各控制項目符合要 求4 .參數有分級修改權 限設定5 .預留收放板機自動 控制端口1 .曝光機，冷卻機， 溫調機等各部運行正 常，無異常噪聲或者 故障2 .開機試運行，抽真 空后觀察真空度數值 是否達標1 .溫度控制精度：土2 C3 .濕度控制精度：土第3頁共13頁OK轉換文件軟件 CU-9000無設置 頁為英文，無中 文；曝光機無分 級修改權限設 定；NG產品暫 存機無NG暫存功能（7/25）驗收期間“主機 冷卻”

5、常出現黃 色警報，未知原 因；目前正常產 品在High模式 下真空值約 -5kpa。（7/25）曝光機內部溫 度約25 c文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.文件編號：ICS-QRE-D01 (A)文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第4頁共13頁5%機體灰 塵控制潔凈度W 100級潔凈度按1000級控制警報指 示1 .故障報警正常2 .報警指示燈正確3 .各種保護、報警、 急停等輔助裝置可以 正常使

6、用4 .做各種違規(guī)等操作 驗證報警功能是否有 效5 .按急停鍵驗證能否 實現急停功能6 .設備，控制箱，線 路等標牌粘貼正確7 .異常情況、生產記 錄等自動存儲功能， 保存期限)6個月待 改 善曝光主機無報 警指示燈；抓板 手臂在非指定 區(qū)域可卜降；其他項 目此表中未涉及的項目 依設備規(guī)格書逐項檢待 確查認能力與品質傳送能 力1 .卡板，掉板，板折 等導致的過板失敗率 <0.3%2 .出板產品無損傷、 無雜物、無褶皺、無 跡印、無翹曲待 確 認有吸嘴印跡防翹曲 能力水平放置前后翹曲w 6mnjf況的板能順禾 運行，未出現掉板、 折板、卡板等，產品 生產時不會出現曝光 不良現象待 改 善板

7、邊翹曲情況 下無法正常對 位(7/25)產能產能滿足：5000n2/month最小開 囪1 .最小SROt昌力:50 ± 5um2 .銅上及基材上阻焊 undercut or foot :< 5umOK第5頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.文件編號：ICS-QRE-D01 (A)文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第6頁共13頁3.開窗形態(tài)良好能量均 勻性1 .開窗大小：250 士5um (245255um)2 .均勻性A 95%OK阻焊橋1. &g

8、t;50um2.無發(fā)白、橋彎、掉 橋等OK臺面印 記無臺面印記、凹坑、 吸盤印等待 改 善產品圖形內有 吸盤印曝光條 紋無明顯曝光過度線 條、曝光不良條紋等(依據Taiyo datasheet中能級要 求，最高曝光能量均 可滿足要求)OK有輕微曝光條 紋位置精 度要求 3 a < 10unr| cp >1.331.玻璃底片檢查測試，1年/次提供許)kit|待 確 認尚未提供校準 報告文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第7頁共13頁重復精度試報告給FP,OK2 .定期校準檢查，每 季度/次-提供校準 報告給FP3 .實際圖形測試結果 滿足驗收標準(銅面阻焊厚度25 士

9、 10unf SR8 200uni 300um為考察對象，測 量位置：45Points/Panel ) 要求 3 a < 5um, cpk>1.331 .玻璃底片檢查測 試，1年/次-提供測 試報告給FP2 .定期校準檢查，每 季度/次-提供校準 報告給FP3 .實際圖形測試方法尚未提供校準 報告文件編號ICS-QRE-D01 （A）快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.第8頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告及結果滿足驗收標準 （銅面阻焊厚度25 士10unf SR8 200uni300um為考察對象，測

10、 量位置：Offset區(qū)域45Points/Panel ） 要求重合部分0 2um 肉眼觀察無明顯曝光過度線條評估測試AUS308AUS320油墨適應性至少可以對應taiyo 所有IC載板類型油墨（包括濕膜和干膜阻 焊）AUS410 EG23OKAQ4086 與 ORC 設備相比，更容 易出現臺面印跡問題（通過堵 部分吸氣孔改 善）文件格至少可以支持Gerber OK支持 gerber、快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.文件編號：ICS-QRE-D01 (A)文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第9頁共13頁式兼容 性和OD

11、B+格式的文件ODB+格式文件，但目前板邊 設計需作變更設 備 與 服 務拆箱1 .機臺外觀無損壞；2 .設備無明顯劃傷；OK部品點 收依清單內容，點收各 部件，各部件規(guī)格以 及物品與清單內容相 符；OK常規(guī)漏 電檢查無漏電；OK易耗品 清單以 及壽命提供說明書 (中文1本、原版2本無塵紙、英文1本)待 確 認軟件要 求隨機的PC內用的軟件 必須正版OK設備安 裝提供設備安裝計劃書OK設備MTBFMTBF(Mean TimeBetween Failures) >待 確文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System D

12、oc.文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告1000hrs ;（一個月后穩(wěn)定生產）MTTR第10頁共13頁MTTR (Mean Time ToRepair) < 2hrs ;(一個月后穩(wěn)定生產)四、驗收結論：目前（7/27）確認主要存在問題:1.罩®!黯堯配1位于曝光臺面正上方，導軌上油2.敬我1奈耒隼光機內部，易導致異物增多；對于薄板，中信上時斗需重新啟動時操作步驟繁 敢板出柒4.,手臂會自動下降，存在損壞產品與設備的5 .滾輪傳送速度無數值顯示。6 .暫存機感應器不穩(wěn)定。7 .政恢時，吸嘴會有粘板，導致板有移動，最終無法正常 對位；8 .板邊翹曲時，對位圖像模糊

13、，無法正常對位；9 .暫存機在“ NG暫存”模式下不能實現NG暫存功能；10 .曝光主機警報清除需消耗很長時間；11拓虞置日光N塊板時，第N塊板在臺面上不會被自動 移12束必福皤到出現喋鼻鬻梆酷嚼1第11頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告數據停止。13浦消蝴式時，順時針調節(jié)角度過大，會在曝光過 在 中出現,W報。14.需要調整板尺寸才能讓對位點進入 CCD鏡頭區(qū)域在問題改善前，無法用于生產。五、附件：5.1、 機體溫、濕度控制5.1.1、 驗收標準：(1)溫度控制精度：士 1 濕度控制精度：土 5% 5.1.2、驗收方法： (1)利用空氣溫度計測量機體內部溫度數值，在

14、一天內，間 隔測量30次(2)利用濕度計測量機體內部濕度數值，在一天內，間隔測量30次5.1.3、 測試條件曝光機外部溫度：22±2C;濕度：50±5%5.1.4、 測試結果：5.2、 機體灰塵控制5.2.1、 驗收標準潔凈度w 100級第12頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告5.2.2、 驗收方法啟動機器，利用潔凈度測試儀測量機體內部塵埃粒子數量5.2.3、 測試條件5.2.4、 測試結果5.3、 傳送能力測試5.3.1、 驗收標準(1) .卡板，掉板，板折等導致的過板失敗率0.3%(2) .出板產品無損傷、無雜物、無褶皺、無跡印、無翹曲5.3.

15、2、 驗收方法(1)CCL (0.040mm 基材+2|im*2 銅)連續(xù)過板；(2)圖形板(0.040mm基材+10(1 m*2銅)連續(xù)過板。板尺寸：415mm*510mm5.3.3、 測試條件5.3.4、 測試結果圖形板測試OK, CCL尚未確認。5.4、 防翹曲能力測試5.4.1、 驗收標準水平放置前后翹曲w 6mm情況的板能順利運行，未出現掉文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.第13頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機（Screen）驗收報告板、折板、卡板等，產品生產時不會出現曝光不良現象5.4

16、.2、 驗收方法尺寸415X 510mm）板厚0.044mm-2.0mm）用不同翹曲程 度的板，進行過板測試。5.4.3、 測試條件5.4.4、 測試結果5.5、 設備產能5.5.1、 驗收標準產能滿足： 5000m2/month5.5.2、 驗收方法計算方法：產能（m2/月）=3600 （sec/、時）X 22 （小時/天）X 26 （天/月）X 0.21 （m2/pnl） tact time（sec/pnl）5.5.3、 測試條件在設定的曝光能量條件下正常進行 4點對位曝光。5.5.4、 測試結果油墨/干膜型 號曝光能量Tact time(sec/pnl)產能AUS308260mj/cm

17、281secAUS320300mj/cm 282secAUS410220 mj/cm 274secEG23220mj/cm 274secAQ408630mj/cm 241sec第14頁共13頁注：Tract Time指產品單面對位+曝光時間，不含曝光能量文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告調整時間與成像頭校正時間5.6、 最小開窗5.6.1、 驗收標準1 .最小SRO能力：50±5um2 .銅上及基材上阻焊 undercut or foot : < 5um3 .開窗形態(tài)良好5.6.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅

18、面阻焊厚度25±10um,設計不同SMD阻焊開窗，曝光、 顯影、后固化后，分析開窗形貌。5.6.3、 測試條件5.6.4、 測試結果油墨 型號SRO（設計值50 pm）SRO （設計值80pm）文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告第15頁共13頁注：SMD補償值按-18 m計算5.7、 能量均勻性5.7.1、 驗收標準1 .開窗大?。?50 ± 5um (245255um)2 .均勻性A 95%5.7.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，板厚0.044mm,銅面阻焊厚度 25±10um, SRO以250u

19、m 為考察對象，測量位置：45Points/Panel,能量均勻性計算 公式：Min/Max*100%5.7.3、 測試條件測試油墨型號：AUS308、AUS410、EG235.7.4、 測試結果油墨型號阻焊厚度(m m)文件設計SRO (g m)實際SROAVE ( m m)實際SROMAX ( m m)實際SROMIN ( m m)實際SRORANGE (m m)MIN/MAX文件編號ICS-QRE-D01 (A)Fast-print Corp Quality System Doc.快捷公司質量體系文件第16頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告AUS30825.87

20、568547.73552.56534.8717.7096.80%AUS41023.56568554.84556.42549.217.2098.71%EG2326.02568551.82553.43548.015.4299.02%注：SMD開窗補償+18Nm金戀酬« -在圭級/“也 iM «N HU » UI gff M R 1汽通 1*415 HP /MH 直 <r 4H,mn 3 5US1Z4E IQMTIE -t 號UN蚣-« WTar*早i. 1班前q詈妣薩tfK=F -VB 令計日E w HU 由直 的q hi I j 4mbj a- jt

21、ii.UH 0 <f3松箕+ l leEnftd ii. En洶外 電 * ini.iKHnHiHME£ 匕 Bl91 I JBJ3I期ItH計HM， 站他mmA hffi 忙!I H M.imi K. lMt VG.lUtM Q I &1M7 0防ESI ii dri帶T b£ /Ml5.8、 阻焊橋5.8.1、 驗收標準1 .>50um2 .無發(fā)白、橋彎、掉橋等5.8.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅面阻焊厚度25±10um,設計不同尺寸SR dam,曝光、 顯影、后固化后，分析SR da

22、m能力5.8.3、測試條件5.8.4、測試結果文件編號ICS-QRE-D01 (A)快捷公司質量體系文件Fast-print Corp Quality System Doc.第17頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告5.9、 臺面印跡5.9.1、 驗收標準無臺面印記、凹坑、吸盤印等5.9.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅面阻焊厚度25±10um,正常條件下生產5.9.3、 測試條件5.9.4、 測試結果初期臺面印跡明顯，后更換新臺面；新臺面條件下AUS320 仍有印跡，堵住部分吸氣孔進行改善。5.10、 曝光

23、條紋5.10.1、 驗收標準無明顯曝光過度線條、曝光不良條紋等(依據Taiyo datasheet中能級要求，最高曝光能量均可滿足要求)5.10.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨，銅面阻焊厚度25±10um,正常條件下生產第18頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告5.10.3、 測試條件5.10.4、 測試結果5.11、 位置精度5.11.1、 驗收標準要求 3a< 10um, cpk>1.331 .玻璃底片檢查測試，1年/次-提供測試報告給FP,OK2 .定期校準檢查，每季度/次-提供校準報告給FP

24、3 .實際圖形測試結果滿足驗收標準(銅面阻焊厚度 25±10um, SRO以200um, 300um為考 察對象)測量位置：45Points/Panel)5.11.2、 驗收方法此測試需在設備供應商處進行，采用預先準備的玻璃底 片，學習其上的靶標，以此作為CCD對位靶標(不漲縮)， 將測試圖形曝光到底片上，然后測量測試圖形中心與玻璃 底片上圖形中心的距離，即為對位偏差值。取點數量至少20個。計算如下：偏移量 D=(Xi-xi)2+(Yi-yi)20.5,偏移量 標準偏差為(T5.11.3、 條件5.11.4、 測試結果第19頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告

25、5.12、 重復精度5.12.1、 驗收標準要求 3 er < 5um, cpk > 1.331 .玻璃底片檢查測試，1年/次-提供測試報告給FP2 .定期校準檢查，每季度/次-提供校準報告給FP3 .實際圖形測試方法及結果滿足驗收標準(銅面阻焊厚度 25土 10um, SRO以200um, 300um為考 察對象，測量位置：45Points/Panel)5.12.2、 驗收方法此測試需在設備供應商處進行，采用預先準備的玻璃底 片，學習其上的靶標，以此作為CCD對位靶標(不漲縮)， 在板的四角和中心各設計4個同心圓環(huán)圖形，并將測試圖 形曝光到底片上，每次只曝光一個圓環(huán)，多次曝光，測

26、量 圓環(huán)中心之間的偏差值，檢驗其穩(wěn)定性。5.12.3、 測試條件5.12.4、 測試結果5.13、 Offset 區(qū)域5.13.1、 驗收標準文件編號ICS-QRE-D01 (A)Fast-print Corp Quality System Doc.快捷公司質量體系文件第20頁共13頁文件名：阻焊直接成像曝光機(Screen)驗收報告要求重合部分w 2um,肉眼觀察無明顯曝光過度線條5.13.2、 驗收方法尺寸415*510mm的板材，太陽PSR-4000AUS308油墨,銅面阻焊厚度25 ± 10um ,在光銅板上設計阻焊線寬50um,正常參數曝光后，在DMD掃描重合區(qū)域內，用顯 微鏡觀察阻焊線寬變異寬度。2um5.13.3、 測試條件5.13.4、 測試結果5.14、 油墨適應性5.14.1、 驗收標準至少可以對應taiyo所有IC載板類型油墨(包括濕膜和干膜阻焊)5.14.2、 驗收方法使用多種IC載板用油墨進行曝光，測量并記錄各種油墨 的