FANUC 高速高精度控制的調(diào)整步驟

1、FANUC LTDTuning - 1 高速高精度控制的高速高精度控制的調(diào)調(diào)整步整步驟驟FANUC LTDTuning - 2 車(chē)驅(qū)動(dòng)車(chē)驅(qū)動(dòng)的三個(gè)基本要素的三個(gè)基本要素 高速高精度機(jī)床加工的高速高精度機(jī)床加工的 三個(gè)基本要素三個(gè)基本要素駕駛員駕駛員的的駕駛駕駛技巧技巧加速器加速器,剎剎車(chē)車(chē),手手動(dòng)動(dòng)響響應(yīng)應(yīng)速度速度車(chē)車(chē)的的 懸懸掛掛CNC 的的進(jìn)給進(jìn)給率控制率控制 伺服伺服 系系統(tǒng)統(tǒng)響響應(yīng)應(yīng)機(jī)械機(jī)械剛剛性性 駕車(chē)駕車(chē)和機(jī)床高速高精度控制具有以上和機(jī)床高速高精度控制具有以上 相似性相似性 . 高速高精度控制需要的基本元素高速高精度控制需要的基本元素FANUC LTDTuning - 31. CN

2、C 進(jìn)給進(jìn)給速度控制速度控制 高速高精度開(kāi)始不協(xié)調(diào)的因素 為了保證兩者協(xié)調(diào), 切線(xiàn)方向的速度僅在必要的點(diǎn)上需要 減小或者增加 - 依靠各個(gè)軸的速度差 - 依靠各個(gè)軸的加速度- 依靠各個(gè)軸的加加速度 拐角前 慢下來(lái)拐角后速度升起來(lái)曲線(xiàn)前慢下來(lái)曲線(xiàn)時(shí)慢速高速高速高精度控制需要的元素高速高精度控制需要的元素FANUC LTDTuning - 42. 伺服系伺服系統(tǒng)統(tǒng)響響應(yīng)應(yīng) -盡可能精確地跟隨移動(dòng)指令 - 盡可能抑制干擾扭矩 通過(guò)使用HRV2 或 HRV3 和 HRV 濾波器技術(shù) 實(shí)現(xiàn)較高的速度增益設(shè)定高速高精度控制需要的元素高速高精度控制需要的元素實(shí)際路徑實(shí)際路徑指令路徑指令路徑普通普通車(chē)車(chē)賽車(chē)賽

3、車(chē)FANUC LTDTuning - 53. 機(jī)械機(jī)械剛剛性性 為了獲得高增益和加工出高精度的工件, 也 需要高的機(jī)械剛性高速高精度控制需要的元素高速高精度控制需要的元素實(shí)際路徑指令路徑普通普通車(chē)車(chē)剛剛性好并性好并平平穩(wěn)穩(wěn)的的車(chē)車(chē)滿(mǎn)足以上所有 3 條對(duì)于實(shí)現(xiàn)機(jī)床高速高精度控制僅僅是具備 了有一個(gè)好的驅(qū)動(dòng)FANUC LTDTuning - 6FANUC LTDTuning - 7伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述為了提高伺服系統(tǒng)的執(zhí)行性能和CNC 進(jìn)給率控制伺服調(diào)整是必要的. 伺服調(diào)整由下列項(xiàng)目組成.(伺服系統(tǒng)響應(yīng)) - 增益和 HRV 濾波器調(diào)整 這個(gè)調(diào)整提高了伺服控制總體的執(zhí)行性能. 增益調(diào)整

4、是最重要的項(xiàng)目. - 前饋調(diào)整 調(diào)整前饋將路徑誤差減小為0. 它是高速高精度機(jī)床必不可少的功能.(CNC 進(jìn)給率控制) - 通過(guò)加速度調(diào)整進(jìn)給速度控制 - 通過(guò)速度差調(diào)整進(jìn)給速度控制 - 通過(guò)加加速度調(diào)整進(jìn)給速度控制 以上調(diào)整實(shí)現(xiàn)高速控制和指令路徑的平滑控制什么是伺服什么是伺服調(diào)調(diào)整整 ?FANUC LTDTuning - 8伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述如何如何進(jìn)進(jìn)行伺服行伺服調(diào)調(diào)整整 1在伺服調(diào)整過(guò)程中, 增益調(diào)整和HRV 濾波器調(diào)整是最重要的. 通過(guò)提高伺服系統(tǒng)的速度增益和位置增益能夠高精度跟隨位置指令和抑制伺服電機(jī)的干擾. 調(diào)整指導(dǎo) 在伺服指導(dǎo)中自動(dòng)進(jìn)行增益調(diào)整.PCMCIAPCMC

5、IALAN LAN 卡卡伺服伺服指指導(dǎo)導(dǎo)伺服指導(dǎo) 是支持伺服調(diào)整的一個(gè)強(qiáng)有力的工具. 伺服指導(dǎo)可以觀測(cè)到伺服 系統(tǒng)的狀態(tài)并能對(duì)伺服進(jìn)行自動(dòng)調(diào)整.FANUC LTDTuning - 9伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述如何如何進(jìn)進(jìn)行伺服行伺服調(diào)調(diào)整整 2伺服調(diào)整使用一些代表性的圖形形狀. 這些圖形形狀的程序已登記到伺服指導(dǎo)的 程序窗口 并通過(guò)程序窗口執(zhí)行生成相應(yīng)的程序.(圓圓) 前前饋饋 反向反向間間隙加速隙加速(方方) 通通過(guò)過(guò)速度差速度差實(shí)現(xiàn)進(jìn)給實(shí)現(xiàn)進(jìn)給率控制率控制 速度增益速度增益(帶圓帶圓弧弧-拐角的方形拐角的方形) 通通過(guò)過(guò)改改變變加速度加速度實(shí)現(xiàn)進(jìn)給實(shí)現(xiàn)進(jìn)給率控制率控制FANUC LT

6、DTuning - 10HRV 控制控制高速響高速響應(yīng)應(yīng)和和 高分辨率反高分辨率反饋饋位置控制位置控制伺服系伺服系統(tǒng)統(tǒng)高精度高精度電電流反流反饋饋伺服伺服放大器放大器HRV濾濾波波器器a ai 伺服伺服電電機(jī)機(jī)速度控制速度控制伺服控制伺服控制伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述關(guān)于伺服系關(guān)于伺服系統(tǒng)統(tǒng)伺服系統(tǒng)由伺服控制, 伺服放大器和伺服電機(jī)組成. 所有這些產(chǎn)品對(duì)于提高伺服系統(tǒng)的執(zhí)行性能是很重要的. 伺服調(diào)整提高了伺服控制的執(zhí)行性能.FANUC LTDTuning - 11伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述+CNC發(fā)發(fā)出出的指令的指令位置增益位置增益 (*5)高速速度高速速度環(huán)環(huán) (*3)前前饋饋

7、(*4)消除消除 機(jī)械共振機(jī)械共振濾濾波器波器 (*2) HRV 電電流控制流控制 HRV2,3 (*1) +實(shí)現(xiàn)高速高精度控制如下調(diào)整伺服功能 (*1) 設(shè)定 HRV 電流控制 (HRV2 或 HRV3)(*2,*3) 調(diào)整消除機(jī)械共振濾波器并設(shè)定速度環(huán)路增益(*4) 前饋調(diào)整(*5) 位置增益調(diào)整伺服控制中的伺服調(diào)整項(xiàng)目伺服控制伺服控制FANUC LTDTuning - 12(*1) 設(shè)設(shè)定定 HRV 電電流控制流控制 (HRV2 或或 HRV3) 通過(guò)選擇 HRV2 標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)參數(shù)電流環(huán)控制周期縮短到125 s (對(duì)于 ais, ai 和 bis 伺服電機(jī),使用90B0系列伺服軟件支持HR

8、V2標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)參數(shù)). 對(duì)于HRV2的加強(qiáng)功能,通過(guò)提高電流環(huán)的高速響應(yīng),使用伺服 HRV3 控制可以得到更高的速度環(huán)增益. 電流環(huán)的高速響應(yīng)是伺服系統(tǒng)總體執(zhí)行性能提高的基礎(chǔ)伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述速度速度環(huán)環(huán)增益低增益低速度速度環(huán)環(huán)增益高增益高FANUC LTDTuning - 13(*2),(*3) 消除機(jī)械共振消除機(jī)械共振濾濾波器波器調(diào)調(diào)整整 和速度和速度環(huán)環(huán)增益增益設(shè)設(shè)定定 一些機(jī)床在特定的頻率有很強(qiáng)的機(jī)械共振. 消除機(jī)械共振濾波器 的HRV濾波器除去振動(dòng)有效. 伺服指導(dǎo)的調(diào)整導(dǎo)航器功能用于調(diào)整 HRV 濾波器. 也可以使用調(diào)整導(dǎo)航器功能設(shè)定更高的速度環(huán)增益全面提高伺服的執(zhí)行性能

9、. 調(diào)調(diào)整整導(dǎo)導(dǎo)航器航器 調(diào)整導(dǎo)航器按照一步一步的調(diào)整步驟提示進(jìn)行調(diào)整. 下列項(xiàng)目有效. - 自動(dòng)調(diào)整 設(shè)定速度增益- 自動(dòng)調(diào)整 設(shè)定HRV 濾波器- 支持設(shè)定 高速高精度控制功能. 伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述FANUC LTDTuning - 14(*4) 前前饋調(diào)饋調(diào)整整 通過(guò) 提前預(yù)讀前饋, 伺服延遲被消除并且圖形誤差減小了 通常使用97% 到100% 的前饋系數(shù)伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述 前前饋饋0% 前前饋饋 100%FANUC LTDTuning - 15(*5) 位置增益位置增益調(diào)調(diào)整整 通過(guò)使用高速速度環(huán)響應(yīng)可以設(shè)定高的位置增益. 設(shè)定高的位置增益也可以用于減小誤差

10、. 推薦設(shè)定值大于 50/sec, 只要能保證穩(wěn)定性. 考慮快速進(jìn)給的穩(wěn)定性決定位置增益的限制值.伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述FANUC LTDTuning - 16伺服伺服調(diào)調(diào)整整過(guò)過(guò)程概述程概述調(diào)調(diào)整前整前調(diào)調(diào)整后整后 下列圖形表示伺服調(diào)整后的結(jié)果. 四象限凸起完全被抑制. 路徑變得更平滑.舉舉例例較較小的小的 路徑路徑誤誤差差象限凸起被抑制象限凸起被抑制FANUC LTDTuning - 17FANUC LTDTuning - 18初始化伺服參數(shù)初始化伺服參數(shù) (1) 調(diào)整初始化參數(shù)時(shí), 請(qǐng)從 (1) 到 (4)初始化伺服參數(shù). 灰顏色數(shù)據(jù)需要根據(jù)具體機(jī)床調(diào)整.注注 1. 電電機(jī)代機(jī)

11、代碼碼從從 251 到到 350 應(yīng)應(yīng)用于用于 HRV2 參數(shù)參數(shù)FANUC LTDTuning - 19初始化伺服參數(shù)初始化伺服參數(shù)設(shè)設(shè)定定 (2) FAD 有效使位置指令更平滑. 如果使用 AICC, HPCC 和 AI-NanoCC, FAD不使用. 為了減小位置指令的加速度CNC 側(cè)使用插補(bǔ)后加/減速是必要的.FANUC LTDTuning - 20 設(shè)定高速度增益和位置增益可以有效減小象限凸起. 但是設(shè)定高增益是有一些限制的. 反向間隙加速是減小象限凸起的功能 通過(guò)將 加速指令 加到速度指令當(dāng)坐標(biāo)軸反向時(shí). 兩段反向間隙加速能夠處理可變的速度. 初始化伺服參數(shù)初始化伺服參數(shù)設(shè)設(shè)定定

12、(3)FANUC LTDTuning - 21初始化伺服參數(shù)初始化伺服參數(shù)設(shè)設(shè)定定 (4) 更詳細(xì)內(nèi)容, 請(qǐng)參照 高速和高精度運(yùn)行相關(guān)的參數(shù)說(shuō)明, FANUC 交流伺服電機(jī) ais /ai /bis 系列參數(shù)說(shuō)明書(shū)附錄 (B-65270). 在說(shuō)明書(shū)中, 初始化設(shè)定參數(shù)對(duì)小型,中型和大型機(jī)床的功能分別進(jìn)行描述.FANUC LTDTuning - 22速度增益和速度增益和 HRV 濾濾波器波器調(diào)調(diào)整整 (1) 調(diào)整導(dǎo)航器可以容易地調(diào)整速度增益 . 調(diào)整導(dǎo)航器從測(cè)量頻率響應(yīng)結(jié)果可以看到速度環(huán)路的增益裕度. 調(diào)整導(dǎo)航器建議出推薦的速度增益.增益裕度推薦增益FANUC LTDTuning - 23速度

13、增益和速度增益和HRV濾濾波器波器調(diào)調(diào)整整 (2)調(diào)整導(dǎo)航器提高增益后, 再測(cè)頻率響應(yīng)特性曲線(xiàn).我們推薦通過(guò)坐標(biāo)軸的直線(xiàn)移動(dòng)檢測(cè)增益設(shè)定的正確性.如果觀察到有一些振動(dòng), 請(qǐng)將速度增益減小一點(diǎn).電機(jī)速度轉(zhuǎn)矩指令降低增益電機(jī)速度轉(zhuǎn)矩指令FANUC LTDTuning - 24速度增益和速度增益和HRV 濾濾波器波器調(diào)調(diào)整整 (3) 通過(guò)使用調(diào)整導(dǎo)航器可以容易地調(diào)整 HRV 濾波器. 調(diào)整導(dǎo)航器檢測(cè)響應(yīng)頻率. 調(diào)整導(dǎo)航器建議出推薦的HRV濾波器參數(shù).推薦的濾波器參數(shù)FANUC LTDTuning - 25速度增益和速度增益和HRV濾濾波器波器調(diào)調(diào)整整 (4)設(shè)定濾波器后調(diào)整導(dǎo)航器可以看到頻率響應(yīng)特性

14、曲線(xiàn).如果你想修改, 你能細(xì)微地調(diào)整濾波器.我們推薦通過(guò)坐標(biāo)軸的直線(xiàn)移動(dòng)檢測(cè)濾波器設(shè)定的正確性.如果觀察到有一些振動(dòng), 請(qǐng)稍修改一下濾波器參數(shù).電機(jī)速度轉(zhuǎn)矩指令修改修改中心中心頻頻率率FANUC LTDTuning - 26改變?cè)鲆娴男Ч蜑V波器調(diào)整舉例 位置前饋系數(shù) 100% 速度增益 300% 位置前饋系數(shù) 100% 速度增益速度增益 650% 速度環(huán)高速循環(huán)處理功能 (2017#7=1) ON10m/div速度增益和速度增益和HRV濾濾波器波器調(diào)調(diào)整整 (5)10m/divFANUC LTDTuning - 27前饋功能結(jié)構(gòu)圖前前饋調(diào)饋調(diào)整整 (1)前前饋饋 從CNC發(fā)出的位置指令轉(zhuǎn)換成

15、速度指令補(bǔ)償. 這個(gè)補(bǔ)償減小了主要由位置環(huán)延遲產(chǎn)生的位置誤差和輪廓誤差.速度前速度前饋饋速度指令的變化率 (加速度) 轉(zhuǎn)換成 轉(zhuǎn)矩指令補(bǔ)償. 這個(gè)補(bǔ)償減小了主要由速度環(huán)延遲產(chǎn)生的位置誤差和輪廓誤差. -+a asKp速度速度環(huán)環(huán)位置指令位置指令速度速度 前前饋饋+位置反位置反饋饋FANUC LTDTuning - 28前饋系數(shù) 0%前饋系數(shù) 100%半徑誤差差不多是 250m半 徑 誤 差 幾 乎 是 0m(位置) 前饋調(diào)整通過(guò)設(shè)定位置前饋系數(shù)值接近于 100%, 路徑誤差被徹底減小. 前前饋調(diào)饋調(diào)整整 (2)FANUC LTDTuning - 29(位置) 前饋調(diào)整前前饋調(diào)饋調(diào)整整 (2)插

16、補(bǔ)后時(shí)間常數(shù)=24ms前饋系數(shù) 100%時(shí)間調(diào)時(shí)間調(diào)整系數(shù)整系數(shù) = 0插補(bǔ)后時(shí)間常數(shù)=24ms前饋系數(shù) 100%時(shí)間調(diào)時(shí)間調(diào)整系數(shù)整系數(shù) = -3072 通過(guò)使用 “時(shí)間調(diào)整系數(shù)” 能夠補(bǔ)償由 “插補(bǔ)后時(shí)間常數(shù)”導(dǎo)致的半徑減小. 如果路徑誤差有必要達(dá)到一定的限制值時(shí), 請(qǐng)?zhí)峁┦褂眠@個(gè)特性.FANUC LTDTuning - 30速度前饋調(diào)整 當(dāng)各個(gè)軸的加速度變化得快時(shí), 由于速度環(huán)延遲引起的位置誤差就出現(xiàn)了. 速度前饋 (VFF) 補(bǔ)償這個(gè)延遲. 這個(gè)程序帶1/4 圓弧的方形 用于調(diào)整 VFF的設(shè)定值. 通過(guò)圖形窗口的輪廓方式觀察路徑誤差, 你能夠容易地調(diào)整 VFF 系數(shù). 請(qǐng)通過(guò)調(diào)整速度前

17、饋減小凸起 .XY由Y軸延遲導(dǎo)致的位置誤差由X軸延遲導(dǎo)致的位置誤差XY沒(méi)有速度前沒(méi)有速度前饋饋使用速度前使用速度前饋饋前前饋調(diào)饋調(diào)整整 (3)FANUC LTDTuning - 31圓弧半徑減速根據(jù)加速度根據(jù)加速度調(diào)調(diào)整整進(jìn)給進(jìn)給率控制率控制 (1) 在這個(gè)點(diǎn)從直線(xiàn)到圓弧 或 從圓弧到直線(xiàn)各個(gè)軸的加速度快速變化. 在這些點(diǎn)的路徑誤差變大. 圓弧半徑減速功能減小了拐角時(shí)的切線(xiàn)方向的速度和在上面2點(diǎn)加速度的變化.ABCD直線(xiàn)部分:F4000圓弧部分:F3000切線(xiàn)速度ABCDXY測(cè)試程序圓弧-直線(xiàn)直線(xiàn)-圓弧FANUC LTDTuning - 32圓弧最大速度是F3000圓弧最大速度是 F2200半

18、徑圓弧最大速度 請(qǐng)調(diào)整 圓弧半徑減速 滿(mǎn)足機(jī)床要求的精度. 由于 圓弧半徑減速 的值,在根據(jù)加速度減速 設(shè)定的允許加速度限制值被決定 (半徑的加速度=F2/R).計(jì)算最大加速度根據(jù)加速度根據(jù)加速度調(diào)調(diào)整整進(jìn)給進(jìn)給率控制率控制 (2)圓弧半徑減速FANUC LTDTuning - 33 AI 高精度控制和AI 納米高精度輪廓控制有相似的功能“根據(jù)加速度減速”. 它根據(jù)減小速度指令鉗制加速度. 在小的G01線(xiàn)段系列里減速運(yùn)算有效. “根據(jù)加速度減速”由到最大進(jìn)給率的時(shí)間常數(shù)確定.速度時(shí)間最大進(jìn)給率時(shí)間常數(shù)這個(gè)斜率表示允許加速度當(dāng)你設(shè)定了這一欄中的加速度值時(shí),伺服指導(dǎo)自動(dòng)地確定了適當(dāng)?shù)臅r(shí)間常數(shù) .根

19、據(jù)加速度減速 根據(jù)加速度根據(jù)加速度調(diào)調(diào)整整進(jìn)給進(jìn)給率控制率控制 (3)FANUC LTDTuning - 34容許加速度注釋 在 “圓弧半徑減速” 和 “根據(jù)加速度減速”中,請(qǐng)?jiān)O(shè)定相同的最大加速度. 由圓弧鉗制值我們也能夠確定插補(bǔ)前時(shí)間常數(shù)值.通常插補(bǔ)前時(shí)間常數(shù) = 圓弧鉗制值 X 3.0根據(jù)加速度根據(jù)加速度調(diào)調(diào)整整進(jìn)給進(jìn)給率控制率控制 (4)FANUC LTDTuning - 35 通過(guò)僅僅設(shè)定插補(bǔ)前時(shí)間常數(shù), 坐標(biāo)軸在方形的拐角處不減速. 在這點(diǎn)使用 拐角減速 是必要的.ABC直線(xiàn)部分:F10000拐角部分:F500切線(xiàn)速度根據(jù)速度差根據(jù)速度差調(diào)調(diào)整整進(jìn)給進(jìn)給率控制率控制 (1)ABCDX

20、Y測(cè)試程序FANUC LTDTuning - 36拐角速度是 F500 拐角速度是 F200請(qǐng)調(diào)整 拐角減速 滿(mǎn)足機(jī)床加工精度要求. 根據(jù)速度差根據(jù)速度差調(diào)調(diào)整整進(jìn)給進(jìn)給率控制率控制 (2)FANUC LTDTuning - 37高速高精度高速高精度伺服伺服 HRV3 控制控制FANUC LTDTuning - 38伺服伺服HRV控制控制 伺服HRV 控制實(shí)現(xiàn) 高速高精度帶高精度電流檢測(cè)器 的伺服放大器帶16,000,000/rev的超高 分辨率脈沖編碼器 帶超平滑 旋轉(zhuǎn)的電機(jī)路徑路徑誤誤差差 2 mR100mm F30m/min1 m/div高速高精度伺服系高速高精度伺服系統(tǒng)統(tǒng)高速高精度伺服

21、系統(tǒng)技術(shù)納納米控制米控制 超平滑進(jìn)給和高速頻率響應(yīng)FANUC LTDTuning - 39通過(guò)高速CPU和 ai 伺服放大器的高精度電流檢測(cè)器實(shí)現(xiàn)高速響應(yīng)和高精度HRV電流控制通過(guò)高速響應(yīng)和高分辨能力的ai 脈沖編碼器實(shí)現(xiàn)高的速度增益控制HRV濾波器消除從高頻到低頻的機(jī)械共振 通過(guò)與ai 和 ais 伺服電機(jī)的很平滑進(jìn)給結(jié)合完成高速和高精度控制HRV 電電流流 控控制制高速響高速響應(yīng)應(yīng)和高分辨精度反和高分辨精度反饋饋位置 控制伺服伺服 HRV 控制控制納米插補(bǔ)CNC納納米米 CNC 系系統(tǒng)統(tǒng)高精度高精度電電流反流反饋饋伺服伺服放大器放大器HRV 濾濾波器波器a ai 伺服伺服電電機(jī)機(jī)高的高的速

22、度增益速度增益 控制控制伺服伺服 HRV3 控制控制特性特性 FANUC LTDTuning - 40SERVO HRV3 Control伺服伺服 HRV3 控制控制增強(qiáng)的HRV濾波器小的相位變化寬的和柔和的常規(guī)的HRV濾波器復(fù)數(shù)的單一的 增益增益相位相位HRV濾波器抑制由于設(shè)定高的速度增益產(chǎn)生機(jī)械共振導(dǎo)致的振動(dòng)多個(gè) (最多 4個(gè)) 機(jī)械共振抑制根據(jù)機(jī)床的特性,濾波器寬度和深度自由地設(shè)定增增強(qiáng)強(qiáng)的的 HRV 濾濾波器波器 (1/2)FANUC LTDTuning - 41SERVO HRV3 Control伺服伺服HRV3控制控制自動(dòng)實(shí)時(shí)跟蹤隨意移動(dòng)的機(jī)械共振適應(yīng)依靠位置,運(yùn)行中的狀態(tài)和機(jī)械特性不同情況下的響應(yīng)頻率變化 .跟蹤前共振:250Hz濾波器 : 210HzTCMDF10/min振動(dòng)減小濾波器頻率HRV濾波器固定210Hz 變化后的 實(shí)際響應(yīng)210210250HzHz振動(dòng) 繼續(xù)跟蹤后總是固定的增增強(qiáng)強(qiáng)的的 HRV 濾濾波器波器 (2/2)FANUC LTDTuning - 42SERVO HRV3 Control伺服伺服 HRV 3誤差4 m 立式加工中心立式加工中心 (半半閉環(huán)閉環(huán))圓弧切削 (XY R100mm,F10m/min)誤差1.5 m 伺服伺服 HRV2 速度增益速度增益 300%位置增益位置增益 70/Sec速度增益速度增益 700%位置增益位置