廠務(wù)系統(tǒng)概述

1、整理課件廠務(wù)系統(tǒng)概述莊士正整理課件整廠系統(tǒng)整理課件1.1.廠務(wù)系統(tǒng)功能廠務(wù)系統(tǒng)功能整理課件1.1 1.1 水系統(tǒng)在製程中的功能水系統(tǒng)在製程中的功能PCW製程冷卻水製程機(jī)臺(tái)冷卻UPW/DIW超純水補(bǔ)水/清洗/稀釋Chill Water冰水冷卻用冷源/空調(diào)用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自來水原水/一般用水整理課件1.2 1.2 氣體系統(tǒng)在製程中的功能氣體系統(tǒng)在製程中的功能CDA壓縮乾燥空氣搬運(yùn)器/儀器之氣壓缸/一般沖吹GN2一般氮?dú)釶urge/CDA Backup/潔淨(jìng)沖吹PN2純化氮?dú)釶urge/空間填充/超潔淨(jìng)沖吹其他B-GAS大宗氣體製程需求/Purge/空間填充/超潔淨(jìng)沖

2、吹S-GAS特殊氣體製程Chamber填充需求/乾蝕刻製程需求整理課件1.3 1.3 化學(xué)系統(tǒng)在製程中的功能化學(xué)系統(tǒng)在製程中的功能Chemical化學(xué)藥品清潔清洗/濕式蝕刻製程需求整理課件1.4 1.4 真空系統(tǒng)在製程中的功能真空系統(tǒng)在製程中的功能PV製程真空基板吸引般移HV清潔真空塵屑吸引清潔/真空吸筆整理課件Pump Line製程高真空Chamber製程轉(zhuǎn)換之高真空建立Exhaust排氣系統(tǒng)Chamber製程轉(zhuǎn)換之廢氣排除Drain排水系統(tǒng)機(jī)臺(tái)製程使用之廢DI/Chemical排放1.5 1.5 排氣排氣/ /排水系統(tǒng)在製程中的功能排水系統(tǒng)在製程中的功能整理課件2.2.廠務(wù)系統(tǒng)使用材質(zhì)廠務(wù)

3、系統(tǒng)使用材質(zhì)整理課件2.1 2.1 水系統(tǒng)使用材質(zhì)水系統(tǒng)使用材質(zhì)PCW製程冷卻水SUS 304禁油處理/高壓軟管UPW/DIW超純水CPVC/PVDF/PFA TubeChill Water冰水SUS 304RW回收水SUS 304CW自來水SUS 304整理課件CDA壓縮乾燥空氣SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮?dú)釹US 316L BA/EPPN2純化氮?dú)釹US 316L EP其他B-GAS大宗氣體SUS 316L EP/PH2有時(shí)用雙套管(EP/AP)S-GAS特殊氣體SUS 316L EP/雙套管/加熱套2.2 2.2 氣體系統(tǒng)使用材質(zhì)氣體系統(tǒng)使用材質(zhì)- -(除特氣

4、外機(jī)臺(tái)端都可能用Teflon軟管)整理課件2.3 2.3 化學(xué)系統(tǒng)使用材質(zhì)化學(xué)系統(tǒng)使用材質(zhì)有機(jī)類化學(xué)藥品例如溶劑類SUS 316 BA一般酸鹼化學(xué)藥品例如H2SO4/NaOHPVC/CPVC其他化學(xué)藥品CPVC/PFA/PVDF/PTFE整理課件2.4 2.4 真空系統(tǒng)使用材質(zhì)真空系統(tǒng)使用材質(zhì)PV製程真空PVC SCH80/SUS 304HV清潔真空PVC SCH80/SUS 304整理課件Pump Line製程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排氣鍍鋅螺旋風(fēng)管2.5 2.5 排氣系統(tǒng)使用材質(zhì)排氣系統(tǒng)使用材質(zhì)Solvent有機(jī)排氣SUS 304全焊式不銹鋼風(fēng)管Acid/Ak酸鹼排氣不銹

5、鋼Teflon Coating風(fēng)管(Tefpass)整理課件2.6 2.6 排水系統(tǒng)使用材質(zhì)排水系統(tǒng)使用材質(zhì)Drain一般排水PVC/PVC SCH80Solvent有機(jī)排氣水SUS 304不銹鋼管Acid/Ak酸鹼排氣水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA整理課件3.3.廠務(wù)系統(tǒng)流程廠務(wù)系統(tǒng)流程整理課件3.1 3.1 製程冷卻水系統(tǒng)簡略流程製程冷卻水系統(tǒng)簡略流程原水補(bǔ)水膨脹水箱冰水出冰水進(jìn)板 熱製程管線機(jī)臺(tái)冷卻進(jìn)水回水整理課件3.2 3.2 冰水系統(tǒng)簡略流程冰水系統(tǒng)簡略流程冷卻水塔MAU冰水出冰水回大 氣冰水主機(jī)冷媒循環(huán)RCUAHU其他空調(diào)箱DCC板 熱冷卻水整理課件3.3 3.3

6、 純水系統(tǒng)簡略流程純水系統(tǒng)簡略流程City Water自來水自來水DM Filter去除鈣鎂去除鈣鎂Decarbonator去除去除CO2WA Tower去除碳酸鈣去除碳酸鈣SA Tower去除碳酸鈣去除碳酸鈣RO TankRO進(jìn)水槽進(jìn)水槽Heat Exchange熱交換器熱交換器UV Sterilizer紫外線殺菌紫外線殺菌Safety Filter過濾器過濾器RO Unit逆滲透膜逆滲透膜PermeatePit逆滲透底槽逆滲透底槽Mixed Bed去除去除SiO2MembraneDegasifier去除去除O2UPW Tank純水儲(chǔ)槽純水儲(chǔ)槽Cooler冷卻器冷卻器UV Oxidizer破

7、壞有機(jī)鏈破壞有機(jī)鏈UF Unit超限過濾膜超限過濾膜H2 UPW Tank純水儲(chǔ)槽純水儲(chǔ)槽H2 CoolerH2冷卻器冷卻器H2 M.D.H2去除膜去除膜H2 DesolveMembraneH2除溶膜除溶膜H2W UF Unit超限過濾膜超限過濾膜P.O.U使用點(diǎn)使用點(diǎn)回水回水回水回水整理課件3.4 3.4 自來水自來水/ /回收水系統(tǒng)簡略流程回收水系統(tǒng)簡略流程自來水外管水表/隔離閥供應(yīng)管線使用點(diǎn)自來水自來水空氣中水份冷盤/空調(diào)箱回收管線回收水槽回收水回收水使用點(diǎn)整理課件3.5 CDA/GN2/PN23.5 CDA/GN2/PN2系統(tǒng)簡略流程系統(tǒng)簡略流程CDACDAGN2/PN2GN2/PN2

8、大氣大氣空壓機(jī)空壓機(jī)蓄壓槽蓄壓槽初級(jí)初級(jí)過濾器過濾器冷凍式冷凍式乾燥機(jī)乾燥機(jī)吸附式吸附式乾燥機(jī)乾燥機(jī)精密精密過濾器過濾器大氣大氣氮?dú)獾獨(dú)猱a(chǎn)生器產(chǎn)生器液氮槽液氮槽蒸發(fā)器蒸發(fā)器減壓站減壓站過濾器過濾器純化器純化器使用點(diǎn)使用點(diǎn)一一/二次管二次管二次盤二次盤CQC使用點(diǎn)使用點(diǎn)一一/二次管二次管二次盤二次盤CQC整理課件3.6 3.6 其他大宗氣體其他大宗氣體/ /特氣系統(tǒng)簡略流程特氣系統(tǒng)簡略流程O2O2Specialty GasSpecialty Gas鋼瓶鋼瓶Cabinet氣瓶櫃氣瓶櫃VMB/P閥箱閥箱管線管線使用點(diǎn)使用點(diǎn)液氧儲(chǔ)槽液氧儲(chǔ)槽減壓站減壓站過濾器過濾器純化器純化器CQCHe/Ar/Kr/H

9、2He/Ar/Kr/H2鋼瓶鋼瓶/BundleTrunker減壓站減壓站過濾器過濾器一一/二次管二次管二次盤二次盤使用點(diǎn)使用點(diǎn)蒸發(fā)器蒸發(fā)器使用點(diǎn)使用點(diǎn)一一/二次管二次管二次盤二次盤純化器純化器CQC管線管線整理課件3.7 3.7 高真空高真空/ /排氣系統(tǒng)簡略流程排氣系統(tǒng)簡略流程Pumping LinePumping LineOthers ExhaustOthers Exhaust機(jī)臺(tái)製程機(jī)臺(tái)製程ChamberVacuumPump高真空高真空管路管路ScrubberGEXGEX機(jī)臺(tái)出口機(jī)臺(tái)出口Damper風(fēng)管風(fēng)管風(fēng)機(jī)風(fēng)機(jī)高真空高真空管路管路大氣大氣Exhaust風(fēng)管風(fēng)管機(jī)臺(tái)出口機(jī)臺(tái)出口Damp

10、er風(fēng)管風(fēng)管風(fēng)機(jī)風(fēng)機(jī)Scrubber大氣大氣整理課件3.8 3.8 真空系統(tǒng)簡略流程真空系統(tǒng)簡略流程PVPV製程機(jī)臺(tái)製程機(jī)臺(tái)使用點(diǎn)使用點(diǎn)真空管路真空管路真空儲(chǔ)槽真空儲(chǔ)槽真空真空PumpHVHV一一/二次管二次管二次盤二次盤配置需求配置需求使用點(diǎn)使用點(diǎn)真空管路真空管路真空真空清潔儲(chǔ)槽清潔儲(chǔ)槽真空真空Pump開關(guān)盒開關(guān)盒整理課件3.9 3.9 化學(xué)系統(tǒng)簡略流程化學(xué)系統(tǒng)簡略流程ChemicalChemical化學(xué)品化學(xué)品供應(yīng)槽車供應(yīng)槽車傳送系統(tǒng)傳送系統(tǒng)供應(yīng)槽供應(yīng)槽分配系統(tǒng)分配系統(tǒng)化學(xué)品化學(xué)品儲(chǔ)槽儲(chǔ)槽VMB/P化學(xué)管路化學(xué)管路使用點(diǎn)使用點(diǎn)回收管線回收管線廢液廢液回收槽回收槽整理課件3.10 3.10 廢水收集系統(tǒng)簡略流程廢水收集系統(tǒng)簡略流程Drain PipeDrain Pipe機(jī)臺(tái)機(jī)臺(tái)排放點(diǎn)排放點(diǎn)廢水廢水處理廠處理廠收集收集管線管線整理課件3.11 3.11 廢水處理系統(tǒng)簡略流